DE102005008619A1

DE102005008619A1 - Mikroskop und Detektormodul

Info

Publication number: DE102005008619A1
Application number: DE200510008619
Authority: DE
Inventors: Roland Seifert
Original assignee: Leica Microsystems CMS GmbH
Current assignee: Leica Microsystems CMS GmbH
Priority date: 2005-02-23
Filing date: 2005-02-23
Publication date: 2006-09-07
Also published as: JP2006235631A; JP4838007B2; CN1825157B; CN1825157A

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Mikroskop mit einer Lichtquelle und einer Detektoreinrichtung, wobei sich zwischen der Lichtquelle und einer Probe ein Beleuchtungsstrahlengang und zwischen der Probe und der Detektoreinrichtung ein Detektionsstrahlengang (2) erstreckt. Das Mikroskop ist dadurch gekennzeichnet, dass die Detektoreinrichtung als in den Detektionsstrahlengang (2) einbringbares und insgesamt austauschbares Detektormodul (1) ausgeführt ist. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein entsprechendes Detektormodul (1).

Description

Die Erfindung betrifft ein Mikroskop mit einer Lichtquelle und einer Detektoreinrichtung, wobei sich zwischen der Lichtquelle und einer Probe ein Beleuchtungsstrahlengang und zwischen der Probe und der Detektoreinrichtung ein Detektionsstrahlengang erstreckt. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Detektormodul, insbesondere zur Verwendung in einem Mikroskop.

Mikroskope der eingangs genannten Art – mit einer Lichtquelle und einer Detektoreinrichtung – sind in den unterschiedlichsten Ausführungen hinlänglich aus der Praxis bekannt. Sofern es gewünscht ist, aus dem Detektionsstrahlengang mindestens zwei Spektralbereiche gesondert und möglichst gleichzeitig zu detektieren, ist eine Selektion der Spektralbereiche erforderlich. Dabei ist der Detektionslichtstrahl spektral zu zerlegen und Ausblendungen der jeweiligen Spektralbereiche zu den Einzeldetektoren hin sind erforderlich. Unter dem Begriff „Ausblendung" versteht man in diesem Zusammenhang, dass ein den ersten Spektralbereich umfassender Teilstrahl diejenigen Mittel, die einerseits zum Ausblenden des ersten Spektralbereichs und andererseits zur Reflektion zumindest eines Teils des nicht ausgeblendeten Spektralbereichs dienen, ungehindert passieren kann, während wenigstens ein einen zweiten Spektralbereich umfassender Teilstrahl reflektiert wird, usw. In Bezug auf einen druckschriftlichen Stand der Technik sei insoweit auf die DE 43 30 347 C2 verwiesen, aus der ein sogenannter Multibanddetektor zur gleichzeitigen Detektion mehrerer Spektralbereiche aus einem Detektionslichtstrahl mit einschlägiger Anwendung bekannt ist.

Die aus dem Stand der Technik bekannten Mikroskope sowie die dort zum Einsatz kommenden Multibanddetektoren sind jedoch in der Praxis problematisch, da aufgrund der individuellen Anordnung der einzelnen Bausteine ein erheblicher Justageaufwand zu betreiben ist. Außerdem sind die bislang bekannten Multibanddetektoren wenig flexibel in der Anwendung, da nämlich die Ausstattung dieser Multibanddetektoren in Bezug auf die Einzeldetektoren wie auch in Bezug auf deren sonstige Bestandteile fest vorgegeben ist.

Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Mikroskop der gattungsbildenden Art mit einer nach dem Multibandprinzip arbeitenden Detektoreinrichtung derart auszugestalten und weiterzubilden, dass bei geringstem Justageaufwand eine flexible Anwendung bei einfachster Handhabung möglich ist.

Erfindungsgemäß wird die voranstehende Aufgabe durch ein Mikroskop mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1 gelöst. Danach ist das gattungsbildende Mikroskop dadurch gekennzeichnet, dass die Detektoreinrichtung als in den Detektionsstrahlengang einbringbares und insgesamt austauschbares Detektormodul ausgeführt ist.

