JP2013052440A - レーザ加工ヘッド - Google Patents
レーザ加工ヘッド Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013052440A JP2013052440A JP2012172855A JP2012172855A JP2013052440A JP 2013052440 A JP2013052440 A JP 2013052440A JP 2012172855 A JP2012172855 A JP 2012172855A JP 2012172855 A JP2012172855 A JP 2012172855A JP 2013052440 A JP2013052440 A JP 2013052440A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- protective glass
- laser
- laser processing
- processing head
- detection light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/08—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
- B23K26/0869—Devices involving movement of the laser head in at least one axial direction
- B23K26/0876—Devices involving movement of the laser head in at least one axial direction in at least two axial directions
- B23K26/0884—Devices involving movement of the laser head in at least one axial direction in at least two axial directions in at least in three axial directions, e.g. manipulators, robots
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/0665—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by beam condensation on the workpiece, e.g. for focusing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/14—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
- B23K26/142—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor for the removal of by-products
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/70—Auxiliary operations or equipment
- B23K26/702—Auxiliary equipment
- B23K26/707—Auxiliary equipment for monitoring laser beam transmission optics
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Robotics (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
【解決手段】レーザ発振器から発振されたレーザ光を集光してワークへ照射する集光レンズ5と、当該集光レンズ5を保護するために、当該集光レンズ5のワーク側に備えられた保護ガラス31と、当該保護ガラス31の汚れを検出するための汚れ検出手段33とを備えたレーザ加工ヘッドであって、前記レーザ光の光軸に対して傾斜した方向から前記保護ガラス31の全面に検出光を照射するための検出光照射手段49を備え、前記検出光照射手段49は、リング状部材57を備え、このリング状部材57の内周面に形成したテーパ面57Tに複数の点光源59を備え、前記保護ガラス31のワーク側に、汚れ物質を一方向へ吹き飛ばすエアーカーテンを形成するためのエアー噴出手段35を備えている。
【選択図】図1
Description
5 集光レンズ
7 レンズハウジング
13 コリメートレンズ
17 光ファイバーレシーバ
19 第2の反射ミラー
21 レーザノズル
23 ミラーホルダ
27 エアーカーテンユニット
31 保護ガラス
33 光ファイバ
35 エアー噴出手段
39 エアー排出口
41A、41B エアー噴出口
43 ノズル本体
45 エアー供給口
47 スリット
49 検出光照射手段
53 リング状の照明手段
55 貫通穴
57 リング状部材
57T テーパ面
59 点光源(LED)
61 撮像手段
Claims (6)
- レーザ発振器から発振されたレーザ光を集光してワークへ照射する集光レンズと、当該集光レンズを保護するために、当該集光レンズのワーク側に備えられた保護ガラスと、当該保護ガラスの汚れを検出するための汚れ検出手段とを備えたレーザ加工ヘッドであって、前記レーザ光の光軸に対して傾斜した方向から前記保護ガラスに検出光を照射するための検出光照射手段を備えていることを特徴とするレーザ加工ヘッド。
- 請求項1に記載のレーザ加工ヘッドにおいて、前記検出光照射手段は、リング状部材を備え、このリング状部材の内周面に形成したテーパ面に複数の点光源を備えていることを特徴とするレーザ加工ヘッド。
- 請求項1に記載のレーザ加工ヘッドにおいて、前記検出光照射手段は、リング状の支持部材に、放射内方向に検出光を照射する複数の光源を周方向にほぼ等間隔に備えていることを特徴とするレーザ加工ヘッド。
- 請求項3に記載のレーザ加工ヘッドにおいて、前記リング状の前記支持部材の内側に、前記各光源から照射された検出光を前記保護ガラス方向へ反射する反射面を外周面に備えた筒状の反射部材を備えていることを特徴とするレーザ加工ヘッド。
- 請求項1〜4のいずれかに記載のレーザ加工ヘッドにおいて、前記保護ガラスのワーク側に、汚れ物質を一方向へ吹き飛ばすエアーカーテンを形成するためのエアー噴出手段を備えていることを特徴とするレーザ加工ヘッド。
- 請求項1〜5のいずれかに記載のレーザ加工ヘッドにおいて、前記集光レンズと前記保護ガラスとの間に、前記集光レンズによって集光されたレーザ光を前記保護ガラス方向へ反射するレーザ光反射手段を備え、当該レーザ光反射手段によって反射されたレーザ光の進行方向の反対側に、ワークのレーザ加工位置を撮像する撮像手段を備えていることを特徴とするレーザ加工ヘッド。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012172855A JP5997965B2 (ja) | 2011-08-09 | 2012-08-03 | レーザ加工ヘッド |
PCT/JP2012/070220 WO2013022031A1 (ja) | 2011-08-09 | 2012-08-08 | レーザ加工ヘッド |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011173713 | 2011-08-09 | ||
JP2011173713 | 2011-08-09 | ||
JP2012172855A JP5997965B2 (ja) | 2011-08-09 | 2012-08-03 | レーザ加工ヘッド |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013052440A true JP2013052440A (ja) | 2013-03-21 |
JP5997965B2 JP5997965B2 (ja) | 2016-09-28 |
Family
ID=47668537
