CN115318727B - 光罩清洁装置 - Google Patents

Abstract

本公开涉及一种光罩清洁装置，光罩清洁装置包括：支撑架、夹持机构、以及清洗器。清洗器工作，在动力部的驱动下，溶剂腔内的清洗溶剂通过清洗头喷出到待清洗部位，便能将待清洗部位处的异物去除干净，相对于传统的采用高压气枪的强力吹扫清除方式而言，通过清洗溶剂进行局部定位清洁操作，对异物的清洗效果较好，且清洗效率较高，此外能避免高压导致保护膜破损，从而能大大降低成本。此外，处理面倒置方式有利于减少particle对膜面二次损伤。另外，通过转动夹持机构，翻转调整处理面，既可以对保护膜清洁处理，又可以对光罩的玻璃面清洁处理，操作方便，安全快捷。

Description

光罩清洁装置

技术领域

本公开涉及光罩清洗技术领域，特别是涉及一种光罩清洁装置。

背景技术

传统地，光罩的保护膜通常采用粘接剂蒙贴在平整的框体上，光罩在使用过程中，环境中的污染物会掉落甚至黏附在保护膜上，一般采用吹扫设备吹扫清除光罩保护膜表面上的异物。其中，对于无法通过吹扫设备吹扫清除的情况，需手动操作气枪，强力吹扫清除处理保护膜表面上的异物。然而，若异物清除不掉或吹扫压力过大将造成保护膜破损，并致使光罩曝光区引入微尘粒子（particle）等异物导致缺陷（defect），进而导致晶圆成品率降低（yield loss），光罩需要返厂维护（remount），从而消耗大量时间和资金。

发明内容

基于此，有必要克服现有技术的缺陷，提供一种光罩清洁装置，它能够提升异物清除效果，降低保护膜破损的风险，从而大大降低成本。

其技术方案如下：一种光罩清洁装置，所述光罩清洁装置包括：

支撑架，所述支撑架设有轨道组件；

夹持机构，所述夹持机构用于夹持待清洁处理的光罩，所述夹持机构与所述支撑架转动相连；以及

清洗器，所述清洗器包括溶剂腔、与所述溶剂腔相连通的清洗头、以及动力部，所述动力部用于使得所述溶剂腔内部的清洗溶剂通过所述清洗头向外喷出；所述清洗器位于所述夹持机构的下方，所述清洗头用于对着所述光罩的待清洗部位；所述清洗器可移动地连接于所述轨道组件。

在其中一个实施例中，所述清洗器为超声清洗器或电脉冲清洗器。

在其中一个实施例中，所述清洗器还包括设置于所述清洗头外部的过滤网。

在其中一个实施例中，所述清洗器包括相对设置的第一端与第二端，所述第一端设置有所述清洗头，所述第二端与所述轨道组件相连，所述第一端与所述第二端的距离可调；或者，所述清洗器通过升降机构与所述轨道组件相连。

在其中一个实施例中，所述光罩清洁装置还包括距离感应器与控制器，所述控制器分别与所述距离感应器、所述清洗器电性连接；所述距离感应器用于感应所述清洗头与所述待清洗部位的间距，所述控制器用于根据所述清洗头与所述待清洗部位的间距调整所述清洗头向外喷出的清洗溶剂的喷滚高度。

在其中一个实施例中，所述清洗头设有出液部，所述出液部的直径为1mm-10mm。

在其中一个实施例中，所述轨道组件包括沿着第一方向设置的第一导轨以及沿着第二方向设置的第二导轨；所述清洗器滑动地设置于所述第一导轨上，所述第一导轨滑动地设置于所述第二导轨上；所述第一方向、所述第二方向均平行于所述光罩的保护膜或玻璃面。

在其中一个实施例中，所述第一方向与所述第二方向相互垂直。

在其中一个实施例中，所述支撑架包括第一框体与第二框体；所述第二框体通过至少一个支柱与所述第一框体相连并位于所述第一框体的上方；所述夹持机构与第二框体转动相连；所述第二导轨与所述第一框体相连。

