JP2012142605A5 - 液浸部材、液浸露光装置、及びデバイス製造方法。 - Google Patents

Claims (20)

1. 光学部材から射出される露光光で基板を露光する液浸露光装置で用いられる液浸部材であって、
   液体供給口と、
   前記露光光の光路の周囲に形成された下面と、
   前記露光光の光路に対して前記下面の外側に配置された第１開口部と、
   前記液体供給口から供給された液体が前記第１開口部を介して流入可能な空隙部と、
   前記第１開口部よりも高い位置に配置され、前記空隙部に流入した前記液体の少なくとも一部を回収可能な液体回収部と、
   前記液体回収部よりも高い位置に配置された第２開口部と、を備え、
   前記空隙部の気体が前記第２開口部を介して前記空隙部の外へ流出可能な液浸部材。
2. 前記第１開口部が前記下面を囲むように配置される請求項１記載の液浸部材。
3. 前記液体供給口は、前記下面に設けられている請求項１又は２記載の液浸部材。
4. 前記露光光が通過する開口を有する第１部材と、
   前記第１部材とは異なる第２部材とをさらに備え、
   前記液体回収部は、前記第２部材に設けられている請求項１〜３のいずれか一項記載の液浸部材。
5. 前記第１部材は第１部分を有し、
   前記第２部材は第２部分を有し、
   前記第１部分と前記第２部分が対向するように前記第１部材と前記第２部材とが配置され、
   前記空隙部は、前記第１部分と前記第２部分との間に形成され、
   前記液体回収部は、前記第２部分に設けられている請求項４記載の液浸部材。
6. 前記液体供給口は、前記第１部材に設けられている請求項４又は５記載の液浸部材。
7. 前記第１部材と前記第２部材とは、相対的に移動可能である請求項４〜６のいずれか一項記載の液浸部材。
8. 前記液体回収部からから回収された前記液体が流れる回収流路をさらに備える請求項１〜７のいずれか一項記載の液浸部材。
9. 前記液体回収部は、前記空隙部から前記回収流路への気体の通過を抑制する請求項８記載の液浸部材。
10. 前記液体回収部は、前記空隙部から前記回収流路へ液体のみを通過させる請求項８又は９記載の液浸部材。
11. 前記液体供給口から供給された前記液体は、前記露光光が通過する前記開口を介して前記第１開口部から前記空隙部に流入する請求項１〜１０のいずれか一項記載の液浸部材。
12. 前記第２開口部が、前記基板の表面と対向しない位置に配置される請求項１〜１１のいずれか一項記載の液浸部材。
13. 請求項１〜１２のいずれか一項記載の液浸部材を備えた液浸露光装置。
14. 光学部材から射出される露光光で基板を露光する液浸露光装置で用いられる液浸部材であって、
    液体供給口と、
    前記露光光が通過可能な開口を有する第１部材と、
    前記第１部材に対して移動可能な第２部材と、
    前記第１部材と前記第２部材との間の第１開口部から空隙部に流入した液体の少なくとも一部を回収可能な液体回収部と、
    前記空隙部に接続され、気体が流通可能な第２開口部と、を備え、
    前記第２開口部が、前記液体回収部よりも高い位置に配置される液浸部材。
15. 前記第２部材は、前記第１部材の第１下面よりも低い位置に配置される第２下面を有する請求項１４記載の液浸部材。
16. 前記液体供給口が、前記第１下面に設けられた請求項１５記載の液浸部材。
17. 請求項１４〜１６のいずれか一項記載の液浸部材を備えた液浸露光装置。
18. 前記第２部材を移動する駆動装置をさらに備えた請求項１７記載の液浸露光装置。
19. 前記基板の表面の一部が局所的に覆われるように液浸空間を形成するときに、前記液浸部材の液体供給口から液体供給を行うとともに、前記液浸部材の液体回収部から液体回収を行う請求項１３〜１８のいずれか一項記載の液浸露光装置。
20. 請求項１３〜１９のいずれか一項に記載の液浸露光装置を用いて基板を露光することと、
    前記露光された基板を現像することと、を含むデバイス製造方法。