TW202141201A

TW202141201A - 導管系統、輻射源、微影裝置及其方法

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Publication number: TW202141201A
Application number: TW110110156A
Authority: TW
Inventors: 思齊羅; 湯瑪斯狄克森史提格; 安德魯杰二世艾芬伯格; 穆罕默德阿明哈梅奇
Original assignee: 美商希瑪有限責任公司
Priority date: 2020-04-06
Filing date: 2021-03-22
Publication date: 2021-11-01
Also published as: US20230163551A1; WO2021206838A1; JP2023519552A; CN115362607A; TWI806020B; KR20220141898A; JP7524339B2

Abstract

一種脈衝放電輻射源包括一氣體腔室、一窗及一導管系統。該導管系統包括一再填充路徑及一導管。該脈衝放電輻射源產生輻射。該氣體腔室侷限在輻射之該產生期間所產生之一氣體及污染物。該窗將該氣體與該氣體腔室外部之一環境隔離且允許該輻射在該氣體腔室與該環境之間行進。該再填充路徑允許替換該氣體。該導管在該產生期間將該氣體循環至該氣體腔室或自該氣體腔室循環。該導管系統至少在一再填充操作期間引導一再填充氣體、該氣體或該再填充氣體及該氣體中之一者的一流以防止該污染物接觸該窗，藉以該導管系統增加至少該窗之可用壽命。

Description

導管系統、輻射源、微影裝置及其方法

本發明係關於脈衝放電輻射源，例如用於微影系統之紫外線氣體放電雷射。

用以產生深紫外線(DUV)輻射之方法包括但不限於使用脈衝放電輻射源。準分子雷射係脈衝放電輻射源之實例。脈衝放電輻射源激發侷限於腔室中之氣體分子以產生具有所要波長之雷射輻射。輻射可經由窗自腔室離開。氣體分子可包括但不限於氟、氖、氪、氬及其類似者。可藉由經由電極向氣體供應電壓(例如，電脈衝)來激發氣體分子。遍及輻射源之壽命，氣體腔室可歸因於電極與氣體之相互作用而產生污染物微粒。污染物微粒可接著污染其他光學敏感部分(例如，窗)且引起輻射源之出人意料的早期故障。

脈衝放電輻射源可用於在多種應用中產生輻射，例如在微影裝置中產生DUV輻射。微影裝置係將所要圖案塗佈至基板上(通常塗佈至基板之目標部分上)之機器。微影裝置可用於例如積體電路(IC)製造中。在彼情況下，圖案化器件(其可為遮罩或倍縮光罩)可用以產生待形成於IC之個別層上之電路圖案。此圖案可轉印至基板(例如，矽晶圓)上之目標部分(例如，包含晶粒之部分、一個晶粒或若干晶粒)上。通常經由成像至提供於基板上之輻射敏感材料(抗蝕劑)層上來進行圖案之轉印。一般而言，單一基板將含有連續地經圖案化之鄰近目標部分之網路。已知微影裝置包括：所謂的步進器，其中藉由一次性將整個圖案曝光至目標部分上來輻照每一目標部分；及所謂的掃描器，其中藉由在給定方向(「掃描」方向)上經由輻射光束掃描圖案同時在平行於且沿著掃描方向或平行於且逆著掃描方向的方向上同步地掃描目標部分來輻照每一目標部分。

微影裝置通常包括照明系統，該照明系統在由輻射源產生之輻射入射於圖案化器件上之前調節該輻射。DUV或光之經圖案化光束可用以在基板上產生極小特徵。該照明系統可包括具有氣體腔室之脈衝放電輻射源，該氣體腔室可歸因於該氣體腔室中之污染物而易發生早期故障。

因此，需要保護光學敏感組件或以其他方式減少歸因於污染物(例如，藉由管理輻射源內之氣流)的脈衝放電輻射源之不合時宜失效之可能性。

在一些實施例中，一種脈衝放電輻射源包含一氣體腔室、一窗及一導管系統。該導管系統包含一再填充路徑及一導管。該脈衝放電輻射系統經組態以產生輻射。該氣體腔室經組態以侷限在該產生期間所產生之一氣體及一污染物。該窗經組態以將該氣體與該氣體腔室外部之一環境隔離且允許該輻射在該氣體腔室與該環境之間行進。該再填充路徑經組態以允許替換該氣體。該導管經組態以在該產生期間將該氣體循環至該氣體腔室或自該氣體腔室循環。該導管系統經組態以至少在一再填充操作期間引導一再填充氣體、該氣體或該再填充氣體及該氣體中之一者的一流以防止該污染物接觸該窗，藉以該導管系統增加至少該窗之可用壽命。

在一些實施例中，一種方法包含使用一脈衝放電輻射源來產生輻射；使用一氣體腔室來侷限在該產生期間所產生之一氣體及污染物；使用一窗隔離該氣體與該氣體腔室外部之一環境；使用該窗允許該輻射在該氣體腔室與該環境之間行進；使用一再填充路徑替換該氣體；在該產生期間將該氣體循環至該氣體腔室或自該氣體腔室循環；及在一再填充操作期間引導一再填充氣體、該氣體或該再填充氣體及該氣體中之一者的一流以防止該污染物接觸該窗。

在一些實施例中，一種微影裝置包含一照明系統及一投影系統。該照明系統包含一氣體腔室、一窗及一導管系統。該照明系統經組態以照明一圖案化器件之一圖案。該氣體腔室經組態以侷限在該產生期間所產生之一氣體及一污染物。該窗經組態以將該氣體與該氣體腔室外部之一環境隔離且允許該輻射在該氣體腔室與該環境之間行進。該再填充路徑經組態以允許替換該氣體。該導管經組態以在該產生期間將該氣體循環至該氣體腔室或自該氣體腔室循環。該導管系統經組態以至少在一再填充操作期間引導一再填充氣體、該氣體或該再填充氣體及該氣體中之一者的一流以防止該污染物接觸該窗，藉以該導管系統增加至少該窗之可用壽命。該投影系統經組態以將該圖案之一影像投影至一基板上。

下文參考隨附圖式詳細地描述本發明之另外特徵以及各種實施例之結構及操作。應注意，本發明不限於本文中所描述之特定實施例。本文中僅出於說明性目的呈現此類實施例。基於本文中所含之教示，額外實施例對於熟習相關技術者將係顯而易見的。

本說明書揭示併有本發明之特徵之一或多個實施例。所揭示之實施例被提供為實例。本發明之範疇不限於所揭示之實施例。所主張之特徵係由此處附加之申請專利範圍界定。

所描述之實施例及說明書中對「一個實施例」、「一實施例」、「一例示性實施例」、「一實例實施例」等之參考指示所描述之實施例可包括一特定特徵、結構或特性，但每一實施例可未必包括該特定特徵、結構或特性。此外，該等片語未必指同一實施例。另外，當結合一實施例描述一特定特徵、結構或特性時，應理解，無論是否予以明確描述，結合其他實施例來實現此特徵、結構或特性皆係在熟習此項技術者之認識範圍內。

