JP2014127697A5 - 露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法に関する。

Claims (23)

1. 液体を介して露光光で基板を露光する露光装置であって、
   前記露光光が射出される射出面を有する光学部材と、
   前記露光光の光路の周囲の少なくとも一部に配置され、前記光学部材の下方で移動可能な物体上に前記液体の液浸空間を形成可能であり、前記液浸空間の液体の少なくとも一部を回収可能な回収部及び前記回収部からの前記液体が流通可能な第１流路を有する可動部材を含む液浸部材と、
   前記可動部材に接続され、前記第１流路からの前記液体が流通可能な第２流路を有し、少なくとも一部が変形可能な変形部材と、を備える露光装置。
2. 前記液浸部材は、前記光学部材の周囲の少なくとも一部に配置される第１部材と、前記第１部材の下方において前記物体が対向可能に配置され、前記第１部材に対して可動な第２部材と、を有し、
   前記可動部材は、前記第２部材を含む請求項１に記載の露光装置。
3. 前記可動部材が移動される可動範囲において、前記変形部材は弾性変形可能である請求項１又は２に記載の露光装置。
4. 前記可動部材は、前記光学部材の光軸と垂直な面内において移動され、
   前記変形部材は、前記可動部材の移動方向に変形可能である請求項１〜３のいずれか一項に記載の露光装置。
5. 前記変形部材は、少なくとも一部に柔軟部を有するチューブ部材を含む請求項１〜４のいずれか一項に記載の露光装置。
6. 前記光学部材を支持する基準フレームと、
   前記液浸部材の少なくとも一部を支持する支持フレームと、
   前記基準フレーム及び前記支持フレームを支持する装置フレームと、を備え、
   前記変形部材は、前記支持フレームに支持される請求項１〜５のいずれか一項に記載の露光装置。
7. 液体を介して露光光で基板を露光する露光装置であって、
   前記露光光が射出される射出面を有する光学部材と、
   前記露光光の光路の周囲の少なくとも一部に配置され、前記光学部材の下方で移動可能な物体上に前記液体の液浸空間を形成可能であり、前記液浸空間の液体の少なくとも一部を回収可能な回収部及び前記回収部からの前記液体が流通可能な第１流路を有する可動部材を含む液浸部材と、
   少なくとも一部が前記可動部材と対向し、前記第１流路からの前記液体が流通可能な第２流路を有し、少なくとも一部が前記可動部材に対して相対移動可能な接続装置と、を備え、
   前記第１流路と液体回収装置に通じる第３流路とが前記第２流路を介して接続される露光装置。
8. 前記液浸部材は、前記光学部材の周囲の少なくとも一部に配置される第１部材と、前記第１部材の下方において前記物体が対向可能に配置され、前記第１部材に対して可動な第２部材と、を有し、
   前記可動部材は、前記第２部材を含む請求項７に記載の露光装置。
9. 前記接続装置は、第１ジョイント部を介して前記可動部材と接続され、前記第２流路の第１部分が形成される第１リンク部材と、第２ジョイント部を介して前記第１リンク部材と接続され、前記第２流路の第２部分が形成される第２リンク部材と、を含むリンク機構を有する請求項７又は８に記載の露光装置。
10. 前記光学部材を支持する基準フレームと、
    前記液浸部材の少なくとも一部を支持する支持フレームと、
    前記基準フレーム及び前記支持フレームを支持する装置フレームと、を備え、
    前記接続装置は、前記支持フレームに支持される請求項７〜９のいずれか一項に記載の露光装置。
11. 前記可動部材は、前記光学部材の光軸と垂直な面内において移動する請求項１〜１０のいずれか一項に記載の露光装置。
12. 前記物体が対向可能に配置される多孔部材を備え、
    前記回収部は、前記多孔部材を含む請求項１〜１１のいずれか一項に記載の露光装置。
13. 前記液浸空間が形成されている状態において、前記可動部材は移動可能である請求項１〜１２のいずれか一項に記載の露光装置。