在其中一个实施例中，所述第一框体与所述第二框体均设置为方形框体，且所述第一框体与所述第二框体的形状相同；所述第一框体与所述第二框体均包括沿着第一方向设置的两个相对的第一框边以及沿着第二方向设置的两个相对的第二框边，所述第一框边与所述第二框边相连；所述第一框边上设有第一刻度标记，所述第二框边上设有第二刻度标记。

在其中一个实施例中，将所述第一框体的两个第一框边的中点连线设为第一中轴线，将所述第二框体的两个第一框边的中点连线设为第二中轴线；所述夹持机构以所述第二中轴线为轴转动；所述第一框体上的第一刻度标记与第二刻度标记均关于所述第一中轴线镜像设置，所述第二框体上的第一刻度标记与第二刻度标记均关于所述第二中轴线镜像设置。

在其中一个实施例中，所述夹持机构包括夹持固定所述光罩的两个夹持框；其中一个所述夹持框与所述光罩的玻璃板的其中一侧面抵接固定，另一个所述夹持框与所述玻璃板的另一侧面抵接固定。

在其中一个实施例中，两个所述夹持框的其中一侧边通过转动轴与所述支撑架转动相连；两个所述夹持框的另一相对侧边之间设有限位器，所述限位器用于与光罩的边沿抵接固定。

在其中一个实施例中，所述光罩清洁装置还包括图像撷取机构；所述图像撷取机构用于获取所述夹持机构夹持的光罩的图像信息。

在其中一个实施例中，所述光罩清洁装置还包括报警器与控制器；所述控制器分别与所述报警器、所述图像撷取机构电性连接，所述控制器用于根据所述图像撷取机构获取的图形信息判断所述光罩的表面上是否存在异物，在判断到所述光罩的表面上存在异物时控制所述报警器报警动作。

在其中一个实施例中，所述光罩清洁装置还包括驱动机构与控制器；所述控制器分别与所述图像撷取机构、所述驱动机构、所述清洗器电性连接；所述驱动机构与所述清洗器相连，用于驱动所述清洗器在所述轨道组件上移动；所述控制器用于根据所述图像撷取机构获取的图像信息判断所述光罩的表面上是否存在异物，在判断到所述光罩的表面上存在异物时确定出所述异物的坐标位置，根据所述异物的坐标位置控制所述驱动机构动作调整所述清洗器的位置，以及控制所述清洗器进行工作。

上述的光罩清洁装置，工作时，先通过夹持机构夹持固定住待清洁处理的光罩，通过夹持机构翻转光罩使得光罩的保护膜朝上，以获取保护膜上的异物所在位置；然后再次通过夹持机构翻转光罩使得光罩的保护膜朝下，以面向清洗器；接着，驱动清洗器沿着轨道组件移动，调整清洗头的位置使清洗头与保护膜上的异物所在位置，即与待清洗部位相对；清洗器工作，在动力部的驱动下，溶剂腔内的清洗溶剂通过清洗头喷出到待清洗部位，便能将待清洗部位处的异物去除干净，相对于传统的采用高压气枪的强力吹扫清除方式而言，通过清洗溶剂进行局部定位清洁操作，对异物的清洗效果较好，且清洗效率较高，此外能避免高压导致保护膜破损，从而能大大降低成本。

此外，处理面倒置方式有利于减少particle对膜面二次损伤。另外，通过转动夹持机构，翻转调整处理面，既可以对保护膜清洁处理，又可以对光罩的玻璃面，即与保护膜相背设置的光罩的表面进行清洁处理，操作方便，安全快捷。

附图说明

构成本申请的一部分的附图用来提供对本公开的进一步理解，本公开的示意性实施例及其说明用于解释本公开，并不构成对本公开的不当限定。

为了更清楚地说明本公开实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为一实施例的光罩的结构示意图；

图2为本公开一实施例的光罩清洁装置的一视角结构示意图；

图3为本公开一实施例的光罩清洁装置的另一视角结构示意图；

图4为本公开一实施例的光罩清洁装置的夹持机构夹持固定光罩的结构示意图；

图5为本公开一实施例的在第二框体上建立坐标系的结构示意图。

10、光罩；11、玻璃板；12、框架；13、保护膜；20、光罩清洁装置；21、支撑架；211、轨道组件；2111、第一导轨；212、第二框体；2121、第一框边；2122、第二框边；2123、第一刻度标记；2124、第二刻度标记；213、支柱；22、夹持机构；221、夹持框；222、转动轴；223、限位器；23、清洗器；231、清洗头；24、距离感应器。

