JP2009054784A - 補助板およびそれを有する露光装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 コストの低い、または、着脱する際に凹凸(撥液構造)が壊れる可能性の低い補助板を有する露光装置を提供すること。
【解決手段】 液体を介して基板を露光する露光装置において、原版のパターンを前記基板に投影する投影光学系と、前記基板を保持する基板ステージと、を備え、前記基板ステージは、前記基板の外周の周辺に配置され前記基板とともに前記液体を支持する補助板を有し、前記補助板は、前記液体に対して撥液性の凹凸が表面に形成された撥液構造部と、前記液体に対して撥液性の膜が表面に形成された平坦部と、を持つことを特徴とする構成とした。
【選択図】 図1
【解決手段】 液体を介して基板を露光する露光装置において、原版のパターンを前記基板に投影する投影光学系と、前記基板を保持する基板ステージと、を備え、前記基板ステージは、前記基板の外周の周辺に配置され前記基板とともに前記液体を支持する補助板を有し、前記補助板は、前記液体に対して撥液性の凹凸が表面に形成された撥液構造部と、前記液体に対して撥液性の膜が表面に形成された平坦部と、を持つことを特徴とする構成とした。
【選択図】 図1
Description
本発明は、液体を介して基板を露光する露光装置の補助板および、それを有する露光装置に関する。
半導体デバイスや液晶デバイス等のデバイスの製造には、レチクルのパターンでウエハを露光する露光装置が用いられている。
デバイスの微細化に伴って、露光装置の投影光学系の解像力の向上が要求されており、その解像力向上の手段の一つとして、液浸露光技術が注目されている。液浸露光技術は、投影光学系の最終レンズとウエハとの間を液体で満たし、液体を介してウエハを露光する手法のことである。液浸露光技術を用いる露光装置を液浸露光装置と呼ぶ。
液浸露光装置においては、ウエハ表面の全体を液体で浸すのではなく、露光している部分を含むウエハ表面の一部だけを液体で浸す、所謂ローカルフィル方式を用いることが主流となっている。
ローカルフィル方式を用いる液浸露光装置においては、ウエハの中央部を露光している際は液体がウエハで支持されるが、ウエハの周辺部を露光している際にはウエハ外の液体が支持されない。そのため、液浸露光装置のウエハステージに、ウエハの外周の周辺に配置されてウエハ外の液体を支持する補助板を設けることが提案されている(特許文献1)。補助板の表面に凹凸(撥液構造)を形成し、補助板の表面を撥液性にすることも提案されている(特許文献2)。
国際公開第05/055296号パンフレット
特開2006−319065号公報
補助板の表面を撥液性にするためには、ピッチが500μm以下の微細な凹凸を形成しなければならない。このような凹凸を形成するには、多くの製作工程が必要であるため、表面の全面に凹凸が形成された補助板のコストは高くなる。
また、補助板がウエハステージに着脱自在に設けられている場合には、補助板を着脱する際に補助板の表面の凹凸を壊れる可能性が高い。
そこで、本発明は、コストの低い、または、着脱する際に凹凸(撥液構造)が壊れる可能性の低い補助板を有する露光装置を提供することを、例示的な目的とする。
本発明の一側面としての露光装置は、液体を介して基板を露光する露光装置であって、原版のパターンを前記基板に投影する投影光学系と、前記基板を保持する基板ステージと、を備え、前記基板ステージは、前記基板の外周の周辺に配置され前記基板とともに前記液体を支持する補助板を有し、前記補助板は、前記液体に対して撥液性の凹凸が表面に形成された撥液構造部と、前記液体に対して撥液性の膜が表面に形成された平坦部と、を持つことを特徴とする。
本発明の更なる目的またはその他の側面は、以下、添付の図面を参照して説明される好ましい実施形態によって明らかにされる。
本発明によれば、コストの低い、または、着脱する際に凹凸(撥液構造)が壊れる可能性の低い補助板を有する露光装置を提供することが可能となる。
