JP2005334922A - レーザ加工機におけるノズルチェック装置 - Google Patents

レーザ加工機におけるノズルチェック装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2005334922A
JP2005334922A JP2004155930A JP2004155930A JP2005334922A JP 2005334922 A JP2005334922 A JP 2005334922A JP 2004155930 A JP2004155930 A JP 2004155930A JP 2004155930 A JP2004155930 A JP 2004155930A JP 2005334922 A JP2005334922 A JP 2005334922A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
nozzle
laser processing
axis
laser beam
tip
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2004155930A
Other languages
English (en)
Inventor
Tsunehiko Yamazaki
恒彦 山崎
Naotomi Miyagawa
直臣 宮川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yamazaki Mazak Corp
Original Assignee
Yamazaki Mazak Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yamazaki Mazak Corp filed Critical Yamazaki Mazak Corp
Priority to JP2004155930A priority Critical patent/JP2005334922A/ja
Priority to US11/121,660 priority patent/US7679031B2/en
Priority to EP05009904A priority patent/EP1600247B1/en
Priority to CNB2005100738971A priority patent/CN100558498C/zh
Publication of JP2005334922A publication Critical patent/JP2005334922A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/14Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
    • B23K26/1462Nozzles; Features related to nozzles
    • B23K26/1494Maintenance of nozzles
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/04Automatically aligning, aiming or focusing the laser beam, e.g. using the back-scattered light
    • B23K26/042Automatically aligning the laser beam
    • B23K26/043Automatically aligning the laser beam along the beam path, i.e. alignment of laser beam axis relative to laser beam apparatus
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/08Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
    • B23K26/0869Devices involving movement of the laser head in at least one axial direction
    • B23K26/0876Devices involving movement of the laser head in at least one axial direction in at least two axial directions
    • B23K26/0884Devices involving movement of the laser head in at least one axial direction in at least two axial directions in at least in three axial directions, e.g. manipulators, robots
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/14Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
    • B23K26/1462Nozzles; Features related to nozzles
    • B23K26/1482Detachable nozzles, e.g. exchangeable or provided with breakaway lines
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/70Auxiliary operations or equipment
    • B23K26/702Auxiliary equipment
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/94Investigating contamination, e.g. dust

Abstract

【課題】 レーザ加工機において、ノズルの先端を光学的に検査する装置を提供する。
【解決手段】 レーザ加工工具のノズル65に対して対向する位置に昇降されるカメラユニット450は、CCDカメラ本体460とレンズ462を収容するカメラ室454を有し、保護ガラス456で密封される。リングライト470はノズル65の表面を照射し、CCDカメラ本体460は光学的にノズル65を検査する。
【選択図】 図9

