JPH0449613A - Ｘ線露光装置 - Google Patents
Ｘ線露光装置Info
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- JPH0449613A JPH0449613A JP2158692A JP15869290A JPH0449613A JP H0449613 A JPH0449613 A JP H0449613A JP 2158692 A JP2158692 A JP 2158692A JP 15869290 A JP15869290 A JP 15869290A JP H0449613 A JPH0449613 A JP H0449613A
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/70808—Construction details, e.g. housing, load-lock, seals or windows for passing light in or out of apparatus
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- G03F7/70858—Environment aspects, e.g. pressure of beam-path gas, temperature
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は露光装置に関し、特に、シンクロトロン放射光
（以下、ＳＯＲ光と称す）を用いて露光が行なわれるＸ
線露光装置に関する。
（以下、ＳＯＲ光と称す）を用いて露光が行なわれるＸ
線露光装置に関する。
ＳＯＲ光によって露光が行なわれるｘｗＡ′Ｂ光装置は
、ＳＯＲ光を発生するシンクロトロン放射光装置に対し
て、マスクやウェハ等を収容する露光チャンバが複数設
けられる。各露光チャンバはビームラインをそれぞれ介
して、超高真空状態に置かれるシンクロトロン放射光装
置と接続される。露光チャンバ内に収容されるウェハは
、ビームラインを通り、マスクによって部分的に遮光さ
れたＳＯＲ光によって露光される。この露光時において
、マスクにはＳＯＲ光が照射されることによる発熱が生
じるため、露光チャンバ内は必要な熱伝導が生じる程度
に減圧された気体雰囲気中に置かれる。シンクロトロン
放射光装置は上述したように超高真空状態に置かれてお
り、シンクロトロン放射光装置および露光チャンバの各
圧力状態はビームライン中に設けられる窓材により保た
れる。
、ＳＯＲ光を発生するシンクロトロン放射光装置に対し
て、マスクやウェハ等を収容する露光チャンバが複数設
けられる。各露光チャンバはビームラインをそれぞれ介
して、超高真空状態に置かれるシンクロトロン放射光装
置と接続される。露光チャンバ内に収容されるウェハは
、ビームラインを通り、マスクによって部分的に遮光さ
れたＳＯＲ光によって露光される。この露光時において
、マスクにはＳＯＲ光が照射されることによる発熱が生
じるため、露光チャンバ内は必要な熱伝導が生じる程度
に減圧された気体雰囲気中に置かれる。シンクロトロン
放射光装置は上述したように超高真空状態に置かれてお
り、シンクロトロン放射光装置および露光チャンバの各
圧力状態はビームライン中に設けられる窓材により保た
れる。
上述のように構成されたｘ１１！露光装置においては、
ビームラインにリークが生じたときや露光チャンバにリ
ークが生じて窓材が破損してしまった場合にはシンクロ
トロン放射光装置に大気が侵入してしまう危険性がある
。この場合、同じシンクロトロン放射光装置を光源とす
る他の露光チャンバの露光動作も停止させる必要がある
。
ビームラインにリークが生じたときや露光チャンバにリ
ークが生じて窓材が破損してしまった場合にはシンクロ
トロン放射光装置に大気が侵入してしまう危険性がある
。この場合、同じシンクロトロン放射光装置を光源とす
る他の露光チャンバの露光動作も停止させる必要がある
。
−Ｆ記のようなリークが生じたときに、シンクロトロン
放射光装置に大気が侵入することを防ぐ従来のものとし
て特開昭６４−６１７００号公報に記載された第５図に
示されるようなものがある。
放射光装置に大気が侵入することを防ぐ従来のものとし
て特開昭６４−６１７００号公報に記載された第５図に
示されるようなものがある。
シンクロトロン放射光装置（不図示）にて発生するＳＯ
Ｒ光５０１は、ビームライン５０３ｇよび窓材５０７を
通って露光チャンバ５１３内のマスク５１２およびウェ
ハ５１１を照射する。
Ｒ光５０１は、ビームライン５０３ｇよび窓材５０７を
通って露光チャンバ５１３内のマスク５１２およびウェ
ハ５１１を照射する。
ビームライン５０３には、真空リークにより発生する衝
撃波の進行を遅らせるための衝撃波遅延管５０４および
ＳＯＲ光５０１を拡げるためのミラーチャンバ５０５が
径路中に順に設けられ、ミラーチャンバ５０５と窓材５
０７どの間には圧力センサ５０６が、また、シンクロト
ロン放射光装置と衝撃波遅延管５０４との間には圧力セ
ンサ５０６の検出状態に応じて動作する緊急遮断弁５０
２が設けられている。露光チャンバ５１３に収容される
マスク５１５およびウェハ５１１は、マスク予備室５１
６内に収容されるマスク５１５およびウェハ予備室５０
９内に収容されるウェハ５１１とゲート弁５１４および
ゲート弁５１０をそれぞれ介して交換される。該交換動
作は各予備室の状態を露光チャンバ５１３内と同様の雰
囲気とした、いわゆるロードロックされた状態で行なわ
れる。
撃波の進行を遅らせるための衝撃波遅延管５０４および
ＳＯＲ光５０１を拡げるためのミラーチャンバ５０５が
径路中に順に設けられ、ミラーチャンバ５０５と窓材５
０７どの間には圧力センサ５０６が、また、シンクロト
ロン放射光装置と衝撃波遅延管５０４との間には圧力セ
ンサ５０６の検出状態に応じて動作する緊急遮断弁５０
２が設けられている。露光チャンバ５１３に収容される
マスク５１５およびウェハ５１１は、マスク予備室５１
６内に収容されるマスク５１５およびウェハ予備室５０
９内に収容されるウェハ５１１とゲート弁５１４および