实施方式

为使本公开的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本公开的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本公开。但是本公开能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本公开内涵的情况下做类似改进，因此本公开不受下面公开的具体实施例的限制。

传统技术中，如图1所示，图1示出了一实施例的光罩的结构示意图，光罩10包括玻璃板11、形成于玻璃板11表面的光罩图案、设置于光罩图案表面的框架12和固定于框架12表面的保护膜13。其中，玻璃板11具体例如为石英玻璃。此外，光罩图案包括金属铬和感光胶，将设计好的电路图形通过电子激光设备曝光在感光胶上，被曝光的区域会被显影出来，在金属铬上形成光罩图案。保护膜13与光罩图案之间存在一定的间隙，保护膜13起到保护作用，用于防止微粒直接落到光罩图案上，破坏光罩图案。

正如背景技术，为了克服传统气枪吹除顽固微尘粒子等异物清除不掉，甚至保护膜易操作失误破损的弊端，本公开提供一种光罩清洁装置，可以提升异物清除效果，降低保护膜破损的风险，从而大大降低成本。

参阅图2至图4，图2示出了本公开一实施例的光罩清洁装置20的一视角结构示意图，图3示出了本公开一实施例的光罩清洁装置20的另一视角结构示意图，图4示出了本公开一实施例的光罩清洁装置20的夹持机构22夹持固定光罩10的结构示意图。本公开一实施例提供的一种光罩清洁装置20，光罩清洁装置20包括：支撑架21、夹持机构22、以及清洗器23。支撑架21设有轨道组件211。夹持机构22用于夹持待清洁处理的光罩10，夹持机构22与支撑架21转动相连。清洗器23包括溶剂腔（图中未示意出）、与溶剂腔相连通的清洗头231、以及动力部（图中未示出）。动力部用于使得溶剂腔内部的清洗溶剂通过清洗头231向外喷出。清洗器23位于夹持机构22的下方，清洗头231用于对着光罩10的待清洗部位。清洗器23可移动地连接于轨道组件211。

上述的光罩清洁装置20，工作时，先通过夹持机构22夹持固定住待清洁处理的光罩10，通过夹持机构22翻转光罩10使得光罩10的保护膜13朝上，以获取保护膜13上的异物所在位置；然后再次通过夹持机构22翻转光罩10使得光罩10的保护膜13朝下，以面向清洗器23；接着，驱动清洗器23沿着轨道组件211移动，调整清洗头231的位置使清洗头231与保护膜13上的异物所在位置，即待清洗部位相对；清洗器23工作，在动力部的驱动下，溶剂腔内的清洗溶剂通过清洗头231喷出到待清洗部位，便能将待清洗部位处的异物去除干净，相对于传统的采用高压气枪的强力吹扫清除方式而言，通过清洗溶剂进行局部定位清洁操作，对异物的清洗效果较好，且清洗效率较高，此外能避免高压导致保护膜13破损，从而能大大降低成本。

此外，处理面倒置方式有利于减少particle对膜面二次损伤。另外，通过转动夹持机构22，翻转调整处理面，既可以对保护膜13清洁处理，又可以对光罩10的玻璃面，即与保护膜13相背设置的光罩10的表面清洁处理，操作方便，安全快捷。

其中，清洗溶剂具体选用与异物颗粒相溶性的有机溶剂，包括但不限于具有挥发性的有机溶剂，例如异丙醇，当然还可以是其它类型的清洗溶剂，具体可以根据实际需求灵活选取与调整，在此不进行限定。

在一个实施例中，清洗器23包括但不限于为超声清洗器23或电脉冲清洗器23。

其中，采用超声清洗器23时，超声清洗器23具有超声发生器，超声发生器在清洗头231清洁过程中产生超声振动，通过超声振动的形式对异物具有较好的清洗效果。此外，超声清洗过程中对保护膜13的损伤程度较小。