Description

本発明は、レーザ加工機のノズルの先端形状に異常がないか(異物が付着していないか、変形していないか、または、先端にキズがついていないか)どうかを、カメラ等の形状及び性状認識装置により、検査する装置に関する。
従来のレーザ加工機は、材質及び板厚によって、予め定められた標準加工条件がNC装置に登録されている。
標準加工条件によって、レーザ加工を行っていくと、加工トーチ先端に装着されたノズルの異常によりドロスの発生などの加工不良が発生する。最適な加工条件を維持するためには、作業者が異常を事前に察知し、機械を停止し、ノズルの異常を調べ、異常を認識した場合は、手動でノズルを交換したり、清掃したり、変形を修正したり、または、加工条件を変更したりする作業が必要であった。
また、ワークの切断加工部をCCDカメラで撮像して、ワークの加工不良を検出できるようにしたものが知られている(特許文献1参照)。
特開平10−258376号公報
レーザ加工機のノズルに異物が付着することによってノズル先端と加工物上面との間隙を一定、且つ安定的に維持することができず、加工品質の低下、等の加工不良を発生させ、更には加工不能を引き起こす。
また、ノズルの先端に付着した異物により、ノズルの先端の出口の真円が変化することによって、アシストガスの噴出流速分布が乱れ、加工品質の低下等の加工不良を発生させ、更には加工不能を引き起こす。
上記の問題を回避し、最適な加工を維持するためには、非熟練者では対応できず、長年の経験を有する熟練者が必要であり、さらに、長時間無人化運転の実現を阻害していた。
本発明は以上の問題を解決するレーザ加工機におけるノズルチェック装置を提供するものである。
本発明のレーザ加工機は、基本的な手段として、ベッドと、ベッド上に配設されてワークを支持するパレットと、ベッドの長手方向の軸線であるX軸に沿って移動制御されるコラムと、コラムに支持されてX軸に直交するY軸に沿って移動制御されるサドルと、サドルに支持されてX軸とY軸が形成する平面に対して垂直なZ軸に沿って移動制御される加工ヘッドを備えるものである。
そして、レーザ加工工具の先端に装着されるノズルを光学的に検査する手段を装備する。
レーザ加工工具は、集光レンズを含む光学系の手段を備えるトーチと、トーチの先端に交換自在に装着されるノズルを備える。
また、ノズルを光学的に検査する手段は、CCDカメラ本体と、レンズと、ノズルを照明する照明装置を備え、ノズルを光学的に検査する手段をノズルに対向して昇降させる装置を備える。
本発明は、ノズルの真円度が常に公差範囲内で維持されるので、アシストガスの噴出流速分布が乱れることなく、加工品質が高精度に維持できる。
さらに、ノズル先端に異物の付着あるいは打痕等がない状態で維持されるため、ノズル先端と加工物上面との間隙を一定、且つ安定的に維持することができ、加工品質を高精度に維持することができる。
従って、非熟練者でも高品位・高精度加工が可能になり、さらに、長時間無人化運転も可能になる。
図1は、本発明のレーザ加工機の全体構成を示す斜視図、図2は平面図、図3は正面図、図4は要部の斜視図、図5は側面図である。
全体を符号1で示すレーザ加工機は、ベッド10上に配設されるパレット(テーブル)20を有し、板状のワークWが載置される。ベッド10の長手方向の延長線上にはパレット交換装置12が配置され、次加工用のワークWを載置したパレット20aが用意されている。
ベッド10上の両側には、長手方向に沿って一対のガイドレール34が取付けられており、ガイドレール34上には、コラム30がX軸方向に移動自在に装備される。
コラム30のX軸上の駆動手段は、例えば、リニアモータが使用されており、ガイドレール34に設けた固定子と直動ガイド32に設けた移動子との間でリニアモータが形成される。
コラム30には、X軸に直交するY軸に沿ってガイドレール44が設けてあり、サドル40がY軸上で移動自在に装備される。サドル40は、ガイドレール44に係合する直動ガイド42を備え、ガイドレール44と直動ガイド42との間でリニアモータが形成される。
サドル40は、X軸、Y軸が形成する平面に垂直なZ軸方向にガイドレールが設けあり、加工ヘッド50がZ軸に沿って移動自在に装備される。加工ヘッド50は、レーザ発振装置72から送られてくるレーザ光が導入される光学系を備える。
加工ヘッド50には、レーザ加工工具60が交換自在に装備される。加工エリアは、カバー90で覆われ、安全が確保される。ベッド10に隣接して強電盤70やレーザ発振装置72が配設される。オペレータが様々な駆動を指示する操作盤80は、ベッド10上の長手方向の端部に配設される。ベッド10上の操作盤80に近い方の端部には、レーザ加工工具の段取りステーション100が装備される。
図6は、レーザ加工工具の段取りステーション100をテーブル側からみた正面図、図7は平面図である。
レーザ加工工具の段取りステーション100は、トーチとノズルを備えたレーザ加工工具のツールチェンジマガジン220を備えた工具ステーション200とレーザ加工工具のノズルのノズルチェンジマガジンを備えたノズルステーション300を備える。
図8は、本発明のノズル検査装置の説明図。図9はカメラユニットの説明図である。
全体を符号400で示すノズル検査装置は、カバー401内に配設されるベース402にとりつけられる。
ベース402に固定されるシリンダ404はピストンロッド406を昇降させる。ピストンロッド406の上端には、カメラユニット450がとりつけられている。カメラユニット450は、常時、ゴミ等の埃の除去と浸入を防止するカバー401に格納されており、上面には、レーザ加工工具の段取りステーション100の全体を覆うカバー410で保護されている。
ノズルの検査時には、シリンダ404が作動してピストンロッド406とともに、カメラユニット450をノズル直下に対向する位置に上昇させる。
