JP2009181123A5 - - Google Patents

Claims (10)

1. 試料を照明するための照明光を放出する光源を備え、該試料から出る検出光を検出するための少なくとも１つの第１の検出器を備え、かつ照明用放射線経路内にも検出用放射線経路内にも配置されており、該試料をこれを通して照明および検出し得る対物レンズと、該試料から出る該検出光を非デスキャン検出するための第２の検出器と、を備えた走査型顕微鏡において、
   顕微鏡スタンドに連接され、かつ合焦のために前記スタンドで垂直に変位可能であり、該走査型顕微鏡の該照明用放射線経路および該検出用放射線経路のうちの少なくとも一つのための顕微鏡対物レンズ用の少なくとも１つの収容部を備えるハウジングから成るサブアセンブリが設けられ、その際、少なくとも該第２の検出器が、該ハウジング内に配置されており、かつ試料光によって作用され得、
   少なくとも前記第２の検出器の信号のための評価電子機器が、前記ハウジング内に配置され、少なくとも前記第２の検出器が、熱伝導性媒体を介して、前記ハウジングの外に配置された冷却手段と接続されることを特徴とする走査型顕微鏡。
2. 前記顕微鏡の前記検出用放射線経路が、旋回可能なミラーを介して前記第２の検出器の方向に偏向され得る、請求項１に記載の走査型顕微鏡。
3. 部分透過性ミラーが、第１および第２の検出器を介した同時検出のために、前記検出用放射線経路内に設けられる、請求項１または２に記載の走査型顕微鏡。
4. 前記ハウジング内に更なる偏向ミラーが、前記第２の検出器の方向への前記検出光のために設けられる、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の走査型顕微鏡。
5. 合焦光学系が、前記第２の検出器上に前記検出光を合焦するために、前記検出用放射線経路内に設けられる、請求項１乃至４のいずれか１項に記載の走査型顕微鏡。
6. 前記検出器の前に、検出波長を選択するためのフィルタが設けられる、請求項１乃至５のいずれか１項に記載の走査型顕微鏡。
7. ＮＤＤ検出光の分割が行われ、かつ少なくとも１つの更なる検出器が、該分割の後に配置される、請求項１乃至６のいずれか１項に記載の走査型顕微鏡。
8. 前記少なくとも１つの更なる検出器が前記ハウジング内に配置される、請求項７に記載の走査型顕微鏡。
9. 前記光源はパルス状の光源である、請求項１乃至８のいずれか１項に記載の走査型顕微鏡。
10. 前記冷却手段は冷却リブである、請求項１乃至９のいずれか１項に記載の走査型顕微鏡。