KR102523675B1 - 오토 퀵 퍼징 시스템 및 이를 이용한 글로브 박스 - Google Patents

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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J21/00—Chambers provided with manipulation devices
    • B25J21/02—Glove-boxes, i.e. chambers in which manipulations are performed by the human hands in gloves built into the chamber walls; Gloves therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/26—Drying gases or vapours

Abstract

본 발명은 글로브박스의 가스 치환 기술에 관한 것으로, 글로브박스의 컨트롤 시스템(Control System)에 오토 퀵 퍼징 시스템(Auto Quick Purging System)을 적용하여 자동으로 블로워를 통해 설정된 압력까지 가스를 배출시킬 수 있게 함으로서 가스소모량의 감소 및 치환시간을 단축시켜 효율성을 극대화할 수 있는 오토 퀵 퍼징 시스템 및 이를 이용한 글로브 박스에 관한 것이다.
본 발명은 글로브 박스의 퍼징 시스템에 있어서,
블로워(10), 정제기(20), 블로워 자동밸브(30), 정제기 자동밸브(40), 콘트롤 시스템(50), 수분분석기(70), 산소분석기(71), 압력센서(72), 가스 솔레노이드 밸브(80)를 포함하여 구성된 오토 퀵 퍼징 시스템을 제공한다.
또한 본 발명은 콘트롤 시스템(50)에 메인챔버(90)의 내부의 압력의 상한값(H)과 하한값(L), 내부의 수분의 농도 또는 산소의 농도, 목표 수분 농도 또는 목표 산소 농도가 설정되는 과정(1과정),
블로워 자동밸브(30)를 열고 블로워(10)를 가동시켜서 메인챔버(90) 내부의 가스를 메인챔버(90) 내부의 압력이 상기 설정된 압력의 하한값(L)이 될때까지 배출하게 하는 과정(2과정),
블로워 자동밸브(30)를 닫고 블로워(10)를 가동 중지시키며 가스 솔레노이드 밸브(80)를 열어 메인챔버(90) 내부에 불활성 가스를 주입하는 과정을 수행하되 메인챔버(90) 내부의 압력이 기설정된 압력의 상한값(H)이 될 때까지 불활성 가스를 주입시키는 과정(3과정),
상기한 2과정 및 3과정을 반복하여 수행하되, 메인챔버(90) 내부의 수분의 농도 또는 산소의 농도가 기설정된 수분의 농도 또는 산소의 농도에 도달할 때까지 반복되어 수행하는 과정(4과정),
메인챔버(90) 내부의 수분의 농도 또는 산소의 농도가 상기 4과정의 기설정된 농도에 도달한 경우 블로워 자동밸브(30)를 닫고 블로워(10)를 가동중지 시키며, 정제기 자동밸브(40)를 열고 정제기(20)를 가동하게 하는 과정(5과정),
메인챔버(90) 내부의 수분의 농도 또는 산소의 농도가 목표 수분 농도 또는 목표 산소 농도에 도달할 때 정제기 자동밸브(40)를 닫고 정제기(20)의 가동을 중지시키는 과정(6과정),
을 포함하는 제어방법으로 수행하는 것을 특징으로 하는 오토 퀵 퍼징 시스템을 제공한다.
또한 본 발명은 상기의 오토 퀵 퍼징 시스템을 포함하는 글로브 박스(100)를 제공한다.

Description

오토 퀵 퍼징 시스템 및 이를 이용한 글로브 박스{an Auto Quick Purging System and the glove box using thereof}
본 발명은 글로브박스의 가스 치환 기술에 관한 것으로, 글로브박스의 컨트롤 시스템(Control System)에 오토 퀵 퍼징 시스템(Auto Quick Purging System)을 적용하여 자동으로 블로워를 통해 설정된 압력까지 가스를 배출시킬 수 있게 함으로서 가스소모량의 감소 및 치환시간을 단축시켜 효율성을 극대화할 수 있는 오토 퀵 퍼징 시스템 및 이를 이용한 글로브 박스에 관한 것이다.
