JPS63108786A - ガスレ−ザ発生装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はガスレーザ発生装置に関するものである。

〔従来の技術〕

従来のガスレーザ発生装置は特開昭５９−１５５９７５
号公報および特開昭５９−１２５６８２号公報に記載さ
れているような構成となっているが、この構成のものは
ガス＠環用に用いられるルーツポンプ等のブロワの潤滑
油ミストが放電管内をまわって出力鏡を汚損させる恐れ
があった。

このため、実開昭６０−１１６２５７号公報が提案され
ている。これは油ミストの除去対策に注意が払われてい
る一方、定期的に出力鏡表面の清掃を行う等の保守作業
も行ねれている。

また、特開昭５８−９６７８８号公報では出力鏡近傍に
ガス供給口を設けて、出力鏡の汚損防止をしている。す
なわちこの種ガスレーザ発生装置の従来例が第２図に示
されている。同図に示されているようにガスレーザ発生
装置は全反射鏡１、出力鏡２および出力鏡２近傍にガス
供給口３をイ１する放　。

電管４内に図中矢印表ボのレーザガス５を循環させ、レ
ーザ光（図ボせず）を発生させる。

すなわちルーツポンプ６は一対の同期回転するロータフ
によりレーザガス５を圧縮送風する。送風さ九たレーザ
ガス５は第１の熱交換器８によリレーザ発振に好適な温
度まで冷却された後、配管９を通して放ｉｔ管４に供給
される。放電管４では高電圧が印加された１を極１０，
１１の間でレーザガス５を放電励起し、全反射鏡１と出
力鏡２との間でレーザ光を発生させ、外部ヘレーザ出力
１２が放出される。放電により加熱されたガスは第２の
熱交換器８ａにより冷却された後、ルーツポンプ６に戻
り、再度送風される。この放電時の温度」―ｙ１゜等に
よりレーザガス５の一部が分解するため、放電管４内の
ガスの数％を真空ポンプ１３で常時排気している。一方
、排気ガスと同量の新しいレーザガス５をボンベ１４か
ら配管９ａおよびガス供給口３を介して放電管４内に供
給する。ガス供給口３は出力鏡２の近傍に設けてあり、
出力鏡２の近傍は常に新しいガスで満たされている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記従来技術では、ガスレーザ発生装置の放電管内に残
留混入している汚損物質がガス循環路内をまわり、放電
管に使用されている鏡順に付着して、レーザ出力の低下
および出力鏡では熱吸収率の増加による寿命低下・ビー
ムモード変形の原因となっている。

本発明は以上の点に鑑みなされたものであり、放電管の
ガス循環路内に発生する汚損物質が出力鏡に付着するの
を防止することを可能としたガスレーザ発生装置を提供
することを目的とするものである。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的は、出力鏡とガス供給口との間の放電管内に、
出力鏡側か反出力鏡側より幅狭となる段差を形成するこ
とにより、達成される。

〔作用〕

出力鏡とガス供給口との間の放電管内に出力鏡側か反出
力鏡側より幅狭となる段差を形成したので、放電管内の
出力鏡とガス供給口との間は出力鏡側か反出力鏡側より
幅狭に形成される。従ってガス供給口より供給されるレ
ーザガスは幅広の反出力鏡側に平滑に流れるようになっ
て、放電管の循環ガス流に含まれる油ミストをまきこむ
ガス渦流の発生が抑制されると共に、発生したガス渦流
も小さく、かつ反出力鏡側に流れるようになる。

このため油ミストは放電管のガス循環路内を流れ、油ミ
スト等の汚損物質が出力鏡に付着するのが防止される。

因みにガス渦流はガスが器壁に衝突したり、ガス同志が
衝突したりすることにより発生する。

〔実施例〕

以下、図示した実施例に基づいて本発明を説明する。第
１図には本発明の一実施例が示されている。なお従来と
同じ部品には同じ符号を付したので説明を省略する１本
実施例では出力鏡２とガス供給口３との間の放電管内に
、出力鏡２側が反出力鏡２側より幅狭となる段差を形成
した。このようにすることにより出力鏡２とガス供給口
３との間の放電管内に、出力鏡２側が反出力鏡２何より
幅狭となる段差が形成されるようになって、ガス供給口
３より供給されるレーザガス５は幅広の反出力鏡２側に
平滑に流れるようになり、放電管のガス循環路内に発生
する汚損物質が出力鏡２に付着するのを防止することを
［τｆ能としたガスレーザ発生装置を得ることができる
。

