JPH04101414A - 高温減圧反応装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はガスを用いて加熱した基板表面で反応させる減
圧高温反応装置に関するものである。

〔従来の技術〕

一般に高温減圧反応装置は減圧ＣＶＤ装置や酸化炉等に
用いられており、第３図のように構成されている。以下
にその従来の構成を述べる。

従来、高温減圧反応装置では試料基板の搬出入の際に開
閉する扉５と、この扉５と高温減圧反応室の開口部４を
密着さぜるための０リング６が存在する。このＯリング
６は図４に示したような断面形状をしており、開口部４
に形成された凹部にはめ込まれている。

通常試料基板を加熱した高温減圧反応室１内に挿入した
後、高温減圧反応室の開口部４と扉５の間にＯリング６
をはさム　高温減圧反応室１を密閉する。次に　試料を
挿入した際に下がった炉内の温度が設定温度で安定する
まで、真空引きを二段階に分けて約１時間行う。その第
一段階はロータリーポンプ等を用いて、大口径の配管の
開閉を行なうバルブ９を閉じて口径の小さな配管の開閉
を行なうバルブ１０を開けた状態で約１０００Ｐａまで
減圧Ｌ　　第二段階はバルブ１０を閉じてバルブ９を開
けた状態で、デイフコ、−ジョンポンプ等を用いて到達
真空度まで減圧する。その後、バルブ１１を開けてガス
導入を行なう前にバルブ９とバルブ１０を閉じて炉内の
圧力を圧力センサー１２を用いて数分間モニターしてリ
ークチエツクを行し＼　高温減圧反応室の圧力が高真空
に保たれていることを確言忍する。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかＬ　前記のＯリング６と開口部４の断面が第３図に
示したような形状であるため、前記のＯリング６が扉５
と癒着した場合（友　扉５を開ける際にＯリング６が開
口部４から外れてしま℃＼　高温減圧反応室１を密閉す
ることができない。またこの他にも予期しない原因で高
温減圧反応室１が密閉されないことも多々ある。このよ
うに完全に密閉されていない状態において真空引きを行
なった場合、減圧中にこの部分から大気がそのまま減圧
反応室１中に流れ込へ　真空引きを数十分間行った後、
　リークチエツクを行なうまでトラブルを発見できない
という問題がおこる。

その被害として、外部から流れ込んだ大気か高温減圧反
応室１内で加熱され　これが排気配管８を高温に加熱す
ることや、高温減圧反応室１内にダストが増加すること
や、また真空排気ポンプ７が異常高温になり回転に支障
をきたすこと等がある。また　リークチエツクに用いら
れる圧力センサー１２は通常数十塵の低温で使用してい
る力＜、２００℃以上の高温ではその測定値には信頼性
がなく、特に加熱された排気配管８に圧力センサー１２
のケーブルが接触している場合は上記ケーブルの被覆か
溶解し　短絡する。このため正確な圧力の情報が制御系
に伝送されなくなり、ガス導入前のリークチエツクでも
発見することができないため危険なガスを導入すること
になり、大きな事故につながる可能性が犬である。

本発明はかかる点に鑑へ　反応室と開口部の扉をＯリン
グを用いて密着させリークしないようにし　またリーク
がおっこた場合でも温度センサーを取り付けることによ
りいち早く反応室のリークを発見し　より安全な高温減
圧反応装置を提供することを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

本発明（友　上記課題を解決するため置　排気ガス導出
口と、高温減圧反応室に隣接する真空ポンプとを連結す
る排気配管内に温度センサーを設置し　このセンサーの
出力を高温減圧反応装置にフィードバックすることによ
り、高温減圧反応室が密閉されず減圧された場合にリー
クを発見し　原料ガスの導入を停止し　真空排気ポンプ
による排気を停止することを特徴とする高温減圧反応装
置である。

また　高温減圧反応室の開口部とＯリングの形状に関す
る本発明はこのような問題を解決するため置　扉と高温
減圧反応室とを密着させるＯリングが高温減圧反応室の
開口部と嵌合する突起部を備えたことを特徴とする高温
減圧装置である。

〔イ乍用〕

本発明は高温減圧反応室の開口部とＯリングのそれぞれ
の形状を、嵌合させることにより予期せぬ原因により高
温減圧反応室が密閉されないことを防ぐことができるも
のである。また従来の装置の排気ダクト内部に温度セン
サーをつけた構成により、予期しない原因により高温減
圧反応室が密閉されず減圧された場合でも、排気配管が
高温に加熱される前に異常を発見し　事故を未然に防ぐ
ものである。

〔実施例〕

以下温度センサーに関する本発明の一実施例を第１図を
参照して説明する。第１図に示すように高温減圧反応室
１（戴　反応ガス導入口２と導出口３を有し　試料基板
の出入口である開口部４と、これを密閉することを目的
とする扉５、Ｏリング６から構成されている。