為易於描述，本文中可使用諸如「在…之下」、「在…下方」、「下部」、「在…上方」、「在…之上」、「上部」及其類似者的空間相對術語，以描述如諸圖中所繪示的一個元件或特徵與另一元件或特徵的關係。除圖式中所描繪之定向之外，空間相對術語亦意欲涵蓋器件在使用或操作中之不同定向。裝置可以其他方式定向(旋轉90度或處於其他定向)且本文中所使用之空間相對描述詞可同樣相應地進行解譯。

如本文中所使用之術語「約」指示可基於特定技術變化之給定數量的值。基於特定技術，術語「約」可指示例如在值之10%至30%內(例如，值之±10%、±20%或±30%)變化之給定數量的值。

本發明之實施例可實施於硬體、韌體、軟體或其任何組合中。本發明之實施例亦可經實施為儲存於機器可讀媒體上之指令，該等指令可藉由一或多個處理器讀取及執行。機器可讀媒體可包括用於儲存或傳輸以可由機器(例如，計算器件)讀取之形式之資訊的任何機構。舉例而言，機器可讀媒體可包括唯讀記憶體(ROM)；隨機存取記憶體(RAM)；磁碟儲存媒體；光學儲存媒體；快閃記憶體器件；電學、光學、聲學或其他形式之傳播信號(例如，載波、紅外信號、數位信號等)；及其他。另外，韌體、軟體、常式及/或指令可在本文中描述為進行特定動作。然而，應瞭解，此類描述僅係出於方便起見，且此類動作實際上係由計算器件、處理器、控制器或執行韌體、軟體、常式、指令等之其他器件引起。

然而，在更詳細地描述該等實施例之前，有指導性的係呈現可供實施本發明之實施例的實例環境。

實例微影系統

圖1A及圖1B分別展示微影裝置100及微影裝置100'之示意性說明，其中可實施本發明之實施例。微影裝置100及微影裝置100'各自包括以下各者：照明系統(照明器) IL，其經組態以調節輻射光束B (例如，深紫外線或極紫外線輻射)；支撐結構(例如，遮罩台) MT，其經組態以支撐圖案化器件(例如，遮罩、倍縮光罩或動態圖案化器件) MA且連接至經組態以準確地定位該圖案化器件MA之第一定位器PM；及基板台(例如，晶圓台) WT，其經組態以固持基板(例如，抗蝕劑塗佈晶圓) W且連接至經組態以準確地定位該基板W之第二定位器PW。微影裝置100及100'亦具有投影系統PS，該投影系統經組態以將由圖案化器件MA賦予至輻射光束B之圖案投影至基板W之目標部分(例如，包含一或多個晶粒) C上。在微影裝置100中，圖案化器件MA及投影系統PS係反射式的。在微影裝置100'中，圖案化器件MA及投影系統PS係透射式的。

照明系統IL可包括用於引導、塑形或控制輻射光束B之各種類型之光學組件，諸如折射、反射、反射折射、磁性、電磁、靜電或其他類型之光學組件或其任何組合。

支撐結構MT以取決於圖案化器件MA相對於參考框架之定向、微影裝置100及100'中之至少一者之設計及其他條件(諸如，圖案化器件MA是否固持於真空環境中)的方式來固持圖案化器件MA。支撐結構MT可使用機械、真空、靜電或其他夾持技術來固持圖案化器件MA。舉例而言，支撐結構可為框架或台，其可視需要而固定或可移動。藉由使用感測器，支撐結構MT可確保圖案化器件MA例如相對於投影系統PS處於所要位置處。

應將術語「圖案化器件」MA廣泛地解釋為指代任何器件，該器件可用以在其橫截面中向輻射光束B賦予圖案，以便在基板W之目標部分C中產生圖案。賦予至輻射光束B之圖案可對應於器件中之特定功能層，在目標部分C中產生該功能層以形成積體電路。

圖案化器件MA可為透射式的(如在圖1B之微影裝置100'中)或反射式的(如在圖1A之微影裝置100中)。圖案化器件MA之實例包括倍縮光罩、遮罩、可程式化鏡面陣列及可程式化LCD面板。遮罩在微影中已為人所熟知，且包括諸如二元、交替相移或衰減相移之遮罩類型，以及各種混合遮罩類型。可程式化鏡面陣列之實例使用小鏡面之矩陣配置，該等小鏡面中之每一者可個別地傾斜以便在不同方向上反射入射輻射光束。傾斜鏡面在由小鏡面矩陣反射之輻射光束B中賦予圖案。

術語「投影系統」PS可涵蓋如適於所使用之曝光輻射或適於諸如基板W上之浸潤液體之使用或真空之使用的其他因素的任何類型之投影系統，包括折射、反射、反射折射、磁性、電磁及靜電光學系統，或其任何組合。可藉助於真空壁及真空泵來將真空環境提供至整個光束路徑。

微影裝置亦可為以下類型：其中基板之至少一部分可由具有相對較高折射率之液體(例如，水)覆蓋，以便填充投影系統與基板之間的空間。亦可將浸潤液體施加至微影裝置中之其他空間，例如，遮罩與投影系統之間的空間。浸潤技術在此項技術中為人所熟知用於增大投影系統之數值孔徑。本文中所使用之術語「浸潤」並不意謂諸如基板之結構必須浸沒於液體中，而是僅意謂液體在曝光期間位於投影系統與基板之間。

參看圖1A及圖1B，照明器IL自輻射源SO接收輻射光束。舉例而言，當源SO係準分子雷射時，源SO及微影裝置100、100'可為單獨之物理實體。在此類情況下，不認為源SO形成微影裝置100或100'之部分，且輻射光束B係憑藉包括例如合適導向鏡面及/或光束擴展器之光束遞送系統BD (在圖1B中)而自源SO傳遞至照明器IL。在其他情況下，例如，在源SO係水銀燈時，源SO可為微影裝置100、100'之整體部分。源SO及照明器IL連同光束遞送系統BD (在需要時)可被稱作輻射系統。

照明器IL可包括用於調整輻射光束之角強度分佈之調整器AD (在圖1B中)。通常，可調整照明器之光瞳平面中之強度分佈的至少外部徑向範圍及/或內部徑向範圍(通常分別被稱作「σ外部」及「σ內部」)。另外，照明器IL可包含各種其他組件(在圖1B中)，諸如積光器IN及聚光器CO。照明器IL可用於調節輻射光束B以在其橫截面中具有所要均一性及強度分佈。