采用电脉冲清洗器23时，电脉冲清洗器23的清洗头231以预设频率的脉冲形式将清洗溶剂向外喷出，对保护膜13表面上的异物同样具有较好的清洗效果。此外，清洗头231的清洗溶剂向外喷出的压力可以根据实际需求控制在预设范围内，以避免由于清洗溶剂的喷出压力过大而导致对保护膜13造成损伤。

请参阅图2，在一个实施例中，清洗器23还包括设置于清洗头231外部的过滤网（图中未示出）。如此，在工作时，清洗溶剂可以通过过滤网的滤孔向外喷出，并作用于待清洗部位的异物，清洗溶剂将异物去除后，去除的异物将有可能掉落到过滤网上，过滤网可以对异物进行过滤处理，从而能防止洗掉的异物再次被清洗剂带到保护膜13表面引起二次损伤现象，进而能保证光罩10的清洁效果。此外，也能避免异物通过清洗头231进入到清洗器23的内部，而导致污染溶剂腔的清洗溶剂。

其中，为了保证能对异物进行过滤处理，过滤网的滤孔孔径具体可以根据实际需求灵活调整与选取，保证小于异物的尺寸大小即可。

请参阅图2，在一个实施例中，清洗器23包括相对设置的第一端与第二端。第一端设置有清洗头231，第二端与轨道组件211相连，第一端与第二端的距离可调。或者，清洗器23通过升降机构与轨道组件211相连。如此，清洗头231与轨道组件211的距离可以根据实际需求灵活地调整，也就是能调整清洗头231与光罩10的待清洗部位的间距。并在将清洗头231与待清洗部位的间距调整到合适值时，能保证待清洗部位具有较好的清洗效果。

一般而言，光罩10的保护膜13以及玻璃面上的各个部位并非位于同一表面，相互之间设置有例如1mm-5mm的偏差幅度，这样清洗头231与各个待清洗部位在沿着竖向方向上的间距并不非唯一确定大小值，经研究发现，清洗头231对不同清洗部位的清洗效果存在差异。

请参阅图1至图3，在一个实施例中，光罩清洁装置20还包括距离感应器24与控制器（图中未示出）。控制器分别与距离感应器24、清洗器23电性连接。距离感应器24用于感应清洗头231与待清洗部位的间距，控制器用于根据清洗头231与待清洗部位的间距调整清洗头231向外喷出的清洗溶剂的喷滚高度。如此，经研究发现，清洗头231与待清洗部位的间距大小不同时，采用与两者间距相对应喷滚高度的清洗溶剂对待清洗部位进行清洗处理，便能保证对待清洗部位较好的清洁效果，同时还能避免保护膜13出现损伤。

其中，清洗头231与待清洗部位的间距大小与清洗头231的清洗溶剂向外的喷滚高度之间的对应关系可以根据实际需求灵活调整与设置，在此不进行限定。具体设置时，可以结合实际现场试验的大量数据进行研究并总结得到，也可以根据仿真试验的大量数据进行研究总结得到。

具体而言，当清洗头231与待清洗部位的间距增大时，相应增大清洗器23的动力部的功率大小，使清洗头231的清洗溶剂向外的喷滚高度增大，以保证对待清洗部位有较好的清洗效果；当清洗头231与待清洗部位的间距减小时，相应减小清洗器23的动力部的功率大小，使清洗头231的清洗溶剂向外的喷滚高度减小，以保证对待清洗部位有较好的清洗效果，同时避免清洗溶剂对保护膜13造成不利影响。

请参阅图2，在一个实施例中，距离感应器24包括但不限于设置在清洗头231上，具体为面向于待清洗部位的清洗头231的壁面上。此外，距离感应器24包括但不限于为超声波测距器、激光测距器等等。

在一个实施例中，清洗头231设有出液部，出液部的直径为1mm-10mm。如此，清洗头231的清洗溶剂通过出液部向外喷出后，清洗溶剂与待清洗部位的接触区域的直径相应例如为5mm-10mm，经研究发现，该尺寸大小足够大，能将待清洗部位的异物粘接处松动，清洗溶剂流动过程中，带动异物进入到过滤网，将异物清除干净，有效降低保护膜13的受力破损程度。此外，该尺寸范围也不至于过大，即避免接触区域的直径尺寸过大时清洗溶剂过多地接触到光罩10上的洁净部位而造成不利影响。