上記高温減圧反応室１に隣接する真空ポンプ７（よ　排
気ガス導出口３と排気配管８により連結されている。上
記排気配管８の内部（へ　新たに温度センサー１３を設
置し　上記温度センサー１３の出力をモニター１．、、
高温減圧反応装置に電気的にフィードバックする。以上
の構成により、高温減圧反応室１が密閉されずに真空引
きした場合、炉内で加熱された大気が排気配管８に流れ
込むた八　温度センサー１３がこの温度を感知してリー
クを知ら＋ｉ（バルブＣ１１，バルブＡ９．バルブＢＩ
Ｏを閉改ただちに真空引きを中止する事が可能となり、
装置を安全に作動させることかできる。第５図には高温
減圧反応装置の簡単な動作のフローチャートと第６図に
はこの一例として正常時と異常時の高温減圧反応室内の
圧力と排気配管内の温度変化を示しｔミ　したがって従
来では真空ゲージのケーブル力文　加熱された排気配管
８に接触して短絡する可能性があった場合で級　本発明
実施後（よ　排気配管８が高温に加熱される前に真空引
きを中止し原因を発見して改善することができるた八　
大きな被害を防止することができる。

以上のように　本発明の実施例によれば　温度センサー
１３により排気配管内の温度を測定し　その温度が設定
値を越える場合はバルブ９．バルブＩＱ、　　バルブ１
１の開閉を制御して、予期せぬトラブルを未然に防ぐこ
とができ、安全に装置を稼働させることができへ 次に高温減圧反応室の開口部とＯリングの形状に関する
本発明の実施例を示す。第２図にはＯリング６および高
温減圧反応室開口部４の断面図を示した　第２図（ａ）
においてＯリング６の突起部は　高温減圧反応室の開口
部４内に入り込んでおり、扉５とＯリング６が癒着した
程度では容易に外れない。また第２図（ｂ　）（ｃ　）
（ｄ　）に示した他の実施例も（ａ）と同様の効果を持
つ。

また高温減圧反応室の開口部とＯリングの形状に関する
木実施例によれ（瓜　Ｏリング６を突起部を持った形状
にし　高温減圧反応室１の開口部４と勘合させれは　扉
５とＯリング６が癒着した程度では外れないようにする
ことができへ〔発明の効果〕 以上の説明から明らかなよう（ζ　本発明により高温減
圧反応装置の高温減圧反応室内文　密閉されずに真空引
きを行うのを未然に防ぐことができ、予期しない原因に
より排気配管が加熱された場合にＬ　安全に装置を稼働
することができるので、その効果は大きい。

【図面の簡単な説明】

第１図（よ　温度センサーに関する本発明の一実施例を
示す概略図　第２図は高温減圧反応室の開口部とＯリン
グに関する本発明の実施例を示す断面諷　第３図は高温
減圧反応装置の従来例を示す概略図　第４図は高温減圧
反応室の開口部とＯリングの従来例を示す断面図　第５
図（よ　高温減圧反応装置の簡単な動作のフローチャー
ト、第６口振（ａ）（ｂ）は本発明実施後における正常
時（実線）と異常時（破線）の減圧反応室内の圧力変化
（ａ）と排気配管内の温度変化（ｂ）をそれぞれ示して
いる。 １・・・高温減圧反応室　２・・・反応ガス導入口、３
・・・反応ガス導出ｌ　４・・・開口部　５・・・服　
６・・・０リンク″、　７・・・真空ボン’ニア８・・
・排気配管、９・・・バルブＡ１１０・・・バルブＢ、
１１・・・バルブＣ１１２・・・圧力センサー、１３・
・・温度センサー。 代理人の氏名　弁理士　粟野重孝　はか１名ｑ− （のフ応器内の万力の友卜時変 （ｂ）主ル気タ外内の旬の餐迦台変化 時間（分） 吟Ｍ１（分）

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）ガス流量制御器を持つ原料ガス導入口と排気ガス
   の排出口と開口部と加熱器を有する高温減圧反応室に、
   制御装置と、前記高温減圧反応室と真空排気ポンプとを
   接続する排気配管と、前記高温減圧反応室の開口部を密
   閉する扉とを備え、前記排気配管内部に温度測定手段を
   有し、前記温度測定手段の出力を前記制御装置に帰還す
   ることを特徴とする高温減圧反応装置。
2. （２）前記温度測定手段の出力と前記ガス流量制御器と
   を連動させ、前記温度測定手段で測定される温度が設定
   された温度以上に加熱された場合は、前記原料ガス導入
   口から流入する原料ガスを停止し、前記真空排気ポンプ
   による排気を停止することを特徴とする特許請求の範囲
   第１項記載の高温減圧反応装置。
3. （３）開口部と、前記開口部を密閉する扉と、前記扉と
   前記開口部を密着させるＯリングを有する高温減圧反応
   室において、前記Ｏリングが突起部を有し、前記Ｏリン
   グの突起部が前記開口部と嵌合する形状であることを特
   徴とする高温減圧反応装置。