カメラユニット450は、ピストンロッド406の先端に取付けられるハウジング452を有し、ハウジング452の内部に設けられるカメラ室454内にCCDカメラ本体460が固定される。CCDカメラ本体460は、レンズ462を有し、レンズ462は調整ねじ464によりカメラの受光面との距離が調整できるように取付けられる。
カメラ室454の上部には、保護ガラス456で覆われ、内部のCCDカメラ本体460とレンズ462等に異物が付着することが防止される。
カメラ室454の上部には、ブラケット458が設けられ、ブラケット458の上部にリングライト470がとりつけられる。
リングライト470は、例えば、高輝度LED472を備え中央部に開口部474を有する。
リングライト470で照明されるノズル65の撮像をCCDカメラ本体460で撮影して、ノズル65を光学的に検査する。
図10は、本発明のインテリジェントノズルチェック装置によるノズルの検査の手法を示す。
ノズル65は、ノズル本体650を有し、先端面654の中心にノズル穴652が形成されている。
図の(b)は、ノズル65の先端面654のCCDカメラの撮像Eを示す。先端654の表面は正常な輝度を有し、ノズル穴652の影Hも正確に撮影されている。このノズル穴652の穴径寸法Dを検知することで、ノズル65の種別を特定することができる。
図11は、何らかの原因でノズル65の先端部に傷Kが生じた例を示す。
撮像Eに傷Kの形状が撮影され、またノズル穴652の影Hも変形する。
この撮像により、ノズルの不良が判別される。
図12は、ノズル65の先端面654に傷Kが生じた例を示す。
撮像Eに現われるノズル穴652の影Hは正常であるが、先端面654の反射輝度が低下する。この反射輝度の低下を検知して、ノズルの不良を検出する。
図13は、ノズル先端面654に、レーザ加工により加熱されたワーク材料が飛散して形成されるスパッタSが付着した状態を示す。
撮像E中にはノズル穴652の穴径は正常に現われるが、表面の反射輝度が大幅に低下する。この現象をとらえて、ノズルの不良を検出する。
図14は、本発明のノズルチェック装置による処理のフローチャートである。
ステップS10でスタートした処理は、ステップS11で段取りステーションのカバーを開く。ステップS12でカメラユニットをZ軸方向へ上昇させ、ステップS13で加工工具をカメラユニット上で移動させる。ステップS14で加工工具をカメラの焦点位置まで下降させる。
ステップS15でノズルからエアを噴射して、カメラユニットの保護ガラスの汚れを掃除する。ステップS17でカメラユニットの照明を点灯してノズル端面を照らして、ステップS18でカメラによりノズル端面を撮像する。
ステップS19では、撮像されたノズル端面の画像データを処理して、ノズル穴の重心位置を算出する。ステップS20で撮像された複数のノズル穴の直径寸法を測定し、ステップS21でノズル穴の平均値を演算する。
ステップS22で、演算されたノズルの真円度は公差範囲内かをチェックし、公差範囲内であれば、ステップS23でノズル端面の映像のコントラストを判定する。判定内容は、ノズル端面の傷やバリの有無、スパッタ等の付着物の検出、ノズル端面の変形・異形の検出等が含まれる。
上述した判定結果が良好であれば、ステップS24へ進み、加工工具を上昇させて段取りステーションから加工領域に戻す。ステップS25で加工を実行し、ステップS26で処理を終了する。
ステップS22でノズルの真円度が公差範囲外であると判定されると、ステップS30へ進み、アラームを出力して、その旨をオペレータに通知する。ステップS31で段取りステーション内に同径の良品ノズルが有するかをチェックし、有れば加工工具を上昇させ、ステップS33で良品ノズルと交換する。
ステップS34で加工を実行し、ステップS35で処理を終了する。
ステップS31で段取りステーション内に同径の良品ノズルが無いことが判明した時には、ステップS40へ進み、アラームを出力してオペレータに通知し、ステップS41でNC画面にノズルの追加請求を表示する。
ステップS42で加工工具を上昇させ、ステップS43で加工工具を原点位置に復帰させる。ステップS44で、オペレータによる追加ノズルとの交換を受ける。ステップS45で制御装置に追加ノズルの登録を行い、ステップS10に戻る。
ステップS23でノズル端面の判定結果が不良であると判断されると、ステップS50でノズル端面の研磨加工がチェックされ、良好であれば、ステップS18へ戻り、不良であれば、ステップS30に進む。
なお、上述した実施例にあっては、X軸とY軸上の駆動手段には、リニアモータの例を説明したが、ボールねじを用いても本発明を適用することができる。
また、上述した実施例にあっては、ノズルを照らす照明装置としては、中央部に開口部を有するリングライトの例を説明したが、ハロゲンライトを用いても本発明を適用することができる。
本発明のレーザ加工機の全体の斜視図。 本発明のレーザ加工機の平面図。 本発明のレーザ加工機の要部の正面図。 本発明のレーザ加工機の要部の斜視図。 本発明のレーザ加工機の要部の側面図。 レーザ加工工具の段取りステーションの正面図。 レーザ加工工具の段取りステーションの平面図。 ノズルチェック装置の説明図。 ノズルチェック装置の説明図。 ノズルの検査手法を示す説明図。 ノズルに傷が生じた例を示す説明図。 ノズルに傷が生じた例を示す説明図。 ノズルにスパッタが付着した例を示す説明図。 ノズルチェックの処理のフローチャート。
符号の説明
1 レーザ加工機
10 ベッド
20 パレット
30 コラム
40 サドル
50 加工ヘッド
60 レーザ加工工具
65 ノズル
70 強電盤
72 レーザ発振装置
80 制御盤
90 カバー
100 レーザ加工工具の段取りステーション
200 レーザ加工機の工具ステーション
300 レーザ加工機のノズルステーション
400 ノズル検査装置
404 シリンダ
450 カメラユニット
460 CCDカメラ本体
462 レンズ
456 保護ガラス
470 リングライト