ゲート弁５１０をそれぞれ介して交換される。該交換動
作は各予備室の状態を露光チャンバ５１３内と同様の雰
囲気とした、いわゆるロードロックされた状態で行なわ
れる。
ビームライン５０３にリークが生じたときや露光チャン
バ５１３にリークが生じて窓材が破損したときは、これ
に伴なって圧力センサ５０６の検出圧力が上昇してリー
クが検出され、緊急遮断弁５０２が閉じられてシンクロ
トロン放射光発生装置に大気が侵入することが防止され
る。このリークの検出が、同じジンクロン放射光装置を
光源として使用する他の露光装置に通報されるものもあ
る。
バ５１３にリークが生じて窓材が破損したときは、これ
に伴なって圧力センサ５０６の検出圧力が上昇してリー
クが検出され、緊急遮断弁５０２が閉じられてシンクロ
トロン放射光発生装置に大気が侵入することが防止され
る。このリークの検出が、同じジンクロン放射光装置を
光源として使用する他の露光装置に通報されるものもあ
る。
、ト述した従来のＸ線露光装置においては、緊急遮断バ
ルブおよび圧力センサのいずれもが窓材よリジンクロト
ロン放射光装置側（上流側）に設けられている。したが
って、露光チャンバにリークが発生したことは窓材に破
損が生じた後に検出されることになる。また、ビームラ
イン中にリークが発生したときには、緊急遮断バルブが
閉められるが、窓材に加わる圧力はさらに増加するため
、やはり破損してしまう。破損した窓材の破片は露光チ
ャンバおよびビームライン中に飛散してしまうため、回
復処理に大変手間がかかり、露光動作再開までの時間も
長くかかるという問題点がある。
ルブおよび圧力センサのいずれもが窓材よリジンクロト
ロン放射光装置側（上流側）に設けられている。したが
って、露光チャンバにリークが発生したことは窓材に破
損が生じた後に検出されることになる。また、ビームラ
イン中にリークが発生したときには、緊急遮断バルブが
閉められるが、窓材に加わる圧力はさらに増加するため
、やはり破損してしまう。破損した窓材の破片は露光チ
ャンバおよびビームライン中に飛散してしまうため、回
復処理に大変手間がかかり、露光動作再開までの時間も
長くかかるという問題点がある。
本発明はＬ記従来技術が有する問題点に鑑みてなされた
もので、リークが発生した場合のシンクロトロン放射光
装置の保護を、窓材に破損が生じることなく行なうこと
ができ、信頼性および安全性の高いＸ線露光装置を実現
することを目的とする。
もので、リークが発生した場合のシンクロトロン放射光
装置の保護を、窓材に破損が生じることなく行なうこと
ができ、信頼性および安全性の高いＸ線露光装置を実現
することを目的とする。
本発明のＸ線露光装置は、
シンクロトロン放射光を発生するシンクロトロン放射光
装置と、 前記シンクロトロン放射光装置とビームラインをそれぞ
れ介して接続される複数の露光チャンバにより構成され
、 前記ビームライン中に設けられた窓材を介して入射され
るシンクロトロン放射光により露光処理が行なわわるｘ
Ｉ！露光装置において、前記窓材とシンクロトロン放射
光装置との間のビームラインに設けられた遮断弁と、 前記ビームライン中の、前記窓材と遮断弁の間の部分と
、前記窓材と露光チャンバの間の部分とを連通弁を介し
て連通させるバイパスと、前記ビームライン中の前記窓
材と遮断弁の間の部分の真空排気をポンプ弁を介して行
なう真空ポンプと、 前記ビームライン中の前記窓材と遮断弁の間の部分に設
けられた第１の圧力検知手段と、前記露光チャンバ内の
圧力を検出するために露光チャンバに設けられた第２の
圧力検知手段と、 前記ビームライン中の前記遮断弁とシンクロトロン放射
光装置との間に設けられた第３の圧力検知手段と、 前記第１乃至第３の圧力検知手段の各検出圧力に応じて
前記遮断弁、連通弁およびポンプ弁の開閉動作を制御す
る制御手段とが各露光チャンバおよび各ビームライン毎
に設けられており、前記制御装置は、露光動作時には前
記第１乃至第３の圧力検知手段の各検出圧力が、各圧力
検知手段のそれぞれに対して予め定められた所定の圧力
よりも低いものである場合には、前記遮断弁およびポン
プ弁を開状態、前記連通弁を閉状態とし、第１および第
２の圧力検知手段の検出圧力が該第１および第２の圧力
検知手段のそれぞれに対して予め定められた所定の圧力
を超えたときには前記遮断弁およびポンプ弁を閉状態と
した後に前記連通弁を開状態とし、第３の圧力検知手段
の検出圧力が該第３の圧力検知手段に対して予め定めら
れた所定の圧力を超えたときには、前記遮断弁を閉状態
とし、他の制御装置に対して通報を行なう。
装置と、 前記シンクロトロン放射光装置とビームラインをそれぞ
れ介して接続される複数の露光チャンバにより構成され
、 前記ビームライン中に設けられた窓材を介して入射され
るシンクロトロン放射光により露光処理が行なわわるｘ
Ｉ！露光装置において、前記窓材とシンクロトロン放射
光装置との間のビームラインに設けられた遮断弁と、 前記ビームライン中の、前記窓材と遮断弁の間の部分と
、前記窓材と露光チャンバの間の部分とを連通弁を介し
て連通させるバイパスと、前記ビームライン中の前記窓
材と遮断弁の間の部分の真空排気をポンプ弁を介して行
なう真空ポンプと、 前記ビームライン中の前記窓材と遮断弁の間の部分に設
けられた第１の圧力検知手段と、前記露光チャンバ内の
圧力を検出するために露光チャンバに設けられた第２の
圧力検知手段と、 前記ビームライン中の前記遮断弁とシンクロトロン放射
光装置との間に設けられた第３の圧力検知手段と、 前記第１乃至第３の圧力検知手段の各検出圧力に応じて
前記遮断弁、連通弁およびポンプ弁の開閉動作を制御す
る制御手段とが各露光チャンバおよび各ビームライン毎
に設けられており、前記制御装置は、露光動作時には前
記第１乃至第３の圧力検知手段の各検出圧力が、各圧力
検知手段のそれぞれに対して予め定められた所定の圧力
よりも低いものである場合には、前記遮断弁およびポン
プ弁を開状態、前記連通弁を閉状態とし、第１および第
２の圧力検知手段の検出圧力が該第１および第２の圧力
検知手段のそれぞれに対して予め定められた所定の圧力
を超えたときには前記遮断弁およびポンプ弁を閉状態と
した後に前記連通弁を開状態とし、第３の圧力検知手段
の検出圧力が該第３の圧力検知手段に対して予め定めら
れた所定の圧力を超えたときには、前記遮断弁を閉状態
とし、他の制御装置に対して通報を行なう。
この場合、窓材とシンクロトロン放射光装置との間のビ
ームラインに設けられた遮断弁と同様にその開閉状態が
制御される第２の遮断弁を、窓材と露光チャンバとの間
のビームラインに設けてもよい。
ームラインに設けられた遮断弁と同様にその開閉状態が
制御される第２の遮断弁を、窓材と露光チャンバとの間
のビームラインに設けてもよい。
露光動作時に、遮断弁と露光チャンバとの間のビームラ
インにリークが生じた場合には、第１および第２の圧力
検知手段のいずれかの検出圧力が−Ｆ昇するため、遮断
弁とポンプ弁とが閉じられた後に連通弁が開けられる。
インにリークが生じた場合には、第１および第２の圧力
検知手段のいずれかの検出圧力が−Ｆ昇するため、遮断
弁とポンプ弁とが閉じられた後に連通弁が開けられる。
連通弁が開けられる前に遮断弁が閉じられるため、露光
チャンバ内の気体がシンクロトロン放射光装置に侵入す
ることはない。この連通弁が開けられることにより窓材
に圧力が加わらなくなるため、窓材に破損が生じること
がなくなる。遮断弁とシンクロトロン放射光装置との間
のビームラインにリークが生じた場合には、第３の圧力
検知手段の検出圧力が上昇するため、１断弁が閉じられ
た後に他の制御装置に対して通報がなされる。遮断弁が
閉じられることにより窓材に加わる圧力は上昇すること
なく、一定に保たれるので、窓材の破損を防止すること
ができる。このとき、他のビームラインおよび露光チャ
ンバに設けられた制御装置に対して通報がなされるが、
通報を受けた制御装置が遮断弁を閉じることなどにより
それぞれが制御するビームラインおよび露光チャンバの
保護を行なうことが可能となる。
チャンバ内の気体がシンクロトロン放射光装置に侵入す
ることはない。この連通弁が開けられることにより窓材
に圧力が加わらなくなるため、窓材に破損が生じること
がなくなる。遮断弁とシンクロトロン放射光装置との間
のビームラインにリークが生じた場合には、第３の圧力
検知手段の検出圧力が上昇するため、１断弁が閉じられ
た後に他の制御装置に対して通報がなされる。遮断弁が
閉じられることにより窓材に加わる圧力は上昇すること
なく、一定に保たれるので、窓材の破損を防止すること
ができる。このとき、他のビームラインおよび露光チャ
ンバに設けられた制御装置に対して通報がなされるが、
通報を受けた制御装置が遮断弁を閉じることなどにより
それぞれが制御するビームラインおよび露光チャンバの
保護を行なうことが可能となる。
また、窓材および遮断弁の間の真空排気を行なうための
真空ポンプが設けられている。露光動作を再開するとき
には、連通弁を閉じた後にポンプ弁を開けて窓材と遮断
弁との間に侵入した露光チャンバ内の気体を真空排気し
、この後に遮断弁を開けることにより遮断弁を閉じたと
きと同様にシンクロトロン放射光装置に露光チャンバ内
の気体が侵入することを防ぐことができる。
真空ポンプが設けられている。露光動作を再開するとき
には、連通弁を閉じた後にポンプ弁を開けて窓材と遮断
弁との間に侵入した露光チャンバ内の気体を真空排気し
、この後に遮断弁を開けることにより遮断弁を閉じたと
きと同様にシンクロトロン放射光装置に露光チャンバ内
の気体が侵入することを防ぐことができる。
第２の遮断弁を設けた場合、該第２の遮断弁と、遮断弁
との間にリークが生じたときに露光チャンバ内の雰囲気
を保ちつつ窓材の保護を行なうことができる。
との間にリークが生じたときに露光チャンバ内の雰囲気
を保ちつつ窓材の保護を行なうことができる。
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
。
第１図（ａ）は本発明の第１の実施例の構成を示す図で
ある。
ある。
本実施例には、１つのシンクロトロン放射光装置を用い
て露光を行なう２つの露光装置が示されている。各露光
装置は同様に構成されているので、同一のものには同一
符号の後にＡ、Ｂをそれぞれ付し、説明はＡが付された
ものについてのみ行なう。
て露光を行なう２つの露光装置が示されている。各露光
装置は同様に構成されているので、同一のものには同一
符号の後にＡ、Ｂをそれぞれ付し、説明はＡが付された
ものについてのみ行なう。
本実施例のビームライン１２５Ａには、シンクロトロン
放射光装置と露光チャンバ１１９Ａとの間に、緊急遮断
弁１０３Ａ、衝撃波遅延管１０４Ａ、ミラーチャンバ１
０５Ａ、遮断弁１０８Ａおよび窓材１１４Ａが順に設け
られ、また、遮断弁１０８Ａと窓材１１４Ａとの間の部
位と露光チャンバ１１９Ａとを連通弁１１１Ａを介して
連通ずるバイパス１１２Ａと、遮断弁１０８Ａと窓材１
１４Ａとの間の部位を開閉弁であるポンプ弁１０９Ａを
介して真空排気する真空ポンプ１１０Ａが設けられＣい
る。ビームライン１２５Ａや露光チャンバ１１９Ａには
、この他にも真空を維持、管理するための真空ポンプや
開閉弁が設けられるが、ここでは、本実施例の説明に必
要なもののみを示す。
放射光装置と露光チャンバ１１９Ａとの間に、緊急遮断
弁１０３Ａ、衝撃波遅延管１０４Ａ、ミラーチャンバ１
０５Ａ、遮断弁１０８Ａおよび窓材１１４Ａが順に設け
られ、また、遮断弁１０８Ａと窓材１１４Ａとの間の部
位と露光チャンバ１１９Ａとを連通弁１１１Ａを介して
連通ずるバイパス１１２Ａと、遮断弁１０８Ａと窓材１
１４Ａとの間の部位を開閉弁であるポンプ弁１０９Ａを
介して真空排気する真空ポンプ１１０Ａが設けられＣい
る。ビームライン１２５Ａや露光チャンバ１１９Ａには
、この他にも真空を維持、管理するための真空ポンプや
開閉弁が設けられるが、ここでは、本実施例の説明に必
要なもののみを示す。
上記のように構成されたビームライン１２５Ａには各部
の圧力を検出するための５個の圧力センサ１０２Ａ、１
０６Ａ、１０７Ａ、１１３Ａおよび１１５Ａが設けられ
ている。圧力センサ１０２Ａはシンクロトロン放射光装
置と緊急遮断弁１０３Ａとの間に設けられ、圧力センサ
１０６Ａ、１０７Ａは、緊急遮断弁１０３Ａと遮断弁１
０８Ａとの間に設けられている。このうち、圧力センサ