글로브박스 내부(DRY LAB)는 1차적으로 산소와 수분을 제거하기 위해 불활성 가스인 질소(N2)나 아르곤(Ar) 으로 치환을 시킨다. 이 작업은 글로브 박스 내부(DRY LAB) 용적의 약 10배~10배 정도를 불활성 가스로 치환을 하여야 한다. 보통 수분과 산소의 농도가 200PPM 이하로 도달할 때까지의 가스 소모량은 1m3 기준으로 약 1000L 이다.
종래의 가스 퍼징(Purging, 공기배기) 과정에 대해 설명하자면 우선 가스통의 밸브를 최대한 개방해야 한다. 글로브 박스 콘트롤 시스템(Control System)의 PHOTOHELIC GAUGE(차압계)의 LOW RANGE는 1inch H2O로 설정하고 HIGH RANGE는 4.5 inch H2O 로 설정한 후 가스가 주입될 때, 레귤레이터를 조절하여 2차압력이 약 0.1 ∼ 0.2 bar 또는 0.01~ 0.03 MPa가 되도록 설정한다. 밸브가 개방되어 있고, 가스가 공급된 상태이기 때문에 압력이 내려가고 올라가는 과정이 자동으로 반복된다. 이 과정을 장비의 크기에 따라 가스 사용량 만큼 소모시켜 퍼징한다.
메인챔버의 압력이 내려가는 속도를 레귤레이터를 통하여 조절하며 초기 1분 가량은 3inch H2O에 압력이 ?춰지도록 수동으로 밸브를 조절한다. 수분수치가 200ppm 정도를 가리키면 배기밸브를 닫고 정제기를 가동시켜 순환시켜준다,
글로브 박스의 용적 : 약 1㎥ 인경우,
가스 봄베 1통의 용량 : 약 004㎥(40ℓ) × 100 = 약 4㎥ 으로서,
글로브 박스 용적이 약 1㎥ 이며 수분이 200PPM까지 떨어져야 할 경우 가스 치환량은 약 10 ~ 11㎥ 이다.
따라서 4㎥인 가스 봄베는 11㎥ ÷ 4㎥이므로 약 2통 반 이상을 치환하여야 한다.
본 발명자는 이와 관련된 기술로 선행발명(등록특허 10-1376551호, 글로브 박스용 가스 정제기)을 제시한바, "글로브 박스의 기체를 블로어(30)를 사용하여 제습조(50)와 산소제거조(60)를 거치도록 하여 기체 중의 수분과 산소를 제거하도록 된 가스 정제기에 있어서; 상기 제습조(50)와 산소제거조(60)의 내부에 배플 플레이트(P)를 설치하여 기체의 이동경로를 길게 함과 동시에 기체가 제습제 및 산소제거제와의 접촉면적을 극대화하여 제습 및 산소제거효율을 향상시킬 수 있도록 하고, 상기 제습조(50)의 외부에는 냉각기(90)를 부가하여 기체의 온도를 낮추는 것에 의해 기체 중에 함유된 수분분자의 운동에너지를 감소시켜서 제습 성능을 향상시킬 수 있도록 하며, 산소제거시에는 산소제거조(60) 외측의 히터(80)를 가동하여 산소제거효율을 높이되 산소제거조(60)에서 배출되어 글로브 박스로 기체가 유입될 때 기체의 온도를 하강시키기 위한 쿨러(100)의 작동에 의해 글로브 박스의 정상적인 운용과 동시에 산소제거효율을 향상시킬 수 있도록 되어 있는 글로브 박스용 가스 정제기"를 제공한 바 있다.
상기한 종래기술 및 선행기술의 경우 글로브 박스에 불활성 가스를 치환하는 과정은 챔버내부에 원하는 압력까지 불활성 가스를 주입시킨 후 주입가스가 챔버내에서 충분히 확산되면 배기밸브를 통해 배출된다.
이 때 산소와 수분이 원하는 농도에 도달 할 때까지 이 과정을 반복하여야 하는데 가스 소모량도 많고, 관리자가 지속적으로로 수치를 확인 해야 되고, 정제기(Purifier)를 작동시켜야 하는 등 신경써 주어야 되는 부분이 있어 불활성 가스를 치환하는데 많은 시간이 소요된다.