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012172855A Active JP5997965B2 (ja) | 2011-08-09 | 2012-08-03 | レーザ加工ヘッド |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5997965B2 (ja) |
WO (1) | WO2013022031A1 (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014237150A (ja) * | 2013-06-07 | 2014-12-18 | 株式会社アマダ | 保護ガラスの汚れ検出方法及びレーザ加工ヘッド |
WO2015136907A1 (ja) * | 2014-03-13 | 2015-09-17 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | レーザ加工ヘッド |
JP2015210479A (ja) * | 2014-04-30 | 2015-11-24 | 三菱電機株式会社 | 反射型位相差板およびレーザ加工機 |
WO2019059250A1 (ja) | 2017-09-21 | 2019-03-28 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | レーザ加工ヘッドおよびこれを用いたレーザ加工システム |
KR20200028206A (ko) * | 2018-09-06 | 2020-03-16 | 김경수 | 레이저 용접 및 절단 시스템 |
KR20200032534A (ko) * | 2018-09-18 | 2020-03-26 | 한국원자력연구원 | 레이저 절단 헤드 |
JP2021049541A (ja) * | 2019-09-24 | 2021-04-01 | 三菱重工業株式会社 | レーザ加工ヘッドおよびレーザ加工装置 |
WO2023222251A1 (de) * | 2022-05-18 | 2023-11-23 | Dmg Mori Additive Gmbh | Analysevorrichtung zur zustandsüberwachung eines schutzglases einer fertigungsanlage und fertigungsanlage für ein additives fertigungsverfahren |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102017115361A1 (de) * | 2017-07-10 | 2019-01-10 | Mobil-Mark Gmbh | Laserbearbeitungsgerät zur Bearbeitung einer Oberfläche eines Werkstücks mittels eines Laserstrahls |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04118193A (ja) * | 1990-09-04 | 1992-04-20 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | レーザ加工装置の保護ガラス監視装置 |
JP2001509889A (ja) * | 1997-01-24 | 2001-07-24 | ペルマノヴァ レーザーシステム エービー | レーザー機械加工に関連する保護ガラスの状態を検査するための方法及び装置 |
JP2002103077A (ja) * | 2000-09-28 | 2002-04-09 | Toshiba Corp | 水中レーザ補修溶接装置および水中レーザ補修方法 |
US20040008342A1 (en) * | 2002-04-20 | 2004-01-15 | Jochen Hutt | Monitoring an optical element of a processing head of a thermal machine tool |
JP2004130338A (ja) * | 2002-10-09 | 2004-04-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体レーザ装置 |
JP2005334922A (ja) * | 2004-05-26 | 2005-12-08 | Yamazaki Mazak Corp | レーザ加工機におけるノズルチェック装置 |
JP2009236760A (ja) * | 2008-03-27 | 2009-10-15 | Daishinku Corp | 画像検出装置および検査装置 |
JP2010240674A (ja) * | 2009-04-02 | 2010-10-28 | Ihi Corp | レーザ溶接装置及びレーザ溶接方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6286987U (ja) * | 1985-11-20 | 1987-06-03 | ||
JP3453280B2 (ja) * | 1997-05-21 | 2003-10-06 | 三菱重工業株式会社 | レ−ザ加工ヘッド |
JP3205551B2 (ja) * | 2000-07-31 | 2001-09-04 | 住友重機械工業株式会社 | レーザ加工装置及び加工方法 |
JP2005177760A (ja) * | 2003-12-16 | 2005-07-07 | Nissan Motor Co Ltd | レーザ加工ヘッド |
JP2005224836A (ja) * | 2004-02-13 | 2005-08-25 | Daihen Corp | レーザ照射アーク溶接方法 |
-
2012
- 2012-08-03 JP JP2012172855A patent/JP5997965B2/ja active Active
- 2012-08-08 WO PCT/JP2012/070220 patent/WO2013022031A1/ja active Application Filing
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04118193A (ja) * | 1990-09-04 | 1992-04-20 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | レーザ加工装置の保護ガラス監視装置 |
JP2001509889A (ja) * | 1997-01-24 | 2001-07-24 | ペルマノヴァ レーザーシステム エービー | レーザー機械加工に関連する保護ガラスの状態を検査するための方法及び装置 |
JP2002103077A (ja) * | 2000-09-28 | 2002-04-09 | Toshiba Corp | 水中レーザ補修溶接装置および水中レーザ補修方法 |
US20040008342A1 (en) * | 2002-04-20 | 2004-01-15 | Jochen Hutt | Monitoring an optical element of a processing head of a thermal machine tool |
JP2004130338A (ja) * | 2002-10-09 | 2004-04-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体レーザ装置 |
JP2005334922A (ja) * | 2004-05-26 | 2005-12-08 | Yamazaki Mazak Corp | レーザ加工機におけるノズルチェック装置 |
JP2009236760A (ja) * | 2008-03-27 | 2009-10-15 | Daishinku Corp | 画像検出装置および検査装置 |
JP2010240674A (ja) * | 2009-04-02 | 2010-10-28 | Ihi Corp | レーザ溶接装置及びレーザ溶接方法 |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014237150A (ja) * | 2013-06-07 | 2014-12-18 | 株式会社アマダ | 保護ガラスの汚れ検出方法及びレーザ加工ヘッド |