１０６Ａはミラーチャンバ１０５Ａにて生じたリークを
速やかに検出するためにミラーチャンバ１０５Ａ内に取
付けられている。圧力センサ１１３Ａは遮断弁１０８Ａ
と窓材１１４Ａとの間に設けられ、圧力センサ１１５Ａ
は露光チャンバ１１９Ａ側に設けられている。この圧力
センサ１１５Ａは露光チャンバ１１９Ａ内の圧力を検出
するものであるため、露光チャンバ１１９Ａ内に設けて
もよい。
の圧力を検出するための５個の圧力センサ１０２Ａ、１
０６Ａ、１０７Ａ、１１３Ａおよび１１５Ａが設けられ
ている。圧力センサ１０２Ａはシンクロトロン放射光装
置と緊急遮断弁１０３Ａとの間に設けられ、圧力センサ
１０６Ａ、１０７Ａは、緊急遮断弁１０３Ａと遮断弁１
０８Ａとの間に設けられている。このうち、圧力センサ
１０６Ａはミラーチャンバ１０５Ａにて生じたリークを
速やかに検出するためにミラーチャンバ１０５Ａ内に取
付けられている。圧力センサ１１３Ａは遮断弁１０８Ａ
と窓材１１４Ａとの間に設けられ、圧力センサ１１５Ａ
は露光チャンバ１１９Ａ側に設けられている。この圧力
センサ１１５Ａは露光チャンバ１１９Ａ内の圧力を検出
するものであるため、露光チャンバ１１９Ａ内に設けて
もよい。
このように本実施例においては第１．第２の圧力検知手
段として圧力センサ１１５Ａ、１１３Ａがそれぞれ用い
られ、第３の圧力検知手段として３個の圧力センサ１０
２Ａ、１０６Ａおよび１０７Ａが用いられている。
段として圧力センサ１１５Ａ、１１３Ａがそれぞれ用い
られ、第３の圧力検知手段として３個の圧力センサ１０
２Ａ、１０６Ａおよび１０７Ａが用いられている。
露光チャンバ１１９Ａ内に収容されるウェハ１２１Ａは
、ビームライン１２５Ａおよび窓材１１４Ａを通り、マ
スク１２０Ａによって部分的に遮光されたＳＯＲ光１０
１Ａによって露光される。この露光時において、マスク
１２０Ａｌ、：はＳＯＲ光１０１Ａが照射されることに
よる発熱が生じるため、露光チャンバ１１９Ａ内は必要
な熱伝導が生じる程度に減圧された気体雰囲気（Ｈｅ
： １５０Ｔｏｒｒ）とされている。また、窓材１１４
ＡとしてはＳＯＲ光１０１Ａをよく透過することが必要
とされるため、Ｂｅを薄く（１０μｍ〜２０μｍ）加工
したものが用いられてぃる。上記の露光チャンバ１１９
Ａ内の圧力Ｐ８（１５０Ｔｏｒｒ）は、この厚さにおけ
る窓材１１４Ａの耐圧ＰＬよりも低く設定されている。
、ビームライン１２５Ａおよび窓材１１４Ａを通り、マ
スク１２０Ａによって部分的に遮光されたＳＯＲ光１０
１Ａによって露光される。この露光時において、マスク
１２０Ａｌ、：はＳＯＲ光１０１Ａが照射されることに
よる発熱が生じるため、露光チャンバ１１９Ａ内は必要
な熱伝導が生じる程度に減圧された気体雰囲気（Ｈｅ
： １５０Ｔｏｒｒ）とされている。また、窓材１１４
ＡとしてはＳＯＲ光１０１Ａをよく透過することが必要
とされるため、Ｂｅを薄く（１０μｍ〜２０μｍ）加工
したものが用いられてぃる。上記の露光チャンバ１１９
Ａ内の圧力Ｐ８（１５０Ｔｏｒｒ）は、この厚さにおけ
る窓材１１４Ａの耐圧ＰＬよりも低く設定されている。
露光に使用されるマスク１２０Ａおよびウェハ１２１Ａ
をマスク予備室１２３Ａおよびウェハ予備室１１７Ａに
それぞれ収容されるマスク１２４Ａおよびウェハ１１６
Ａと交換する際には、第５図に示した従来例と同様にウ
ェハ予備室１１７Ａおよびマスク予備室１２３Ａは露光
チャンバ１１９Ａ内と同様の雰囲気に置換されたいわゆ
るロードロックされた状態とされる。露光チャンバ１１
９Ａ、ウェハ予備室１１７Ａおよびマスク予備室１２３
Ａのそれぞれには図示しないが上記のような室内雰囲気
を実現するための真空排気手段およびガス導入手段が設
けられ、圧力調整が行なわれている。
をマスク予備室１２３Ａおよびウェハ予備室１１７Ａに
それぞれ収容されるマスク１２４Ａおよびウェハ１１６
Ａと交換する際には、第５図に示した従来例と同様にウ
ェハ予備室１１７Ａおよびマスク予備室１２３Ａは露光
チャンバ１１９Ａ内と同様の雰囲気に置換されたいわゆ
るロードロックされた状態とされる。露光チャンバ１１
９Ａ、ウェハ予備室１１７Ａおよびマスク予備室１２３
Ａのそれぞれには図示しないが上記のような室内雰囲気
を実現するための真空排気手段およびガス導入手段が設
けられ、圧力調整が行なわれている。
これらの各真空排気手段や各ガス導入手段の動作は各露
光装置毎に設けられ、第１図（ｂ）に示される制御装置
１２７Ａにより制御される。該制御装置１２７Ａは、上
記各圧力センサ１０２Ａ。
光装置毎に設けられ、第１図（ｂ）に示される制御装置
１２７Ａにより制御される。該制御装置１２７Ａは、上
記各圧力センサ１０２Ａ。
１０６Ａ、１０７Ａ、１１３Ａおよび１１５Ａの検出圧
力を示す信号を入力するもので、露光動作時には各圧力
センサの検出圧力に応じて緊急遮断弁１０３Ａ、遮断弁
１０８Ａ、ポンプ弁１０９Ａおよび連通弁１１１Ａの開
閉動作を制御する。
力を示す信号を入力するもので、露光動作時には各圧力
センサの検出圧力に応じて緊急遮断弁１０３Ａ、遮断弁
１０８Ａ、ポンプ弁１０９Ａおよび連通弁１１１Ａの開
閉動作を制御する。
第２図は露光動作時の制御装置１２７Ａの動作を示すフ
ローチャートである。
ローチャートである。
制御装置１２７Ａは、通常の露光動作時においては緊急
遮断弁１０３Ａ、遮断弁１０８Ａおよびポンプ弁１０９
Ａは開状態とし、連通弁１１１Ａは閉状態とする。この
状態において、各圧力センサ１０２Ａ、１０６Ａ、１０
７Ａ、１１３Ａおよび１１５Ａの各検出圧力Ｐ１〜Ｐ５
の検出圧力を監視する（ステップ１）。露光チャンバ１
１９Ａ内に設けられた圧力センサ１１５Ａの検出圧力が
ウェハ予備室１１７Ａ、マスク予備室１２３Ａにおける
ロードロツタの失敗や露光チャーシバ１１９Ａ内の圧力
調整の失敗等により所定の圧力Ｐ。
遮断弁１０３Ａ、遮断弁１０８Ａおよびポンプ弁１０９
Ａは開状態とし、連通弁１１１Ａは閉状態とする。この
状態において、各圧力センサ１０２Ａ、１０６Ａ、１０
７Ａ、１１３Ａおよび１１５Ａの各検出圧力Ｐ１〜Ｐ５
の検出圧力を監視する（ステップ１）。露光チャンバ１
１９Ａ内に設けられた圧力センサ１１５Ａの検出圧力が
ウェハ予備室１１７Ａ、マスク予備室１２３Ａにおける
