JP6155581B2 - 露光装置、露光方法、デバイス製造方法 - Google Patents
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Description
第1実施形態について説明する。図1は、第1実施形態に係る露光装置EXの一例を示す概略構成図である。本実施形態の露光装置EXは、液体LQを介して露光光ELで基板Pを露光する液浸露光装置である。本実施形態においては、露光光ELの光路の少なくとも一部が液体LQで満たされるように液浸空間LSが形成される。液浸空間とは、液体で満たされた部分(空間、領域)をいう。基板Pは、液浸空間LSの液体LQを介して露光光ELで露光される。本実施形態においては、液体LQとして、水(純水)を用いる。
図4に示すように、カバー部材TにおけるZ軸周り方向の開口Thを規定するエッジ部EGには、第1保持部31に保持される基板Pの側面Pc(図3参照)に向けて突出する凸部(突出部)GZが設けられている。換言すれば、図4に示されるように、カバー部材Tにおける開口Thは、Z方向から見た場合にその周方向に沿って凸部GZが所定のピッチで複数並んでいる形状(いわゆる「のこぎり状」)となっている。さらに換言すれば、カバー部材Tにおける開口Thは、先端部(後述)から見た場合に凹部がその周方向に沿って所定のピッチで複数並んた形状となっている。
凸部GZは、基板Pにおける−X側の端縁に形成され当該基板Pの位置に関する指標となるノッチ部PNと対向する領域A1に配される第1の凸部GZ1と、その他の領域A2に配される第2の凸部GZ2とを備えている。図5に示されるように、領域A1(第1領域とも称する)では、凹部と凸部とが繰り返される形状となっておらず、一方で領域A2(第2領域とも称する)では、複数の凸部が周方向に所定のピッチPZ(後述)で並んだ形状となっている。換言すれば、領域A1における第1の凸部GZ1の先端部Tfの幅W(後述)は、領域A2における第2の凸部GZ2の先端部の幅Wよりも大きくなっている。なお、領域A1における第1の凸部GZ1は必ずしもこの形態に限定されず、例えば第2の凸部GZ2よりも細かなピッチZP(後述)で複数の凸部が並んだ形状となっていてもよいし、第2の凸部GZ2よりも小さな突出量ZL(後述)となっていてもよい。このように本実施形態では、カバー部材Tにおける開口Thを規定するエッジ部EGは、その周方向に沿って領域A1と領域A2とを有しており、それぞれの領域で形状の異なる凸部が形成されている。
凸部GZは、基部Te(凸部GZにおいて、載置された基板Pから最も離れた部位)に形成される円弧部Rの大きさ、円弧部Rの中心から先端部までの長さh、円弧部Rの大きさと長さhとの和で示される突出量ZL、先端部の幅W、配列ピッチZPを含む諸元(形状)で示されるものである。なお、第1の凸部GZ1については、基板Pのノッチ部PNの開口幅を含む範囲で、先端部の幅W1(図5参照)が形成されるが、この場合には、図6に示した凸部GZにおいて、ZP≦Wとし、下式(1)で示される諸元で凸部GZを設定すればよい。
W1=n×W−(n−1)×(W−ZP) …(1)
n:凸部GZの数(正の整数)
なお、図6に示すように、カバー部材Tの表面に撥液膜HMが、例えば20μmの膜厚で成膜される場合には、上記の凸部GZ1、GZ2が当該膜厚でオフセット(加算)された形状となる。
制御装置8は、基板ステージ2を露光位置に移動させて、終端光学素子12及び液浸部材7と基板ステージ2(基板P)との間に液体LQで液浸空間LSが形成された後、基板Pの露光処理を開始する。
次に、露光装置EXの第2実施形態について、図7乃至図8を参照して説明する。
これらの図において、図1乃至図6に示す第1実施形態の構成要素と同一の要素については同一符号を付し、その説明を省略する。なお、図7及び図8においては、便宜上、基板Pにおけるノッチ部及び第1の凸部の図示を省略している。
また、基板ステージ2に搭載される計測部材Cの周囲におけるカバー部材Tに上述した凸部を設けてもよい。このような基板ステージ2に搭載される計測部材Cとしては、例えば、投影光学系PLを介した計測マークの空間像を計測するセンサ(AISセンサ)Sが挙げられる。このセンサSの周囲におけるカバー部材Tに上述した凸部を設ける構成とすることにより、同様の作用・効果を奏することができる。