參看圖1A，輻射光束B入射於經固持於支撐結構(例如，遮罩台) MT上之圖案化器件(例如，遮罩) MA上，且由該圖案化器件MA進行圖案化。在微影裝置100中，自圖案化器件(例如，遮罩) MA反射輻射光束B。在自圖案化器件(例如，遮罩) MA反射之後，輻射光束B穿過投影系統PS，該投影系統將該輻射光束B聚焦至基板W之目標部分C上。憑藉第二定位器PW及位置感測器IF2 (例如，干涉器件、線性編碼器或電容式感測器)，可準確地移動基板台WT (例如，以便使不同目標部分C定位於輻射光束B之路徑中)。類似地，第一定位器PM及另一位置感測器IF1可用以相對於輻射光束B之路徑來準確地定位圖案化器件(例如，遮罩) MA。可使用遮罩對準標記M1、M2及基板對準標記P1、P2來對準圖案化器件(例如，遮罩) MA及基板W。

參看圖1B，輻射光束B入射於經固持於支撐結構(例如，遮罩台MT)上之圖案化器件(例如，遮罩MA)上，且由該圖案化器件進行圖案化。在已橫穿遮罩MA之情況下，輻射光束B穿過投影系統PS，該投影系統將該光束聚焦至基板W之目標部分C上。

投影系統PS將遮罩圖案MP之影像投影至塗佈於基板W上之光阻層上，其中該影像係由繞射光束形成，該等繞射光束係藉由來自強度分佈之輻射而自標記圖案MP產生。舉例而言，遮罩圖案MP可包括線及空間之陣列。在陣列處且不同於零階繞射之輻射繞射產生轉向之繞射光束，該等繞射光束在垂直於該等線的方向上具有方向改變。非繞射光束(亦即，所謂的零階繞射光束)橫穿圖案，而不具有傳播方向之任何改變。零階繞射光束橫穿投影系統PS之在投影系統PS之光瞳共軛PPU上游的上部透鏡或上部透鏡群組，以到達光瞳共軛PPU。在光瞳共軛PPU之平面中且與零階繞射光束相關聯的強度分佈之部分係照明系統IL之照明系統光瞳IPU中之強度分佈的影像。孔徑器件PD例如在包括投影系統PS之光瞳共軛PPU之平面處安置或實質上在該平面處安置。

投影系統PS經配置以藉助於透鏡或透鏡群組L不僅捕獲零階繞射光束，而且亦捕獲一階或一階及高階繞射光束(未展示)。在一些實施例中，可使用用於使在垂直於線之方向上延伸之線圖案成像的偶極照明以利用偶極照明之解析度增強效應。舉例而言，一階繞射光束在晶圓W之位準處干涉對應的零階繞射光束，而以最高可能解析度及程序窗(亦即，與可容許之曝光劑量偏差結合之可用聚焦深度)產生線圖案MP之影像。在一些實施例中，可藉由在照明系統光瞳IPU之相對四分體中提供輻射極(未展示)來減小散光像差。

憑藉第二定位器PW及位置感測器IF (例如，干涉器件、線性編碼器或電容式感測器)，可準確地移動基板台WT (例如，以便使不同目標部分C定位於輻射光束B之路徑中)。類似地，第一定位器PM及另一位置感測器(圖1B中未展示)可用以相對於輻射光束B之路徑來準確地定位遮罩MA (例如在自遮罩庫之機械擷取之後或在掃描期間)。

一般而言，可憑藉形成第一定位器PM之部分的長衝程模組(粗略定位)及短衝程模組(精細定位)來實現遮罩台MT之移動。類似地，可使用形成第二定位器PW之部分的長衝程模組及短衝程模組來實現基板台WT之移動。在步進器(相對於掃描器)之情況下，遮罩台MT可僅連接至短衝程致動器，或可固定。可使用遮罩對準標記M1、M2及基板對準標記P1、P2來對準遮罩MA與基板W。儘管基板對準標記(如所繪示)佔據專用目標部分，但該等標記可位於目標部分之間的空間中(此等標記被稱為切割道對準標記)。類似地，在多於一個晶粒經設置於遮罩MA上之情形中，遮罩對準標記可位於該等晶粒之間。

遮罩台MT及圖案化器件MA可在真空腔室V中，其中真空內機器人IVR可用以將諸如遮罩之圖案化器件移動進入及離開真空腔室。替代地，當遮罩台MT及圖案化器件MA在真空腔室外部時，與真空內機器人IVR類似，真空外機器人可用於各種輸送操作。需要校準真空內機器人及真空外機器人兩者以用於任何有效負載(例如，遮罩)至轉移站之固定運動安裝台之平滑轉移。

微影裝置100及100'可用於以下模式中之至少一者中：

1. 在步進模式下，在將賦予至輻射光束B之整個圖案一次性地投影至目標部分C上(亦即，單次靜態曝光)時，支撐結構(例如，遮罩台) MT及基板台WT基本上保持靜止。接著，基板台WT在X及/或Y方向上移位，使得不同目標部分C可經曝光。

2. 在掃描模式中，在將賦予至輻射光束B之圖案投影至目標部分C上(亦即，單次動態曝光)時，同步地掃描支撐結構(例如，遮罩台) MT及基板台WT。可藉由投影系統PS之放大率(縮小率)及影像反轉特性來判定基板台WT相對於支撐結構(例如，遮罩台) MT之速度及方向。

3. 在另一模式中，在將賦予至輻射光束B之圖案投影至目標部分C上時，支撐結構(例如，遮罩台) MT實質上保持靜止從而固持可程式化圖案化器件，且基板台WT經移動或掃描。可採用脈衝式輻射源SO，且在基板台WT之每一移動之後或在掃描期間之順次輻射脈衝之間視需要更新可程式化圖案化器件。此操作模式可易於應用於利用可程式化圖案化器件(諸如，可程式化鏡面陣列)之無遮罩微影。

亦可採用所描述之使用模式之組合及/或變化或完全不同的使用模式。

在一些實施例中，微影裝置100'包括深紫外線(DUV)源，該深紫外線源經組態以產生用於DUV微影之DUV輻射光束。DUV源可為例如氣體放電雷射(例如，準分子雷射)。