ロードロツタの失敗や露光チャーシバ１１９Ａ内の圧力
調整の失敗等により所定の圧力Ｐ。
（ｐｓ＜ｐ。＜ Ｐ Ｌ 、ここでＰ３は露光チャンバ
１１９Ａ内の圧力、ＰＬは窓材１１４Ａの耐圧である。
１１９Ａ内の圧力、ＰＬは窓材１１４Ａの耐圧である。
）を超えた場合には緊急遮断弁１０３Ａ、遮断弁１０８
Ａおよびポンプ弁１０９Ａをともに閉状態としくステッ
プ５１２）、続いて連通弁１１１Ａを開状態とする（ス
テップ５１３）。
Ａおよびポンプ弁１０９Ａをともに閉状態としくステッ
プ５１２）、続いて連通弁１１１Ａを開状態とする（ス
テップ５１３）。
連通弁１１１Ａを開状態とすることにより窓材１１４Ａ
に圧力が加わることがなくなるため、窓材１１４Ａが破
損することはない。また、連通弁１１１Ａが開状態とさ
れるのに先立って緊急遮断弁１０３Ａ、遮断弁１０８Ａ
およびポンプ弁１０９Ａが閉じられるため、露光チャン
バ１１９Ａ内のガスがビームライン１２５Ａを介してシ
ンクロトロン放射光装置に流入することもない。この後
、露光チャンバ１１９Ａ内にてリークが発生した旨を付
設された表示装置に表示させて（ステップ５１４）終了
する。
に圧力が加わることがなくなるため、窓材１１４Ａが破
損することはない。また、連通弁１１１Ａが開状態とさ
れるのに先立って緊急遮断弁１０３Ａ、遮断弁１０８Ａ
およびポンプ弁１０９Ａが閉じられるため、露光チャン
バ１１９Ａ内のガスがビームライン１２５Ａを介してシ
ンクロトロン放射光装置に流入することもない。この後
、露光チャンバ１１９Ａ内にてリークが発生した旨を付
設された表示装置に表示させて（ステップ５１４）終了
する。
シンクロトロン放射光装置と窓材１１４Ａとの間に設け
られた各圧力センサ１０２Ａ、１０６Ａ、１０７Ａおよ
び１１３Ａの各検出圧力Ｐ１〜Ｐ４のいずれかが予め定
められた所定の圧力Ｐ＾を超えた場合には、緊急遮断弁
１０３Ａおよび遮断弁１０８Ａを閉状態とした後に（ス
テップＳ２）、いず九の圧力センサの検出圧力が上昇中
であるかを確認する（ステップＳ３）。圧力センサ１０
２Ａの検出圧力が上昇中である場合には他の露光装置の
制御を行なっている各制御装置へ通報しくステップＳ４
）、シンクロトロン放射光装置と緊急遮断弁１０３Ａと
の間でリークが生じた旨を上記表示装置に表示させて（
ステップＳ５）終了する。この場合、リークが生じた箇
所が遮断弁１０８Ａとシンクロトロン放射光装置との間
であるため、遮断弁１０８Ａを閉じることにより、窓材
１１４Ａにさらに圧力が加わることがなくなり、窓材１
１４Ａが破損されることを防止できる。圧力センサ１１
３Ａの検出圧力が上昇中である場合にはポンプ弁１０９
Ａを閉状態としくステップＳ６）、連通弁１１１Ａを開
状態とした後に（ステップＳ７）、露光チャンバ１１９
Ａのシステムダウンを行なう（ステップＳ８）。これに
より、窓材１１４Ａの破損を防止することができる。こ
の後、遮断弁１０８Ａと窓材１１４Ａとの間でリークが
生じた旨を上記表示装置に表示させて（ステップＳ９）
終了する。圧力センサ１０６Ａおよび圧力センサ１０７
Ａの検出圧力が上昇中である場合には、圧力センサ１０
２Ａの場合と同様に他の露光装置へ通報しくステップ５
１０）、緊急遮断弁１０３Ａと遮断弁１０８Ａとの間で
リークが生じた旨を上記表示装置に表示させて（ステッ
プ５１１）終了する。
られた各圧力センサ１０２Ａ、１０６Ａ、１０７Ａおよ
び１１３Ａの各検出圧力Ｐ１〜Ｐ４のいずれかが予め定
められた所定の圧力Ｐ＾を超えた場合には、緊急遮断弁
１０３Ａおよび遮断弁１０８Ａを閉状態とした後に（ス
テップＳ２）、いず九の圧力センサの検出圧力が上昇中
であるかを確認する（ステップＳ３）。圧力センサ１０
２Ａの検出圧力が上昇中である場合には他の露光装置の
制御を行なっている各制御装置へ通報しくステップＳ４
）、シンクロトロン放射光装置と緊急遮断弁１０３Ａと
の間でリークが生じた旨を上記表示装置に表示させて（
ステップＳ５）終了する。この場合、リークが生じた箇
所が遮断弁１０８Ａとシンクロトロン放射光装置との間
であるため、遮断弁１０８Ａを閉じることにより、窓材
１１４Ａにさらに圧力が加わることがなくなり、窓材１
１４Ａが破損されることを防止できる。圧力センサ１１
３Ａの検出圧力が上昇中である場合にはポンプ弁１０９
Ａを閉状態としくステップＳ６）、連通弁１１１Ａを開
状態とした後に（ステップＳ７）、露光チャンバ１１９
Ａのシステムダウンを行なう（ステップＳ８）。これに
より、窓材１１４Ａの破損を防止することができる。こ
の後、遮断弁１０８Ａと窓材１１４Ａとの間でリークが
生じた旨を上記表示装置に表示させて（ステップＳ９）
終了する。圧力センサ１０６Ａおよび圧力センサ１０７
Ａの検出圧力が上昇中である場合には、圧力センサ１０
２Ａの場合と同様に他の露光装置へ通報しくステップ５
１０）、緊急遮断弁１０３Ａと遮断弁１０８Ａとの間で
リークが生じた旨を上記表示装置に表示させて（ステッ
プ５１１）終了する。
このように、本実施例のものにおいてはリークが発生し
た異常箇所の表示が行なわれるので、露光装置の操作者
は速やかに修理を行なうことが可能となる。なお、露光
チャンバ１１９内の圧力が上昇したときには、露光チャ
ンバ１１９のシステムダウンを行なわないが、これは露
光チャンバ１１９の圧力が上昇することは真空リークが
生じた場合のほかにもロードロックの失敗や圧力調整の
失敗によることが想定されるためであり、これらにより
圧力が上昇した場合には圧力調整を再度行なうだけでよ
く、システムダウンを行なう必要はないためである。
た異常箇所の表示が行なわれるので、露光装置の操作者
は速やかに修理を行なうことが可能となる。なお、露光
チャンバ１１９内の圧力が上昇したときには、露光チャ
ンバ１１９のシステムダウンを行なわないが、これは露
光チャンバ１１９の圧力が上昇することは真空リークが
生じた場合のほかにもロードロックの失敗や圧力調整の
失敗によることが想定されるためであり、これらにより
圧力が上昇した場合には圧力調整を再度行なうだけでよ
く、システムダウンを行なう必要はないためである。
また、本実施例においては他の制御装置に通報を行なう
場合について記したが、他の制御装置からの通報を受付
