JP2781875B2 - ボンベ付ガス供給装置 - Google Patents
ボンベ付ガス供給装置Info
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- JP2781875B2 JP2781875B2 JP9411290A JP9411290A JP2781875B2 JP 2781875 B2 JP2781875 B2 JP 2781875B2 JP 9411290 A JP9411290 A JP 9411290A JP 9411290 A JP9411290 A JP 9411290A JP 2781875 B2 JP2781875 B2 JP 2781875B2
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- Japan
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- gas supply
- cylinder
- cabinet
- gas
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- Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はボンベ付ガス供給装置、特にキャビネットに
内蔵せしめたホンベ付ガス供給装置に関するものであ
る。
内蔵せしめたホンベ付ガス供給装置に関するものであ
る。
（従来の技術） 第５図は従来のボンベ付半導体材料ガス供給機構を示
し、1a,1bは夫々シラン，ホスフィン等の半導体材料ガ
スのボンベ、２はガス供給口、3a,3bは夫々上記ボンベ1
a,1bとガス供給口２間を連通するガス供給ライン、4a,4
b及び5a,5bは夫々上記ガス供給ライン3a,3bに介挿した
ボンベ側高圧開閉弁及びガス供給口側低圧開閉弁、６は
パージ用N2ガス源、7a,7bは夫々このN2ガス源６と上記
ガス供給ライン3a,3bのボンベ接続部分間を連通するパ
ージライン、8a,8bは夫々上記パージライン7a,7bに介挿
された開閉弁、９はベント口、10a,10bは夫々このベン
ト口９と上記ガス供給ライン3a,3b内の高圧開閉弁4a,4b
のボンベ側開口間を連通するベントライン、11a,11bは
夫々上記ベントライン10a,10bに介挿された開閉弁、12
は上記ベント口９に真空を作用せしめるためのエゼクタ
ー、13はこのエゼクター12にエゼクター作用を生ぜしめ
るために流す高圧N2ガスのガス源、14はその供給ライン
である。
し、1a,1bは夫々シラン，ホスフィン等の半導体材料ガ
スのボンベ、２はガス供給口、3a,3bは夫々上記ボンベ1
a,1bとガス供給口２間を連通するガス供給ライン、4a,4
b及び5a,5bは夫々上記ガス供給ライン3a,3bに介挿した
ボンベ側高圧開閉弁及びガス供給口側低圧開閉弁、６は
パージ用N2ガス源、7a,7bは夫々このN2ガス源６と上記
ガス供給ライン3a,3bのボンベ接続部分間を連通するパ
ージライン、8a,8bは夫々上記パージライン7a,7bに介挿
された開閉弁、９はベント口、10a,10bは夫々このベン
ト口９と上記ガス供給ライン3a,3b内の高圧開閉弁4a,4b
のボンベ側開口間を連通するベントライン、11a,11bは
夫々上記ベントライン10a,10bに介挿された開閉弁、12
は上記ベント口９に真空を作用せしめるためのエゼクタ
ー、13はこのエゼクター12にエゼクター作用を生ぜしめ
るために流す高圧N2ガスのガス源、14はその供給ライン
である。
このような従来のボンベ付ガス供給機構においては、
例えばボンベ1a内のガスが消耗したとき、これを検知し
て自動的にガス供給ラインを3aから3bに切り替えてボン
ベ1bを使用し、ボンベ1bを使用している間にボンベ1aを
新しいボンベに交換するようにしている。
例えばボンベ1a内のガスが消耗したとき、これを検知し
て自動的にガス供給ラインを3aから3bに切り替えてボン
ベ1bを使用し、ボンベ1bを使用している間にボンベ1aを
新しいボンベに交換するようにしている。
このボンベ1aの交換に際してはガス供給ライン3a内に
残存する有害な又は危険性のあるガスが外部に漏れるの
を防ぐためボンベ1a切り離しに先立ってガス供給ライン
3a内の高圧及び低圧開閉弁4a,5aを閉じ、パージライン7
a内の開閉弁8a及びベントライン10a内の開閉弁11aを開
いてパージ用N2ガス源６からパージ用N2ガスをパージラ
イン7a、ボンベ側のガス供給ライン3a及びベントライン
10aを介してベント口９から排出せしめ、この際エゼク
ター12による真空排気作用が上記排気を促進し、ボンベ
側のガス供給ライン3a内から有害又は危険性のあるガス
が完全にベントガス処理機構（図示せず）内に排出処理
されるようにしている。
残存する有害な又は危険性のあるガスが外部に漏れるの
を防ぐためボンベ1a切り離しに先立ってガス供給ライン
3a内の高圧及び低圧開閉弁4a,5aを閉じ、パージライン7
a内の開閉弁8a及びベントライン10a内の開閉弁11aを開
いてパージ用N2ガス源６からパージ用N2ガスをパージラ
イン7a、ボンベ側のガス供給ライン3a及びベントライン
10aを介してベント口９から排出せしめ、この際エゼク