例示性微影製造單元

圖2展示根據一些實施例之微影製造單元200，其有時亦被稱作微影單元(lithocell)或叢集。微影裝置100或100'可形成微影製造單元200之部分。微影製造單元200亦可包括一或多個裝置用以在基板上執行曝光前程序及曝光後程序。通常，此等裝置包括用以沈積抗蝕劑層之旋塗器SC、用以顯影經曝光抗蝕劑之顯影器DE、冷卻板CH，及烘烤板BK。基板處置器或機器人RO自輸入/輸出埠I/O1、I/O2拾取基板、在不同程序裝置之間移動基板，且將基板遞送至微影裝置100或100'之裝載區LB。此等器件(常常統稱作塗佈顯影系統)係在塗佈顯影系統控制單元TCU之控制下，該塗佈顯影系統控制單元自身係由監督控制系統SCS控制，該監督控制系統亦經由微影控制單元LACU來控制微影裝置。因此，不同裝置可經操作以最大化產出量及處理效率。

例示性輻射源

存在脈衝放電輻射源之許多應用，例如微影、醫療手術、經由雷射切除之機械加工、雷射壓印等等。微影裝置係其中可能需要穩定照明源之一個實例。照明源可包含對污染物敏感之精密光學總成。圖3展示根據一些實施例之輻射源300。在一些實施例中，輻射源300係例如且不限於氣體放電雷射之脈衝放電輻射源。輻射源300包含氣體腔室302、窗304及導管系統306。輻射源300可進一步包含一或多個電極310 (亦為「電連接件」)。導管系統306可包含閥、導管及污染物過濾器(未展示，但參看圖4更詳細地加以描述)之網路。

在一些實施例中，氣體腔室302可侷限氣體308。氣體308可包含氟、氖、氪、氬及其類似者。導管系統306連接至氣體腔室302。導管系統306可允許管理氣體腔室302中之氣體308。舉例而言，導管系統306可將氣體308之(例如，循環)流引導至導管系統306內之過濾器以純化氣體308。電壓可供應至氣體308 (例如，經由一或多個電極310)以產生輻射312。窗304可允許輻射312離開氣體腔室302。

圖4展示根據一些實施例之輻射源400。在一些實施例中，圖4中展示之輻射源400可表示更詳細的圖3中展示之輻射源300。舉例而言，圖4可展示導管系統306之更詳細視圖。除非另外指出，否則具有與圖3之元件類似的參考編號(例如，共用兩個最右側數字數位之參考編號)的圖4之元件可具有類似結構及功能。

在一些實施例中，輻射源400包含氣體腔室402、窗404及導管系統(例如，圖3之導管系統306)。輻射源400可進一步包含一或多個電極410。輻射源400可進一步包含窗418。窗418之結構及功能可類似於窗404之結構及功能。導管系統包含再填充導管414 (亦為「再填充路徑」)及導管416，及污染物過濾器420 (或僅過濾器)。導管系統可進一步包含單向閥422、導管424、單向閥426及其任何組合。

在一些實施例中，氣體腔室402可侷限氣體408。導管系統可連接至氣體腔室402以允許氣體408例如在操作期間循環以產生輻射412。舉例而言，導管系統可將氣體408循環至連接至氣體腔室402之污染物過濾器420 (藉由箭頭428指定之氣流方向)。污染物過濾器420可自氣體腔室402移除污染物微粒432。導管416將污染物過濾器420連接回至氣體腔室402，且氣流使得清潔的經過濾氣體可吹過窗404 (藉由箭頭430指定之氣流方向)。窗404可侷限來自氣體腔室402外部之環境之氣體408。壓差器件(未展示)可用以產生輻射源400中之氣流。舉例而言，吹風機可在氣體腔室402內部。污染物過濾器420可攔截流動通過氣體腔室402之流的一部分，且在移除污染物微粒432之後將該流重新引導向窗404及418。可使用連接至氣體腔室402之再填充導管414供應或抽空氣體408。亦即，再填充導管414可允許替換氣體408。應瞭解，圖4中展示之管道組態經提供為非限制性實例。舉例而言，可設想使用更多或更少導管、T形接合、閥及其類似者來實現敏感型光學組件(諸如窗404及窗418)之清潔度的管道組態。

在一些實施例中，箭頭428、430及434表示在輻射源400之操作期間(例如，在產生輻射412時)之氣流。為了產生輻射412，可例如經由一或多個電極410將電壓供應至氣體408。輻射412可具有取決於所施加電壓(例如，用於輻射脈衝之電脈衝)之屬性。窗404及418可允許輻射412在氣體腔室402與氣體腔室402外部之環境之間行進。在一些實施例中，輻射源400係氣體放電雷射。輻射源400可包含光學反射器436及部分光學反射器438。光學反射器436及部分光學反射器438一起充當光學諧振器。光學諧振器結合增益介質(例如，氣體408)允許在輻射412在光學反射器436與部分光學反射器438之間來回行進時放大該輻射。輻射源400可接著經由部分光學反射器438處之透射輸出輻射光束440。

在一些實施例中，氣體腔室402之預期壽命取決於經由磨損及撕裂變得不可操作之第一關鍵組件。經受磨損及撕裂之組件之一個實例係一或多個電極410。在輻射源400之操作期間，一或多個電極410與氣體408相互作用。該相互作用使電極材料與氣體408組合且自一或多個電極410分離，從而有效地腐蝕一或多個電極410。該腐蝕經預期且具有可預測之腐蝕速率。操作愈多輻射源400，電極腐蝕愈多。至少一或多個電極410之壽命之基準可經規定為一或多個電極自新電極變為超出可操作性點的經腐蝕電極所花費的時間(例如，可以整個壽命中所產生之脈衝的數目來進行量測)。輻射源400之非所要行為係其中組件在規定壽命之前不可預見地發生故障之行為。

在一些實施例中，污染物微粒432中之一或多者歸因於非預期氣流而有可能沈降在窗404上。舉例而言，先前提及，箭頭428、430及434表示在輻射源400之操作期間之氣體流動。當輻射源400經操作時，氣體408之品質降級(例如，已用過)。因此，可藉由使用再填充導管414進出氣體腔室402來用新鮮新氣體(亦為「再填充氣體」)替換氣體408。再填充氣體可具有與處於未用狀態時之氣體408相同之類型或由不同未用氣體構成。在一些實施例中，替換氣體408之工序包含使用再填充導管414抽空氣體408，且接著再次使用再填充導管414插入再填充氣體。替換氣體408之工序可攪起通常會沈降於氣體腔室402之底部處的污染物微粒432。經攪起之污染物微粒432有較大可能會落在窗404及418上。此外，抽空氣體408可將污染物微粒432抽拉至再填充導管414中，且接著經由同一導管隨後插入再填充氣體可將污染物微粒432全部吹在氣體腔室402周圍，一些甚至會落在窗404及418上。

在一些實施例中，當窗404係可穿透的且允許輻射412穿過時，污染物微粒可自輻射412吸收大量能量，藉此加熱已沈降於窗404上之任何污染物微粒432且將彼熱量傳遞至窗404。輻射412中之能量密度可高至足以經由加熱窗404上之污染物微粒432而損壞窗404。窗404之故障會不可預見地發生在耗盡一或多個電極410的壽命之前且會早在該耗盡之前發生。在IC之大批量生產中，不可預測之機器停工時間(例如，不定期維護)由於出人意料的生產時間損耗而係非常不利的。在其中故障係可預測(例如，發生在規定壽命、定期維護時)之情境中，可準備備份部分及工序。在本文實施例中所描述之結構及功能可減小脈衝放電輻射源之不可預測的早期故障之機率，且因此提高脈衝放電輻射源之平均壽命及可靠性。

在一些實施例中，導管系統經組態以引導再填充氣體、氣體408或再填充氣體及氣體408兩者中之一者之流。氣流之方向可基於導管系統之管道組態而根據輻射源400之操作狀態(例如，在操作期間或在再填充工序期間)改變。可以使得避免攪起或以其他方式將污染物微粒432導向窗404及418之方式來操縱氣流。藉由以此方式操縱氣流，導管系統可增加窗404及418之可用壽命。氣體腔室402、輻射源400及其類似者之可用壽命亦經提高，此係因為可避免出人意料且高成本的拆卸(此係因為僅完全替換輻射源而非拆卸輻射源可為更高效的，輻射源之可用壽命可由僅窗之故障規定)。

在一些實施例中，單向閥422可經安置為與導管416相交。單向閥422可包含止回閥，例如，球止回閥、掀板止回閥、彈簧止回閥、重力止回閥及其類似者。止回閥係閉合以防止回流之閥。單向閥422可表示組合上文所提及之止回閥中之任一者的結構及/或特徵之止回閥系統。舉例而言，可豎直使用球止回閥，藉以藉由重力(例如，重力止回閥)向下推動且閉合球。當止回閥使用在「錯誤」方向上行進之氣體的壓力來關斷自身時，關斷機構上之額外力(例如，來自重力)可提供啟流壓力臨限值，以便使氣體推動斷開止回閥。在一些實施例中，單向閥422可為使用者可調整式閥(例如，電致動閥、具有相對於重力方向之可調整角度的球閥、氣動閥及其類似者)。

在一些實施例中，在抽空氣體408期間，單向閥422可防止氣流(由箭頭430表示)逆轉。舉例而言，防止來自氣體腔室402之氣體408朝向窗404行進。以此方式，污染物微粒432接觸窗404之機率減小。

先前提及，再填充導管414可被污染物微粒432污染。為了避免擴散污染物微粒432，在一些實施例中，導管系統可包含專用於抽空氣體408之單獨抽空導管442 (亦為「抽空路徑」)。在此情境下，再填充導管414可專用於再填充氣體之插入。由於氣體之抽空及再填充係藉由單獨導管處置，因此此組態能夠避免將抽空導管442中之污染物吹回至氣體腔室402中。應瞭解，再填充導管414及抽空導管442之位置不限於圖4中之表示，且其位置可經選擇以便最小化使污染物微粒432擴散在氣體腔室402周圍之可能性(例如，再填充導管414及抽空導管442之位置可互換)。

在一些實施例中，導管系統可包含額外元件，該導管系統允許操縱氣體408及/或再填充氣體之流動。額外元件之結構展示於圖4中，同時功能係參考圖5進行更詳細描述。導管系統可進一步包含導管444 (亦為「旁路導管」)、單向閥446、導管448 (亦為「旁路導管」)及單向閥450。單向閥452可經安置為與再填充導管414相交。單向閥452可防止氣體經由再填充導管414進入氣體腔室402。上文所提及之結構的任何組合可用以實現氣體408及再填充氣體之所要流動方向。

應瞭解，在一些實施例中，導管424、導管448、單向閥426、單向閥450及窗418可分別類似於導管416、導管444、單向閥422、單向閥446及窗404而結構化及組態。舉例而言，類似性可精確地或大致為結構及/或功能對稱性。

圖5A、圖5B及圖5C展示根據一些實施例之輻射源500之一部分。在一些實施例中，輻射源500亦可更詳細表示輻射源300 (圖3)及/或輻射源400 (圖4)。舉例而言，圖5可展示導管系統306及其功能之更詳細視圖。除非另外指出，否則具有與圖3及圖4之元件類似的參考編號(例如，共用兩個最右側數字數位之參考編號)的圖5之元件可具有類似結構及功能。

參看圖5A，展示了氣體508之流動(由箭頭指示且亦展示為氣體微粒且不應與圖4之污染物微粒432混淆)。輻射源500包含氣體腔室502、窗504及導管系統(例如，圖3之導管系統306)。輻射源500可進一步包含窗518。導管系統可包含污染物過濾器520、再填充導管514、導管516、導管524、單向閥522及單向閥526。該導管系統可進一步包含導管544、導管548、單向閥546、單向閥550及單向閥552。此等元件中之一些已參考其在圖4中之各別對應物進行描述(例如，由共用兩個最右側數字數位之數字參考)。

在一些實施例中，氣體508之流動(由箭頭表示)如圖5A中在輻射源500之操作期間(例如，產生輻射)所展示。污染物過濾器520可自氣體腔室502移除污染物(例如，污染物微粒432 (圖4))。導管516將污染物過濾器520連接回至氣體腔室502，且氣流使得清潔的經過濾氣體可吹過窗504。為了有助於流動方向，單向閥522展示為斷開狀態以允許經過濾氣體吹過窗504。相反，單向閥522可閉合以防止氣流逆轉以防止將污染物自氣體腔室502朝向窗504抽出。儘管參考窗504上之污染物來描述功能，但應瞭解，使用對應導管及閥相對於窗518而採用類似或對稱程序。

參看圖5B，在一些實施例中，在抽空氣體508期間，氣體508之流動係由所展示之箭頭表示。在氣流經展示為在兩個方向上自單向閥(例如，單向閥546及550)移出之情況下，當氣流在逆著單向閥之方向性的方向上或氣流之壓力不足以克服單向閥之啟流壓力臨限值時，該等閥可閉合。為了促進抽空氣體508，單向閥552展示為斷開狀態以允許氣體508以防止氣體508及任何污染物流向窗504之方式離開氣體腔室502。

參看圖5C，在一些實施例中，在對氣體腔室502再填充期間，再填充氣體之流動係由所展示之箭頭表示。為了有助於對氣體腔室502再填充，單向閥546展示為斷開狀態以允許再填充氣體進入氣體腔室502。單向閥552處於閉合狀態，以便防止氣體自氣體腔室502流向窗504 (防止存在於氣體腔室502中之污染物流向窗504)。在此組態中，再填充氣體(其為純淨的且無污染的)經由導管544進入氣體腔室502。導管544可為繞過連接氣體腔室502及再填充導管514之孔口的旁路導管。亦即，導管544在導管516與再填充導管514之間形成直接連接。未經污染之再填充氣體(或圖5A中之經過濾氣體508)可流過窗504及518，同時不會在窗504及518上沈積任何灰塵。未經污染之再填充氣體亦可對窗504施加壓力，該壓力可吹掉窗504上存在之任何污染物。以此方式，至少窗504之可用壽命可因減小窗504上的污染物吸收輻射能之概率而增加。

圖6展示根據一些實施例之單向閥600。單向閥600包含導管區段602及掀板604。單向閥600可進一步包含鉸鏈606。鉸鏈606可將掀板604附接至導管區段602。若省略鉸鏈606，則掀板604可為撓性掀板(例如，撓曲件)且直接附接至導管區段602。鉸鏈606可為彈簧負載式，使得可界定啟流壓力臨限值(例如，閥僅在流動壓力超過預定量之情況下斷開)。撓曲件掀板亦可界定啟流壓力臨限值。箭頭608表示單向閥600所允許之流動方向。

圖7展示根據一些實施例之單向閥700之橫截面。單向閥700包含導管區段702及球704。球704可為彈簧負載式，使得可界定啟流壓力臨限值。即使在無彈簧(例如，使用重力及球704之重量)之情況下，單向閥700亦可界定啟流壓力臨限值。箭頭708表示單向閥700所允許之流動方向。

圖8展示根據一些實施例之用於執行本文所描述之功能的方法步驟。可在任何可設想之指令中執行圖8之方法步驟且並不需要執行所有步驟。此外，下文所描述之圖8之方法步驟僅僅反映步驟之實例且並不為限制性的。亦即，基於參考圖1至圖7所描述之實施例，可設想其他方法步驟及功能。

在步驟802處，使用脈衝放電輻射系統來產生輻射。

在步驟804處，使用氣體腔室來侷限在產生期間所產生之氣體及污染物。

在步驟806處，使用窗隔離氣體與氣體腔室外部之環境。

在步驟808處，使用窗允許輻射在氣體腔室與環境之間行進。

在步驟810處，使用再填充路徑替換氣體。

在步驟812處，在再填充操作期間引導再填充氣體、氣體或再填充氣體及氣體中之一者的流以防止污染物接觸窗。

儘管可在本文中特定地參考微影裝置在IC製造中之使用，但是應理解，本文中所描述之微影裝置可具有其他應用，諸如製造整合式光學系統、用於磁域記憶體之導引及偵測圖案、平板顯示器、LCD、薄膜磁頭等。熟習此項技術者應瞭解，在此等替代應用之內容背景中，可認為本文對術語「晶圓」或「晶粒」之任何使用分別與更一般之術語「基板」或「目標部分」同義。可在曝光之前或之後在例如塗佈顯影系統單元(通常將抗蝕劑層施加至基板且顯影經曝光之抗蝕劑的工具)、度量衡單元及/或檢驗單元中處理本文中所提及之基板。適用時，可將本文中之揭示內容應用於此類及其他基板處理工具。此外，可將基板處理一次以上，例如以便產生多層IC，使得本文中所使用之術語基板亦可指已經含有多個經處理層之基板。

應理解，本文中之措詞或術語係出於描述而非限制之目的，使得本發明之術語或措詞待由熟習相關技術者按照本文中之教示予以解譯。

如本文中所使用之術語「輻射」、「光束」、「光」、「照明」及其類似者可涵蓋所有類型之電磁輻射，例如紫外線(UV)輻射(例如，具有365、248、193或157 nm之波長λ)。 DUV通常係指具有介於130 nm至428 nm範圍內之波長之輻射，且在一些實施例中，準分子雷射可產生在微影裝置內使用的DUV輻射。應瞭解，具有在例如130至428 nm之範圍內的波長之輻射係指具有某一波長帶之輻射，該波長帶的至少部分係在130至428 nm之範圍內。

如本文所使用之術語「基板」描述材料層所添加至之材料。在一些實施例中，基板自身可經圖案化，且添加於基板之頂部上之材料亦可經圖案化，或可保持而無需圖案化。

儘管可在本文中特定地參考根據本發明之裝置及/或系統在IC製造中之使用，但應明確理解，該裝置及/或系統具有許多其他可能的應用。舉例而言，其可用於製造整合式光學系統、用於磁域記憶體之導引及偵測圖案、LCD面板、薄膜磁頭等中。熟習此項技術者將瞭解，在此類替代應用之內容背景中，本文中之術語「倍縮光罩」、「晶圓」或「晶粒」之任何使用應被認為分別由更一般術語「遮罩」、「基板」及「目標部分」替代。

雖然上文已描述本發明之特定實施例，但應瞭解，可以與所描述之方式不同的其他方式來實踐本發明之實施例。該等描述意欲為說明性，而非限制性的。由此，熟習此項技術者將顯而易見，可在不脫離下文所闡述之申請專利範圍之範疇的情況下如所描述對本發明進行修改。

應瞭解，實施方式章節，而非發明內容及發明摘要章節，意欲用以解譯申請專利範圍。發明內容及發明摘要章節可闡述如由本發明人所考慮的本發明之一或多個而非所有例示性實施例，且因此，不意欲以任何方式來限制本發明及所附申請專利範圍。

上文已憑藉說明特定功能及該等功能之關係之實施方式的功能建置區塊來描述本發明。為了便於描述，本文已任意地界定此等功能建置區塊之邊界。只要適當地執行指定功能及該等功能之關係，便可界定替代邊界。

對特定實施例之前述描述將因此充分地揭示本發明之一般性質：在不偏離本發明之一般概念的情況下，其他人可藉由應用熟習此項技術者所瞭解之知識針對各種應用而容易地修改及/或調適該等特定實施例，而無需進行不當實驗。因此，基於本文中所呈現之教示及導引，此等調適及修改意欲在所揭示之實施例之等效者的涵義及範圍內。