可选地，出液部的形状包括但不限于圆形、椭圆形、多边形等规则形状以及不规则形状。其中，出液部的直径在本实施例中理解为出液部的外轮廓中距离最远的两个点的连线长度。

其中，出液部的直径例如设置成1mm、3mm、5mm、6mm、7mm、8mm、9mm、10mm等等数值。

此外，可以理解的是，出液部的直径还可以是设置成1mm-10mm以外的任意设置，具体如何设置，可以根据实际需求灵活地调整与设置，在此不进行限定。

另外，出液部既可以是设置成一个出液孔，该出液孔包括但不限于为圆形孔、椭圆形孔或多边形孔。本实施例中，出液孔例如为圆形孔，圆形孔的孔径相应为出液部的直径。

当然，出液部也可以是设置成相互间隔的多个出液孔。多个出液孔组合形成的出液区域例如为圆形区、椭圆形区或多边形区域或其它规则形状与不规则形状的区域，在此不进行限定。其中，多个出液孔组合形成的出液区域为圆形区，圆形区的直径相应为出液部的直径。

进一步地，为了保证清洗效果，清洗溶剂向外喷滚作用于待清洗部位的过程中，超声清洗器23的超声发生器持续运行，这样对异物的定点清除效果较好。

请参阅图1至图3，在一个实施例中，轨道组件211包括沿着第一方向（如图3中的X轴所示方向）设置的第一导轨2111以及沿着第二方向（如图3中的Y轴所示方向）设置的第二导轨（图中未示意）。清洗器23滑动地设置于第一导轨2111上，第一导轨2111滑动地设置于第二导轨上。第一方向、第二方向均平行于光罩10的保护膜13或玻璃面。如此，清洗器23沿着第一导轨2111移动时能沿着第一方向调整位置，第一导轨2111沿着第二导轨滑动时带动清洗器23沿着第二方向调整位置，这样清洗器23可以分别沿着第一方向、第二方向调整位置，使清洗头231移动调整到与待清洗部位正对的位置。

在一个实施例中，第一方向与第二方向相互垂直。

请参阅图2与图3，在一个实施例中，支撑架21包括第一框体（图中未示出）与第二框体212。第二框体212通过至少一个支柱213与第一框体相连并位于第一框体的上方。夹持机构22与第二框体212转动相连。第二导轨与第一框体相连。如此，由于第二导轨装设于第一框体上，这样便使得轨道组件211装设于第一框体上，此外，夹持机构22转动地装设于第二框体212上，第二框体212位于第一框体的上方，也即夹持机构22位于清洗器23的上方，从而夹持机构22夹持的光罩10位于清洗器23的上方。

需要说明的是，本实施例中的支撑架21的具体结构不限于是第一框体、第二框体212、支柱213的组合形式，还可以根据实际需求灵活调整成其它的各种形状。

其中，需要说明的是，该“第二导轨”可以为“第一框体的一部分”，即“第二导轨”与“第一框体的其他部分”一体成型制造；也可以与“第一框体的其他部分”可分离的一个独立的构件，即“第二导轨”可以独立制造，再与“第一框体的其他部分”组合成一个整体。

请参阅图1至图3，在一个实施例中，第一框体与第二框体212均设置为方形框体，且第一框体与第二框体212的形状相同。此外，第一框体与第二框体212均包括沿着第一方向设置的两个相对的第一框边2121以及沿着第二方向设置的两个相对的第二框边2122。第一框边2121与第二框边2122相连。第一框边2121上设有第一刻度标记2123，第二框边2122上设有第二刻度标记2124。如此，例如在定位光罩10的保护膜13上的待清洗部位时，先使得保护膜13所在面朝上，玻璃面朝下，使得保护膜13上的待清洗部位能便于被人工观察或机器扫描获取；此外，由于第一框边2121上设有第一刻度标记2123，第二框边2122上设有第二刻度标记2124，这样可以根据第一刻度标记2123与第二刻度标记2124来定位出保护膜13上的待清洗部位的坐标位置；然后，通过夹持机构22带动光罩10翻转使得保护膜13所在面朝下面向清洗器23，玻璃面朝上背离于清洗器23，光罩10上的待清洗部位在翻转后的新坐标位置也可以根据原获取的坐标位置结合于预设规则计算得到。并根据新坐标位置移动调整清洗器23的位置，清洗器23位置在调整过程中可以参照于其第一框体上的第一刻度标记2123与第二刻度标记2124，能便于将清洗头231调整到与光罩10上的待清洗部位正对设置，工作效率较高。

其中，定位光罩10的玻璃面上的待清洗部位的方式与定位光罩10的保护膜13上的待清洗部位类似，在此不进行赘述。

请参阅图1至图3与图5，图5示出了本公开一实施例的在第二框体212上建立坐标系的结构示意图。在一个实施例中，将第一框体的两个第一框边2121的中点连线设为第一中轴线，将第二框体212的两个第一框边2121的中点连线设为第二中轴线（如图3或图5所示的直线O₂所示）。夹持机构22以第二中轴线为轴转动。第一框体上的第一刻度标记2123与第二刻度标记2124均关于第一中轴线镜像设置，第二框体212上的第一刻度标记2123与第二刻度标记2124均关于第二中轴线镜像设置。如此，能容易根据扫描或观察到的待清洗部位的原坐标位置计算得到待清洗部位的新坐标位置。

请参阅图2、图3与图5，具体而言，例如以第二框体212在第二中轴线的第一侧区域（如图5所示的第二中轴线的右侧区域）上建立x-y坐标系，x轴平行于第一框边2121，y轴平行于第二框边2122，x轴与y轴的交点为第一坐标原点，第一坐标原点具体设置在第一侧区域的中心。此外，以第二框体212在第二中轴线的第二侧区域（如图5所示的第二中轴线的左侧区域）上建立x’-y’坐标系，x’-y’坐标系与x-y坐标系关于第二中轴线镜像对称设置。x’轴平行于第一框边2121，y’轴平行于第二框边2122，x’轴与y’轴的交点为第二坐标原点，第二坐标原点具体设置在第二侧区域的中心。如此，当夹持机构22夹住的光罩10的保护膜13朝上并位于第二侧区域时，根据x’-y’坐标系确定出保护膜13上的异物的坐标点例如为R’；当夹持机构22绕第二中轴线翻转带动其夹住的光罩10翻转到第一侧区域，并使光罩10的保护膜13朝向其下方的清洗器23时，可以确定出保护膜13上的异物在x-y坐标系中的坐标点为R，由于x’-y’坐标系与x-y坐标系关于第二中轴线镜像对称设置，即R’与R的坐标值相同。

请参阅图1与图4，图4示出了本公开一实施例的光罩清洁装置20的夹持机构22夹持固定光罩10的结构示意图。在一个实施例中，夹持机构22包括夹持固定光罩10的两个夹持框221。其中一个夹持框221与光罩10的玻璃板11的其中一侧面抵接固定，另一个夹持框221与玻璃板11的另一侧面抵接固定。如此，通过两个夹持框221与玻璃板11的两个相对侧面分别抵接固定，能稳固地夹持住光罩10，同时可以露出光罩10的保护膜13以及玻璃面。

请参阅图1、图2与图4，在一个实施例中，两个夹持框221的其中一侧边通过转动轴222与支撑架21转动相连。两个夹持框221的另一相对侧边之间设有限位器223。限位器223用于与光罩10的边沿抵接固定。如此，两个夹持框221通过转动方式打开，两个夹持框221转动打开后，将待清洁处理的光罩10夹持于两个夹持框221之间，操作较为方便。此外，由于限位器223与光罩10的边沿抵接固定，从而能有利于光罩10被夹持机构22稳定夹持固定，这样便能保证由待清洗部位的原坐标位置计算得到新坐标位置的准确性。

