JP2011155047A - 熱処理装置及びその運転方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】処理ガスを導入して熱処理を行うためのプロセスチャンバを備えた熱処理装置において、プロセスチャンバ1内の気体を排気して減圧した状態でプロセスチャンバを封止し、封止されたプロセスチャンバ内の圧力の時間的変化を所定の閾値と比較するリークチェックを熱処理の実行毎に前もって行う制御装置6を具備する。前記時間的変化が閾値より大きいときは熱処理中止とする。
【選択図】図1
Description
かかる従来の問題点に鑑み、本発明は、熱処理装置のプロセスチャンバに関してリークの可能性のある状態を早期に、かつ、確実に発見することを目的とする。
前記プロセスチャンバ内の気体を排気して減圧した状態で前記プロセスチャンバを封止し、封止された前記プロセスチャンバ内の圧力の時間的変化を所定の閾値と比較するリークチェックを、熱処理の実行毎に前もって行い、前記時間的変化が前記閾値より小さいときは熱処理を実行し、逆に、前記閾値より大きいときは熱処理を中止する、というものである。
上記のガス供給管4、ガス供給弁5、排気管8、封止弁9及び真空ポンプ10は、プロセスチャンバ1の封止、排気、及び、ガス導入の機能を備えた給排装置20を構成している。
ガス供給弁5 ・・・・ 閉
封止弁9 ・・・・・・ 開
真空ポンプ10 ・・・ 運転
ガス供給弁5 ・・・・ 閉
封止弁9 ・・・・・・ 閉
真空ポンプ10 ・・・ 運転又は停止
一方、リークレートRが、閾値Rth以上であるときは、制御装置6はガスを導入することなく、アラーム出力を行い(ステップS8)、リーク状態であることを操作者に知らせる。従って、この場合は、熱処理中止である。
6 制御装置
7 圧力計
20 給排装置
100 熱処理装置
Claims (2)
- 処理ガスを導入して熱処理を行うためのプロセスチャンバと、
前記プロセスチャンバの封止、排気、及び、ガス導入の機能を備えた給排装置と、
前記プロセスチャンバ内の圧力を検出して出力する圧力計と、
前記給排装置を動作させることにより、前記プロセスチャンバの排気による減圧及び封止をした状態で前記圧力計が検出する圧力の時間的変化を所定の閾値と比較するリークチェックを、熱処理の実行毎に前もって行う制御装置と
を備えたことを特徴とする熱処理装置。 - 処理ガスを導入して熱処理を行うためのプロセスチャンバを備えた熱処理装置の運転方法であって、
前記プロセスチャンバ内の気体を排気して減圧した状態で前記プロセスチャンバを封止し、
封止された前記プロセスチャンバ内の圧力の時間的変化を所定の閾値と比較するリークチェックを、熱処理の実行毎に前もって行い、
前記時間的変化が前記閾値より小さいときは熱処理を実行し、逆に、前記閾値より大きいときは熱処理を中止する
ことを特徴とする熱処理装置の運転方法。
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JP2010014214A JP2011155047A (ja) | 2010-01-26 | 2010-01-26 | 熱処理装置及びその運転方法 |
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2010
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