Claims (4)

  1. ベッドと、ベッド上に配設されてワークを支持するパレットと、ベッドの長手方向の軸線であるX軸に沿って移動制御されるコラムと、コラムに支持されてX軸に直交するY軸に沿って移動制御されるサドルと、サドルに支持されてX軸とY軸が形成する平面に対して垂直なZ軸に沿って移動制御される加工ヘッドを備えるレーザ加工機において、
    レーザ加工工具の先端に装着されるノズルを光学的に検査する手段を装備するレーザ加工機におけるノズルチェック装置。
  2. レーザ加工工具は、集光レンズを含む光学系の手段を備えるトーチと、トーチの先端に交換自在に装着されるノズルを備える請求項1記載のレーザ加工機におけるノズルチェック装置。
  3. ノズルを光学的に検査する手段は、CCDカメラ本体と、レンズと、ノズルを照らす照明装置を備える請求項1記載のレーザ加工機におけるノズルチェック装置。
  4. ノズルを光学的に検査する手段をノズルに対向して昇降させる装置を備える請求項1記載のレーザ加工機におけるノズルチェック装置。
JP2004155930A 2004-05-26 2004-05-26 レーザ加工機におけるノズルチェック装置 Pending JP2005334922A (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004155930A JP2005334922A (ja) 2004-05-26 2004-05-26 レーザ加工機におけるノズルチェック装置
US11/121,660 US7679031B2 (en) 2004-05-26 2005-05-04 Method for checking a nozzle for a laser beam machine
EP05009904A EP1600247B1 (en) 2004-05-26 2005-05-06 Nozzle checker for laser beam machine
CNB2005100738971A CN100558498C (zh) 2004-05-26 2005-05-26 激光加工机中的喷嘴检查装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004155930A JP2005334922A (ja) 2004-05-26 2004-05-26 レーザ加工機におけるノズルチェック装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2005334922A true JP2005334922A (ja) 2005-12-08

