JP2010118680A5 - - Google Patents

Claims (37)

1. 投影光学系と、前記投影光学系と基板との間の液体とを介して前記基板上にパターンの像を投影することによって前記基板を露光する露光装置であって、
   液体供給流路を介して供給口から前記液体を供給する液体供給機構と、
   前記液体供給流路が閉じられている状態で、前記液体供給流路の液体を排出する液体排出機構と、を備える露光装置。
2. 前記液体排出機構は、前記液体供給流路に接続された配管を使って前記液体供給流路から液体を排出する請求項１記載の露光装置。
3. 投影光学系と、前記投影光学系と基板との間の液体とを介して前記基板上にパターンの像を投影することによって前記基板を露光する露光装置であって、
   液体供給流路を介して供給口から前記液体を供給する液体供給機構と、
   前記液体供給流路に接続される配管を使って、前記液体供給流路の液体を排出する液体排出機構と、を備える露光装置。
4. 前記配管は、前記液体供給流路を閉じるバルブと前記供給口との間の前記液体供給流路に接続される請求項２又は３記載の露光装置。
5. 前記配管は、前記液体供給流路の前記液体を吸引する吸引路を含む請求項２〜４のいずれか一項記載の露光装置。
6. 前記吸引路には逆止弁が設けられている請求項５記載の露光装置。
7. 前記液体供給路は、前記吸引路を介して負圧源に接続される請求項５又は６記載の露光装置。
8. 前記液体排出機構は、前記配管を介して前記液体供給路に気体を流して前記液体供給路から液体を排出する請求項２〜４のいずれか一項記載の露光装置。
9. 前記液体排出機構は、加圧ポンプを使って、前記液体供給路に気体を流す請求項８記載の露光装置。
10. 前記液体供給流路に前記液体が存在しているかどうかを検出する検出器を備えた請求項１〜９のいずれか一項記載の露光装置。
11. 前記液体排出機構は、異常時に、前記液体供給流路の液体を排出する請求項１〜１０のいずれか一項記載の露光装置。
12. 前記異常は、停電による電力供給の停止を含む請求項１１記載の露光装置。
13. 前記異常は、地震の発生を含む請求項１１又は１２記載の露光装置。
14. 前記基板は、前記投影光学系に対して移動可能なステージに保持され、
    前記異常は、前記投影光学系と前記ステージとの位置関係の異常を含む請求項１１〜１３のいずれか一項記載の露光装置。
15. 前記基板の周囲の隙間に流入した液体を前記ステージに設けられた流路を介して回収する第２液体回収機構を備えた請求項１４記載の露光装置。
16. 前記基板を露光しているときに、前記基板上の前記液体を回収口から回収する第１液体回収機構を備え、
    前記異常は、前記第１液体回収機構の液体回収動作の異常を含む請求項１１〜１３のいずれか一項記載の露光装置。
17. 前記基板を露光しているときに、前記基板上の前記液体を回収口から回収する第１液体回収機構を備え、
    前記液体供給機構による液体供給の停止後、前記第１液体回収機構の前記回収口からの液体回収動作が継続される請求項１〜１３のいずれか一項記載の露光装置。
18. 前記回収口から回収された液体と気体とを分離する気液分離器を備えた請求項１６又は１７記載の露光装置。
19. 前記回収口から回収された液体は、気体と分離されてタンクに収容される請求項１６〜１８のいずれか一項記載の露光装置。
20. 前記回収口から回収された液体が流れる液体回収流路に液体が存在しているかどうかを検出する検出器を備えた請求項１６〜１９のいずれか一項記載の露光装置。
21. 前記基板は、前記投影光学系に対して移動可能なステージに保持され、
    前記基板の周囲の隙間に流入した液体を前記ステージに設けられた流路を介して回収する第２液体回収機構を備えた請求項１６〜２０のいずれか一項記載の露光装置。
22. 前記基板は、前記投影光学系に対して移動可能なステージに保持され、
    前記基板の周囲の隙間に流入した液体を前記ステージに設けられた流路を介して回収する第２液体回収機構を備えた請求項１〜１３のいずれか一項記載の露光装置。
23. 前記液体排出機構は、液体供給不要時に、前記液体供給流路から液体を排出する請求項１〜２２のいずれか一項記載の露光装置。
24. 前記液体排出機構は、前記基板の液浸露光終了後に、前記液体供給流路から液体を排出する請求項１〜２３のいずれか一項記載の露光装置。
25. 請求項１〜２４のいずれか一項記載の露光装置を用いるデバイス製造方法。
26. 投影光学系と液体とを介して基板上にパターンの像を投影することによって前記基板を露光する露光方法であって、
    液体供給流路を介して液体を供給することと、
    前記供給された液体を介して前記パターンの像を前記基板に投影することと、
    前記液体供給流路を閉じることと、
    前記液体供給流路が閉じられた状態で、前記液体供給流路から前記液体を排出することと、を含む露光方法。
27. 前記液体の排出は、前記液体供給流路の液体を吸引することを含む請求項２６記載の露光方法。
28. 前記液体の排出は、前記液体供給路に気体を流すことを含む請求項２６記載の露光方法。
29. 前記液体供給流路に前記液体が存在しているかどうかを検出することを含む請求項２６〜２８のいずれか一項記載の露光方法。
30. 前記液体供給流路の液体の排出は、異常時に行われる請求項２６〜２９のいずれか一項記載の露光方法。
31. 前記異常は、停電による電力供給の停止を含む請求項３０記載の露光方法。
32. 前記基板は、前記投影光学系に対して移動可能なステージに保持され、
    前記異常は、前記投影光学系と前記ステージとの位置関係の異常を含む請求項３０又は３１記載の露光方法。
33. 前記基板を露光しているときに、第１液体回収機構により前記基板上の前記液体を回収することをさらに含み、
    前記異常は、前記第１液体回収機構の液体回収動作の異常を含む請求項３０〜３２のいずれか一項に記載の露光方法。
34. 前記回収口から回収された液体が流れる液体回収流路に液体が存在しているかどうかを検出することをさらに含む請求項３３記載の露光方法。
35. 前記液体供給流路の液体の排出は、液体供給不要時に行われる請求項２６〜３４のいずれか一項記載の露光方法。
36. 前記液体供給流路の液体の排出は、前記基板の液浸露光終了後に行われる請求項２６〜３５のいずれか一項記載の露光方法。
37. 請求項２６〜３６のいずれか一項記載の露光方法を用いるデバイス製造方法。