JP2006222165A - 露光装置 - Google Patents
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- G03F7/70216—Mask projection systems
- G03F7/70341—Details of immersion lithography aspects, e.g. exposure media or control of immersion liquid supply
Abstract
【解決手段】投影光学系を介して原版のパターンを基板に投影する露光装置であって、投影光学系と、前記投影光学系と基板との間の露光光通過領域に液体を供給するためのノズルと、前記ノズルに供給するための液体を循環させる循環系と、前記循環系内の液体の温度を調節する第1の温度調節手段とを有する。
【選択図】 図1
Description
図1は、本発明の好適な第1の実施形態に係る露光装置の液浸液供給系統図であり、図5と共通する構成は同じ符号で示している。
図2は、本発明の好適な第2の実施形態に係る露光装置の液浸液供給系統図であり、図1の第1の実施形態と共通する構成は同じ符号で示している。
図3は、本発明の好適な第3の実施形態に係る露光装置の液浸液供給系統図であり、図1の第1の実施形態と共通する構成は同じ符号で示している。
図4は、本発明の好適な第4の実施形態に係る露光装置の液浸液供給系統図であり、図1の第1の実施形態と共通する構成は同じ符号で示している。
次に、この露光装置を利用した半導体デバイスの製造プロセスを説明する。図7は半導体デバイスの全体的な製造プロセスのフローを示す図である。ステップS1(回路設計)では半導体デバイスの回路設計を行う。ステップS2(マスク作製)では設計した回路パターンに基づいてマスクを作製する。
2 断熱タンク
3 遮断弁
4 液面レベルセンサー
5 ポンプ
6 熱交換器
7 回収配管
8 液浸液温調循環系
9 温度センサー
10 温調用流体循環系
11 冷却器
12 タンク
13 ポンプ
14 ヒーター
15 温調器
16 供給弁
17 流量調整弁
18 ノズル供給制御部
19 ガス供給弁
20 回収流量調整弁
21 液浸壁
22 液体供給ノズル
23 液体回収口
24 冷却器
25 ヒーター
26 温度センサー
27 温調器
28 供給ライン
29 ノズル供給配管
30 供給弁
31 光源
32 導入部
33 照明光学系
34 レチクル
35 レチクルステージ
36 投影光学系
37 ウエハ
38 ウエハステージ
41 イオン交換膜
42 脱気膜
43 UVランプ
44 ヒーター
45 温度センサー
46 温調器
47 熱交換器
48 温調器
49 温度センサー
Claims (14)
- 投影光学系を介して原版のパターンを基板に投影する露光装置であって、
投影光学系と、
前記投影光学系と基板との間の露光光通過領域に液体を供給するためのノズルと、
前記ノズルに供給するための液体を循環させる循環系と、
前記循環系内の液体の温度を調節する第1の温度調節手段と
を有することを特徴とする露光装置。 - 前記循環系は、外部から供給される液体を溜めるタンクを有することを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記循環系は、前記タンクから出て前記タンクに戻る第1の流路を有することを特徴とする請求項2に記載の露光装置。
- 前記第1の温度調節手段は、液体との間で熱交換を行う熱交換手段を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の露光装置。
- 前記タンク内の液体の量を検出する検出手段と、
前記検出手段の検出結果に基づいて、外部から前記タンクに供給される液体の流量を調節する第1の流量調節手段と
を有することを特徴とする請求項2または3に記載の露光装置。 - 前記循環系から前記ノズルに流体を供給するための弁を有することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の露光装置。
- 前記循環系は、前記タンクに還流する流量を調節する第2の流量調節手段を有することを特徴とする請求項6に記載の露光装置。
- 前記弁と前記ノズルとの間に配された第2の流路と、
前記第2の流路内の液体の流量を調節する第3の流量調節手段と
を有することを特徴とする請求項6または7に記載の露光装置。 - 前記弁と前記ノズルとの間に配された第2の流路と、
前記第2の流路内に気体を供給する気体供給手段と
を有することを特徴とする請求項6または7に記載の露光装置。 - 前記循環系は、液体中に溶存するイオンを除去するイオン交換手段、液体中の気泡を除去する脱気手段および滅菌手段の少なくとも1つを有することを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の露光装置。
- 前記循環系の流路は、前記投影光学系と熱交換する部分を有することを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に記載の露光装置。
- 前記第1の温度調節手段は、前記熱交換手段の下流に液体を加熱する加熱手段を有することを特徴とする請求項4に記載の露光装置。
- 外部から前記タンクに供給される液体の温度を調節する第2の温度調節手段を有することを特徴とする請求項1乃至12のいずれか1項に記載の露光装置。
- 請求項1乃至13のいずれか1項に記載の露光装置を用いて原版のパターンを基板に投影する段階を有することを特徴とするデバイス製造方法。
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