JPS63288080A - ガスレ−ザ装置 - Google Patents
ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS63288080A JPS63288080A JP12336187A JP12336187A JPS63288080A JP S63288080 A JPS63288080 A JP S63288080A JP 12336187 A JP12336187 A JP 12336187A JP 12336187 A JP12336187 A JP 12336187A JP S63288080 A JPS63288080 A JP S63288080A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- laser
- discharge tube
- way valve
- laser device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はガスレーザ装置に関し、特にガスレーザ装置の
運転停止時に油分が放電管に混入しないように改良した
ガスレーザ装置に関する。
運転停止時に油分が放電管に混入しないように改良した
ガスレーザ装置に関する。
ＣＯ’ｘ等のガスレーザ装置は小型高出力レーザとして
金属等の切断加工用に広く使用されている。
金属等の切断加工用に広く使用されている。
これらガスレーザ装置では、高速でレーザガスをＮ環さ
せるためにルーツブロワを使用し、放電管の内部を高速
にレーザガスを循環させている。レーザガスの一部を排
気して、新しいレーザガスを供給して、放電管内のレー
ザガスを新鮮なものにしている。レーザガスが汚染する
とこれが光学部品等を汚染し、レーザ光出力の低下と、
モードの劣化を招き、さらには光学部品の寿命を短くす
る。
せるためにルーツブロワを使用し、放電管の内部を高速
にレーザガスを循環させている。レーザガスの一部を排
気して、新しいレーザガスを供給して、放電管内のレー
ザガスを新鮮なものにしている。レーザガスが汚染する
とこれが光学部品等を汚染し、レーザ光出力の低下と、
モードの劣化を招き、さらには光学部品の寿命を短くす
る。
しかし、運転中は外部からのガスが侵入する危険性は少
ないが運転を停止したとき、気密が充分でないと外部か
ら汚染物を含んだガスが侵入し、光学部品等が汚染する
という問題点がある。
ないが運転を停止したとき、気密が充分でないと外部か
ら汚染物を含んだガスが侵入し、光学部品等が汚染する
という問題点がある。
本発明の目的は上記問題点を解決し、排気装置と放電管
の中間に遮断のための３方弁を設けて耐環境性を高めた
ガスレーザ装置を提供することにある。
の中間に遮断のための３方弁を設けて耐環境性を高めた
ガスレーザ装置を提供することにある。
本発明では上記の問題点を解決するために、第１図に示
すように、 レーザガスを循環させてレーザの励起を行うガスレーザ
装置において、 レーザガスの排気通路に３方弁（８）を設け、該３方弁
（８）は１番目のポートを放電管（１）側に接続し、２
番目のポートを排気ポンプ（９）側に接続し、３番目ポ
ートを他のレーザガス供給側（１０）に接続し、 ガスレーザ装置が運転中は放電管側から排気ポンプ側に
レーザガスが流れ（図の矢印Ａ）、ガスレーザ装置が運
転停止時には別個のレーザガス供給側（１０）から排気
ポンプ（９）側に流れると同時に放電管（１）側には一
定の圧力を維持するためのレーザガスが供給されること
を特徴とするガスレーザ装置が、 提供される。
すように、 レーザガスを循環させてレーザの励起を行うガスレーザ
装置において、 レーザガスの排気通路に３方弁（８）を設け、該３方弁
（８）は１番目のポートを放電管（１）側に接続し、２
番目のポートを排気ポンプ（９）側に接続し、３番目ポ
ートを他のレーザガス供給側（１０）に接続し、 ガスレーザ装置が運転中は放電管側から排気ポンプ側に
レーザガスが流れ（図の矢印Ａ）、ガスレーザ装置が運
転停止時には別個のレーザガス供給側（１０）から排気
ポンプ（９）側に流れると同時に放電管（１）側には一
定の圧力を維持するためのレーザガスが供給されること
を特徴とするガスレーザ装置が、 提供される。
運転停止時には放電管側にガスを充填して一定の圧力を
保持するとともに、排気ポンプ側から外部のガスが逆流
しないように３方弁の３番目のポートから排気ポンプ側
へガスを流して、ガスの侵入を防止する。
保持するとともに、排気ポンプ側から外部のガスが逆流
しないように３方弁の３番目のポートから排気ポンプ側
へガスを流して、ガスの侵入を防止する。
以下本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
第１図に本発明の一実施例のブロック図を示す。
図において、１は放電管であり、内部にレーザガスが循
環され、図示されていない高周波電源によって高周波電
圧が印加され、レーザ光を発振増幅する。２は全反射鏡
であり、３は出力結合鏡であり、いずれもレーザ光を反
射増幅する。４はルーツブロワであり、レーザガスを高
速で放電管ｌ内に循環さセる。５はルーツブロワのギア
ボックスであり、この内部にはギア用の油分があり、こ
れがルーツブロワ４から放電管１へ混入しないように排
気ポンプでギアボックス５例の圧力を下げている。６は
ニードル弁であり、放電管内の汚染されたレーザガスを
一定量づつ排気するための弁である。
環され、図示されていない高周波電源によって高周波電
圧が印加され、レーザ光を発振増幅する。２は全反射鏡
であり、３は出力結合鏡であり、いずれもレーザ光を反
射増幅する。４はルーツブロワであり、レーザガスを高
速で放電管ｌ内に循環さセる。５はルーツブロワのギア
ボックスであり、この内部にはギア用の油分があり、こ
れがルーツブロワ４から放電管１へ混入しないように排
気ポンプでギアボックス５例の圧力を下げている。６は
ニードル弁であり、放電管内の汚染されたレーザガスを
一定量づつ排気するための弁である。
７はギアボックス５の排気バイブであり、ギアボックス