ター12による真空排気作用が上記排気を促進し、ボンベ
側のガス供給ライン3a内から有害又は危険性のあるガス
が完全にベントガス処理機構（図示せず）内に排出処理
されるようにしている。
然しながら上記のような従来のボンベ付ガス供給機構
においてはボンベ切り替え時のみならず、何れかの開閉
弁にリークがあった場合には僅かづつながら有害ガスが
外部に漏れ続けるおそれがあり、このため上記のような
ボンベ付ガス供給機構をキャビネット内に内蔵せしめ、
このキャビネットの下部に通気用のガラリを設け、この
キャビネット内をその上部に形成した排気口を介して常
時排気せしめることが提案されている。
においてはボンベ切り替え時のみならず、何れかの開閉
弁にリークがあった場合には僅かづつながら有害ガスが
外部に漏れ続けるおそれがあり、このため上記のような
ボンベ付ガス供給機構をキャビネット内に内蔵せしめ、
このキャビネットの下部に通気用のガラリを設け、この
キャビネット内をその上部に形成した排気口を介して常
時排気せしめることが提案されている。
（発明が解決ようとする課題） 然しながら上記のようにキャビネット内を排気するよ
うにした場合、上記ボンベ付ガス供給機構の開閉弁調節
の為キャビネットの上部に小窓を設けたものではこの小
窓を開いた場合この小窓からキャビネット内に入った外
気がそのまゝ排気される形となり、キャビネット底部に
溜まった空気より重いシラン等の有害ガスは排気されな
いでそのまゝ残ってしまうおそれがあり、又排気口をキ
ャビネットの底部に設ければキャビネット下部のガラリ
よりキャビネット内に入った外気がそのまゝ吸引されて
排気され、有害ガスの排出が十分でない欠点があった。
うにした場合、上記ボンベ付ガス供給機構の開閉弁調節
の為キャビネットの上部に小窓を設けたものではこの小
窓を開いた場合この小窓からキャビネット内に入った外
気がそのまゝ排気される形となり、キャビネット底部に
溜まった空気より重いシラン等の有害ガスは排気されな
いでそのまゝ残ってしまうおそれがあり、又排気口をキ
ャビネットの底部に設ければキャビネット下部のガラリ
よりキャビネット内に入った外気がそのまゝ吸引されて
排気され、有害ガスの排出が十分でない欠点があった。
本発明は上記の欠点を除くようにしたものである。
（課題を解決するための手段） 本発明のボンベ付ガス供給装置はガス供給口をガス供
給ラインに連通し、ボンベ交換に際しこれに関連するガ
ス供給ライン内のガスをパージ用ガスによってベントラ
インを介して排気するようにしたボンベ付ガス供給機構
をキャビネットに内蔵せしめると共に、このキャビネッ
トの上面及び背面の上部，中間部及び，下部に排気用の
開口を形成し、この各開口を上記キャビネットの開扉状
況に応じて開，閉制御するようにしたことを特徴とす
る。
給ラインに連通し、ボンベ交換に際しこれに関連するガ
ス供給ライン内のガスをパージ用ガスによってベントラ
インを介して排気するようにしたボンベ付ガス供給機構
をキャビネットに内蔵せしめると共に、このキャビネッ
トの上面及び背面の上部，中間部及び，下部に排気用の
開口を形成し、この各開口を上記キャビネットの開扉状
況に応じて開，閉制御するようにしたことを特徴とす
る。
（作用） 本発明のボンベ付ガス供給装置においてはキャビネッ
トの開扉状況に応じて排気口の位置が自動的に変更され
る。
トの開扉状況に応じて排気口の位置が自動的に変更され
る。
（実施例） 以下図面によって本発明の実施例を説明する。
第１図において15は上記ボンベ付ガス供給機構を内蔵
したキャビネット、16はこのキャビネット15の下部に設
けた通気用のガラリ、17は上部に設けた開閉弁調節用の
小窓、18は扉を示す。
したキャビネット、16はこのキャビネット15の下部に設
けた通気用のガラリ、17は上部に設けた開閉弁調節用の
小窓、18は扉を示す。
本発明においては第１図〜第４図に示すようにキャビ
ネット15の背面外部にキャビネット15の下部から上面に
延び排気口19に連通するダクト20を設け、このキャビネ
ット15の上面及び背面に上記ダクト20に連通する開閉可
能な上面，背面上部，中間部及び下部排気口21a,21b,21
c,21dを形成し、この排気口21a,21b,21c,21d及びガラリ
16を開閉制御機構（図示せず）によって開，閉制御し、
キャビネト15が閉じられているときは第２図に示すよう
に上面排気口21aとガラリ16のみを開き、キャビネット1
5の上部小窓17を開いたときは第３図に示すように下部
排気口21dのみを開き、ボンベ交換等のためにキャビネ
ット15の前扉18を開いたときは第４図に示すように上
部，中間部及び下部排気口21b〜21d全部を開くようにす
る。
ネット15の背面外部にキャビネット15の下部から上面に
延び排気口19に連通するダクト20を設け、このキャビネ
ット15の上面及び背面に上記ダクト20に連通する開閉可
能な上面，背面上部，中間部及び下部排気口21a,21b,21
c,21dを形成し、この排気口21a,21b,21c,21d及びガラリ
16を開閉制御機構（図示せず）によって開，閉制御し、
キャビネト15が閉じられているときは第２図に示すよう
に上面排気口21aとガラリ16のみを開き、キャビネット1
5の上部小窓17を開いたときは第３図に示すように下部
