JPS60187073A - 気体レ−ザ発振装置 - Google Patents
気体レ−ザ発振装置Info
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- JPS60187073A JPS60187073A JP4191484A JP4191484A JPS60187073A JP S60187073 A JPS60187073 A JP S60187073A JP 4191484 A JP4191484 A JP 4191484A JP 4191484 A JP4191484 A JP 4191484A JP S60187073 A JPS60187073 A JP S60187073A
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- Japan
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- laser
- anode
- cathode
- gas medium
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/034—Optical devices within, or forming part of, the tube, e.g. windows, mirrors
- H01S3/0346—Protection of windows or mirrors against deleterious effects
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は気体をレーザ光発振媒体とする気体レーザ発振
装置に係わシ、特に装装置の設置面積を小さくすること
ができる装置に関する。
装置に係わシ、特に装装置の設置面積を小さくすること
ができる装置に関する。
従来の気体レーザ発振装置を第１図に示す。（１）はレ
ーザ管で内部に一対の小判型形状をした陽極（２）と陰
極（３）とが対向して配置されて主電極が形成されてい
る。また、レーザ管（１）には炭酸ガスなどの気体媒体
が流入あるいは流出する給気口（４）および排気口（５
）が設けられ、運転中１は常に気体媒体が流入・流出す
る。この気体媒体の流量は図示しない制御装置で制御さ
れる。また、レーザ管（１）の内部には気体媒体をこの
内部において強制的に循環させるための駆動装置である
電動ファン（６）が設けられている。さらに、レーザ管
（１）の両端部には互いの反射面を対向して同一光軸上
に共振ミラー（７ａ）、 （７ｂ）が設けられている。
ーザ管で内部に一対の小判型形状をした陽極（２）と陰
極（３）とが対向して配置されて主電極が形成されてい
る。また、レーザ管（１）には炭酸ガスなどの気体媒体
が流入あるいは流出する給気口（４）および排気口（５
）が設けられ、運転中１は常に気体媒体が流入・流出す
る。この気体媒体の流量は図示しない制御装置で制御さ
れる。また、レーザ管（１）の内部には気体媒体をこの
内部において強制的に循環させるための駆動装置である
電動ファン（６）が設けられている。さらに、レーザ管
（１）の両端部には互いの反射面を対向して同一光軸上
に共振ミラー（７ａ）、 （７ｂ）が設けられている。
これらの共振器ミラー（７ａ）、 （７ｂ）はベローズ
（８）を介してレーザ管（１）に取シ付けられ図示して
いない調整機構によシ。
（８）を介してレーザ管（１）に取シ付けられ図示して
いない調整機構によシ。
それぞれの位置の微調整が可能となっている。また、共
振器ミラー（７ａ）は全反射ミラーで、共振器ミラー（
７ｂ）は出力ミラーである。
振器ミラー（７ａ）は全反射ミラーで、共振器ミラー（
７ｂ）は出力ミラーである。
このような構成によシ、レーザ光を発振させるには、ま
ず気体媒体をレーザ管（１）内で給気口（４）から排気
口（５）へ流通させるとともに電動ファン（６）を駆動
させて陽極（２）、陰極（３）を巻き込むように循環さ
せる。ここで１図示しない電源によシ陽極（２）。
ず気体媒体をレーザ管（１）内で給気口（４）から排気