内のガス圧力がルーツブロワ５側より低くなるようにガ
スを、排気する。８は３方弁であり、第１のポートはニ
ードル弁６に接続され、２番目のポートは後述の排気ポ
ンプに接続され、３番目のポートは後述の流ｆｆｉ調節
計を経由して後述のレーザガスボンベに接続されている
。３方弁８はｌＯ−’ （Ｔｏ ｒ ｒ・リフドル７秒
）程度の気密性を有するものが好ましい、９は排気ポン
プであり、放電管１で使用されたレーザガスの一部を排
気し、さらにギアボックス５の内部の気圧を下げるため
にギアボックス５のガスも排気している。１（ｌはレー
ザガスボンベであり、新しいレーザガスを放電管に供給
する。１１は流ｆｆｌ調節計であり、３方弁８へのガス
の流れを調節する。１２も流ｆｆｌ調節針であり、放電
管１への新鮮レーザガスの供給を調節する。
内のガス圧力がルーツブロワ５側より低くなるようにガ
スを、排気する。８は３方弁であり、第１のポートはニ
ードル弁６に接続され、２番目のポートは後述の排気ポ
ンプに接続され、３番目のポートは後述の流ｆｆｉ調節
計を経由して後述のレーザガスボンベに接続されている
。３方弁８はｌＯ−’ （Ｔｏ ｒ ｒ・リフドル７秒
）程度の気密性を有するものが好ましい、９は排気ポン
プであり、放電管１で使用されたレーザガスの一部を排
気し、さらにギアボックス５の内部の気圧を下げるため
にギアボックス５のガスも排気している。１（ｌはレー
ザガスボンベであり、新しいレーザガスを放電管に供給
する。１１は流ｆｆｌ調節計であり、３方弁８へのガス
の流れを調節する。１２も流ｆｆｌ調節針であり、放電
管１への新鮮レーザガスの供給を調節する。
ガスレーザ装置が運転中はルーツブロワ４によって、レ
ーザガスが循環され、使用済のレーザガスの一部がニー
ドル弁６．３方弁８を経由して、排気ポンプ９によって
排気される。従って、外部からガスの侵入することはな
い。
ーザガスが循環され、使用済のレーザガスの一部がニー
ドル弁６．３方弁８を経由して、排気ポンプ９によって
排気される。従って、外部からガスの侵入することはな
い。
次にガスレーザ装置の運転停止時には、排気ポンプ９側
からガスが侵入するので、放電管１側にレーザガスボン
ベ１０から流量調節計１２を経由して新鮮ガスが供給さ
れ、放電管１内の圧力が一定の値に保持される。放電管
ｌ内の気圧は１気圧強程度の圧力が好ましい、一方３方
弁８はレーザガスボンベ１０から流ｆｆ１ｍ節計１１を
経由して新鮮ガスが供給され図の矢印Ｂの方向にガスが
流れる。従って、３方弁から放電管１側へガスが侵入す
ることを防ぐことができる。
からガスが侵入するので、放電管１側にレーザガスボン
ベ１０から流量調節計１２を経由して新鮮ガスが供給さ
れ、放電管１内の圧力が一定の値に保持される。放電管
ｌ内の気圧は１気圧強程度の圧力が好ましい、一方３方
弁８はレーザガスボンベ１０から流ｆｆ１ｍ節計１１を
経由して新鮮ガスが供給され図の矢印Ｂの方向にガスが
流れる。従って、３方弁から放電管１側へガスが侵入す
ることを防ぐことができる。
以上説明したように本発明では、排気装置と放電管の中
間に遮断のための３方弁を設けて、運転中止時に他のポ
ートからガスを流し、一方散電管側にもガスを流して一
定の圧力を保持するように構成したので、停止時に外部
からガスの侵入を防ぎ光学部品、放電管等の汚染を防ぐ
ことができる。
間に遮断のための３方弁を設けて、運転中止時に他のポ
ートからガスを流し、一方散電管側にもガスを流して一
定の圧力を保持するように構成したので、停止時に外部
からガスの侵入を防ぎ光学部品、放電管等の汚染を防ぐ
ことができる。
第１図は本発明の一実施例のブロック図である。
１・−・・・・・−・−放電管
Claims (3)
- （１）レーザガスを循環させてレーザの励起を行うガス
レーザ装置において、 レーザガスの排気通路に３方弁を設け、 該３方弁は１番目のポートを放電管側に接続し、２番目
のポートを排気ポンプ側に接続し、３番目ポートを他の
レーザガス供給側に接続し、 ガスレーザ装置が運転中は放電管側から排気ポンプ側に
レーザガスを流し、 ガスレーザ装置が運転停止時には別個のレーザガス供給
側から排気ポンプ側に流すと同時に放電管側には一定の
圧力を維持するためのレーザガスが供給されることを特
徴とするガスレーザ装置。 - （２）前記運転停止時に前記３方弁の３番目のポートに
供給されるレーザガスはレーザガスボンベからの新鮮ガ
スであることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
ガスレーザ装置。 - （３）運転停止時に放電管側に供給されるガスはレーザ
ガスボンベからの新鮮ガスであることを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載のガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12336187A JPS63288080A (ja) | 1987-05-20 | 1987-05-20 | ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12336187A JPS63288080A (ja) | 1987-05-20 | 1987-05-20 | ガスレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63288080A true JPS63288080A (ja) | 1988-11-25 |
Family
ID=14858682
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12336187A Pending JPS63288080A (ja) | 1987-05-20 | 1987-05-20 | ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63288080A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102966546A (zh) * | 2012-11-27 | 2013-03-13 | 济南重成自动化技术有限公司 | 罗茨风机控制器 |