排気口21dのみを開き、ボンベ交換等のためにキャビネ
ット15の前扉18を開いたときは第４図に示すように上
部，中間部及び下部排気口21b〜21d全部を開くようにす
る。
（発明の効果） 本発明のボンベ付ガス供給装置は上記のような構成で
あるから仮にキャビネット内に有害ガスが漏出していて
も、これを完全に排気処理することが出来、外部に悪影
響を及ぼすことがない大きな利益がある。
あるから仮にキャビネット内に有害ガスが漏出していて
も、これを完全に排気処理することが出来、外部に悪影
響を及ぼすことがない大きな利益がある。
尚本発明においては上記背面の排気口として上下に連
続して延びるスリット状のものを用い、その任意の部分
を塞ぎ板によって塞ぐ構成としても同様の効果を得るこ
とが出来る。
続して延びるスリット状のものを用い、その任意の部分
を塞ぎ板によって塞ぐ構成としても同様の効果を得るこ
とが出来る。
第１図は本発明のボンベ付ガス供給装置におけるキャビ
ネットの正面図、第２図〜第４図は夫々その動作説明
図、第５図は従来のボンベ付ガス供給機構の構成図であ
る。 1a,1b……ボンベ、２……ガス供給口、3a,3b,14……ガ
ス供給ライン、4a,4b……高圧開閉弁、5a,5b……低圧開
閉弁、6,13……N2ガス源、7a,7b……パージライン、8a,
8b,11a,11b……開閉弁、９……ベント口、10a,10b……
ベントライン、12……エゼクター、15……キャビネッ
ト、16……ガラリ、17……小窓、18……扉、19……排気
口、20……ダクト、21a……上面排気口、21b……背面上
部排気口、21c……中間部排気口、21d……下部排気口。
ネットの正面図、第２図〜第４図は夫々その動作説明
図、第５図は従来のボンベ付ガス供給機構の構成図であ
る。 1a,1b……ボンベ、２……ガス供給口、3a,3b,14……ガ
ス供給ライン、4a,4b……高圧開閉弁、5a,5b……低圧開
閉弁、6,13……N2ガス源、7a,7b……パージライン、8a,
8b,11a,11b……開閉弁、９……ベント口、10a,10b……
ベントライン、12……エゼクター、15……キャビネッ
ト、16……ガラリ、17……小窓、18……扉、19……排気
口、20……ダクト、21a……上面排気口、21b……背面上
部排気口、21c……中間部排気口、21d……下部排気口。
Claims (1)
- 【請求項１】ガス供給口をガス供給ラインに連通し、ボ
ンベ交換に際しこれに関連するガス供給ライン内のガス
をパージ用ガスによってベントラインを介して排気する
ようにしたボンベ付ガス供給機構をキャビネットに内蔵
せしめると共に、このキャビネットの上面及び背面の上
部，中間部及び，下部に排気用の開口を形成し、この各
開口を上記キャビネットの開扉状況に応じて開，閉制御
するようにしたことを特徴とするボンベ付ガス供給装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9411290A JP2781875B2 (ja) | 1990-04-11 | 1990-04-11 | ボンベ付ガス供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9411290A JP2781875B2 (ja) | 1990-04-11 | 1990-04-11 | ボンベ付ガス供給装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03292499A JPH03292499A (ja) | 1991-12-24 |
| JP2781875B2 true JP2781875B2 (ja) | 1998-07-30 |
Family
ID=14101353
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9411290A Expired - Fee Related JP2781875B2 (ja) | 1990-04-11 | 1990-04-11 | ボンベ付ガス供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2781875B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6076359A (en) * | 1996-11-25 | 2000-06-20 | American Air Liquide Inc. | System and method for controlled delivery of liquified gases |
| JP2013024287A (ja) * | 2011-07-19 | 2013-02-04 | Taiyo Nippon Sanso Corp | 水素ガス充填装置 |
-
1990
- 1990-04-11 JP JP9411290A patent/JP2781875B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03292499A (ja) | 1991-12-24 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |