KR940006184A - 감압처리장치 및 감압처리방법 - Google Patents

감압처리장치 및 감압처리방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 감압처리장치는 감압분위기에서 피처리체에 소정의 처리를 실시하기 위한 처리용기와, 상대적으로 큰 배기력을 갖는 주배기계 및 상대적으로 작은 배기력의 부배기계를 갖고, 상기 처리용기내를 배기하기 위한 배기기구와, 부배기계에 의한 배기시의 상기 처리용기내의 산소가스농도를 검출하기 위한 산소가스 농도 센서를 갖는다. 그리고 처리용기내를 상대적으로 작은 배기력으로 배기하는 동안에 처리용기내의 산소가스농도를 검출하고, 이 검출치가 일정시간내에 소정치이하로 되었는지의 여부를 확인하므로서 누설유무를 판정하고, 누설없음이라고 판정된 경우에 상기 처리용기내를 상대적으로 큰 배기력으로 배기하고, 누설있음이라고 판정된 경우에 배기를 중단하여 필요한 처치를 실시하고, 처리용기내가 원하는 감압상태가 되었을 때, 그 안에서 피처리체에 소정의 처리를 실시하는 것이다..

Description

감압처리장치 및 감압처리방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 한 형태에 관한 감압처리장치률 도시하는 단면도,
제2도는 제1도의 장치에 있어서 배기시의 처리용기내 압력의 시간경과변화를 도시하는 도면.
제3도 내지 제7도는 본 발명의 다른 ㄴ형태에 관한 감입처리장치의 배기계를 도시하는 도면.

Claims (14)

  1. 감압분위기에서 피처리체에 소정의 처리를 실시하기 위한 처리용기(1)와, 상대적으로 큰 배기력을 갖는 주배기계 및 상대적으로 작은 배기력으로 부배기계를 갖고, 상기 처리용기(1)내를 배기하기 위한 배기수단과, 부배기계에 의한 배기시의 상기 처리용기 내의 산소가스농도 또는 산소가스분압을 검출하기 위한 검출수단과를 구비한 것을 특징으로 하는 감압처리장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 검출수단은 산소가스농도센서(39)를 갖고 있는 것을 특징으로 하는 감압처리장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 검출수단은 질량분석계(42)를 갖고 있는 것을 특징으로 하는 감압처리장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 처리용기(1)내의 압력을 검출하기 위한 압력검출수단을 갖고 있는 것을 특징으로 하는 감압처리장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 처리용기(1)내에 상기 피처리체에 대하여 소정의 처리를 실시하기 위한 처리가스를 도입하는 가스도입수단을 갖고 있는 것을 특징으로 하는 감압처리장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 처리용기(1)내를 가스퍼지하기 위한 퍼지수단을 갖고 있는 것을 특징으로 하는 감압처리장치.
  7. 제5항에 있어서, 상기 처리가스에 의해 상기 피처리체표면에 CVD막이 형성되는 것을 특징으로 하는 감압처리장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 피처리체는 반도체 웨이퍼(W)인 것을 특징으로 하는 감압처리장치.
  9. 제1항에 있어서, 상기 주배기계는 상기 처리용기(1)에 연속하는 주배기로와, 이 주배기로 설치되고, 이것을 개폐하는 메인밸브(36)와, 주배기로를 통하여 상기 처리용기(1)내를 배기하는 진공펌프(61)를 갖고 있는 것을 특징으로 하는 감압처리장치.
  10. 제1항에 있어서, 상기 부배기계는 상기 주배기로에 병렬로 접속된 제1의 부배기로 및 제2부배기로와, 이들 제 1및 제2의 부배기로에 각각 설치되고, 이들을 개폐하는 제1및 제2의 서브밸브(37,40)와, 제1부배기로에 설치되고, 배기량을 조절하기 위한 니들밸브(38)와, 제1부배기로 또는 제2부배기로를 통하여 상기 처리용기 (1)낼를 배기하는 진공펌프(61)를 갖고, 상기 검출수단은 상기 제1의 부배기로에 설치되는 것을 특징으로 하는 감압처리 장치.
  11. 제1항에 있어서, 상기 부배기계는 상기 주배기로에 병렬로 접속된 부배기로와, 이 부배기로에 설치되고, 이것을 개폐하기 위한 서브밸브(52)와, 부배기로를 통하여 상기 처리용기(1)내를 배기하는 진공펌프(61)를 갖고, 상기 검출수단은 상기 부배기로에 설치되는 것을 특징으로 하는 감압처리장치.
  12. 처리용기 (1)내를 감압분위기로 하여 피처리체를 처리하는 감압처리방법에 있어서, 처리용기 (1)내를 상대적으로 작은 배기력으로 배기하는 공정과, 이 작은 배기력으로 배기하고 있는 동안에 처리용기 내의 산소가스농도 또는 산소가스분압을 검출하는 공정과, 상기 검출치가 일정시간내에 소정치이하로 되었는지의 여부를 확인하므로서 누설유무를 판정하는 공정과, 누설없음이라고 판정된 경우에 상기 처리용기 (1)내를 상대적으로 큰 배기력으로 배기하는 공정과, 누설있음이라고 판정된 경우에 배기를 중단하여 필요한 처리를 실시하는 공정과, 상기 처리용기(1) 내가 원하는 감압상태로 되었을때, 그 중에서 피처리체에 소정의 처리를 실시하는 공정과를 구비하는 것을 특징으로 하는 감압처리방법.
  13. 제12항에 있어서, 누설있음이라고 판정된 경우에 상기 배기를 중단하여 처리용기내를 가스퍼지하고, 누설 장소의 수리를 실시하는 것을 특징으로 하는 감압처리방법.
  14. 제12항에 있어서, 상기 처리는 감압 CVD처리인 것을 특징으로 하는 감압처리방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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