以下に、本発明の実施の形態を添付の図面に基づいて詳細に説明する。
図6は本実施形態の露光装置の概略図である。
本実施形態の露光装置は、液体15を介してウエハ1を露光する液浸露光装置である。
液浸露光装置は、照明光学系5、視野絞り12、投影光学系14、ウエハステージ(基板ステージ)6を備える。照明光学系は、不図示の露光光源からの露光光で原版としてのレチクル(マスク)11を照明する。視野絞り12は、レチクル11の直上に配置されており、レチクル11の照明領域を規定する。なお、視野絞り12をレチクル11と光学的に共役な位置に配置してもよい。投影光学系14は、レチクル11に描画された回路パターンをウエハ1上に投影する。投影光学系としては、屈折系や反射屈折系を使用することができる。ウエハステージ6はウエハを保持し駆動する。ウエハステージ6は、補助板2を有する。
液浸露光装置は、照明光学系5、視野絞り12、投影光学系14、ウエハステージ(基板ステージ)6を備える。照明光学系は、不図示の露光光源からの露光光で原版としてのレチクル(マスク)11を照明する。視野絞り12は、レチクル11の直上に配置されており、レチクル11の照明領域を規定する。なお、視野絞り12をレチクル11と光学的に共役な位置に配置してもよい。投影光学系14は、レチクル11に描画された回路パターンをウエハ1上に投影する。投影光学系としては、屈折系や反射屈折系を使用することができる。ウエハステージ6はウエハを保持し駆動する。ウエハステージ6は、補助板2を有する。
この液浸露光装置は、ステップ&スキャン方式の露光装置である。ウエハ1を投影光学系14に対して相対的に移動することにより、ウエハ1を露光光でスキャン方向(走査方向)にスキャンする。ウエハ1をスキャンすることで、レチクル11のパターン全体がウエハ1上の露光領域に露光される。
露光光源としてArFエキシマレーザ、液体15として純水を使用している。液体15としては、純水よりも屈折率の大きい有機系の液体を使用しても良い。
本実施形態では、感光基板としてウエハ1を使用しているが、ガラスプレート等の他の基板を使用しても良い。ウエハ1には、感光材料としてのレジストが塗布されている。
次に、本実施形態の補助板2について説明する。図1は本実施形態の補助板の上面図である。
補助板2は、図示したようにウエハ1の外周の周辺に配置され、ウエハ1とともに液体15を支持する。補助板2は、ウエハステージ6に着脱自在に取り付けられている。
補助板2の表面に液残りが生じないようにするために、その表面は、撥液性(撥水性)を有することが望ましい。具体的には、液体15に対する後退接触角が70度以上、かつ液体15の50μl(マイクロリットル)の液滴に対する転落角が20度以下であることが好ましい。
そのため、補助板2には、液体15に対して撥液性の凹凸が表面に形成された凹凸部(撥液構造部)3と、液体15に対して撥液性の膜が表面に形成された平坦部4が設けられている。
凹凸部3は、図8に示すように、複数の円錐状の突起102で構成されている。複数の突起102の間に気体を保持することにより、凹凸部3の表面は撥液性になっている。したがって、凹凸部3の表面に露光光が照射されても、その撥液性はあまり低下しない。突起102の幅xおよび配置間隔(ピッチ)yは、50nm以上500μm以下が好ましく、10μm以上50μm以下がより好ましい。突起102の高さhは、50nm以上200μm以下が好ましく、5μm以上20μm以下がより好ましい。突起102の高さhを配置間隔yで除した値(アスペクト比の値)は、2以上であることが好ましい。なお、本実施形態では、円錐状の突起102を有する凹凸部3を使用したが、突起の形状は円錐状でなくても良い。例えば、直方体状の突起102Aを有する凹凸部3Aを使用することもできる。
平坦部4には、撥液性のフッ素系材料の膜を形成した。膜の材料としては、フッ素系以外の材料も使用できる。しかし、いずれにしても、それらの材料にエネルギーの強い紫外線が照射されると、それらの材料から成る膜の撥液性が低下してしまう。
平坦部4は、露光光が照射されない部分、すなわち、ウエハ1の外周のうちスキャン方向と垂直な部分の周辺にのみ配置されており、凹凸部3は、露光光が照射されるそれ以外の部分に配置されている。撥液性の材料に露光光が照射されると、その材料の撥液性が落ちてしまう場合がある。しかし、本実施形態では、補助板2の露光光が照射される部分には、凹凸構造に基づく撥液性を持つ凹凸部3を設けているため、撥液性の低下を低減することが可能となる。また、補助板2の表面の全面に凹凸を形成するのではなく、その表面の一部に平坦部を形成したので、補助板を低コストで作成することが可能となる。
次に、図2と図3に基づいて、平坦部4に露光光を照射しない方法について説明する。図2は、ウエハ1のエッジ7を跨いで設定された露光領域9を露光している際の、ウエハ1および補助板2の上面図である。その際、図示したように露光領域9は、ウエハ1上だけでなく、補助板2上も含んでいる。図示していないが、液体15もウエハ1上および補助板2上に存在している。図3は視野絞り12の上面図である。
前述したように、ウエハ1上の露光領域9は、露光スリット8をスキャン方向に向かって移動させることにより、レチクル11のパターンで露光される。ここでは、露光スリット8は、スキャン方向に存在する平坦部4に向かって移動させられる。
平坦部4に露光光を照射しないためには、露光スリット8がエッジ7まで移動してきて、露光スリット8’になって、露光スリット8’を露光スリット8が過ぎたところで、液浸露光装置の露光光源の発光を停めれば良い。平坦部4のうち、エッジ7の近傍の部分は露光されてしまうが、平坦部4がウエハ1の外周のうちスキャン方向と垂直な部分の周辺に存在するため、その露光されてしまう部分の面積は小さい。なお、平坦部4は、図1に示すように補助板2を半径方向に完全に覆う必要はなく、図9に示すようにエッジ7の近傍の部分に凹凸部3を形成しても良い。このように構成することで、平坦部4のうち露光光に照射される部分の面積をより小さくすることが可能となる。
図3に示す視野絞り12を使用することでも、平坦部4に露光光を照射しないようにすることができる。視野絞り12は、4枚のブレードを有し、その開口の大きさや形状が可変である。視野絞り12は、レチクル11上の照明領域を規定しており、したがって、露光スリット8も規定している。
平坦部4に露光光を照射しないようにするためには、図2に示した露光領域9を露光している際に、露光スリット8’以降の露光領域9が露光されないように開口の大きさや形状を視野絞り12で規定すればよい。このように視野絞り12を使用することで、平坦部4のうち露光光に照射される部分の面積をより小さくすることが可能となる。
次に、図4および図5に基づいて補助板2の交換方法について説明する。図4は補助板2を交換している際の側面図であり、図5は補助板2を交換している際の上面図である。
補助板2をウエハステージ6に取り付けたり、取り外したりする際には、交換ハンド13を使用する。交換ハンド13は、補助板2と2箇所で接触するように構成されており、補助板2を吸着(真空吸着または静電吸着)する。図5に示したように、交換ハンド13の吸着部と補助板2が接触する2箇所は、いずれも平坦部4である。
この交換方法によれば、補助板2の交換の際に、交換ハンド13の吸着部を凹凸部3に接触させなくても良いので、補助板2の凹凸部を壊してしまう可能性が低くなる。なお、図10や図11に示すような露光光が照射されない外周部に平坦部が形成された補助板を用い、更に、補助板2の交換の際に、その平坦部と交換ハンド13の吸着部とを接触させるようにしても良い。
最後に、図7に基づいて、補助板2の製造方法について説明する。図7は補助板の製造方法を説明するための図である。
凹凸部3は、Si(シリコン)を加工することで製作した。Siに微細構造を形成する技術が確立されていることや、SiはArFエキシマレーザ光等の紫外線に対して不透明であることなどが理由である。不透明であれば、後述するように、補助板本体に凹凸部を固定する際に使用する接着剤に露光光が照射されることを防ぐことができる。なお、Si以外の材料で凹凸部を製造することもできる。例えば、SiO2(石英)を使用することができる。ただし、SiO2は紫外線を透過するため、接着剤の保護のために、別途SiO2と接着剤の間に遮光部材(遮光膜)を設ける等の工夫が必要となる。