14. 前記射出面から前記露光光が射出される期間の少なくとも一部において、前記可動部材は移動可能である請求項１〜１３のいずれか一項に記載の露光装置。
15. 前記可動部材は、前記物体との相対移動が小さくなるように移動される請求項１〜１４のいずれか一項に記載の露光装置。
16. 前記可動部材は、前記可動部材と前記物体との相対移動が、前記光学部材と前記物体との相対移動よりも小さくなるように移動される請求項１〜１５のいずれか一項に記載の露光装置。
17. 前記物体は、前記基板を含み、
    前記液浸空間が形成された状態で、前記基板は、前記光学部材の光軸と実質的に垂直な面内において、第１経路を移動後、第２経路を移動し、
    前記第１経路において、前記基板の移動は、前記面内における第１軸と実質的に平行な第１方向への移動を含み、
    前記第２経路において、前記基板の移動は、前記面内において前記第１軸と直交する第２軸と実質的に平行な第２方向への移動を含み、
    前記可動部材は、前記基板が前記第２経路を移動する期間の少なくとも一部において、前記第２方向に移動する請求項１〜１６のいずれか一項に記載の露光装置。
18. 前記基板が前記第１経路を移動するときに前記液浸空間の液体を介して前記基板のショット領域に前記露光光が照射され、前記第２経路を移動するときに前記露光光が照射されない請求項１７に記載の露光装置。
19. 前記基板は、前記第２経路を移動した後に、第３経路を移動し、
    前記第３経路において、前記基板の移動は、前記第１方向の反対の第３方向への移動を含み、
    前記可動部材は、前記基板が前記第３経路を移動する期間の少なくとも一部において、前記第２方向の反対の第４方向に移動する請求項１７又は１８に記載の露光装置。
20. 請求項１〜１９のいずれか一項に記載の露光装置を用いて基板を露光することと、
    露光された前記基板を現像することと、を含むデバイス製造方法。
21. 光学部材の射出面と基板との間の液体を介して露光光で前記基板を露光する露光方法であって、
    前記露光光の光路の周囲の少なくとも一部に配置され、前記光学部材の下方で移動可能な物体上に前記液体の液浸空間を形成可能であり、前記液浸空間の液体の少なくとも一部を回収可能な回収部及び前記回収部からの前記液体が流通可能な第１流路を有する可動部材を含む液浸部材を用いて、前記光学部材の下方で移動可能な前記基板上に前記液体の液浸空間を形成することと、
    前記液浸空間の前記液体を介して前記射出面から射出される前記露光光で前記基板を露光することと、
    前記基板の露光の少なくとも一部において、前記可動部材を移動することと、
    前記回収部から回収され前記第１流路を流れる液体を、前記可動部材に接続され、少なくとも一部が変形可能な変形部材の第２流路を介して回収することと、を含む露光方法。
22. 光学部材の射出面と基板との間の液体を介して露光光で前記基板を露光する露光方法であって、
    前記露光光の光路の周囲の少なくとも一部に配置され、前記光学部材の下方で移動可能な物体上に前記液体の液浸空間を形成可能であり、前記液浸空間の液体の少なくとも一部を回収可能な回収部及び前記回収部からの前記液体が流通可能な第１流路を有する可動部材を含む液浸部材を用いて、前記光学部材の下方で移動可能な前記基板上に前記液体の液浸空間を形成することと、
    前記液浸空間の前記液体を介して前記射出面から射出される前記露光光で前記基板を露光することと、
    前記基板の露光の少なくとも一部において、前記可動部材を移動することと、
    前記回収部から回収され前記第１流路を流れる液体を、少なくとも一部が前記可動部材と対向し、少なくとも一部が前記可動部材に対して相対移動可能な接続装置の第２流路、及び前記第２流路を介して前記第１流路と接続される第３流路を介して液体回収装置で回収することと、を含む露光方法。
23. 請求項２１又は２２に記載の露光方法を用いて基板を露光することと、
    露光された前記基板を現像することと、を含むデバイス製造方法。