Family

ID=34936211

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004155930A Pending JP2005334922A (ja) 2004-05-26 2004-05-26 レーザ加工機におけるノズルチェック装置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US7679031B2 (ja)
EP (1) EP1600247B1 (ja)
JP (1) JP2005334922A (ja)
CN (1) CN100558498C (ja)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008309590A (ja) * 2007-06-13 2008-12-25 Mitsubishi Electric Corp ノズル検査装置およびノズル検査方法
DE102007061718B3 (de) * 2007-12-19 2009-03-05 Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg Verfahren zum Bestimmen der Abmessung und/oder des Zustands einer Düsenöffnung
JP2012179642A (ja) * 2011-03-02 2012-09-20 Disco Corp レーザー加工装置
JP2013052440A (ja) * 2011-08-09 2013-03-21 Amada Co Ltd レーザ加工ヘッド
WO2016093053A1 (ja) * 2014-12-08 2016-06-16 村田機械株式会社 レーザ加工機及びノズル装着方法
JP2017507030A (ja) * 2014-02-06 2017-03-16 トルンプフ ヴェルクツォイクマシーネン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフトTrumpf Werkzeugmaschinen GmbH + Co. KG 加工ヘッドに形成されている開口部の縁部輪郭を識別するための方法及び加工機械
JP6121016B1 (ja) * 2016-02-22 2017-04-26 株式会社アマダホールディングス レーザ加工機における加工ノズル検査装置及び方法
JP2021003718A (ja) * 2019-06-26 2021-01-14 株式会社アマダ レーザ加工機の設定方法及びレーザ加工機
JP2022508398A (ja) * 2018-12-19 2022-01-19 バイストロニック レーザー アクチェンゲゼルシャフト 金属加工装置におけるノズルの状態又はタイプの特定

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4271696B2 (ja) * 2006-08-29 2009-06-03 ヤマザキマザック株式会社 レーザ加工機の自動工具交換装置
FR2911081A1 (fr) * 2007-01-10 2008-07-11 Safmatic Sa Installation et procede de detection optique des deteriorations d'une buse laser
DE102007024288B3 (de) * 2007-05-23 2008-10-16 Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg Anordnung zur Erkennung einer Laserbearbeitungsdüse beim Einsetzen der Laserbearbeitungsdüse in einen Laserbearbeitungskopf
AU2009308490A1 (en) 2008-10-21 2010-04-29 Perfect Point Edm Corporation Hand-held electro-discharge device
US8963040B2 (en) 2010-04-28 2015-02-24 Perfect Point Edm Corporation Method of separating fastener shanks from heads or frames
DE102013214174B3 (de) 2013-07-19 2015-01-08 Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg Verfahren zum Ermitteln eines Verschleißzustands einer Schneiddüse und Laserbearbeitungsmaschine zur Durchführung des Verfahrens
CN104567714A (zh) * 2013-10-15 2015-04-29 胡长华 便携式非接触圆度测量仪器
TWI577986B (zh) * 2016-01-07 2017-04-11 Aperture detection system
DE102016209285B3 (de) * 2016-05-30 2017-08-17 Trumpf Maschinen Ag Bearbeitungsmaschine mit einem Düsenwechsler
DE102016211935B4 (de) 2016-06-30 2019-06-06 Sauer Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Prozessüberwachung bei einem Auftragschweiß-Verfahren
CN108731728A (zh) * 2017-04-24 2018-11-02 台湾积体电路制造股份有限公司 喷嘴孔检查系统及方法
US10712151B2 (en) * 2017-05-15 2020-07-14 Precitec Gmbh & Co. Kg Sensor device for determining alignment/misalignment of a laser beam relative to a gas nozzle of a laser machining head
CN108015438B (zh) * 2018-01-18 2023-10-03 济南邦德激光股份有限公司 一种激光头调焦方法、装置及激光切割机
DE102020100217A1 (de) * 2020-01-08 2021-07-08 Precitec Gmbh & Co. Kg Verfahren zur automatisierten Strahlpositionierung eines Laserstrahls bezüglich einer Düse eines Laserbearbeitungskopfes und Laserbearbeitungssystem zum Bearbeiten eines Werkstücks mit einem Laserstrahl
IT202000005047A1 (it) * 2020-03-10 2021-09-10 M G S S R L Dispositivo per valutare la centratura di un fascio laser in un ugello di una attrezzatura di taglio/saldatura e metodo di utilizzo di un simile dispositivo
EP4230339A4 (en) * 2020-10-14 2024-04-17 Amada Co Ltd LASER PROCESSING DEVICE AND NOZZLE INSPECTION METHODS
CN113579397B (zh) * 2021-07-28 2023-04-25 歌尔科技有限公司 焊接设备
WO2023137507A1 (de) * 2022-01-19 2023-07-27 Trotec Laser Gmbh Verfahren zum erkennen einer linse und/oder düse an einer fokussiereinheit eines laserplotters zum schneiden, gravieren, markieren und/oder beschriften eines werkstückes, sowie eine linsenhalterung, eine düsenhalterung und einen laserplotter zum gravieren, markieren und/oder beschriften eines werkstückes hierfür
CN114799585B (zh) * 2022-06-14 2024-02-02 广东宏石激光技术股份有限公司 一种激光切割机用自动清洗检测更换喷嘴的装置