在以下編號條項中陳述本發明之其他態樣。 1. 一種脈衝放電輻射源，其經組態以產生輻射，該脈衝放電輻射系統包含：一氣體腔室，其經組態以侷限在該輻射之產生期間所產生之一氣體及一污染物；一窗，其經組態以將該氣體與該氣體腔室外部之一環境隔離且允許該輻射在該氣體腔室與該環境之間行進；及一導管系統，其包含：一再填充路徑，其經組態以允許替換該氣體；及一導管，其經組態以在該輻射之該產生期間將該氣體循環至該氣體腔室或自該氣體腔室循環，其中該導管系統經組態以至少在一再填充操作期間引導一再填充氣體、該氣體或該再填充氣體及該氣體中之一者的一流以防止該污染物接觸該窗，藉以該導管系統增加至少該窗之可用壽命。 2. 如條項1之脈衝放電輻射源，其中該導管系統進一步包含一閥，該閥經安置以與該導管相交且經組態以防止該污染物之至少一部分朝向該窗之一流動。 3. 如條項2之脈衝放電輻射源，其中該閥包含一單向閥。 4. 如條項3之脈衝放電輻射源，其中該單向閥包含一球止回閥、掀板止回閥、彈簧止回閥及重力止回閥中之至少一者。 5. 如條項2之脈衝放電輻射源，其中該閥包含一使用者可調整式閥。 6. 如條項1之脈衝放電輻射源，其中：該導管系統進一步包含一旁路導管及經安置以與該旁路導管相交之一單向閥；該旁路導管將該導管連接至該再填充路徑；且該單向閥經組態以防止該氣體自該氣體腔室且朝向該窗之一流動。 7. 如條項1之脈衝放電輻射源，其中該再填充路徑經進一步組態以允許抽空該氣體。 8. 如條項1之脈衝放電輻射源，其中該導管系統進一步包含一抽空路徑，該抽空路徑經組態以允許抽空該氣體以防止該污染物進入該再填充路徑。 9. 如條項1之脈衝放電輻射源，其進一步包含一電連接件，該電連接件經組態以將一電脈衝遞送至該氣體以產生該輻射。 10. 如條項1之脈衝放電輻射源，其中該輻射包含DUV輻射。 11. 一種方法，其包含：使用一脈衝放電輻射系統來產生輻射；使用一氣體腔室來侷限在該產生期間所產生之一氣體及污染物；使用一窗隔離該氣體與該氣體腔室外部之一環境；使用該窗允許該輻射在該氣體腔室與該環境之間行進；使用一再填充路徑替換該氣體；在該產生期間將該氣體循環至該氣體腔室或自該氣體腔室循環；及在一再填充操作期間引導一再填充氣體、該氣體或該再填充氣體及該氣體中之一者的一流以防止該等污染物接觸該窗。 12. 如條項11之方法，其進一步包含使用一單向閥防止該等污染物之至少一部分朝向該窗之一流動。 13. 如條項12之方法，其進一步包含使用一另一單向閥防止該氣體自該氣體腔室朝向該窗之一流動，其中該另一單向閥經安置以與將該導管連接至該再填充路徑之一旁路導管相交。 14. 如條項11之方法，其進一步包含使用該再填充路徑抽空該氣體。 15. 如條項11之方法，其進一步包含使用一抽空路徑抽空該氣體。 16. 如條項11之方法，其中該產生包含使用一電連接件將一電脈衝遞送至該氣體。 17. 如條項11之方法，其中該輻射包含DUV輻射。 18. 一種微影裝置，其包含：一脈衝放電照明系統，其經組態以產生輻射以照明一圖案化器件之一圖案，該照明系統包含：一氣體腔室，其經組態以侷限在該輻射之產生期間所產生之一氣體及污染物；一窗，其經組態以將該氣體與該氣體腔室外部之一環境隔離且允許該輻射在該氣體腔室與該環境之間行進；及一導管系統，其包含：一再填充路徑，其經組態以允許替換該氣體；及一導管，其經組態以在該輻射之該產生期間將該氣體循環至該氣體腔室或自該氣體腔室循環，其中該導管系統經組態以至少在一再填充操作期間引導一再填充氣體、該氣體或該再填充氣體及該氣體中之一者的一流以防止該污染物接觸該窗，藉以該導管系統增加至少該窗之可用壽命；及一投影系統，其經組態以將該圖案之一影像投影至一基板上。 19. 如條項18之微影裝置，其中該導管系統進一步包含一單向閥，該單向閥經安置以與該導管相交且經組態以防止該污染物之至少一部分朝向該窗之一流動。 20. 如條項19之微影裝置，其中該單向閥包含一球止回閥、掀板止回閥、彈簧止回閥及重力止回閥中之至少一者。 21. 如條項18之微影裝置，其中：該導管系統進一步包含一旁路導管及經安置以與該旁路導管相交之一單向閥；該旁路導管將該導管連接至該再填充路徑；且該單向閥經組態以防止該氣體自該氣體腔室且朝向該窗之一流動。 22. 如條項18之微影裝置，其中該導管系統進一步包含一抽空路徑，該抽空路徑經組態以允許抽空該氣體以防止該污染物進入該再填充路徑。 23. 如條項18之微影裝置，其中該輻射包含DUV輻射。

受保護主題之廣度及範疇不應受到上述例示性實施例中之任一者限制，而應僅根據以下申請專利範圍及其等效者予以界定。

100:微影裝置 100':微影裝置 200:微影製造單元 300:輻射源 302:氣體腔室 304:窗 306:導管系統 308:氣體 310:電極 312:輻射 400:輻射源 402:氣體腔室 404:窗 408:氣體 410:電極 412:輻射 414:再填充導管 416:導管 418:窗 420:污染物過濾器 422:單向閥 424:導管 426:單向閥 428:箭頭 430:箭頭 432:污染物微粒 434:箭頭 436:光學反射器 438:部分光學反射器 440:輻射光束 442:抽空導管 444:導管 446:單向閥 448:導管 450:單向閥 452:單向閥 500:輻射源 502:氣體腔室 504:窗 508:氣體 514:再填充導管 516:導管 518:窗 520:污染物過濾器 522:單向閥 524:導管 526:單向閥 544:導管 546:單向閥 548:導管 550:單向閥 552:單向閥 600:單向閥 602:導管區段 604:掀板 606:鉸鏈 608:箭頭 700:單向閥 702:導管區段 704:球 708:箭頭 802:步驟 804:步驟 806:步驟 808:步驟 810:步驟 812:步驟 AD:調整器 B:輻射光束 BD:光束遞送系統 BK:烘烤板 C:目標部分 CH:冷卻板 CO:聚光器 DE:顯影器 IF:位置感測器 IF1:位置感測器 IF2:位置感測器 IL:照明系統/照明器 IN:積光器 I/O1:輸入/輸出埠 I/O2:輸入/輸出埠 IPU:照明系統光瞳 IVR:真空內機器人 L:透鏡或透鏡群組 LACU:微影控制單元 LB:裝載區 M1:遮罩對準標記 M2:遮罩對準標記 MA:圖案化器件/遮罩 MP:遮罩圖案/線圖案 MT:支撐結構/遮罩台 P1:基板對準標記 P2:基板對準標記 PD:孔徑器件 PM:第一定位器 PPU:光瞳共軛 PS:投影系統 PW:第二定位器 RO:機器人 SC:旋塗器 SCS:監督控制系統 SO:輻射源 TCU:塗佈顯影系統控制單元 V:真空腔室 W:基板 WT:基板台