In erfindungsgemäßer Weise ist erkannt worden, dass man den Justageaufwand auf ein in sich bereits vorjustiertes Modul beschränken sollte, nämlich dadurch, dass die Detektoreinrichtung als in den Detektionsstrahlengang einbringbares und insgesamt austauschbares Detektormodul ausgeführt ist. Dieses Detektormodul ist als solches handhabbar, so dass lediglich gewährleistet sein muss, dass das Detektormodul in seiner Gesamtheit im Detektionsstrahlengang korrekt sitzt und entsprechend justiert ist. Die Justage einzelner optischer Bausteine oder einzelner Funktionsgruppen ist nicht erforderlich. Das Detektormodul ist als solches handhabbar und umfasst bereits für sich gesehen alle optischen Bausteine eines aus dem Stand der Technik bekannten Multibanddetektors in justierter Anordnung.

In Bezug auf die Flexibilität des Detektormoduls ist es von Vorteil, wenn dieses mindestens zwei unabhängige Detektoren umfasst und wenn diese beiden Detektoren gemeinsam oder einzeln austauschbar sind. Dies bedeutet, dass das Detektormodul für sich gesehen, d.h. in seiner Gesamtheit, gemeinsam mit den Detektoren austauschbar ist, während die einzelnen Detektoren, ebenfalls für sich gesehen, ausgetauscht werden können. Das Detektormodul kann mehrere einzelne Detektoren umfassen, so beispielsweise 3 bis 5 unabhängige Detektoren, wobei diese Detektoren gemeinsam oder einzeln austauschbar sind.

Zur einfachen Anbringung der einzelnen Detektoren ist für jeden Detektor ein Detektorplatz im Detektormodul vorgesehen. So ist jeder Detektorplatz des Detektormoduls durch einen Detektor oder durch ein Blindelement belegbar, wobei im Falle der Nichtbelegung durch einen Detektor es auf jeden Fall erforderlich ist, den sonst offenen Strahlengang mit Hilfe des Blindelements und ggf. einer entsprechenden integralen Spiegelanordnung oder dergleichen zu schließen.

Zur Gewährleistung einer Funktion wie bei dem aus dem Stand der Technik bekannten Multibanddetektor kann das Detektormodul Detektoren des gleichen Detektortyps umfassen. Zur variablen Ausgestaltung ist es möglich, dass das Detektormodul mit unterschiedlichen Detektortypen ausgestattet wird, so beispielsweise mit Fotomultiplierröhren, Photonenzählern, etc. Beliebige Kombinationen von Detektortypen sind entsprechend dem Bedarf denkbar, wobei die Gehäuse der jeweiligen Detektoren kompatibel ausgestaltet sind, nämlich zum einheitlichen Andocken an das Detektormodul.

In Bezug auf die Einkopplung des Detektionslichts ist es von Vorteil, wenn das Detektionslicht bereits vor dem Eintritt in das Detektionsmodul in Farbkomponenten aufgespalten wird. Dazu ist es möglich, vor der Einkopplung des Detektionslichts in das Detektormodul ein optisches Mittel zur Auffächerung oder Aufspaltung des Detektionslichts vorzusehen. Der aufgefächerte Detektionslichtstrahl oder die aufgespaltenen Detektionslichtstrahlen gelangen dann gemeinsam in das Detektormodul und werden dort – weiter aufgespalten – zu den jeweiligen Detektoren entsprechend deren konkreter Auslegung geleitet. Bei dem optischen Mittel zur Auffächerung oder Aufspaltung des Detektionslichts kann es sich um ein Prisma handeln.