可选地，限位器223的具体尺寸可以根据光罩10的实际尺寸大小相应调整与设置，只要当将光罩10放置于两个夹持框221之间，并合拢两个夹持框221后，保证限位器223能与两个夹持框221所夹持的光罩10的边沿进行抵接即可。

作为一个示例，限位器223包括但不限于为弹性块或软质块。

其中，夹持框221的具体形状根据光罩10的形状相应设置。当光罩10设置为方形状时，夹持框221相应设置为方形框体，以保证夹持于玻璃板11的外边缘。

在一个实施例中，光罩清洁装置20还包括图像撷取机构（图中未示出）。图像撷取机构用于获取夹持机构22夹持的光罩10的图像信息。如此，通过图像撷取机构获取夹持机构22所夹持的光罩10的图像信息，根据图像信息便能确定出光罩10的保护膜13或玻璃面上是否存在异物，能提高自动化程度。其中，图像撷取机构包括但不限于为照相机、摄像机或者图像扫描仪等等。

在一个实施例中，光罩清洁装置20还包括报警器（图中未示出）与控制器。控制器分别与报警器、图像撷取机构电性连接，控制器用于根据图像撷取机构获取的图形信息判断光罩10的表面上是否存在异物，在判断到光罩10的表面上存在异物时控制报警器报警动作。如此，当光罩10的表面上存在异物时，报警器能及时地进行报警动作，起到及时提醒工作人员的作用。其中，报警器包括但不限于为灯光警示器、声音警示器、震动器等等。

在一个实施例中，光罩清洁装置20还包括驱动机构（图中未示出）与控制器。控制器分别与图像撷取机构、驱动机构、清洗器23电性连接。驱动机构与清洗器23相连，用于驱动清洗器23在轨道组件211上移动。控制器用于根据图像撷取机构获取的图像信息判断光罩10的表面上是否存在异物，在判断到光罩10的表面上存在异物时确定出异物的坐标位置，根据异物的坐标位置控制驱动机构动作调整清洗器23的位置，以及控制清洗器23进行工作。如此，当光罩10的表面上存在异物时，控制器能根据图像撷取机构获取的图像信息确定出异物的坐标位置，以及控制驱动机构带动清洗器23移动到与异物正对的位置，并控制清洗器23进行清洗工作，从而便能实现自动地将光罩10表面上的异物清洗干净，这样便能提高自动化程度。

具体而言，驱动机构包括第一驱动机构与第二驱动机构，第一驱动机构与清洗器23相连，用于驱动清洗器23沿着第一导轨2111移动。第二驱动机构与第一导轨2111相连，用于驱动第一导轨2111沿着第二导轨移动。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本公开的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对公开专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本公开构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本公开的保护范围。因此，本公开专利的保护范围应以所附权利要求为准。

在本公开的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本公开和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本公开的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本公开的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本公开中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本公开中的具体含义。

在本公开中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

Claims (15)

1.一种光罩清洁装置，其特征在于，所述光罩清洁装置包括：

支撑架，所述支撑架设有轨道组件；

夹持机构，所述夹持机构用于夹持待清洁处理的光罩，所述夹持机构与所述支撑架转动相连；以及

清洗器，所述清洗器包括溶剂腔、与所述溶剂腔相连通的清洗头、以及动力部，所述动力部用于使得所述溶剂腔内部的清洗溶剂通过所述清洗头向外喷出；所述清洗器位于所述夹持机构的下方，所述清洗头用于对着所述光罩的待清洗部位；所述清洗器可移动地连接于所述轨道组件；

所述支撑架包括第二框体；所述夹持机构与第二框体转动相连；所述第二框体包括沿着第一方向设置的两个相对的第一框边以及沿着第二方向设置的两个相对的第二框边，所述第一框边与所述第二框边相连；

将所述第二框体的两个第一框边的中点连线设为第二中轴线；所述夹持机构以所述第二中轴线为轴转动；所述第一框边上设有第一刻度标记，所述第二框边上设有第二刻度标记，所述第一刻度标记与所述第二刻度标记均关于所述第二中轴线镜像设置；