口（５）へ流通させるとともに電動ファン（６）を駆動
させて陽極（２）、陰極（３）を巻き込むように循環さ
せる。ここで１図示しない電源によシ陽極（２）。
陰極（３）からなる主電極に放電を起こさせると、循環
している気体媒体は励起され光を発生する。このとき、
共振器ミラー（７Ｍ）、 （７ｂ）はこの光を増幅し、
ついには出力ミラーからなる共振器ミラー（７ｂ）から
レーザ光が出射することになる。
している気体媒体は励起され光を発生する。このとき、
共振器ミラー（７Ｍ）、 （７ｂ）はこの光を増幅し、
ついには出力ミラーからなる共振器ミラー（７ｂ）から
レーザ光が出射することになる。
近年、上述のような大出力気体レーザ発振装置ハ例トし
てＴＥＩＡレーザ、エキシマレーザなどがあげられるが
、その応用として、 ＩＣ，ＬＳＩなどの半導体部品の
プラスチックモールド部に文字・図形などをマーキング
するために利用されたシ、半導体ウェハのエツチング加
工などに利用されることが多くなった。すなわち、この
気体レーザ発振装置は半導体装置の製造プロセスに応用
されることになシ、現状ではいわゆるクリーンルーム内
に設置されて使用されるのがはとんどである。り１７−
ンルームは周知のとおシ室内のちり、はこシを除去する
。ために１種々の装置が備えられている。このため、室
内の床面積車シの単価が非常に高価なものとなるので、
床面積全体を小さくし経費をおさえることが製造する半
導体装置を安価にするためにも望ましい。このため、室
内に設置する半導体装置用プロセス機器の設置面積の節
約が必要条件となっている。
てＴＥＩＡレーザ、エキシマレーザなどがあげられるが
、その応用として、 ＩＣ，ＬＳＩなどの半導体部品の
プラスチックモールド部に文字・図形などをマーキング
するために利用されたシ、半導体ウェハのエツチング加
工などに利用されることが多くなった。すなわち、この
気体レーザ発振装置は半導体装置の製造プロセスに応用
されることになシ、現状ではいわゆるクリーンルーム内
に設置されて使用されるのがはとんどである。り１７−
ンルームは周知のとおシ室内のちり、はこシを除去する
。ために１種々の装置が備えられている。このため、室
内の床面積車シの単価が非常に高価なものとなるので、
床面積全体を小さくし経費をおさえることが製造する半
導体装置を安価にするためにも望ましい。このため、室
内に設置する半導体装置用プロセス機器の設置面積の節
約が必要条件となっている。
しかしながら、上述の気体レーザ発振装置はレーザ光出
力が大出力のものが必要とされ装置が大がかシなものと
なっていた。さらに、′装置の体積の割には設置面積が
大きく、非常に不都合であった。
力が大出力のものが必要とされ装置が大がかシなものと
なっていた。さらに、′装置の体積の割には設置面積が
大きく、非常に不都合であった。
この点の解決策としては、第１図に示すような装置を縦
型にして設置するということが考えられる。すなわち、
共振器ミラー（７ａ）、 （７ｂ）の光軸を設置面に対
して垂直するのである。しかしながら。
型にして設置するということが考えられる。すなわち、
共振器ミラー（７ａ）、 （７ｂ）の光軸を設置面に対
して垂直するのである。しかしながら。
この気体レーザ発振装置はレーザ管（１）内において、
気体媒体が電動ファン（６）によって強制循環されるこ
と彦どによシかなシのちシ、はこシが発生する。
気体媒体が電動ファン（６）によって強制循環されるこ
と彦どによシかなシのちシ、はこシが発生する。
このため、縦型に設置した場合、レーザ管（１）の底部
に位置する共振器ミラー（７ａ）の反射面にちシ。
に位置する共振器ミラー（７ａ）の反射面にちシ。
はこシが付着しやすくなるという問題が生じる。
反射面にちシ、砥こりが付着すると、レーザ光の増幅時
にレーザ光がこのちり、はこりを反射面に焼き付けてし
まい、共振器ミラー（７ａ）の反射率の悪化、ひいては
共振器ミラー（７ａ）の損傷を引き起こしてしまう重要
な欠点が生じることになる。
にレーザ光がこのちり、はこりを反射面に焼き付けてし
まい、共振器ミラー（７ａ）の反射率の悪化、ひいては