| CN103138144A (zh) * | 2013-02-20 | 2013-06-05 | 中国科学院光电研究院 | 一种分立式气体激光器 |
| US9620926B2 (en) | 2014-04-11 | 2017-04-11 | Fanuc Corporation | Laser machining apparatus changing operation based on length of power-down time |
| DE102015000972B4 (de) * | 2014-01-31 | 2018-12-13 | Fanuc Corporation | Gas-Laser-System, das ohne jeglichen Schaden innerhalb kurzer Zeit während der Wiederherstellung der Energieversorgung reaktivierbar ist |
| DE102015100641B4 (de) * | 2014-01-24 | 2020-03-05 | Fanuc Corporation | Gaslasersystem, das den Lasergaszustand während einer Abschaltung der Stromversorgung aufrechterhalten kann |
-
1987
- 1987-05-20 JP JP12336187A patent/JPS63288080A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102966546A (zh) * | 2012-11-27 | 2013-03-13 | 济南重成自动化技术有限公司 | 罗茨风机控制器 |
| CN103138144A (zh) * | 2013-02-20 | 2013-06-05 | 中国科学院光电研究院 | 一种分立式气体激光器 |
| DE102015100641B4 (de) * | 2014-01-24 | 2020-03-05 | Fanuc Corporation | Gaslasersystem, das den Lasergaszustand während einer Abschaltung der Stromversorgung aufrechterhalten kann |
| DE102015000972B4 (de) * | 2014-01-31 | 2018-12-13 | Fanuc Corporation | Gas-Laser-System, das ohne jeglichen Schaden innerhalb kurzer Zeit während der Wiederherstellung der Energieversorgung reaktivierbar ist |
| US9620926B2 (en) | 2014-04-11 | 2017-04-11 | Fanuc Corporation | Laser machining apparatus changing operation based on length of power-down time |
| DE102015004482B4 (de) | 2014-04-11 | 2021-08-12 | Fanuc Corporation | Laserbearbeitungsvorrichtung mit betriebswechsel entsprechend der länge einer leistungsabschaltzeit |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS63288080A (ja) | ガスレ−ザ装置 | |
| JPS63285987A (ja) | レ−ザ発振装置及びレ−ザ発振装置のレ−ザガスの封入方法 | |
| JP2706485B2 (ja) | レーザガス置換量制御方法 | |
| JP5360338B1 (ja) | ガスレーザ発振装置およびレーザガス置換方法 | |
| JP2002057385A (ja) | レーザ装置 | |
| JPS63108786A (ja) | ガスレ−ザ発生装置 | |
| JP2003133622A (ja) | 紫外線レーザ装置 | |
| JPH0521868A (ja) | エキシマレーザ発振装置 | |
| JPS6114775A (ja) | ガスレ−ザ装置 | |
| JP2024024904A (ja) | 炭酸ガスレーザ装置 | |
| JP2000236125A (ja) | 真空紫外レーザ | |
| JPH0621543A (ja) | ガスレ−ザ装置 | |
| JPH1074993A (ja) | ガスレーザ装置及びそのレーザガス注入方法 | |
| JPH0223686A (ja) | Ｎｃレーザ装置 | |
| JPH0818127A (ja) | ガスレ−ザ装置 | |
| JPS62186579A (ja) | レ−ザ発振器のガス制御方法 | |
| JPH04137777A (ja) | 放電励起エキシマレーザ装置 | |
| JPS62169485A (ja) | ガスレ−ザ発振装置 | |
| JP2002319723A (ja) | ガスレーザ発振器 | |
| JPS5992586A (ja) | ガスレ−ザ装置 | |
| JP2682091B2 (ja) | ガス循環式レーザ発振器のガス制御方法 | |
| JPH04365389A (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
| JPH04177885A (ja) | ガスレーザ装置 | |
| JP2653216B2 (ja) | エキシマレーザ装置 | |
| JPS62186578A (ja) | レ−ザ発振器のガス制御方法 |