通过夹持机构翻转光罩使得光罩的保护膜朝上，以获取保护膜上的异物所在位置；然后再次通过夹持机构翻转光罩使得光罩的保护膜朝下，以面向清洗器；根据扫描的待清洗部位的原坐标位置计算得到待清洗部位的新坐标位置；驱动清洗器沿着轨道组件移动，根据新坐标位置调整清洗头的位置使清洗头与保护膜上的异物所在位置相对；控制器用于根据图像撷取机构获取的图像信息判断所述光罩的表面上是否存在异物，在判断到所述光罩的表面上存在异物时确定出所述异物的坐标位置，根据所述异物的坐标位置控制驱动机构动作调整所述清洗器的位置，以及控制所述清洗器进行工作。

2.根据权利要求1所述的光罩清洁装置，其特征在于，所述清洗器为超声清洗器或电脉冲清洗器。

3.根据权利要求1所述的光罩清洁装置，其特征在于，所述清洗器还包括设置于所述清洗头外部的过滤网。

4.根据权利要求1所述的光罩清洁装置，其特征在于，所述清洗器包括相对设置的第一端与第二端，所述第一端设置有所述清洗头，所述第二端与所述轨道组件相连，所述第一端与所述第二端的距离可调；或者，所述清洗器通过升降机构与所述轨道组件相连。

5.根据权利要求1所述的光罩清洁装置，其特征在于，所述光罩清洁装置还包括距离感应器与控制器，所述控制器分别与所述距离感应器、所述清洗器电性连接；所述距离感应器用于感应所述清洗头与所述待清洗部位的间距，所述控制器用于根据所述清洗头与所述待清洗部位的间距调整所述清洗头向外喷出的清洗溶剂的喷滚高度。

6.根据权利要求1所述的光罩清洁装置，其特征在于，所述清洗头设有出液部，所述出液部的直径为1mm-10mm。

7.根据权利要求1所述的光罩清洁装置，其特征在于，所述轨道组件包括沿着第一方向设置的第一导轨以及沿着第二方向设置的第二导轨；所述清洗器滑动地设置于所述第一导轨上，所述第一导轨滑动地设置于所述第二导轨上；所述第一方向、所述第二方向均平行于所述光罩的保护膜或玻璃面。

8.根据权利要求7所述的光罩清洁装置，其特征在于，所述第一方向与所述第二方向相互垂直。

9.根据权利要求8所述的光罩清洁装置，其特征在于，所述支撑架还包括第一框体；所述第二框体通过至少一个支柱与所述第一框体相连并位于所述第一框体的上方；所述第二导轨与所述第一框体相连。

10.根据权利要求9所述的光罩清洁装置，其特征在于，所述第一框体与所述第二框体均设置为方形框体，且所述第一框体与所述第二框体的形状相同。

11.根据权利要求10所述的光罩清洁装置，其特征在于，所述夹持机构包括夹持固定所述光罩的两个夹持框；其中一个所述夹持框与所述光罩的玻璃板的其中一侧面抵接固定，另一个所述夹持框与所述玻璃板的另一侧面抵接固定。

12.根据权利要求11所述的光罩清洁装置，其特征在于，两个所述夹持框的其中一侧边通过转动轴与所述支撑架转动相连；两个所述夹持框的另一相对侧边之间设有限位器，所述限位器用于与光罩的边沿抵接固定。

13.根据权利要求1所述的光罩清洁装置，其特征在于，所述光罩清洁装置还包括图像撷取机构；所述图像撷取机构用于获取所述夹持机构夹持的光罩的图像信息。

14.根据权利要求13所述的光罩清洁装置，其特征在于，所述光罩清洁装置还包括报警器与控制器；所述控制器分别与所述报警器、所述图像撷取机构电性连接，所述控制器用于根据所述图像撷取机构获取的图形信息判断所述光罩的表面上是否存在异物，在判断到所述光罩的表面上存在异物时控制所述报警器报警动作。

15.根据权利要求13所述的光罩清洁装置，其特征在于，所述光罩清洁装置还包括驱动机构与控制器；所述控制器分别与所述图像撷取机构、所述驱动机构、所述清洗器电性连接；所述驱动机构与所述清洗器相连，用于驱动所述清洗器在所述轨道组件上移动。