共振器ミラー（７ａ）の損傷を引き起こしてしまう重要
な欠点が生じることになる。
本発明の目的は上述の点に着目してなされたもので、気
体レーザ発振装置を縦型に設置しても。
体レーザ発振装置を縦型に設置しても。
ち）、はこシが共振器ミラーに付着することを防止し、
共振器ミラーの長寿命化、レーザ光出力の長期安定化を
可能とする気体レーザ発振装置を提供することにある。
共振器ミラーの長寿命化、レーザ光出力の長期安定化を
可能とする気体レーザ発振装置を提供することにある。
本発明は気体レーザ発振装置を縦型すなわち。
対向配置された一対以上の共振器ミラーの光軸を設置面
に対して垂直あるいは斜めに設置するとともに、レーザ
管の底部側に位置する共振器ミラー ：の前方に光軸が
内部に位置するように設けられた筒状の流、れ制御体と
、この流れ制御体の外部の気体流通部に設けられた防塵
フィルタを備えたことを特徴とする気体レーザ発振装置
であって、気体 □レーザ発振装置を縦型に設置し設置
ｒｆＪｆ＊の節約をはかるとともに、このときに流れ制
御体によってレーザ管の底部に位置する共振器ミラーの
前方の気体媒体の流れを制御し、防塵フィルタによって
気体媒体中のちり、はこシを除去することによって共振
器ミラーにちり、ｆ’！こりが付着するのを防止したも
のである。
に対して垂直あるいは斜めに設置するとともに、レーザ
管の底部側に位置する共振器ミラー ：の前方に光軸が
内部に位置するように設けられた筒状の流、れ制御体と
、この流れ制御体の外部の気体流通部に設けられた防塵
フィルタを備えたことを特徴とする気体レーザ発振装置
であって、気体 □レーザ発振装置を縦型に設置し設置
ｒｆＪｆ＊の節約をはかるとともに、このときに流れ制
御体によってレーザ管の底部に位置する共振器ミラーの
前方の気体媒体の流れを制御し、防塵フィルタによって
気体媒体中のちり、はこシを除去することによって共振
器ミラーにちり、ｆ’！こりが付着するのを防止したも
のである。
本発明の一実施例を図面を用いて説明する。第２図は本
実施例を示す正面図である。αυはレーザ管で内部に一
対の小判型形状をした陽極α功と陰極（１３）とが対向
して配置されて主電極が形成されている。また、レーザ
管住υの上端部にはレーザ光発振媒体となる気体媒体が
レーザ管αυ内部に流入するための給気口ａ→が設けら
れている。さらに、レーザ管住υの下端部には上記の気
体媒体が排気ガスとして流出する排気口ａ５が設けられ
ている。このときの気体媒体の流量は図示しない制御装
置によって制御される。また、レーザ管（Ｉηの上・下
両端部には互いの反射面を対向して同一光軸αυ上に共
振器ミラー（１７ａ）、 （１７ｂ）が設けられている
。これらの共振器ミラー（１７ａ）、 （１７ｂ）はベ
ローズａのを介して取り付けられておシ１図示してない
調整機構によシそれぞれの位置の微調整が可能となって
いる。
実施例を示す正面図である。αυはレーザ管で内部に一
対の小判型形状をした陽極α功と陰極（１３）とが対向
して配置されて主電極が形成されている。また、レーザ
管住υの上端部にはレーザ光発振媒体となる気体媒体が
レーザ管αυ内部に流入するための給気口ａ→が設けら
れている。さらに、レーザ管住υの下端部には上記の気
体媒体が排気ガスとして流出する排気口ａ５が設けられ
ている。このときの気体媒体の流量は図示しない制御装
置によって制御される。また、レーザ管（Ｉηの上・下
両端部には互いの反射面を対向して同一光軸αυ上に共
振器ミラー（１７ａ）、 （１７ｂ）が設けられている
。これらの共振器ミラー（１７ａ）、 （１７ｂ）はベ
ローズａのを介して取り付けられておシ１図示してない
調整機構によシそれぞれの位置の微調整が可能となって
いる。
なお、共振器ミラー（１７ａ）は全反射ミラー、共振器
ミラー（１７ｂ）は出力ミラーとなっている。
ミラー（１７ｂ）は出力ミラーとなっている。
レーザ管０１）の内部には気体媒体を強制的に循環させ
るための駆動装置である電動ファン（１１が接地側電極
である陽極ａつの外側に回転軸を光軸αｅと平行に１２
で設けられている。この電動ファン（１１は陰極ａ３側
に設けてもよいが、陰極０３には負の大電圧がかかるた
め好ましくない。なお、電動ファンα優は複数設けても
かまわない。
るための駆動装置である電動ファン（１１が接地側電極
である陽極ａつの外側に回転軸を光軸αｅと平行に１２
で設けられている。この電動ファン（１１は陰極ａ３側
に設けてもよいが、陰極０３には負の大電圧がかかるた
め好ましくない。なお、電動ファンα優は複数設けても
かまわない。
翰は本実施例が設置される設置面である。この設置面（
社）に本実施例は支持部（２１）に支持されるが。
社）に本実施例は支持部（２１）に支持されるが。
このとき、共振器ミラー（１７ａ）、 （１７ｂ）の光
軸（１６）は設置面（２）に対して垂直に設置されてい
る。すなわち、設眞面翰に対して縦型に設置されている
。
軸（１６）は設置面（２）に対して垂直に設置されてい
る。すなわち、設眞面翰に対して縦型に設置されている
。
レーザ管ａυの底部に位置する共振器ミラー（１７ａ）
の前方すなわち上方には円形断面をした筒状の流れ制御
体（２秒が設けられている。この流れ制御体（２３は内
部に光軸（ｌｅが通るように取り付けられている。
の前方すなわち上方には円形断面をした筒状の流れ制御
体（２秒が設けられている。この流れ制御体（２３は内
部に光軸（ｌｅが通るように取り付けられている。
また、流れ制御体（２）の外側の気体媒体の流通部には
円板状の防塵フィルタ（ハ）が設けられている。この防
塵フィルタ（ハ）は気体媒体が横切るときに含まれるち
シ、はこりを捕獲し気体媒体からちシ、はこ夛を除去す
るものである。
円板状の防塵フィルタ（ハ）が設けられている。この防
塵フィルタ（ハ）は気体媒体が横切るときに含まれるち
シ、はこりを捕獲し気体媒体からちシ、はこ夛を除去す
るものである。
次に本実施例の動作について述べる。第３図中の（ａ）
は気体媒体の流量、（ｂ）は電動ファンＯＩの回転数、
（Ｃ）はレーザ光出力の時間に対するそれぞれの変化を
示す図である。始めに図示しない電源を入力すると、第
３図（ａ）に示すように気体媒体がある一定量（Ａ）の
流量でレーザ管αυ内に流入する。このとき、レーザ管
（１１）の内部に残っていた気体の一部は主電極の放電
により不用々比重の大きい気体となってレーザ管←υの
下方に沈澱しているが、下方に設けられた排気口（１５
ｉからいち早く流出していく。このように一定時間（１
１１で）Ａの流量で気体媒体をレーザ管αυ内を流通さ
せる。ここで時間がｔ、になると第３図（′ｂ）に示す
ように電動ファンα９を作動させ、レーザ管（１１）内
の気体媒体を強制的に循環させる。このとき ！動ファ
ンα値はｔｌからｔ。
は気体媒体の流量、（ｂ）は電動ファンＯＩの回転数、
（Ｃ）はレーザ光出力の時間に対するそれぞれの変化を
示す図である。始めに図示しない電源を入力すると、第
３図（ａ）に示すように気体媒体がある一定量（Ａ）の
流量でレーザ管αυ内に流入する。このとき、レーザ管
（１１）の内部に残っていた気体の一部は主電極の放電
により不用々比重の大きい気体となってレーザ管←υの
下方に沈澱しているが、下方に設けられた排気口（１５
ｉからいち早く流出していく。このように一定時間（１
１１で）Ａの流量で気体媒体をレーザ管αυ内を流通さ
せる。ここで時間がｔ、になると第３図（′ｂ）に示す
ように電動ファンα９を作動させ、レーザ管（１１）内
の気体媒体を強制的に循環させる。このとき ！動ファ
ンα値はｔｌからｔ。
まで回転数は（Ｂ）であって通常よシも高速に回転させ
る。これは防塵フィルタ（ハ）に捕獲されていたちシ、
はこりを排気口０９へ流出させるためである。
る。これは防塵フィルタ（ハ）に捕獲されていたちシ、
はこりを排気口０９へ流出させるためである。
この後、ｔ、になった時点で気体媒体の流量、電動ファ
ンα優の回転数をそれぞれ小さくする。通常。
ンα優の回転数をそれぞれ小さくする。通常。
気体媒体の流量は約１１５に落とし、電動ファン翰の回
転数も同程度落とす。ここで、ｔｓ時点において、主電
極によって放電を行なうと、陽極（１り、陰極（１３１
の周囲を循環する気体媒体は励起され、光を発生する。
転数も同程度落とす。ここで、ｔｓ時点において、主電
極によって放電を行なうと、陽極（１り、陰極（１３１
の周囲を循環する気体媒体は励起され、光を発生する。
共振器ミラー（１７ａ）、 （１７ｂ）はこの光を集め
増幅し、十分に増幅された光はレーザ光として出力ミラ
ーからなる共振器ミラー（１７ｂ）から所定の出力（Ｃ
）で出射する。
増幅し、十分に増幅された光はレーザ光として出力ミラ
ーからなる共振器ミラー（１７ｂ）から所定の出力（Ｃ
）で出射する。
このとき、レーザ管αυの内部を循環する気体媒体の流
れは、第２図のレーザ管（１１）内の矢印に示すとおシ
である。すなわち、主電流付近では陽極（１２と陰極（
１３１との間では流れは上向きとなり、外側では下向き
となる。また、陽極（１つと陰極０３）の下端部では流
れ制御体（２渇によシ流れは上向きと下向きに分けられ
、下向きの流れは防塵フィルタ（ハ）を横切って流れる
。よって、この下向きに流れる気体媒体は防塵フィルタ
（ハ）によってちり、はこシを除去されたものとなり、
流れ制御体−の下端を回わシ込んで流れ制御体（２３の
内部を上向きに流れていく。
れは、第２図のレーザ管（１１）内の矢印に示すとおシ
である。すなわち、主電流付近では陽極（１２と陰極（
１３１との間では流れは上向きとなり、外側では下向き
となる。また、陽極（１つと陰極０３）の下端部では流
れ制御体（２渇によシ流れは上向きと下向きに分けられ
、下向きの流れは防塵フィルタ（ハ）を横切って流れる
。よって、この下向きに流れる気体媒体は防塵フィルタ
（ハ）によってちり、はこシを除去されたものとなり、
流れ制御体−の下端を回わシ込んで流れ制御体（２３の
内部を上向きに流れていく。
このため、共振器ミラー（１７ａ）の反射面にはちシ。
はこシが付着することがない。また、気体媒体を共振器
ミラー（１７ａ）の位置まで循環させることによって、
運転停止時、すなわち気体媒体が循環していない時に流
れ制御体０りの内部を通って共振器ミラー（１７ａ）の
反射面に付着したちシ、はこシをｔｌからｔ、の間に払
って除去するという効果もある。
ミラー（１７ａ）の位置まで循環させることによって、
運転停止時、すなわち気体媒体が循環していない時に流
れ制御体０りの内部を通って共振器ミラー（１７ａ）の
反射面に付着したちシ、はこシをｔｌからｔ、の間に払
って除去するという効果もある。
以上説明したように本発明の気体レーザ発振装置によれ
ば、共振器ミラーの光軸が設置面に対して垂直または斜
めに設置すること、すなわち装置と縦型に設置すること
によって設置面の面積を縮少するとともに、レーザ管の
底部に位置する共振器ミラーの反射面にちシ、はこシが
付着するのを防止することができた。このため、クリー
ンルームなどの床面積当ヤの単価が高価なところでも設
置面積を節約することができ、装置の普及拡大が可能と
なる。さらに、装置を縦型に設置しても共振器ミラーの
長寿命化、レーザ光出力の長期安定化が可能となった。
ば、共振器ミラーの光軸が設置面に対して垂直または斜
めに設置すること、すなわち装置と縦型に設置すること
によって設置面の面積を縮少するとともに、レーザ管の
底部に位置する共振器ミラーの反射面にちシ、はこシが
付着するのを防止することができた。このため、クリー
ンルームなどの床面積当ヤの単価が高価なところでも設
置面積を節約することができ、装置の普及拡大が可能と
なる。さらに、装置を縦型に設置しても共振器ミラーの
長寿命化、レーザ光出力の長期安定化が可能となった。
第１図は従来例を示す正面図、第２図は本発明の一実施
例を示す正面図、第３図は実施例の運転動作の一例を説
明する図である。 １２・・・陽 極、１３・・・陰 極。 １６・・・光 軸１ １７８，１７ｂ・・・共振器ミラ
ー。 １９・・・電動ファン、２０・・・設置面。 ｎ・・・流れ制御体、２３・・・防塵フィルタ。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 （ほか１名） 第１図 第 ２ｙＡ 第３図
例を示す正面図、第３図は実施例の運転動作の一例を説
明する図である。 １２・・・陽 極、１３・・・陰 極。 １６・・・光 軸１ １７８，１７ｂ・・・共振器ミラ
ー。 １９・・・電動ファン、２０・・・設置面。 ｎ・・・流れ制御体、２３・・・防塵フィルタ。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 （ほか１名） 第１図 第 ２ｙＡ 第３図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 レーザ励起せしめる気体媒体と、少なくとも一対以上の
陽極と陰極とからなシこれら陽極と陰極とが対向配置さ
れ上記気体媒体のもとで放電する主電極と、この主電極
と上記気体媒体とが内部に挿入されるレーザ管と、との
レーザ管の内部において上記気体媒体を循環させる駆動
装置と、上記主電極の放電によシ励起されたレーザ光を
集めるために上記レーザ管の両端部に光軸を同一にして
対向配置された一対以上の共振器ミラーとを備える気体
レーザ発振装置において、 上記共振器ミラーの光軸が上記気体レーザ装置の設置面
に垂直あるいは斜めに位置するように配されるとともに
、上記レーザ管の底部側に位置する共振器ミラーの前方
に上記光軸が内部に位置するように設けられた筒状の流
れ制御体と、この流れ制御体の外部の気体流通部に設け
られた防塵フィルタとを備えたことを特徴とする気体レ
ーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4191484A JPS60187073A (ja) | 1984-03-07 | 1984-03-07 | 気体レ−ザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4191484A JPS60187073A (ja) | 1984-03-07 | 1984-03-07 | 気体レ−ザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60187073A true JPS60187073A (ja) | 1985-09-24 |
Family
ID=12621523
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4191484A Pending JPS60187073A (ja) | 1984-03-07 | 1984-03-07 | 気体レ−ザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60187073A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0319195A2 (en) * | 1987-12-04 | 1989-06-07 | Eev Limited | Laser arrangements |
| JPH02113351U (ja) * | 1989-02-28 | 1990-09-11 | ||
| JPH09102639A (ja) * | 1996-07-22 | 1997-04-15 | Komatsu Ltd | ガスレーザ装置 |
| US7522650B2 (en) * | 2004-03-31 | 2009-04-21 | Cymer, Inc. | Gas discharge laser chamber improvements |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5741830A (en) * | 1980-08-26 | 1982-03-09 | Sanraizu Kogyo Kk | Method and device for burring work of pipe inner wall |
-
1984
- 1984-03-07 JP JP4191484A patent/JPS60187073A/ja active Pending
Patent Citations (1)
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