본 발명은 이와 같은 문제점을 보완하고자 안출 된 것으로, 불활성 가스를 글로브 박스에 치환 하는데 있어 가스소모량도 현저히 줄일 수 있고, 치환 시간도 현저히 단축할 수 있는 오토 퀵 퍼징 시스템 및 이를 이용한 글로브 박스를 제공하고자 한다.
본 발명은 상기한 문제점 및 요구를 해결하기 위하여,
글로브 박스의 퍼징 시스템에 있어서,
블로워(10), 정제기(20), 블로워 자동밸브(30), 정제기 자동밸브(40), 콘트롤 시스템(50), 수분분석기(70), 산소분석기(71), 압력센서(72), 가스 솔레노이드 밸브(80)를 포함하여 구성된 오토 퀵 퍼징 시스템을 제공한다.
또한 본 발명은 콘트롤 시스템(50)에 메인챔버(90)의 내부의 압력의 상한값(H)과 하한값(L), 내부의 수분의 농도 또는 산소의 농도, 목표 수분 농도 또는 목표 산소 농도가 설정되는 과정(1과정),
블로워 자동밸브(30)를 열고 블로워(10)를 가동시켜서 메인챔버(90) 내부의 가스를 메인챔버(90) 내부의 압력이 상기 설정된 압력의 하한값(L)이 될때까지 배출하게 하는 과정(2과정),
블로워 자동밸브(30)를 닫고 블로워(10)를 가동 중지시키며 가스 솔레노이드 밸브(80)를 열어 메인챔버(90) 내부에 불활성 가스를 주입하는 과정을 수행하되 메인챔버(90) 내부의 압력이 기설정된 압력의 상한값(H)이 될 때까지 불활성 가스를 주입시키는 과정(3과정),
상기한 2과정 및 3과정을 반복하여 수행하되, 메인챔버(90) 내부의 수분의 농도 또는 산소의 농도가 기설정된 수분의 농도 또는 산소의 농도에 도달할 때까지 반복되어 수행하는 과정(4과정),
메인챔버(90) 내부의 수분의 농도 또는 산소의 농도가 상기 4과정의 기설정된 농도에 도달한 경우 블로워 자동밸브(30)를 닫고 블로워(10)를 가동중지 시키며, 정제기 자동밸브(40)를 열고 정제기(20)를 가동하게 하는 과정(5과정),
메인챔버(90) 내부의 수분의 농도 또는 산소의 농도가 목표 수분 농도 또는 목표 산소 농도에 도달할 때 정제기 자동밸브(40)를 닫고 정제기(20)의 가동을 중지시키는 과정(6과정),
을 포함하는 제어방법으로 수행하는 것을 특징으로 하는 오토 퀵 퍼징 시스템을 제공한다.
또한 본 발명은 상기의 오토 퀵 퍼징 시스템을 포함하는 글로브 박스(100)를 제공한다.
종래의 글로브 박스는 가스의 치환 시간이 장시간이 요구되어 사용자의 불편을 초래한 반면,
본 발명에 따른 오토 퀵 퍼징 시스템 및 이를 이용한 글로브 박스는 오토 퀵 퍼징 시스템(Auto Quick Purging System) 적용으로 인하여 메인챔버의 가스의 초기 치환 시간을 획기적으로 단축 시키는 효과가 있어 사용자의 편의성을 현저히 높이는 작용과 효과가 았다.
또한 본 발명에 따른 오토 퀵 퍼징 시스템 및 이를 이용한 글로브 박스는 오토 퀵 퍼징시 블로워가 가동하여 Chamber내부에 음압을 형성하고 형성된 음압에 대하여 설정 압력만큼의 가스를 밀어 넣는 작업을 자동 반복하여 설정된 수분 또는 산소까지 자동으로 치환 시켜주며 순환 블로워 또한 자동으로 가동 시켜주는 시스템으로 단시간에 가스를 배출시킬 수 있는 효과와 가스소모량을 최소화 할 수 있는 효과가 있으며 자동화된 시스템을 적용함으로서 업무의 효율성 및 편의성이 현저히 높아지는 효과가 나타난다.