凹凸部3は、4つの部分に分けて加工した。図7(a)では、その4つの部分のうち一つだけがフレーム(補助板本体)18に接着された状態を図示している。図7(b)および図7(c)は、その断面図である。
図7に示したように、補助板2は、凹凸部3が加工された加工品16をフレーム18に接着剤で接着することで製造する。平坦部4は、その接着後に、加工品16の表面のうち凹凸加工されていない点線で示した領域に膜を形成することにより、形成される。したがって、複数の凹凸部3および複数の平坦部4は補助板2上に一体的に構成されている。
加工品16の外形をフレーム18の幅よりも大きくしているため、図7(c)に示したように、加工品16とフレーム18の接着後はレーザ加工機により加工品16の必要な部分16Aだけを残し、余分な部分16Bを切断除去した。
なお、凹凸部3の4つの部分の組み立てに際しては、凹凸部どうしが接続する部分に隙間ができないように、凹凸部どうしが接続する部分をできるだけ詰めてそれぞれの部分を配置すると良い。これにより、公差分の隙間は、平坦部どうしが接続する部分に発生することとなる。しかし、平坦部は、その後に形成されるのであまり問題にはならない。
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形および変更が可能である。
1 ウエハ(基板)
2 補助板
3 凹凸部(撥液構造部)
4 平坦部
6 ウエハステージ(基板ステージ)
11 レチクル(原版)
14 投影光学系
15 液体
2 補助板
3 凹凸部(撥液構造部)
4 平坦部
6 ウエハステージ(基板ステージ)
11 レチクル(原版)
14 投影光学系
15 液体
Claims (8)
- 液体を介して基板を露光する露光装置であって、
原版のパターンを前記基板に投影する投影光学系と、
前記基板を保持する基板ステージと、を備え、
前記基板ステージは、前記基板の外周の周辺に配置され前記基板とともに前記液体を支持する補助板を有し、
前記補助板は、前記液体に対して撥液性の凹凸が表面に形成された撥液構造部と、前記液体に対して撥液性の膜が表面に形成された平坦部と、を持つことを特徴とする露光装置。 - 前記基板は、走査方向に走査されることにより前記パターンで露光され、
前記平坦部は、前記基板の外周のうち前記走査方向と垂直な部分の周辺に配置されることを特徴とする請求項1記載の露光装置。 - 前記補助板は、前記基板ステージに着脱自在であることを特徴とする請求項1または2記載の露光装置。
- 前記補助板は、前記平坦部が吸着ハンドで吸着されることにより、前記基板ステージに取り付けられる、または、前記基板ステージから取り外されることを特徴とする請求項3記載の露光装置。
- 前記補助板は、複数の前記撥液構造部および複数の前記平坦部を有し、その複数の撥液構造部および複数の平坦部は一体的に構成されていることを特徴とする請求項3または4記載の露光装置。
- 前記撥液構造部の前記凹凸のアスペクト比の値は、2以上であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記撥液構造部または前記平坦部の表面は、前記液体に対する後退接触角が70度以上、かつ前記液体の50μlの液滴に対する転落角が20度以下であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の露光装置。
- 液体を介して基板を露光する露光装置の前記基板の外周の周辺に配置され、前記基板とともに前記液体を支持する補助板であって、
前記液体に対して撥液性の凹凸が表面に形成された撥液構造部と、
前記液体に対して撥液性の膜が表面に形成された平坦部と、
を備えることを特徴とする補助板。
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