けた場合には、該通報を優先的に割込ませて緊急遮断弁
１０３Ａ、遮断弁１０８Ａを閉状態とする。
場合について記したが、他の制御装置からの通報を受付
けた場合には、該通報を優先的に割込ませて緊急遮断弁
１０３Ａ、遮断弁１０８Ａを閉状態とする。
この後、表示を行なった異常箇所の修理がなされ、装置
の再立上げが行なわれる場合には、連通弁１１１Ａを閉
じ、露光チャンバ１１９Ａ内の雰囲気を露光状態時のも
のに移行させるとともに、ポンプ弁１０９Ａを開けて真
空ポンプ１１０Ａによる真空排気を行なわせる。圧力セ
ンサ１１３Ａの検出圧力が十分に真空排気されたことを
示す状態となると遮断弁１０８Ａを開ける。このような
手順にて再立Ｆげを行なうことにより、露光チャンバ１
！９Ａ内の気体がシンクロトロン放射光装置に侵入する
ことが防がれる。
の再立上げが行なわれる場合には、連通弁１１１Ａを閉
じ、露光チャンバ１１９Ａ内の雰囲気を露光状態時のも
のに移行させるとともに、ポンプ弁１０９Ａを開けて真
空ポンプ１１０Ａによる真空排気を行なわせる。圧力セ
ンサ１１３Ａの検出圧力が十分に真空排気されたことを
示す状態となると遮断弁１０８Ａを開ける。このような
手順にて再立Ｆげを行なうことにより、露光チャンバ１
！９Ａ内の気体がシンクロトロン放射光装置に侵入する
ことが防がれる。
第３図は本発明の第２の実施例の構成を示す図である。
本実施例のビームライン１２５Ａにはバイパス１１２Ａ
の露光チャンバ１１９Ａ側の連通部と露光チャンバ１１
９Ａとの間に遮断弁１２６Ａが設けられている。該遮断
弁１２６Ａは、制御装置の制御により、遮断弁１０８Ａ
と同様に開閉動作を行なうものである。遮断弁１０８Ａ
と窓材１１４Ａとの間にリークが生じた場合には、該遮
断弁１２６Ａを閉じた後に連通弁１１１Ａを開けること
により、窓材１１４Ａの保護を行なうとともに露光チャ
ンバ１１９Ａを露光状態の圧力に保つことを可能にした
ものである。この他の構成は第１の実施例と同様である
ため第１図と同じ番号を付して説明は省略する。
の露光チャンバ１１９Ａ側の連通部と露光チャンバ１１
９Ａとの間に遮断弁１２６Ａが設けられている。該遮断
弁１２６Ａは、制御装置の制御により、遮断弁１０８Ａ
と同様に開閉動作を行なうものである。遮断弁１０８Ａ
と窓材１１４Ａとの間にリークが生じた場合には、該遮
断弁１２６Ａを閉じた後に連通弁１１１Ａを開けること
により、窓材１１４Ａの保護を行なうとともに露光チャ
ンバ１１９Ａを露光状態の圧力に保つことを可能にした
ものである。この他の構成は第１の実施例と同様である
ため第１図と同じ番号を付して説明は省略する。
第４図は、本実施例における露光動作時の制御装置の動
作を示すフローチャートである。
作を示すフローチャートである。
制御装置１２７Ａは、通常の露光動作時においては緊急
遮断弁１０３Ａ、各遮断弁１０８Ａ。
遮断弁１０３Ａ、各遮断弁１０８Ａ。
１２６Ａおよびポンプ弁１０９Ａは開状態とし、連通弁
１１１Ａは閉状態とする。この状態において、各圧力セ
ンサ１０２Ａ、１０６Ａ、１０７Ａ、１１３Ａおよび１
１５Ａの各検出圧力Ｐ１〜Ｐ５の検出圧力を監視する（
ステップ５１５）。
１１１Ａは閉状態とする。この状態において、各圧力セ
ンサ１０２Ａ、１０６Ａ、１０７Ａ、１１３Ａおよび１
１５Ａの各検出圧力Ｐ１〜Ｐ５の検出圧力を監視する（
ステップ５１５）。
露光チャンバ１１９Ａ内に設けられた圧力センサ１１５
Ａの検出圧力かウェハ予備室１１７Ａ、マスク予備室１
２３Ａにおけるロードロックの失敗や露光チャンバ１１
９Ａ内の圧力調整の失敗等により所定の圧力Ｐ。（Ｐ
ｓ ＜ Ｐ ｏ ＜ Ｐ Ｌ）を超えた場合には緊急遮
断弁１０３Ａ、各遮断弁１０８Ａ、１２６Ａおよびポン
プ弁１０９Ａをともに閉状態としくステップ５２５）、
続いて連通弁１１１Ａを開状態とする（ステップ５２６
）。この後、露光チャンバ１１９Ａ内にてリークが発生
した旨を付設された表示装置に表示させて（ステップ５
２７）終了する。
Ａの検出圧力かウェハ予備室１１７Ａ、マスク予備室１
２３Ａにおけるロードロックの失敗や露光チャンバ１１
９Ａ内の圧力調整の失敗等により所定の圧力Ｐ。（Ｐ
ｓ ＜ Ｐ ｏ ＜ Ｐ Ｌ）を超えた場合には緊急遮
断弁１０３Ａ、各遮断弁１０８Ａ、１２６Ａおよびポン
プ弁１０９Ａをともに閉状態としくステップ５２５）、
続いて連通弁１１１Ａを開状態とする（ステップ５２６
）。この後、露光チャンバ１１９Ａ内にてリークが発生
した旨を付設された表示装置に表示させて（ステップ５
２７）終了する。
シンクロトロン放射光装置と窓材１１４Ａとの間に設け
られた各圧力センサ１０２Ａ、１０６Ａ、１０７Ａおよ
び１１３Ａの各検出圧力Ｐ１〜Ｐ４のいずれかが予め定
められた所定の圧力を超えた場合には、緊急遮断弁１０
３Ａおよび各遮断弁１０８Ａ、１２６Ａを閉状態とした
後に（ステップ５１６）、いずれの圧力センサの検出圧
力が上昇中であるかを確認する（ステップＳ１７）。圧
力センサ１０２Ａの検出圧力が上昇中である場合には他
の露光装置の制御を行なっている各制御装置へ通報しく
ステップ５ｉｓ）、シンクロトロン放射光装置と緊急遮
断弁１０３Ａとの間でリークが生じた旨を上記表示装置
に表示させて（ステップ５１９）終了する。圧力センサ
１１３Ａの検出圧力が上昇中である場合にはポンプ弁１
０９Ａを閉状態としくステップ５２０）、連通弁１１１
Ａを開状態とした後に（ステップ５２１）、遮断弁１０
８Ａと窓材１１４Ａとの間でリークが生じた旨を上記表
示装置に表示させて（ステップ５２２）終了する。圧力
センサ１０６Ａおよび圧力センサ１０７Ａの検出圧力が
上昇中である場合には、圧力センサ１０２Ａの場合と同
様に他の露光装置へ通報しくステップ５２３）、緊急遮
断弁１０３Ａと遮断弁１０８Ａとの間でリークが生じた
旨を上記表示装置に表示させて（ステップ５２４）終了
する。
られた各圧力センサ１０２Ａ、１０６Ａ、１０７Ａおよ
び１１３Ａの各検出圧力Ｐ１〜Ｐ４のいずれかが予め定
められた所定の圧力を超えた場合には、緊急遮断弁１０
３Ａおよび各遮断弁１０８Ａ、１２６Ａを閉状態とした
後に（ステップ５１６）、いずれの圧力センサの検出圧
力が上昇中であるかを確認する（ステップＳ１７）。圧