Family Cites Families (46)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3745321A (en) * 1971-07-28 1973-07-10 L Persits Method of control over operating conditions of an apparatus for plasma-arc treatment of articles and an apparatus for plasma-arc treatment
SE439377B (sv) * 1978-07-26 1985-06-10 Hitachi Ltd Anordning for optisk inspektion av rorledningar
JPS5979831A (ja) * 1982-10-29 1984-05-09 Hitachi Ltd マイクロサンプリング装置
JPS62292295A (ja) * 1986-06-11 1987-12-18 Mitsubishi Electric Corp レ−ザ加工機
JP2597598B2 (ja) * 1987-09-19 1997-04-09 株式会社日平トヤマ レーザ加工機におけるノズルチェック装置
JPH01138445A (ja) * 1987-11-25 1989-05-31 Sumitomo Chem Co Ltd 容器の内部点検装置
JPH02229690A (ja) * 1989-03-02 1990-09-12 Mitsubishi Heavy Ind Ltd レーザ加工用ノズル
DE69112272T2 (de) * 1990-05-21 1996-02-01 Ntn Toyo Bearing Co Ltd Verfahren und Gerät zur Laserbearbeitung.
JPH04322891A (ja) * 1991-04-24 1992-11-12 Brother Ind Ltd レーザ加工装置
JPH06163386A (ja) * 1992-11-25 1994-06-10 Nec Kansai Ltd レジスト塗布装置
JPH06344163A (ja) * 1993-06-11 1994-12-20 Mitsubishi Electric Corp レーザビーム溶接装置
AUPM470994A0 (en) * 1994-03-25 1994-04-21 Commonwealth Scientific And Industrial Research Organisation Plasma torch condition monitoring
US5662822A (en) * 1994-10-13 1997-09-02 Hitachi Construction Machinery Co., Ltd. Dam bar cutting apparatus and dam bar cutting method
JPH08113816A (ja) * 1994-10-19 1996-05-07 New Oji Paper Co Ltd 紡糸口金の全自動検査掃除装置及び検査掃除方法
KR100213603B1 (ko) * 1994-12-28 1999-08-02 가나이 쯔또무 전자회로기판의 배선수정방법 및 그 장치와 전자회로기판
JP3507167B2 (ja) * 1995-01-24 2004-03-15 株式会社アマダ ピアシング完了検出装置を用いたレーザー加工ヘッドのノズル不良検出方法
CN1161267A (zh) * 1995-09-14 1997-10-08 邵文远 复合加工中心
US5854460A (en) * 1996-05-07 1998-12-29 Cincinnati Incorporated Linear motor driven laser cutting machine
JP3815748B2 (ja) * 1996-05-13 2006-08-30 富士写真フイルム株式会社 磁気記録媒体
US5742396A (en) * 1996-06-03 1998-04-21 Motorola, Inc. Method and apparatus for detecting obstructed vacuum nozzles
US5850469A (en) * 1996-07-09 1998-12-15 General Electric Company Real time tracking of camera pose
US5838840A (en) * 1996-08-29 1998-11-17 Bst/Pro Mark Inspection device using a field mode video camera with interpolation to replace missing pixels
JPH1085967A (ja) * 1996-09-20 1998-04-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd レーザ誘起プラズマ検出方法とそれを用いるレーザ制御方法およびレーザ加工機
US5925155A (en) * 1996-10-30 1999-07-20 Rodgers; Donald H. Rotary drum air filter
US5828448A (en) * 1997-03-11 1998-10-27 Lucent Technologies Inc. Method and apparatus for distinguishing between defects in an optical fiber coating
JP3748148B2 (ja) 1997-03-14 2006-02-22 株式会社アマダ レーザー加工不良状態検出方法および装置
JPH10314969A (ja) 1997-05-21 1998-12-02 Sumitomo Heavy Ind Ltd レーザ加工機用観察装置
JPH1133772A (ja) * 1997-07-24 1999-02-09 Koike Sanso Kogyo Co Ltd 火口又はノズルの検査方法及び検査装置
US6181411B1 (en) * 1997-08-14 2001-01-30 R. Brooks Associates, Inc. Apparatus for inspecting difficult to access objects
US5844196A (en) * 1997-09-15 1998-12-01 The Esab Group, Inc. System and method for detecting nozzle and electrode wear
US6030276A (en) * 1998-05-21 2000-02-29 Tycom Corporation Automated drill bit re-shapening and verification system
US6025571A (en) * 1998-07-15 2000-02-15 American Torch Tip Company Nozzle assembly for laser cutting head
US6324255B1 (en) * 1998-08-13 2001-11-27 Nikon Technologies, Inc. X-ray irradiation apparatus and x-ray exposure apparatus
US6385290B1 (en) * 1998-09-14 2002-05-07 Nikon Corporation X-ray apparatus
US6225589B1 (en) * 1999-03-15 2001-05-01 Stephen Bartok Electric discharge machining apparatus
JP3365498B2 (ja) * 1999-12-24 2003-01-14 株式会社フジコー 地金付着物の除去装置
JP2001304819A (ja) * 2000-04-19 2001-10-31 Nec Corp ノズル穴計測方法及びその装置
DE10054756C1 (de) 2000-11-04 2002-07-25 Messer Cutting & Welding Gmbh Verschleißkontroll-Einrichtung für Schneiddüsen von Laserschneidmaschinen
US6818857B1 (en) * 2000-11-28 2004-11-16 Heung Ki Cho Method and apparatus for welding
JP3597488B2 (ja) 2001-04-20 2004-12-08 ヤマザキマザック株式会社 レーザ焼入れ装置
WO2002092247A1 (en) * 2001-05-17 2002-11-21 Cytomation, Inc. Flow cytometer with active automated optical alignment system
JP2003019586A (ja) * 2001-07-05 2003-01-21 Miyako Seisakusho:Kk レーザーノズル
JP2003185424A (ja) * 2001-12-17 2003-07-03 Matsushita Electric Ind Co Ltd ノズルの同軸度測定方法
JP4158492B2 (ja) 2002-11-07 2008-10-01 コニカミノルタホールディングス株式会社 透明フィルム、透明導電性フィルム、該透明導電性フィルムを基板とした液晶ディスプレイ、有機elディスプレイ、タッチパネル及び
US7619180B2 (en) * 2003-06-25 2009-11-17 Reinhard Diem Laser head of a laser beam processing machine comprising alternating nozzles
DE102004003854A1 (de) * 2004-01-26 2005-08-18 MAX-PLANCK-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. Verfahren und Vorrichtungen zur Erzeugung fester Filamente in einer Vakuumkammer