도 1은 본 발명에 따른 오토 퀵 퍼징 시스템이 적용된 글로브 박스 개념도(정면도).
도 2는 본 발명에 따른 오토 퀵 퍼징 시스템이 적용된 글로브 박스 좌측면도.
도 3은 본 발명에 따른 오토 퀵 퍼징 시스템이 적용된 글로브 박스 우측면도.
도 4는 본 발명에 따른 오토 퀵 퍼징 시스템의 실행 순서도.
이하 본 발명을 도면을 참고하여 상세히 설명하고자 한다.
본 발명은 글로브 박스(100)에 적용되는 오토 퀵 퍼징 시스템(auto quick purging system)을 제공한다.
본 발명의 오토 퀵 퍼징 시스템은 글로브 박스(100)에 메인챔버(90) 내부를 불활성 가스로 채우고 수분과 산소의 농도를 사용자가 원하는 수준으로 제어할 수 있는 제어구조 또는 제어방법, 또는 이를 구현한 장치 또는 시스템을 포함하는 것을 의미한다.
또한 본 발명은 상기한 오토 퀵 퍼징 시스템을 이용한 글로브 박스(100)를 제공한다.
도 1에서 보는 것처럼, 본 발명의 글로브 박스(100)는 블로워(10), 정제기(20), 블로워 자동밸브(30), 정제기 자동밸브(40), 콘트롤 시스템(50), 수분분석기(70), 산소분석기(71), 압력센서(72), 가스 솔레노이드 밸브(80), 메인챔버(90)를 포함하여 구성되어 있다.
또한 본 발명은 배기밸브(60)를 더 포함한 글로브 박스(100)를 제공한다.
본 발명의 블로워(10)는 메인챔버(90) 내부의 기체를 외부로 배출하는 기능을 수행하는 장치 또는 수단을 의미한다.
상기한 블로워(10)는 메인챔버(90)와 흡입관(11)으로 연결되고 배출관(31)이 형성되어 있으며, 이 배출관(31)에 블로워 자동밸브(30)가 구비되어 있어 블로워(10)가 작동될 때 블로워 자동밸브(30)를 열어 글로브 박스 내부의 기체를 외부로 배출한다.
상기한 블로워(10)와 블로워 자동밸브(30)는 상기한 콘트롤 시스템(50)에 연동되어 있어서 블로워(10)와 블로워 자동밸브(30)의 작동을 콘트롤 시스템에 의하여 제어받게 된다.
본 발명의 정제기(20)는 메인챔버(90) 내부의 수분과 산소를 제거하는 기능을 수행하는 장치 또는 수단을 의미한다.
따라서 상기한 정제기(20)는 제습조(21), 산소제거조(22)가 포함되어 구성되어 있다.
도 1에서 보는 것처럼, 정제기(20)는 메인쳄버(90)과 연결된 유출관(41) 및 유입관(41-1)과 연결되어 있어서 가스를 정제기로 유입시키고 정제기에서 수분과 산소가 제거된 가스를 유입관(41-1)을 통하여 메인챔버(90)로 유입시키는 기능을 수행한다.
본 발명의 정제기 자동밸브(40)는 상기한 유출관(41) 및 유입관(41-1)에 형성되어 있는 것으로 유출관(41) 및 유입관(41-1)을 개폐를 실행하는 기능을 수행한다.
상기한 정제기(20)와 정제기 자동밸브(40)는 상기한 콘트롤 시스템(50)에 연동되어 있어서 정제기(20)와 정제기 자동밸브(40)는 작동을 콘트롤 시스템에 의하여 제어받게 된다.
본 발명의 배기밸브(60)는 불활성 가스를 챔버(90) 내부로 유입하여 치환하는 과정에서 챔버 내부의 가스를 외부로 배출할 수 있도록 하는 밸브를 의미한다.
따라서 본 발명의 오토 퀵 퍼징 시스템을 사용하지 않을 경우 수동으로 가스를 치환하는 경우 사용되는 것이 바람직하다.
본 발명의 수분분석기(70)는 메인챔버(90) 내부의 수분의 함량을 측정하는 장치 또는 수단을 의미한다.