併入本文中且形成本說明書之部分的隨附圖式說明本發明，且連同描述進一步用以解釋本發明之原理且使熟習相關技術者能夠製造及使用本文中所描述之實施例。

圖1A展示根據一些實施例之反射微影裝置。

圖1B展示根據一些實施例之透射微影裝置。

圖2展示根據一些實施例之微影製造單元之示意圖。

圖3及圖4展示根據一些實施例之輻射源。

圖5A、圖5B及圖5C各自展示根據一些實施例之輻射源之一部分。

圖6展示根據一些實施例之單向閥。

圖7展示根據一些實施例之單向閥之橫截面。

圖8係展示根據一些實施例之用於執行本文中所描述的實施例之功能之方法步驟的流程圖。

本發明之特徵將根據下文結合圖式所闡述之詳細描述而變得更加顯而易見，在圖式中，相同附圖標號貫穿全文標識對應元件。在該等圖式中，相同附圖標記通常指示相同、功能上類似及/或結構上類似之元件。此外，通常，附圖標記之最左側數字標識首次出現該附圖標記之圖式。除非另外指示，否則貫穿本發明提供之圖式不應解譯為按比例繪製。

400:輻射源

402:氣體腔室

404:窗

408:氣體

410:電極

412:輻射

414:再填充導管

416:導管

418:窗

420:污染物過濾器

422:單向閥

424:導管

426:單向閥

428:箭頭

430:箭頭

432:污染物微粒

434:箭頭

436:光學反射器

438:部分光學反射器

440:輻射光束

442:抽空導管

444:導管

446:單向閥

448:導管

450:單向閥

452:單向閥

Claims

一種脈衝放電輻射源，其經組態以產生輻射，該脈衝放電輻射系統包含：一氣體腔室，其經組態以侷限在該輻射之產生期間所產生之一氣體及一污染物；一窗，其經組態以將該氣體與該氣體腔室外部之一環境隔離且允許該輻射在該氣體腔室與該環境之間行進；及一導管系統，其包含：一再填充路徑，其經組態以允許替換該氣體；及一導管，其經組態以在該輻射之該產生期間將該氣體循環至該氣體腔室或自該氣體腔室循環，其中該導管系統經組態以至少在一再填充操作期間引導一再填充氣體、該氣體或該再填充氣體及該氣體中之一者的一流以防止該污染物接觸該窗，藉以該導管系統增加至少該窗之可用壽命。
如請求項1之脈衝放電輻射源，其中該導管系統進一步包含一閥，該閥經安置以與該導管相交且經組態以防止該污染物之至少一部分朝向該窗之一流動。
如請求項2之脈衝放電輻射源，其中該閥包含一單向閥。
如請求項3之脈衝放電輻射源，其中該單向閥包含一球止回閥、掀板止回閥、彈簧止回閥及重力止回閥中之至少一者。
如請求項2之脈衝放電輻射源，其中該閥包含一使用者可調整式閥。
如請求項1之脈衝放電輻射源，其中：該導管系統進一步包含一旁路導管及經安置以與該旁路導管相交之一單向閥；該旁路導管將該導管連接至該再填充路徑；且該單向閥經組態以防止該氣體自該氣體腔室且朝向該窗之一流動。
如請求項1之脈衝放電輻射源，其中該再填充路徑經進一步組態以允許抽空該氣體。
如請求項1之脈衝放電輻射源，其中該導管系統進一步包含一抽空路徑，該抽空路徑經組態以允許抽空該氣體以防止該污染物進入該再填充路徑。
如請求項1之脈衝放電輻射源，其進一步包含一電連接件，該電連接件經組態以將一電脈衝遞送至該氣體以產生該輻射。
如請求項1之脈衝放電輻射源，其中該輻射包含DUV輻射。
一種方法，其包含：使用一脈衝放電輻射系統來產生輻射；使用一氣體腔室來侷限在該產生期間所產生之一氣體及污染物；使用一窗隔離該氣體與該氣體腔室外部之一環境；使用該窗允許該輻射在該氣體腔室與該環境之間行進；使用一再填充路徑替換該氣體；在該產生期間將該氣體循環至該氣體腔室或自該氣體腔室循環；及在一再填充操作期間引導一再填充氣體、該氣體或該再填充氣體及該氣體中之一者的一流以防止該等污染物接觸該窗。
如請求項11之方法，其進一步包含使用一單向閥防止該等污染物之至少一部分朝向該窗之一流動。
如請求項12之方法，其進一步包含使用一另一單向閥防止該氣體自該氣體腔室朝向該窗之一流動，其中該另一單向閥經安置以與將該導管連接至該再填充路徑之一旁路導管相交。
如請求項11之方法，其進一步包含使用該再填充路徑抽空該氣體。
如請求項11之方法，其進一步包含使用一抽空路徑抽空該氣體。
如請求項11之方法，其中該產生包含使用一電連接件將一電脈衝遞送至該氣體。
如請求項11之方法，其中該輻射包含DUV輻射。
一種微影裝置，其包含：一脈衝放電照明系統，其經組態以產生輻射以照明一圖案化器件之一圖案，該照明系統包含：一氣體腔室，其經組態以侷限在該輻射之產生期間所產生之一氣體及污染物；一窗，其經組態以將該氣體與該氣體腔室外部之一環境隔離且允許該輻射在該氣體腔室與該環境之間行進；及一導管系統，其包含：一再填充路徑，其經組態以允許替換該氣體；及一導管，其經組態以在該輻射之該產生期間將該氣體循環至該氣體腔室或自該氣體腔室循環，其中該導管系統經組態以至少在一再填充操作期間引導一再填充氣體、該氣體或該再填充氣體及該氣體中之一者的一流以防止該污染物接觸該窗，藉以該導管系統增加至少該窗之可用壽命；及一投影系統，其經組態以將該圖案之一影像投影至一基板上。
如請求項18之微影裝置，其中該導管系統進一步包含一單向閥，該單向閥經安置以與該導管相交且經組態以防止該污染物之至少一部分朝向該窗之一流動。
如請求項19之微影裝置，其中該單向閥包含一球止回閥、掀板止回閥、彈簧止回閥及重力止回閥中之至少一者。
如請求項18之微影裝置，其中：該導管系統進一步包含一旁路導管及經安置以與該旁路導管相交之一單向閥；該旁路導管將該導管連接至該再填充路徑；且該單向閥經組態以防止該氣體自該氣體腔室且朝向該窗之一流動。
如請求項18之微影裝置，其中該導管系統進一步包含一抽空路徑，該抽空路徑經組態以允許抽空該氣體以防止該污染物進入該再填充路徑。
如請求項18之微影裝置，其中該輻射包含DUV輻射。