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008309590A (ja) * 2007-06-13 2008-12-25 Mitsubishi Electric Corp ノズル検査装置およびノズル検査方法
DE102007061718B3 (de) * 2007-12-19 2009-03-05 Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg Verfahren zum Bestimmen der Abmessung und/oder des Zustands einer Düsenöffnung
JP2012179642A (ja) * 2011-03-02 2012-09-20 Disco Corp レーザー加工装置
JP2013052440A (ja) * 2011-08-09 2013-03-21 Amada Co Ltd レーザ加工ヘッド
JP2017507030A (ja) * 2014-02-06 2017-03-16 トルンプフ ヴェルクツォイクマシーネン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフトTrumpf Werkzeugmaschinen GmbH + Co. KG 加工ヘッドに形成されている開口部の縁部輪郭を識別するための方法及び加工機械
JPWO2016093053A1 (ja) * 2014-12-08 2017-04-27 村田機械株式会社 レーザ加工機及びノズル装着方法
WO2016093053A1 (ja) * 2014-12-08 2016-06-16 村田機械株式会社 レーザ加工機及びノズル装着方法
JP6121016B1 (ja) * 2016-02-22 2017-04-26 株式会社アマダホールディングス レーザ加工機における加工ノズル検査装置及び方法
JP2017148814A (ja) * 2016-02-22 2017-08-31 株式会社アマダホールディングス レーザ加工機における加工ノズル検査装置及び方法
WO2017145518A1 (ja) * 2016-02-22 2017-08-31 株式会社アマダホールディングス レーザ加工機における加工ノズル検査装置及び方法
DE112016006470B4 (de) * 2016-02-22 2020-03-12 Amada Holdings Co., Ltd. Verarbeitungsdüsenprüfvorrichtung und verarbeitungsdüsenprüfverfahren für eine laserverarbeitungsmaschine
JP2022508398A (ja) * 2018-12-19 2022-01-19 バイストロニック レーザー アクチェンゲゼルシャフト 金属加工装置におけるノズルの状態又はタイプの特定
JP7105377B2 (ja) 2018-12-19 2022-07-22 バイストロニック レーザー アクチェンゲゼルシャフト 金属加工装置におけるノズルの状態又はタイプの特定
JP2021003718A (ja) * 2019-06-26 2021-01-14 株式会社アマダ レーザ加工機の設定方法及びレーザ加工機