상기한 수분분석기(70)에서 측정한 수분 데이터는 콘트롤 시스템(50)에 전송하게 된다.
본 발명의 산소분석기(71)는 메인챔버(90) 내부의 산소의 함량을 측정하는 장치 또는 수단을 의미한다.
상기한 산소분석기(71)에서 측정한 산소 데이터는 콘트롤 시스템(50)에 전송하게 된다.
본 발명의 압력센서(72)는 메인챔버(90) 내부의 압력을 측정하는 장치 또는 수단을 의미한다.
상기한 압력센서(72)에서 측정한 메인챔버(90) 내부의 압력 데이터는 콘트롤 시스템(50)에 전송하게 된다.
본 발명의 가스 솔레노이드 밸브(80)는 불활성 가스통(도면 미도시)과 연결되어 있으며 불활성 가스통으로 부터 불활성 가스가 메인챔버(90)로 유입되는 경우 열고 유입시키지 않은 경우 닫는 기능을 수행하는 밸브를 의미한다.
본 발명의 불활성 가스는 질소 또는 아르곤을 사용할 수 있다.
상기한 가스 솔레노이드 밸브(80)는 콘트롤 시스템(50)에 연동되어 개폐의 작동이 제어된다.
본 발명의 콘트롤 시스템(50)은 글로브 박스(100)의 각각의 구성을 제어하는 기능을 수행하는 장치 또는 수단을 의미한다.
따라서 상기한 콘트롤 시스템(50)은 CPU, MCU 등의 정보처리장치, 메모리, 정보입출력장치, 정보송수신장치, 제어명령장치 등의 하드웨어와 제어를 위한 응용 프로그램이 탑재되어 있다.
상기한 콘트롤 시스템(50)은 모니터부(51)가 구비되어 있어 각각의 수분 농도, 산소 농도, 압력 농도 등을 보여주게 된다.
콘트롤 시스템(50)은 상기한 수분분석기(70), 산소분석기(71), 압력센서(72)에 제공하는 정보를 이용하여 블로워(10), 정제기(20), 블로워 자동밸브(30), 정제기 자동밸브(40), 가스 솔레노이드 밸브(80)의 작동을 제어하는 기능을 수행한다.
상기한 바처럼 본 발명의 오토 퀵 퍼징 시스템은 상기한 콘트롤 시스템(50)에 의하여 글로브 박스(100)의 가스 퍼징(purging)을 수행하는 제어구조 또는 제어방법, 또는 이를 구현한 장치 또는 시스템을 포함하는 것을 의미한다.
본 발명은 블로워(10), 정제기(20), 블로워 자동밸브(30), 정제기 자동밸브(40), 콘트롤 시스템(50), 수분분석기(70), 산소분석기(71), 압력센서(72), 가스 솔레노이드 밸브(80)를 포함하여 구성된 오토 퀵 퍼징 시스템을 제공한다.
본 발명의 오토 퀵 퍼징 시스템은 아래와 같이 콘트롤 시스템(50)에서 상기한 각각의 구성에 제어 명령을 전달하여 글로브 박스(100)의 가스 퍼징(Purging, 공기배기)을 실행하게 하는 제어 방법으로 수행된다.
본 발명의 콘트롤 시스템(50)에 메인챔버(90)의 내부의 압력의 상한값(H)과 하한값(L), 내부의 수분의 농도 또는 산소의 농도, 목표 수분 농도 또는 목표 산소 농도가 설정되는 과정이 수행된다.(1과정)
상기한 압력의 상한값(H)과 하한값(L)은 사용자에 따라 자유롭게 설정될 수 있으며, 통상 상한값은 4inch H2O, 하한값은 -3inch H2O로 설정한다.
상기한 과정 후 블로워 자동밸브(30)를 열고 블로워(10)를 가동시켜서 메인챔버(90) 내부의 가스를 메인챔버(90) 내부의 압력이 상기 설정된 압력의 하한값(L)이 될때까지 배출하게 하는 과정을 수행한다.(2과정)
이와 같은 과정으로 메인챔버(90)의 내부에 음압이 형성되고 형성된 음압에 대하여 상기의 설정된 압력 만큼의 불활성 가스가 주입되는 기능이 수행된다.