力センサ１０２Ａの検出圧力が上昇中である場合には他
の露光装置の制御を行なっている各制御装置へ通報しく
ステップ５ｉｓ）、シンクロトロン放射光装置と緊急遮
断弁１０３Ａとの間でリークが生じた旨を上記表示装置
に表示させて（ステップ５１９）終了する。圧力センサ
１１３Ａの検出圧力が上昇中である場合にはポンプ弁１
０９Ａを閉状態としくステップ５２０）、連通弁１１１
Ａを開状態とした後に（ステップ５２１）、遮断弁１０
８Ａと窓材１１４Ａとの間でリークが生じた旨を上記表
示装置に表示させて（ステップ５２２）終了する。圧力
センサ１０６Ａおよび圧力センサ１０７Ａの検出圧力が
上昇中である場合には、圧力センサ１０２Ａの場合と同
様に他の露光装置へ通報しくステップ５２３）、緊急遮
断弁１０３Ａと遮断弁１０８Ａとの間でリークが生じた
旨を上記表示装置に表示させて（ステップ５２４）終了
する。
本実施例においては遮断弁１２６Ａを設けたことにより
、遮断弁１０８Ａと窓材１１４Ａとの間にリークが生じ
た場合においても露光チャンバ１１９Ａをシステムダウ
ンさせる必要がなくなり、その後の立上げ動作を円滑に
行なうことが可能となった。
、遮断弁１０８Ａと窓材１１４Ａとの間にリークが生じ
た場合においても露光チャンバ１１９Ａをシステムダウ
ンさせる必要がなくなり、その後の立上げ動作を円滑に
行なうことが可能となった。
なお、上述の各実施例においては、各部の圧力を検出し
て真空リークを検出するものについてのみ説明を行なっ
たが、地震計にて異常振動を検出した場合に露光動作を
中断するもの（例えば本出願人による特開平２−６８９
１９号公報に記載されたもの）や露光チャンバ内に配設
された温調水の漏水を検出するものと組合わせて露光装
置の保護を総合的に行なうものとしても当然よい。
て真空リークを検出するものについてのみ説明を行なっ
たが、地震計にて異常振動を検出した場合に露光動作を
中断するもの（例えば本出願人による特開平２−６８９
１９号公報に記載されたもの）や露光チャンバ内に配設
された温調水の漏水を検出するものと組合わせて露光装
置の保護を総合的に行なうものとしても当然よい。
また、遮断弁および連通弁を動作させるタイミングとし
ては、各圧力センサの検出圧力を所定の圧力と比較して
行なうものとしたが、窓材１１４Ａの両側に設けられた
各圧力センサ１１３Ａ。
ては、各圧力センサの検出圧力を所定の圧力と比較して
行なうものとしたが、窓材１１４Ａの両側に設けられた
各圧力センサ１１３Ａ。
１１５Ａの検出圧力の差圧が窓材１１４Ａの耐圧を超え
ないように動作させてもよい。
ないように動作させてもよい。
本発明は以北説明したように構成されているので、以下
に記載するような効果を奏する。
に記載するような効果を奏する。
請求項１に記載のものにおいては、露光チャンバおよび
ビームラインの各部にリークが発生したときや同じシン
クロトロン放射光装置を光源とする他の露光チャンバお
よびビームラインにリークが発生したときに、該リーク
により窓材が破損されることを防止することができ、ま
た、このことをシンクロトロン放射光装置に露光チャン
バ内の気体が侵入することなく行なうことができる。こ
のため、信頼性および安全性の高いシステムを実現する
ことができる効果がある。
ビームラインの各部にリークが発生したときや同じシン
クロトロン放射光装置を光源とする他の露光チャンバお
よびビームラインにリークが発生したときに、該リーク
により窓材が破損されることを防止することができ、ま
た、このことをシンクロトロン放射光装置に露光チャン
バ内の気体が侵入することなく行なうことができる。こ
のため、信頼性および安全性の高いシステムを実現する
ことができる効果がある。
請求項２に記載のものにおいては、露光チャンバ内の雰
囲気を保ちつつ窓材の保護を行なうことができるので、
リーク修理時においても露光チャンバをシステムダウン
させる必要がなく、再立上げを円滑に行なうことができ
る効果がある。
囲気を保ちつつ窓材の保護を行なうことができるので、
リーク修理時においても露光チャンバをシステムダウン
させる必要がなく、再立上げを円滑に行なうことができ
る効果がある。
第１図＜ａ＞は本発明の第１の実施例の構成を示す図、
第１図（ｂ）は第１の実施例の制御を行なう制御装置１
２７Ａの接続状態を示す図、第２図は第１の実施例にお
ける制御動作を示すフローチャート、第３図は本発明の
第２の実施例の構成を示す図、第４図は第２の実施例に
おける制御動作を示すフローチャート、第５図は従来例
の構成を示す図である。 １０１Ａ、 ｌ０ＩＢ−３Ｏ露光、 １０２Ａ、 １０２Ｂ、 １０６Ａ、 １０６Ｂ、 １
０７Ａ、 １０７Ｂ、 １１３Ａ。 １１３Ｂ、 １１５Ａ、 １１５Ｂ−・・圧力センサ、
１０３Ａ、 １０３Ｂ−・・緊急遮断弁、１０４Ａ、
１０４Ｂ−・・衝撃波遅延管、１０５Ａ、 １０５Ｂ−
・・ミラーチャンバ、１０８Ａ、 １０８Ｂ・・・遮断
弁、 １０９Ａ、 １０９Ｂ−・・ポンプ弁、１１０Ａ、 ｌ
ｌ０Ｂ−・・真空ポンプ、１１１八、 ＩＩＩＢ、 １
２６Ａ、 １２６Ｂ・・・連通弁、１１２Ａ、 １１２
Ｂ−・・バイパス、１］４Ａ、 １１４Ｂ−・・窓材、 ］］６Ａ、 １１６Ｂ、 １２１Ａ、 １２１Ｂ−・・
ウェハ、１１７Ａ、 １１７Ｂ−・・ウニ八予備室、＋
１８Ａ、 ＋１８Ｂ、 １２２Ａ、 １２２Ｂ・
・・ゲート弁。 １］９Ａ、 １１９Ｂ−・・露光チャンバ、１２０Ａ、
１２０Ｂ、 １２４Ａ、 １２４Ｂ−・・マスク、１
２３＾、 １２３Ｂ−マスク予備室、１２５＾、 １２
５Ｂ−・ビームライン、１２７Ａ −・ 制御装置
。
第１図（ｂ）は第１の実施例の制御を行なう制御装置１
２７Ａの接続状態を示す図、第２図は第１の実施例にお
ける制御動作を示すフローチャート、第３図は本発明の
第２の実施例の構成を示す図、第４図は第２の実施例に
おける制御動作を示すフローチャート、第５図は従来例
の構成を示す図である。 １０１Ａ、 ｌ０ＩＢ−３Ｏ露光、 １０２Ａ、 １０２Ｂ、 １０６Ａ、 １０６Ｂ、 １
０７Ａ、 １０７Ｂ、 １１３Ａ。 １１３Ｂ、 １１５Ａ、 １１５Ｂ−・・圧力センサ、
１０３Ａ、 １０３Ｂ−・・緊急遮断弁、１０４Ａ、