Also Published As

Publication number Publication date
EP1600247A3 (en) 2008-10-01
CN1701902A (zh) 2005-11-30
US7679031B2 (en) 2010-03-16
EP1600247A2 (en) 2005-11-30
EP1600247B1 (en) 2012-07-11
CN100558498C (zh) 2009-11-11
US20050263510A1 (en) 2005-12-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2005334922A (ja) レーザ加工機におけるノズルチェック装置
JP5198535B2 (ja) ガラス基板の切断面検査装置
US8208135B2 (en) Method and device for the optical assessment of welding quality during welding
JP2008511449A (ja) レーザ加工装置でのレーザ加工ビーム軸と加工ガス流軸の相互位置を求める方法、およびレーザ加工装置でのレーザ加工ビーム軸と加工ガス流軸の相互位置を調整する方法、ならびに当該方法に代わる装置を有するレーザ加工装置
KR20160034845A (ko) 용접건 전극의 품질 검출을 위한 광학 장치
US7419085B2 (en) Optical processing apparatus
US5245409A (en) Tube seam weld inspection device
JP2005334928A (ja) レーザ加工機における焦点調整装置
KR101672807B1 (ko) 자동공구교환장치의 공구 검사 장치 및 그 방법
WO2020008838A1 (ja) ダイシングチップ検査装置
KR20220044741A (ko) 웨이퍼 외관 검사 장치 및 방법
JP5301919B2 (ja) 硬質脆性板の面取装置
CN115178860A (zh) 激光加工头、用于激光加工的检测系统和检测方法
JP2011167797A (ja) 切削機械およびその加工処理方法
KR102628743B1 (ko) 가공 장치의 메인터넌스 방법 및 가공 장치
JP2005238284A (ja) ワーク位置決め装置および該装置を備えた加工機
JP2005334924A (ja) レーザ加工機における光路系ミラー・レンズ汚れ検出装置
CN211528245U (zh) Aoi全自动双轨光学检测仪
JPH06344163A (ja) レーザビーム溶接装置
JP4155095B2 (ja) 光加工装置
KR102038289B1 (ko) 영상기반 용접부 검사장치
JP2010261774A (ja) 被測定物位置検出装置及びその被測定物位置検出装置を備える切削機械
JP2004061242A (ja) 検査装置
KR100450194B1 (ko) 플라즈마 디스플레이 패널용 점등검사 및 리페어 장치
KR20220044742A (ko) 웨이퍼 외관 검사 장치 및 방법