상기의 과정 후 블로워 자동밸브(30)를 닫고 블로워(10)를 가동 중지시키며 가스 솔레노이드 밸브(80)를 열어 메인챔버(90) 내부에 불활성 가스를 주입하는 과정을 수행하되 메인챔버(90) 내부의 압력이 기설정된 압력의 상한값(H)이 될 때까지 불활성 가스를 주입시키는 과정을 수행한다.(3과정)
본 발명은 다시 상기한 2과정 및 3과정을 반복하여 수행하되, 메인챔버(90) 내부의 수분의 농도 또는 산소의 농도가 기설정된 수분의 농도 또는 산소의 농도에 도달할 때까지 반복되어 수행하는 과정을 수행한다.(4과정)
상기한 기설정된 수분과 산소의 농도는 콘트롤 시스템(50)에 설정되며, 통상 기설정된 수분의 농도는 200ppm 정도로 하고 산소의 농도는 사용자가 설정하는 농도를 적용할 수 있다.
메인챔버(90) 내부의 수분의 농도 또는 산소의 농도가 상기 4과정의 기설정된 농도에 도달한 경우 블로워 자동밸브(30)를 닫고 블로워(10)를 가동중지 시키며, 정제기 자동밸브(40)를 열고 정제기(20)를 가동하게 하는 과정을 수행한다.(5과정)
따라서 정제기 자동밸브(40)가 열리고 정제기(20)가 가동하게 되면 메인챔버(90) 내부의 가스를 정제기(20)에 유입시켜 수분과 산소를 제거하는 과정이 수행된다.
상기한 과정 후 메인챔버(90) 내부의 수분의 농도 또는 산소의 농도가 목표 수분 농도 또는 목표 산소 농도에 도달할 때 정제기 자동밸브(40)를 닫고 정제기(20)의 가동을 중지시키는 과정을 수행하게 한다.(6과정)
상기한 목표 농도는 메인챔버(90) 내부의 수분 또는 산소의 목표 농도를 의미하는 것으로 일반적으로 수분은 1ppm 정도로 설정하며 콘트롤 시스템(50)에 설정되며 사용자가 설정하는 농도를 적용할 수 있다.
본 발명은 상기한 기능의 제어 구조 또는 제어 방법으로 수행되는 오토 퀵 퍼징 시스템을 구현할 수 있게 된다.
본 발명의 이러한 오토 퀵 퍼징 시스템을 글로브 박스(100)에 적용하여 불활성 가스의 치환시간의 단축 및 가스의 소모량을 획기적으로 줄일 수 있는 효과가 나타난다.
본 발명의 메인챔버(90)는 방사성 물질이나 병원체 등을 사용하는 실험을 할 수 있는 공간을 의미한다.
본 발명은 상기한 구성과 기능으로 된 오토 퀵 퍼징 시스템이 포함되어 구현된 글로브 박스(100)를 제공한다.
본 발명은 글로브 박스를 생산, 제조, 판매, 유통, 연구하는 산업에 매우 유용하다.
특히 본 발명은 글로브 박스의 퍼징 시스템을 생산, 제조, 판매, 유통, 연구하는 산업에 매우 유용하다.
블로워(10), 정제기(20), 블로워 자동밸브(30), 정제기 자동밸브(40), 콘트롤 시스템(50), 배기밸브(60), 수분분석기(70), 산소분석기(71), 압력센서(72), 가스 솔레노이드 밸브(80), 메인챔버(90),
글로브 박스(100).