すなわちガス供給口３より供給したレーザガス５は空洞
１５内で広がり、出力鏡２の近傍の内向に設けられた狭
いスリット状のガス吹出口１６より放ｆｌ　９内に入る
。ガス吐出口１６はレーザガス５が全周より均一に吹き
出すようにスリッ１−状に作られている。このように作
られたガス供給口３と出力鏡２との間の放電管内に、出
力鏡２側が反出力鏡２側より幅狭となる段差を形成した
が、この段差をガス吹出口１６．出力鏡２側の出力鏡ホ
ルダー１７に設けたアパーチャ１８および出力鏡ホルダ
ー１７と放電管との接続部１９で形成した。

そしてアパーチャ１８の径ｄ１をレーザ光２０の’Ｉ’
ｆ＝　ｄ　ｏより大きく、かつガス吹出口１６の径ｄ２
より小さく、このガス吹出口１６の径ｄ２を接続部１．
９の径ｄ３より小さく形成した。すなわちｄｏ≦ｄｒ＜
ｄｚ＜ｄａとした。なお同図において２１は出力鏡部え
フランジである。このように接続部１９の径ｄ３をガス
吹出口１６の径ｄ２より大きくすることにより、ガス吹
出口１６を出たレーザガス５は段差に沿って均一、かつ
平滑に反出力鏡側に流れるようになってガス渦流５Ａの
発生を抑制する。また、発生したガス渦流５Ａも非常に
小さく、ガス吹出口１６の径ｄ２よりアパーチャ１８の
径ｄ１を小さくした段差にはばまれ、出力鏡２側に向う
のが阻止される。

従ってルーツポンプで発生する微駄の潤滑油のミストは
配管を通って放電管に侵入するが、油ミストをまきこむ
ガス渦’ｄｏｔ　５　Ａが小さく、かつアパーチャ１８
の段差にはばまれて出力鏡２に向うことがなく、放電管
のガス循環路内を流れる。このため出力鏡２の表向はＸ
ｉ：ｔに清浄状態に維持される。

また、汚損物質としては出力鏡２および全反射鏡の交換
あるいは各部保守作業等を行う際に周辺の大気から侵入
する塵埃等も考えられるが、これらの汚損物質について
も前述の場合と同様ガス循環時の出力鏡２への付着が防
１ヒされるにのように本実施例によ九ば汚損物質の出力
鏡２表ｒｔｔｊへの付着をなくすことができるので、レ
ーザ出力およびビームモードを安定化して出力鏡２の耐
用寿命を延ばすことができる。また、使用途中での出力
鏡２の清掃作業が不要となり、保守作業を低減できる。

〔発明の効果〕

上述のように本発明は放電管のガス循環路内に発生する
汚損物質が出力鏡に付着するのが防止されるようになっ
て、放電管のガス循環路内に発生する汚損物質が出力鏡
に付着するのを防止することをｉＪ能としたガスレーザ
発生装置を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のガスレーザ発生装置の一実施例の出力
鏡部の縦断側ｉｔｎ図、第２図は従来のガスレーザ発生
装置の一部縦断側面図である。 １・・・全反射鏡、２・・・出力鏡、３・・・ガス供給
口、４・・・放電管、５・・・レーザガス、１６・・・
ガス吹出口、１７・・・出力鏡ホルダー、１８・・・ア
パーチャ、１９・・・放電管と出力鏡ホルダーとの接続
部、２０・・・レーザ光。 茶１図 第２１￥ｌ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、全反射鏡、出力鏡ホルダーに保持された出力鏡およ
   び出力鏡近傍にガス吐出口を備えたガス供給口を有する
   放電管内にレーザガスを循環させ、レーザ光を発生させ
   るガスレーザ発生装置において、前記出力鏡とガス供給
   口との間の放電管内に、前記出力鏡側が反出力鏡側より
   幅狭となる段差を形成したことを特徴とするガスレーザ
   発生装置。 ２、前記段差が、前記ガス吹出口、前記出力鏡側の出力
   鏡ホルダーに設けたアパーチャおよび前記出力鏡ホルダ
   ーと放電管との接続部で形成されると共に、前記アパー
   チャの径が前記レーザ光の径より大きく、かつ前記ガス
   吹出口の径より小さく、このガス吹出口の径が前記接続
   部の径より小さく形成されたものである特許請求の範囲
   第１項記載のガスレーザ発生装置。