KR930004198Y1 - 가스통로의 자동 배기장치 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

가스통로의 자동 배기장치

제1도는 본고안의 구성을 나타낸 블럭선도.

제2도는 종래장치의 구성을 나타낸 블럭선도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 유량조절기 2, 3, 6 : 공기압밸브

4 : 밀실 5 : 가스관

7 : 공기유입통로 8 : 시간 셋팅기

본고안은 독성가스를 사용하는 반도체장비의 가스제어 시스템에 있어서 사용기기등에 유독가스가 잔존하지 않도록 이를 자동 배기시켜 줄수 있도록한 자동 배기장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 작업공정 중에서 웨이퍼에 잔존하는 불순물등을 제거시켜 주기 위하여 일반가스가 독성을 갖는 가스를 많이 사용하게 되는데, 이들 가스의 사용을 제어해 주기 위하여, 종래에는 제2도의 블럭선도와 같은 시스템을 구성하여 이를 실시하도록 하였다.

이를 좀더 상세히 설명하여 보면, 가스가 소요되는 밀실(4)로 통하는 가스관(5)상에 가스의 흐름을 조절하는 유량조절기(MFC : Mass Flow Controller)(1)와 두 개의 공기압 밸브(NV : Nupro Valve)(2)(3)를 설치하여, 가스를 공급하고자 하는 경우에는 공기압 밸브(2)(3)들을 차례로 개방하고 유량조절기(1)를 통해 필요한 양만큼을 가스관(5)을 통해 밀실(4)로 보내주어 원하는 작업을 실시하도록 하고, 공정이 완료된 경우에는 이들을 차례로 폐쇄하도록 하였다.

이때, 공기압 밸브(2)(3)의 개폐제어는 공기압을 통하여 이루어지도록 하고 있다.

그러나, 상기한 바와같은 종래의 가스제어 시스템은, 비독성 가스를 사용하는 경우에는 사용상에 별문제점이 없으나, 독성가스를 사용해야만 하는 경우에는 독성가스들이 작업완료후에도 사용기기들로부터 완전배기되지 못하고 기기상에 잔존하여, 특히 유량조절기(1)에 있어서는 BCl₂와 같은 액화가스가 내부로 응축되어 센서등을 손상시킴에 따라 유량감지기가 쉽게 손상되고, 이에따라 정확한 가스의 유량조절을 실시할수 없게 되는 문제점이 있었다.

본고안은 이와같은 종래의 문제점을 개선하기 위하여 안출한 것으로서, 독성가스로서, 독성가스를 사용하는 경우에도 작업완료 후에는 기기내에 독성가스가 잔존하지 않고 자동 배기시켜 줄수 있도록 한것인바, 이를 첨부도면에 의하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.

유량조절기(1)와 두 개의 공기압 밸브(2)(3)를 통해 밀실(4)로 공급되는 가스관(5)의 가스를 제어하도록 된것에 있어서, 유량 조절기(1)의 앞측으로 공기압 밸브(6)를 추가 설치하고, 두 개의 공기압 밸브(2)(3)를 제어하는 공기 유입통로(7)에는 시간셋팅기(8)를 설치하여 이들의 폐쇄 시각을 조절할수 있도록 한것이다.

이와같이 된 본고안은 종래의 기존 가스제어 시스템상에 공기압밸브(6)와 시간셋팅기(8)를 추가설치하여, 시스템의 작업완료 후에는 가스관(5)상의 각 기기내에 잔존가스가 존재하지 못하도록 자동배기 시켜 주도록 한것인바, 이들의 연관작용 과정을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 밀실(4)로 가스를 공급하고자 하는 경우에는 종래와 같이 기존의 두개 공기압 밸브(2)(3)를 개방함과 동시에 추가 설치한 공기압 밸브(6)를 개방하여 가스관(5)을 흐르는 가스를 유량 조절기(1)를 통해 제어하면서 밀실(4)로 보내주게 된다.

이와같은 상태에서 작업공정이 완료되고 각 기기들이 폐쇄들이 과정에서는, 유량조절기(1)의 앞측으로 공기압 밸브(6)를 추가 설치하고, 두개의 공기압 밸브(2)(3)를 제어하는 공기 유입통로(7)에는 시간셋팅기(8)를 설치하여 이들의 폐쇄 시각을 조절할수 있도록 한것이다.

이와같이 된 본고안을 종래의 기존 가스제어 시스템상에 공기압 밸브(6)와 시간셋팅기(8)를 추가설치하여, 시스템의 작업완료후에는 가스관(5)상의 각 기기내에 잔존가스가 존재하지 못하도록 자동배기 시켜 주도록 한것인바, 이들의 연관작동 과장을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 밀실(4)로 가스를 공급하고자 하는 경우에는 종래와 같이 기존의 두개 공기압 밸브(2)(3)를 개방함과 동시에 추가 설치한 공기압 밸브(6)를 개방하여 가스관(5)을 흐르는 가스를 유량조절기(1)를 통해 제어하면서 밀실(4)로 보내주게 된다.

이와같은 상태에서 작업공정이 완료되고 각 기기들이 폐쇄되는 과정에서는, 유량조절기(1)전방측에 설치된 공기압밸브(6)가 도시가 생략된 제어부의 명령을 받아 먼저 닫히게 되고, 이어서 두 개의 공기압 밸브(2)(3)도 제어부를 통해 명령을 받지만 시간셋팅기(8)에 의하여 그 폐쇄 명령이 일정시간 지연되면서, 예를들면 2-3초 정도 개방된 상태로 지남에 따라 기 폐쇄된 공기압 밸브(6)로부터 개방되어 있는 공기압 밸브(3)사이로 차있던 가스가 진공흡입력에 의하여 밀실(4)측으로 빠져나간 상태가 이루어진후에 공기압 밸브(2)(3)가 닫히게 된다.

따라서, 공정완료후나 공정을 진행하지 않는 상태에서는 최선단측의 공기압 밸브(6)로부터 최후단측의 공기압 밸브(3)사이에는 가스가 차있지 않는 상태를 유지하여 주게되므로 유독가스를 사용하는 경우에도 각 기기들이 가스의 영향을 받지않게 되는 것이다.

이와같이 본고안은 기존의 가스조절 시스템상에 간단한 장치로서의 자동 가스 배기 설비를 부착하여 가스를 조절하는 중요기기들, 예를 들면 유량조절기등이 작업을 실시하지 않는 경우에는 이들 기기내로 잔존가스가 존재하지 않도록 자동배기 시켜줌에 따라, 유독가스등에 의하여 기기가 영향을 받지않고 항상 최적상태를 유지하게 되므로 기기들의 수명이 연장되고 항상 정확한 제어를 실시할수 있게되는 효과를 갖는다.

Claims (1)

1. 유량조절기(1)와 두 개의 공기압 밸브(2)(3)를 통해 밀실(4)로 공급된 가스관(5)의 가스를 제어하도록 된것에 있어서, 유량조절기(1)의 앞측으로 공기압 밸브(6)를 추가 설치하고, 두 개의 공기압 밸브(2)(3)를 제어하는 공기유입통로(7)에는 시간셋팅기(8)를 설치하여 이들의 폐쇄 시각을 조절할수 있도록 함을 특징으로 하는 가스통로의 자동 배기장치.