Claims (3)

  1. 글로브 박스의 퍼징 시스템에 있어서,
    메인챔버(90) 내부의 기체를 외부로 배출하는 기능을 수행하는 블로워(10)가 구성되되,
    상기한 블로워(10)는 메인챔버(90)와 흡입관(11)으로 연결되고 배출관(31)이 형성되어 있으며, 이 배출관(31)에 블로워 자동밸브(30)가 구비되어 있어 블로워(10)가 작동될 때 블로워 자동밸브(30)를 열어 글로브 박스 내부의 기체를 외부로 배출하고,
    메인챔버(90) 내부의 수분과 산소를 제거하는 기능을 수행하는 정제기(20)가 구성되되,
    상기한 정제기(20)는 메인쳄버(90)과 연결된 유출관(41) 및 유입관(41-1)과 연결되어 있어서 가스를 정제기로 유입시키고 정제기에서 수분과 산소가 제거된 가스를 유입관(41-1)을 통하여 메인챔버(90)로 유입시키는 기능을 수행하고,
    블로워 자동밸브(30)는 상기한 블로워(10)의 배출관(31)에 구비되어 있어 블로워(10)가 작동될 때 블로워 자동밸브(30)를 열어 글로브 박스 내부의 기체를 외부로 배출하는 기능을 수행하고,
    정제기 자동밸브(40)는 상기한 유출관(41) 및 유입관(41-1)에 형성되어 있어 유출관(41) 및 유입관(41-1)을 개폐를 실행하는 기능을 수행하고,
    콘트롤 시스템(50)은 블로워(10), 정제기(20), 블로워 자동밸브(30), 정제기 자동밸브(40), 가스 솔레노이드 밸브(80)의 작동을 제어하는 기능을 수행하고,
    수분분석기(70)는 메인챔버(90) 내부의 수분의 함량을 측정하는 콘트롤 시스템(50)에 전송하고,
    산소분석기(71)는 메인챔버(90) 내부의 산소의 함량을 측정하여 콘트롤 시스템(50)에 전송하고,
    압력센서(72)는 메인챔버(90) 내부의 압력을 측정하 콘트롤 시스템(50)에 전송하고,
    가스 솔레노이드 밸브(80)는 불활성 가스통과 연결되어 있으며 불활성 가스의 메인챔버(90)로 유입되는 경우 열고 유입시키지 않은 경우 닫는 기능을 수행하되,
    콘트롤 시스템(50)에 메인챔버(90)의 내부의 압력의 상한값(H)과 하한값(L), 내부의 수분의 농도 또는 산소의 농도, 목표 수분 농도 또는 목표 산소 농도가 설정되는 과정(1과정),
    블로워 자동밸브(30)를 열고 블로워(10)를 가동시켜서 메인챔버(90) 내부의 가스를 메인챔버(90) 내부의 압력이 상기 설정된 압력의 하한값(L)이 될때까지 배출하게 하는 과정(2과정)을 수행하여 메인챔버(90)의 내부에 음압이 형성되고 형성된 음압에 대하여 상기의 설정된 압력 만큼의 불활성 가스가 주입되게 하는 기능이 수행되고,
    블로워 자동밸브(30)를 닫고 블로워(10)를 가동 중지시키며 가스 솔레노이드 밸브(80)를 열어 메인챔버(90) 내부에 불활성 가스를 주입하는 과정을 수행하되 메인챔버(90) 내부의 압력이 기설정된 압력의 상한값(H)이 될 때까지 불활성 가스를 주입시키는 과정(3과정),
    상기한 2과정 및 3과정을 반복하여 수행하되, 메인챔버(90) 내부의 수분의 농도 또는 산소의 농도가 기설정된 수분의 농도 또는 산소의 농도에 도달할 때까지 반복되어 수행하는 과정(4과정),
    메인챔버(90) 내부의 수분의 농도 또는 산소의 농도가 상기 4과정의 기설정된 농도에 도달한 경우 블로워 자동밸브(30)를 닫고 블로워(10)를 가동중지 시키며, 정제기 자동밸브(40)를 열고 정제기(20)를 가동하게 하는 과정(5과정),
    메인챔버(90) 내부의 수분의 농도 또는 산소의 농도가 목표 수분 농도 또는 목표 산소 농도에 도달할 때 정제기 자동밸브(40)를 닫고 정제기(20)의 가동을 중지시키는 과정(6과정),
    을 포함하는 제어방법으로 수행하는 것을 특징으로 하는 오토 퀵 퍼징 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기한 정제기(20)는 제습조(21), 산소제거조(22)가 포함되어 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 오토 퀵 퍼징 시스템.
  3. 제1항 또는 제2항의 오토 퀵 퍼징 시스템을 포함하는 글로브 박스(100).
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