センサSの周囲におけるカバー部材Tに形成される凸部は、例えば第3の凸部GZ3と同様の諸元としてもよいし、第2の凸部GZ2や第3の凸部GZ3と異なる諸元の凸部としてもよい。例えば、センサSの周囲におけるカバー部材Tに形成される凸部の突出量ZLを、第2の凸部GZ2における突出量ZLよりも小さくしてもよい。または、センサSの周囲におけるカバー部材Tに形成される凸部のピッチPZを、第2の凸部GZ2におけるピッチPZよりも小さくしてもよい。
このように、本実施形態では、カバー部材Tにおいて、基板Pと対向する部位における凸部(第1の凸部GZ1や第2の凸部GZ2)の形状(ピッチPZや突出量ZLなど)は、他の凸部(第3の凸部GZ3およびセンサSと対向する部分に形成される凸部など)の形状とは異なっている。
なお、上述したカバー部材Tに形成される各凸部(第1の凸部GZ1〜第3の凸部GZ3、センサSの周囲における凸部)、カバー部材Qに形成される凸部、及び緩衝部材BFに形成される凸部はすべて形成される必要は必ずしもなく、これらのうち少なくとも1つが形成されていてもよい。
また、本実施形態で説明した凸部GZは、露光装置内の他の部材にも適用が可能である。具体的には、液浸部材7の下面14(例えば下面14の周縁など)や上述したエンコーダシステムの読み取りヘッドなど、液体LQと接触する接液部材であって当該液体LQが残留することを好まない部位にも適用が可能である。
Claims (29)
- 基板の上面の一部を覆うように形成された液浸空間の液体を介して露光光を前記基板の上面に照射する露光装置であって、
前記露光光が射出される射出面を有する光学部材と、
前記基板をリリース可能に保持する第1保持部と、上面、及び前記保持される基板の端部と周方向に沿って対向するエッジ部を有する第1部材と、を含む基板保持装置と、を備え、
前記第1部材は、前記第1部材の前記上面の少なくとも一部が前記液浸空間と接触するように配置され、
前記エッジ部は、前記第1部材の前記上面の縁を含み、
前記縁は、前記保持された基板に向けて突出する複数の突出部を有し、
前記複数の突出部は、第1形状を有する第1の突出部と、前記第1形状と異なる第2形状を有する第2の突出部と、を含み、かつ、前記周方向に沿って並んで形成され、
前記縁は、前記第1の突出部が配置された第1領域と、前記第2の突出部が配置された第2領域とを有する露光装置。 - 前記第2の突出部は、前記周方向に沿って並んで形成された複数の凸部を含む請求項1記載の露光装置。
- 前記第1の突出部の突出量は、前記第2の突出部の突出量と異なる請求項1または2記載の露光装置。
- 前記第1の突出部は、所定ピッチで形成された複数の凸部を含み、
前記第2の突出部は、前記第1の突出部とは異なるピッチで形成された複数の凸部を含む請求項1または2記載の露光装置。 - 前記第2領域における前記第2の突出部の先端と前記基板との間の間隙量が、前記第1領域における前記第1の突出部の先端と前記基板との間の間隙量の最大値よりも小さくなる請求項1から4のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第1部材は、前記基板を配置可能な開口を有し、
前記開口は、前記エッジ部で規定される請求項1〜5のいずれか一項に記載の露光装置。 - 液体を介して露光光を基板の上面に照射する露光装置であって、
前記露光光が射出される射出面を有する光学部材と、
前記基板をリリース可能に保持する第1保持部と、前記保持される基板の端部と周方向に沿って対向するエッジ部と、を含む基板保持装置と、を備え、
前記エッジ部は、前記周方向に沿って複数の突出部が並んだ形状の第1領域と、前記エッジ部の外形状が前記第1領域とは異なる第2領域とを有する露光装置。 - 前記第1領域における突出部のピッチは、該第1領域における突出部の先端部の幅よりも大きい請求項1〜7のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記突出部は、その先端部から、前記第1保持部に対して離れる方向に従って、下方に向かって傾斜する下面を有する請求項1から8のいずれか一項に記載の露光装置。
- 液体を介して露光光を基板の上面に照射する露光装置であって、
前記露光光が射出される射出面を有する光学部材と、
前記基板をリリース可能に保持する第1保持部と、前記保持される基板の端部と周方向に沿って対向するエッジ部と、を含む基板保持装置と、を備え、
前記エッジ部は、前記周方向に沿って凹凸が繰り返される形状の第1領域と、前記エッジ部の外形状が前記第1領域とは異なる第2領域とを有する露光装置。 - 前記第1領域は、前記保持される基板の所定位置に設けられた前記基板の位置に関する指標となる部分に対応する位置に配置される請求項1〜10のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記基板の位置に関する指標となる部分は、ノッチ部である請求項11記載の露光装置。
- 前記第1領域は、前記周方向の異なる位置に複数配置される請求項11または12記載の露光装置。
- 前記第1領域及び前記第2領域は、露光時の走査移動方向に応じた位置に配置される請求項1から13のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記エッジ部は、前記第1保持部の周囲に配置される請求項1から14のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記光学部材の下方において前記第1部材と間隙を介して隣接した状態で移動可能であり、液浸空間が形成可能な第2上面を有する第2部材と、をさらに備え、
前記第1部材の前記エッジ部は、前記第1保持部に保持された前記基板の端部が沿うように所定方向に延びる第1エッジ部と、前記第2部材との間隙の延在方向に延びる第2エッジ部と、を備え、
前記第2部材は、前記第2上面の外縁の一部を規定し、前記第2エッジ部と対向する第3エッジ部を備え、
前記第1部材の前記第2エッジ部と、前記第2部材の前記第3エッジ部との少なくとも一方には、他方側に向けて突出する突出部が前記延在方向に沿って形成される請求項1〜6のいずれか一項に記載の露光装置。 - 液体を介して露光光を基板の上面に照射する露光装置であって、
前記露光光が射出される射出面を有する光学部材と、
前記基板をリリース可能に保持する第1保持部と、上面及び該上面の外縁の一部を規定するエッジ部を有する第1部材と、を含む基板保持装置と、
前記光学部材の下方において前記第1部材と間隙を介して隣接した状態で移動可能であり、液浸空間が形成可能な第2上面を有する第2部材と、を備え、
前記第1部材の前記エッジ部は、前記第1保持部に保持された前記基板の端部が沿うように所定方向に延びる第1エッジ部と、前記第2部材との間隙の延在方向に延びる第2エッジ部と、を備え、
前記第2部材は、前記第2上面の外縁の一部を規定し、前記第2エッジ部と対向する第3エッジ部を備え、
前記第1部材の前記第2エッジ部と、前記第2部材の前記第3エッジ部との少なくとも一方には、他方側に向けて突出する突出部が前記延在方向に沿って形成される露光装置。 - 前記第2エッジ部及び前記第3エッジ部は、直線状に延びる部分を有する請求項16または17記載の露光装置。
- 前記第2エッジ部または前記第3エッジ部との少なくとも一方に形成される前記突出部の先端における前記第1部材と前記第2部材との間の間隙量は、前記第1部材と前記基板との間の間隙量の最小値よりも小さい請求項16〜18のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第2エッジ部または前記第3エッジ部とのうちの一方に形成された前記突出部は、その先端部から、前記第2エッジ部または前記第3エッジ部とのうちの他方に対して離れる方向に従って、下方に向かって傾斜する下面を有する請求項16〜19のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第2エッジ部に前記突出部が形成され、
前記第2エッジ部の前記突出部は、その先端部から、前記第1保持部に向かうに従って、下方に向かって傾斜する下面を有する請求項16から20のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記第1部材には、計測部材が配置される開口が形成され、
前記開口には、前記配置された計測部材に向けて突出する突出部が前記開口に沿って複数並んで形成されている請求項16〜21のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記露光光の特性を計測する計測部材がその上面に形成された開口に配置される保持装置をさらに備え、
前記開口には、前記配置された計測部材に向けて突出する突出部が前記開口に沿って複数並んで形成されている請求項1〜22のいずれか一項に記載の露光装置。 - 液体を介して露光光を基板の上面に照射する露光装置であって、
前記露光光が射出される射出面を有する光学部材と、
前記基板をリリース可能に保持する第1保持部と、上面及び該上面の外縁の一部であって、前記保持される基板の端部と周方向に沿って対向するエッジ部を有する第1部材と、を含む基板保持装置と、を備え、
前記第1部材には、計測部材が配置される開口が形成され、
前記開口には、前記配置された計測部材に向けて突出する突出部が前記開口に沿って複数並んで形成されている第2領域を有する露光装置。 - 前記計測部材は、前記露光光の空間像を計測する請求項23または24に記載の露光装置。
- 請求項1〜25のいずれか一項に記載の露光装置を用いて基板を露光することと、
露光された前記基板を現像することと、を含むデバイス製造方法。 - 基板の上面の一部を覆うように形成された液浸空間の液体を介して露光光を前記基板の上面に照射する露光方法であって、
前記露光光が射出される射出面を有する光学部材と、前記基板をリリース可能に保持する第1保持部に保持された前記基板の上面、及び上面と前記保持される基板の端部と周方向に沿って対向するエッジ部とを有する第1部材の上面の少なくとも一方との間に、前記液体で液浸空間が形成されている状態で、前記基板を露光すること、を含み、
前記エッジ部は、前記第1部材の前記上面の縁を含み、
前記縁は、前記保持された基板に向けて突出する複数の突出部を有し、
前記複数の突出部は、第1形状を有する第1の突出部と、前記第1形状と異なる第2形状を有する第2の突出部と、を含み、かつ、前記周方向に沿って並んで形成され、
前記縁は、前記第1の突出部が配置された第1領域と、前記第2の突出部が配置された第2領域とを有する露光方法。 - 液体を介して露光光を基板の上面に照射する露光方法であって、
前記露光光が射出される射出面を有する光学部材と、前記基板をリリース可能に保持する第1保持部に保持された前記基板の上面、及び上面と該上面の外縁の一部を規定するエッジ部とを有する第1部材を、前記第1部材の第1上面の少なくとも一部が液浸空間と接触するように前記光学部材の下方で動かすことと、
前記光学部材の下方において前記第1部材と間隙を介して隣接した状態で第2部材を、前記光学部材の下方で動かすことと、を含み、
前記第1部材の前記エッジ部は、前記第1保持部に保持された前記基板の端部が沿うように所定方向に延びる第1エッジ部と、前記第2部材との間隙の延在方向に延びる第2エッジ部と、を備え、
前記第2部材は、前記液浸空間が形成可能な第2上面と、前記第2上面の外縁の一部を規定し、前記第2エッジ部と対向する第3エッジ部と、を備え、
前記第1部材の前記第2エッジ部と、前記第2部材の前記第3エッジ部との少なくとも一方には、他方側に向けて突出する突出部が前記延在方向に沿って形成される露光方法。 - 液体を介して露光光を基板の上面に照射する露光方法であって、
前記露光光が射出される射出面を有する光学部材と、前記基板をリリース可能に保持する第1保持部に保持された前記基板の上面、及び上面と該上面の外縁の一部であって前記保持される基板の端部と周方向に沿って対向するエッジ部とを有する第1部材の上面の少なくとも一方との間に、前記液体で液浸空間が形成されている状態で、前記基板を露光すること、を含み、
前記第1部材には、計測部材が配置される開口が形成され、
前記開口には、前記配置された計測部材に向けて突出する突出部が前記開口に沿って複数並んで形成されている第2領域を有する露光方法。
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