WO2015136907A1 (ja) * | 2014-03-13 | 2015-09-17 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | レーザ加工ヘッド |
JPWO2015136907A1 (ja) * | 2014-03-13 | 2017-04-06 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | レーザ加工ヘッド |
US10189116B2 (en) | 2014-03-13 | 2019-01-29 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Laser machining head |
JP2015210479A (ja) * | 2014-04-30 | 2015-11-24 | 三菱電機株式会社 | 反射型位相差板およびレーザ加工機 |
US11471973B2 (en) | 2017-09-21 | 2022-10-18 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Laser processing head and laser processing system using same |
WO2019059250A1 (ja) | 2017-09-21 | 2019-03-28 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | レーザ加工ヘッドおよびこれを用いたレーザ加工システム |
US11904406B2 (en) | 2017-09-21 | 2024-02-20 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Laser processing head and laser processing system using same |
KR20200028206A (ko) * | 2018-09-06 | 2020-03-16 | 김경수 | 레이저 용접 및 절단 시스템 |
KR102166424B1 (ko) * | 2018-09-06 | 2020-10-15 | 김경수 | 레이저 용접 및 절단 시스템 |
KR102109862B1 (ko) * | 2018-09-18 | 2020-05-12 | 한국원자력연구원 | 레이저 절단 헤드 |
KR20200032534A (ko) * | 2018-09-18 | 2020-03-26 | 한국원자력연구원 | 레이저 절단 헤드 |
JP2021049541A (ja) * | 2019-09-24 | 2021-04-01 | 三菱重工業株式会社 | レーザ加工ヘッドおよびレーザ加工装置 |
JP7291587B2 (ja) | 2019-09-24 | 2023-06-15 | 三菱重工業株式会社 | レーザ加工ヘッドおよびレーザ加工装置 |
WO2023222251A1 (de) * | 2022-05-18 | 2023-11-23 | Dmg Mori Additive Gmbh | Analysevorrichtung zur zustandsüberwachung eines schutzglases einer fertigungsanlage und fertigungsanlage für ein additives fertigungsverfahren |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2013022031A1 (ja) | 2013-02-14 |
JP5997965B2 (ja) | 2016-09-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5997965B2 (ja) | レーザ加工ヘッド | |
JP6675420B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
US9116131B2 (en) | Method and monitoring device for the detection and monitoring of the contamination of an optical component in a device for laser material processing | |
JP5216882B2 (ja) | 電極チップの良否判定装置 | |
KR101473567B1 (ko) | 광학식 입자 검출 장치 및 입자 검출 방법 | |
JP6122347B2 (ja) | 保護ガラスの汚れ検出方法及びレーザ加工ヘッド | |
US11761854B2 (en) | Optical particle sensor, in particular, exhaust gas sensor | |
SE508426C2 (sv) | Metod och anordning för att övervaka renheten hos ett skyddsglas vid laserbearbetning | |
KR101574435B1 (ko) | 미세먼지 및 미생물 검출 장치 | |
JPWO2003076117A1 (ja) | レーザ加工機における光学部品への付着汚れ防止方法及び装置 | |
KR20130132281A (ko) | 광학식 입자 검출 장치 및 입자 검출 방법 | |
JP2010112803A5 (ja) | ||
US20160074961A1 (en) | Laser Machining Nozzle for a Laser Machining Device, and Laser Machining Device | |
JP6159513B2 (ja) | レーザ加工ヘッド | |
JP5414645B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
KR101210899B1 (ko) | 휴대용 형광 검출 시스템 | |
JP6950262B2 (ja) | 工作機械システムのクーラント液の汚濁評価装置 | |
CN110530884B (zh) | 激光焊保护镜片缺陷检测装置 | |
JP6018835B2 (ja) | レーザ加工ヘッド | |
JP5603691B2 (ja) | レーザ加工ヘッド | |
JP6050519B1 (ja) | 光加工ヘッド、光加工装置およびその制御方法ならびに制御プログラム | |
US11440135B2 (en) | Laser machining nozzle for a laser machining device, and laser machining device | |
JP2005181157A (ja) | 反射型光センサ | |
JP2018202421A (ja) | レーザ加工ヘッド及びレーザ加工機 | |
JP2009181123A5 (ja) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150625 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160301 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160405 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160517 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160624 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160802 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160829 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5997965 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |