JPH03292499A

JPH03292499A - ボンベ付ガス供給装置

Info

Publication number: JPH03292499A
Application number: JP9411290A
Authority: JP
Inventors: Kazuo Yokoki; 横木　和夫
Original assignee: Teisan KK
Current assignee: Teisan KK
Priority date: 1990-04-11
Filing date: 1990-04-11
Publication date: 1991-12-24
Anticipated expiration: 2013-07-30
Also published as: JP2781875B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明はボンベ付ガス供給装置、特にキャビネットに内
蔵せしめたボンベ付ガス供給装置に関するものである。

（従来の技術）第５図は従来のボンベ付半導体材料ガス供給機構を示し
、ｌａ、ｌｂは夫々シラン、ホスフィン等の半導体材料
ガスのボンベ、２はガス供給口、３ａ、３ｂは夫々上記
ボンベｌａ、ｌｂとガス供給口２間を連通ずるガス供給
ライン、４ａ、４ｂ及び５ａ、５ｂは夫々上記ガス供給
ライン３ａ。

３ｂに介挿したボンベ側高圧開閉弁及びガス供給口側低
圧開閉弁、６はパージ用Ｎｔガス源、７ａ。

７ｂは夫々このＮ２ガス源６と上記ガス供給ライン３ａ
、３ｂのボンベ接続部分間を連通ずるパージライン、８
ａ、８ｂは夫々上記パージライン７ａ、７ｂに介挿され
た開閉弁、９はベントロ、１０ａ、ｌＯｂは夫々このベ
ントロ９と上記ガス供給ライン３ａ、３ｂ内の高圧開閉
弁４ａ、４ｂのボンベ側開口間を連通ずるベントライン
、１ｌａ１１ｂは夫々上記ベントラインＩＯａ、Ｊｏｂ
に介挿された開閉弁、１２は上記ベントロ９に真空を作
用せしめるためのエゼクタ−１１３はこのエゼクタ−１
２にエゼクタ−作用を生せしめるために流す高圧Ｎ２ガ
スのガス源、１４はその供給ラインである。

このような従来のボンベ付ガス供給機構においては、例
えばボンベ１ａ内のガスが消耗したとき、これを検知し
て自動的にガス供給ラインを３ａから３ｂに切り替えて
ボンベ１ｂを使用し、ボンベ１ｂを使用している間にボ
ンベ１ａを新しいボンベに交換するようにしている。

このボンベ１ａの交換に際してはガス供給ライン３ａ内
に残存する有害な又は危険性のあるガスが外部に漏れる
のを防ぐためボンベ１ａ切り離しに先立ってガス供給ラ
イン３ａ内の高圧及び低圧開閉弁４ａ、５ａを閉じ、パ
ージライン７ａ内の開閉弁８ａ及びベントライン１０ａ
内の開閉弁１１ａを開いてパージ用Ｎ２ガス源６からパ
ージ用Ｎ！ガスをパージライン７ａ、ボンベ側のガス供
給うイン３ａ及びベントライン１０ａを介してベントロ
９から排出せしめ、この際エゼクタ−１２による真空排
気作用が上記排気を促進し、ボンベ側のガス供給ライン
３ａ内から有害又は危険性のあるガスが完全にベントガ
ス処理機構（図示せず）内に排出処理されるようにして
いる。

然しなから上記のような従来のボンベ付ガス供給機構に
おいてはボンベ切り替え時のみならず、何れかの開閉弁
にリークがあった場合には僅かづつながら有害ガスが外
部に漏れ続けるおそれがあり、このため上記のようなボ
ンベ付ガス供給機構をキャビネット内に内蔵せしめ、こ
のキャビネットの下部に通気用のガラリを設け、このキ
ャビネット内をその上部に形成した排気口を介して常時
排気せしめることが提案されている。

（発明が解決しようとする課題）然しなから上記のようにキャビネット内を排気するよう
にした場合、上記ボンベ付ガス供給機構の開閉弁調節の
為キャビネットの上部に小窓を設けたものではこの小窓
を開いた場合この小窓からキャビネット内に入った外気
がそのま＼排気される形となり、キャビネット底部に溜
まった空気より重いシラン等の有害ガスは排気されない
でそのま＼残ってしまうおそれがあり、又排気口をキャ
ビネットの底部に設ければキャビネット下部のガラリよ
りキャビネット内に入った外気がそのま＼吸引されて排
気され、有害ガスの排出が十分でない欠点があった。

本発明は上記の欠点を除くようにしたものである。

（課題を解決するための手段）本発明のボンベ付ガス供給装置はガス供給口をガス供給
ラインに連通し、ボンベ交換に際しこれに関連するガス
供給ライン内のガスをパージ用ガスによってベントライ
ンを介して排気するようにしたボンへ付ガス供給機構を
キャビネ７）に内蔵せしめると共に、このキャビネット
の上面及び背面の上部、中間部及び、下部に排気用の開
口を形成し、この各開口を上記キャビネットの開扉状況
に応じて開、閉制御するようにしたことを特徴とする。

（作　用）本発明のボンベ付ガス供給装置においてはキャビネット
の開扉状況に応じて排気口の位置が自動的に変更される
。

（実　施　例）以下図面によって本発明の詳細な説明する。

第１図において１５は上記ボンベ付ガス供給機構を内蔵
したキャビネット、１６はこのキャビネット１５の下部
に設けた通気用のガラリ、１７は上部に設けた開閉弁調
節用の小窓、１８は扉を示す。

本発明においては第１図〜第４図に示すようにキャビネ
ット１５の背面外部にキャビネット１５の下部から上面
に延び排気口１９に連通するダクト２０を設け、このキ
ャビネット１５の上面及び背面に上記ダクト２０に連通
ずる開閉可能な上面。

背面上部、中間部及び下部排気口２１２．２１ｂ。

２１Ｃ，２１ｄを形成し、この排気口２１ａ、２１　ｂ
、　　２１　ｃ、　　２１　ｄ及びガラリ１６を開閉制
御機構（図示せず）によって開、閉制御し、キャビネト
１５が閉じられているときは第２図に示すように上面排
気口２１ａとガラリ１６のみを開き、キャビネット１５
の上部小窓１７を開いたときは第３図に示すように下部
排気口２１ｄのみを開き、ボンベ交換等のためにキャビ
ネット１５の前扉１８を開いたときは第４図に示すよう
に上部、中間部及び下部排気口２１ｂ〜２１ｄ全部を開
くようにする。

（発明の効果）本発明のボンベ付ガス供給装置は上記のような構成であ
るから仮にキャビネット内に有害ガスが漏出していても
、これを完全に排気処理することが出来、外部に悪影響
を及ぼすことがない大きな利益がある。

尚本発明においては上記背面の排気口として上下に連続
して延びるスリット状のものを用い、その任意の部分を
塞ぎ板によって塞ぐ構成としても同様の効果を得ること
が出来る。

給機構の構成図である。

ｌａ、ｌｂ・・・ボンベ、２・・・ガス供給口、３ａ、
３ｂ、１４−ガス供給ライン、４ａ。

４ｂ・・・高圧開閉弁、５ａ、５ｂ・・・低圧開閉弁、
６．１３・−・Ｎ！ガス源、？ａ、７ｂ・・・パージラ
イン、８ａ、８ｂ、ｌｌａ、ｌｌｂ・・・開閉弁、９・
・・ベントロ、１０ａ、１０ｂ・・・ベントライン、１
２・・・エゼクタ−１５・・・キャビネット、１６・・
・ガラリ、１７・・・小窓、１８・・・扉、１９・・・
排気口、２０・・・ダクト、２１ａ・・・上面排気口、
２１ｂ・・・背面上部排気口、２１ｃ・・・中間部排気
口、２１ｄ・・・下部排気口。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のボンベ付ガス供給装置におけるキャビ
ネットの正面図、第２図〜第４図は夫々その動作説明図
、第５図は従来のボンベ付ガス供島　ＩＩ！Ｉ１ｄ

Claims

【特許請求の範囲】

（１）ガス供給口をガス供給ラインに連通し、ボンベ交
換に際しこれに関連するガス供給ライン内のガスをパー
ジ用ガスによってベントラインを介して排気するように
したボンベ付ガス供給機構をキャビネットに内蔵せしめ
ると共に、このキャビネットの上面及び背面の上部、中
間部及び、下部に排気用の開口を形成し、この各開口を
上記キヤビネットの開扉状況に応じて開、閉制御するよ
うにしたことを特徴とするボンベ付ガス供給装置。