１０４Ｂ−・・衝撃波遅延管、１０５Ａ、 １０５Ｂ−
・・ミラーチャンバ、１０８Ａ、 １０８Ｂ・・・遮断
弁、 １０９Ａ、 １０９Ｂ−・・ポンプ弁、１１０Ａ、 ｌ
ｌ０Ｂ−・・真空ポンプ、１１１八、 ＩＩＩＢ、 １
２６Ａ、 １２６Ｂ・・・連通弁、１１２Ａ、 １１２
Ｂ−・・バイパス、１］４Ａ、 １１４Ｂ−・・窓材、 ］］６Ａ、 １１６Ｂ、 １２１Ａ、 １２１Ｂ−・・
ウェハ、１１７Ａ、 １１７Ｂ−・・ウニ八予備室、＋
１８Ａ、 ＋１８Ｂ、 １２２Ａ、 １２２Ｂ・
・・ゲート弁。 １］９Ａ、 １１９Ｂ−・・露光チャンバ、１２０Ａ、
１２０Ｂ、 １２４Ａ、 １２４Ｂ−・・マスク、１
２３＾、 １２３Ｂ−マスク予備室、１２５＾、 １２
５Ｂ−・ビームライン、１２７Ａ −・ 制御装置
。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、シンクロトロン放射光を発生するシンクロトロン放
射光装置と、 前記シンクロトロン放射光装置とビームラインをそれぞ
れ介して接続される複数の露光チャンバにより構成され
、 前記ビームライン中に設けられた窓材を介して入射され
るシンクロトロン放射光により露光処理が行なわれるＸ
線露光装置において、 前記窓材とシンクロトロン放射光装置との間のビームラ
インに設けられた遮断弁と、 前記ビームライン中の、前記窓材と遮断弁の間の部分と
、前記窓材と露光チャンバの間の部分とを連通弁を介し
て連通させるバイパスと、 前記ビームライン中の前記窓材と遮断弁の間の部分の真
空排気をポンプ弁を介して行なう真空ポンプと、 前記ビームライン中の前記窓材と遮断弁の間の部分に設
けられた第１の圧力検知手段と、 前記露光チャンバ内の圧力を検出するために露光チャン
バに設けられた第２の圧力検知手段と、 前記ビームライン中の前記遮断弁とシンクロトロン放射
光装置との間に設けられた第３の圧力検知手段と、 前記第１乃至第３の圧力検知手段の各検出圧力に応じて
前記遮断弁、連通弁およびポンプ弁の開閉動作を制御す
る制御手段とが各露光チャンバおよび各ビームライン毎
に設けられており、 前記制御装置は、露光動作時には前記第１乃至第３の圧
力検知手段の各検出圧力が、各圧力検知手段のそれぞれ
に対して予め定められた所定の圧力よりも低いものであ
る場合には、前記遮断弁およびポンプ弁を開状態、前記
連通弁を閉状態とし、第１および第２の圧力検知手段の
検出圧力が該第１および第２の圧力検知手段のそれぞれ
に対して予め定められた所定の圧力を超えたときには前
記遮断弁およびポンプ弁を閉状態とした後に前記連通弁
を開状態とし、第３の圧力検知手段の検出圧力が該第３
の圧力検知手段に対して予め定められた所定の圧力を超
えたときには、前記遮断弁を閉状態とし、他の制御装置
に対して通報を行なうことを特徴とするＸ線露光装置。 ２、請求項１記載のＸ線露光装置において、窓材とシン
クロトロン放射光装置との間のビームラインに設けられ
た遮断弁と同様にその開閉状態が制御される第２の遮断
弁が、窓材と露光チャンバとの間のビームラインに設け
られているＸ線露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2158692A JPH0449613A (ja) | 1990-06-19 | 1990-06-19 | Ｘ線露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2158692A JPH0449613A (ja) | 1990-06-19 | 1990-06-19 | Ｘ線露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0449613A true JPH0449613A (ja) | 1992-02-19 |
Family
ID=15677272
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2158692A Pending JPH0449613A (ja) | 1990-06-19 | 1990-06-19 | Ｘ線露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0449613A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102548175A (zh) * | 2010-12-06 | 2012-07-04 | 西门子公司 | 减少部件负荷的方法、计算程序、数据载体和造影设备 |
| JP2017528755A (ja) * | 2014-07-31 | 2017-09-28 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | 投影露光系のための照明装置 |
-
1990
- 1990-06-19 JP JP2158692A patent/JPH0449613A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102548175A (zh) * | 2010-12-06 | 2012-07-04 | 西门子公司 | 减少部件负荷的方法、计算程序、数据载体和造影设备 |
| US9192349B2 (en) | 2010-12-06 | 2015-11-24 | Siemens Aktiengesellschaft | Computed tomography device and method and data storage medium for operation thereof |
| CN102548175B (zh) * | 2010-12-06 | 2017-03-01 | 西门子公司 | 减少部件负荷的方法和造影设备 |
| JP2017528755A (ja) * | 2014-07-31 | 2017-09-28 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | 投影露光系のための照明装置 |
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