JP2010135428A - 基板保持部材及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板保持部材は、基板ステージ上の被露光基板が配置される空間の径よりも大きい最小内径を有する開口が形成され、前記開口の内周面は、少なくとも一部に下面に向かって拡開した形状を有する。
【選択図】図2
Description
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る液浸型露光装置の概略の構成を示す図である。なお、図1において、X、Y、Zは、互いに直交する方向を示す。
図3は、ウェハ3と撥水板16Aとの隙間gにおける液浸水2の界面の状態を模式的に示す図である。なお、同図中、ウェハ3上のフォトレジストは図示を省略している。同図中hは、投影光学系14の先端部14aとウェハ3との間の距離を示す。同図中2bは、液浸領域2aに対してウェハステージ15が500mm/secの速さで移動している場合の液浸水2の界面位置の計算結果を示す。ウェハ3の外周面3c及び撥水板16Aの内周面16cに作用する表面張力Fw、FHを合成したときの基準面16dの上下方向に働く力Pは、次式(1)で表すことができる。
P={σcos(φW)-σcos(π−φH−θ)}/(x1+ztan(θ)) ・・・(1)
ここで、σ:液浸水2の種類により定まる係数
φW:ウェハ3の外周面3cでの液浸水2の接触角
φH:撥水板16Aの内周面16cでの液浸水2の接触角
θ:撥水板16Aの内周面16cの基準面16dに対する傾き
x1:ウェハ3と撥水板16Aとの間の最小距離
z:ウェハ3(撥水板16A)の上面3aから液浸水2の界面2bまでの距離
cos(φW)< cos(π−φH−θ) ・・・(2)
上記式(2)を満たすとき、液浸水2の界面2bが押し上げられようとされ、液浸水2の漏れを抑制することができる。
次に、液浸型露光装置10の動作について説明する。まず、撥水板16Aをウェハステージ15上に配置し、撥水板16Aの開口160の内側にフォトレジストが塗布されたウェハ3を上方から挿入してウェハステージ15上に配置する。次に、液体ノズル17A,17Bから液浸水2を供給して投影光学系14の先端部14aとウェハ3との間に液浸領域2aを介在させる。次に、液浸領域2aをウェハ3に対して相対的に移動させつつ、ウェハ3の液浸領域2aで覆われた露光領域(照射領域)4の露光を行う。すなわち、制御部21のCPUは、プログラムに従い、フォトマスク1とウェハ3が同期してX方向及びY方向に移動して、露光光がウェハ3上を走査するようにフォトマスクステージ駆動部18及びウェハステージ駆動部19を制御する。ウェハ3上の露光領域4が順次露光され、ウェハ3全面にマスクパターンが投影される。その後、現像、エッチング、レジスト剥離等を含む周知の工程を経て半導体装置等が製造される。
図5、図6、図7は、比較例を示す。この比較例は、撥水板16の内周面16cを垂直な面としたものである。
第1の実施の形態によれば、液浸水2がウェハ3と撥水板16Aとの隙間gから液漏れが発生するのを抑制することができる。この結果、液浸領域2aの温度がほとんど変化せず、上記比較例のように、ウェハ3を連続して露光してもフォーカス位置は変動せず、露光精度の安定化を図ることができる。また、ウェハ3の径よりも撥水板16Aの最小内径dが大きく、撥水板16Aがウェハ3に覆いかぶさることがないため、ウェハ3への露光終了後、撥水板16Aを移動することなくウェハ3を容易に取り外すことができる。このため、連続するウェハ3への露光工程をより迅速、簡易に行うことが可能となる。
図8は、本発明の第2の実施の形態に係る撥水板の内周面の断面形状を示す図である。なお、同図中、ウェハ3上のフォトレジストは図示を省略している。
P={σcos(φW)-σcos(π−φH−θ(z))}/(x2(z)) ・・・(3)
ここで、σ:液浸水2の種類により定まる係数
φW:ウェハ3の外周面3cでの液浸水2の接触角
φH:撥水板16Aの内周面16cでの液浸水2の接触角
θ(z):z位置での撥水板16Aの内周面16cの基準面16dに対する傾き
x2(z):z位置での水平方向の長さ
z:ウェハ3(撥水板16A)の上面3aから液浸水2の界面2bまでの距離
cos(φW)< cos(π−φH−θ(z)) ・・・(4)
上記式(4)を満たすとき、液浸水2の界面2bが押し上げられ、液浸水2の漏れを抑制することができる。
図10は、本発明の第3の実施の形態に係る撥水板の内周面の断面形状を示す図である。なお、同図中、ウェハ3上のフォトレジストは図示を省略している。
図11(a)〜(f)は、撥水板の内周面の変形例を示す図である。撥水板16の内周面16cの形状は、図3に示す直線的に傾斜した面、図5に示す垂直な面、図8に示す開口160側に膨出した曲面、及び図10に示す開口160と反対側に膨出した曲面のうち2つ以上を組み合わせたものでもよい。撥水板16の内周面16cの形状は、例えば、図11(a)〜(f)に示す形状としてもよい。
Claims (5)
- 基板ステージ上の被露光基板が配置される空間の径よりも大きい最小内径を有する開口が形成され、前記開口の内周面は、少なくとも一部に下面に向かって拡開した形状を有する基板保持部材。
- 前記拡開した形状は、直線的に傾斜した面で構成された請求項1に記載の基板保持部材。
- 前記拡開した形状は、前記開口側に膨出した曲面で構成された請求項1に記載の基板保持部材。
- 前記拡開した形状は、前記開口と反対側に膨出した曲面で構成された請求項1に記載の基板保持部材。
- 内側に被露光基板が配置される開口を有し、前記開口の内周面は、少なくとも一部に下面に向かって拡開した形状を有する基板保持部材を基板ステージ上に配置する工程と、
前記基板保持部材の前記開口の内側に前記開口の最小内径よりも小さい外径を有する被露光基板を上方から挿入して前記基板ステージ上に配置する工程と、
投影光学系の先端部と前記被露光基板との間に介在する液浸領域を前記被露光基板に対して相対的に移動させつつ、前記被露光基板の前記液浸領域で覆われた照射領域の露光を行う工程とを含む半導体装置の製造方法。
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