Wie bereits zuvor erwähnt, wird das gesamte Detektormodul in den Detektionsstrahlengang des Mikroskops verbracht und dort fest angeordnet. Dazu sind besondere Kopplungsmittel vorgesehen, wobei diese Kopplungsmittel einerseits dem Detektormodul selbst und andererseits einem Gehäuse des Mikroskops und/oder einer oder mehreren Funktionsgruppen des Mikroskops zugeordnet sind. Das Detektormodul wird dabei derart angeordnet, dass es von außerhalb des Gehäuses des Mikroskops zugänglich und austauschbar ist, so dass ein weiterreichender Eingriff in das „Innenleben" des Mikroskops nicht erforderlich ist.

Bei den Kopplungsmitteln kann es sich im Konkreten um eine Steckverbindung oder um eine Bajonettverbindung handeln, wobei kombinierte Verbindungstechniken mit oder ohne Verrastung und vor allem auch mit einer integralen Justagemöglichkeit zum Einsatz kommen.

Über die mechanische Kopplung hinaus sind in weiter vorteilhafter Weise elektronische Anschlüsse vorgesehen, deren Anschluss vorzugsweise gleichzeitig mit der mechanischen Kopplung bzw. mit dem Einstecken des Detektormoduls erfolgt. Die elektrischen Anschlüsse umfassen elektrische Leiter zur Stromversorgung und zur Datenübertragung.

In konstruktiver Hinsicht ist es insbesondere zur einfachen Handhabung und Unterbringung des Detektormoduls von Vorteil, wenn dieses einen als Trommel ausgeführten Aufnahmeblock für die einzelnen Detektoren umfasst. Entlang des Umfangs der Trommel sind die einzelnen Detektoren angeordnet, so dass eine Aufspaltung des Lichtstrahls vom Inneren des Detektormoduls zu den sternförmig außen angeordneten Detektoren unter Nutzung der daraus resultierenden Geometrie möglich ist. Der die Trommel bildende Aufnahmeblock ist vorzugsweise beispielsweise aus Aluminium gefertigt.

Bei dem Aufnahmeblock handelt es sich um eine Art Gehäuse, welches einen Innenraum bildet. Dieser Innenraum ist bis auf die den Strahlengang des Detektionslichts betreffenden Anschlussöffnungen – einerseits zum Ankoppeln an den Detektionsstrahlengang und andererseits zum Ankoppeln der einzelnen Detektoren – nach außen zumindest weitestgehend geschlossen.

Entsprechend den voranstehenden Ausführungen weist das die Trommel bildende Gehäuse, d.h. der Aufnahmeblock, entlang seines Umfangs zum Andocken für die einzelnen Detektoren dienende Buchten auf. Jede dieser Buchten hat eine Öffnung für das aus dem Innenraum des Gehäuses zu dem jeweiligen Detektor umgelenkte Detektionslicht, wobei die Öffnung zum Einstecken eines Anschlussflansches des jeweiligen Detektors dient. Entsprechend ist der einzelne Detektor mit seinem Gehäuse an die zum Ankoppeln dienende Bucht des Aufnahmeblocks und an die dort vorgesehene Öffnung zum Einspeisen des Detektionslichts angepasst. Entsprechend dieser Ausgestaltung sind die Gehäuse sämtlicher Detektoren identisch ausgeführt, und zwar ungeachtet des darin vorgesehenen Detektortyps.

Die einzelnen Detektoren sind an den Aufnahmeblock – in den jeweiligen Buchten – ansteckbar und darüber hinaus in ihrer Position arretierbar. So ist es beispielsweise möglich, dass die einzelnen Detektoren in ihrer Position am Gehäuse des Aufnahmeblocks angeschraubt werden, um nämlich einen sicheren Sitz der einzelnen Detektoren zu gewährleisten, so dass in soweit eine Dejustage der Detektoren ausgeschlossen ist.

Bereits zuvor ist erwähnt worden, dass der Detektionslichtstrahl vor dem Eintritt in den Aufnahmeblock aufgespalten wird. Das bereits aufgespaltene Detektionslicht gelangt über eine Einkoppelöffnung im Aufnahmeblock in den Innenraum des Aufnahmeblocks und trifft dort auf eine Strahlteilereinrichtung zur weiteren Aufspaltung des Detektionslichts auf die einzelnen Detektoren. Die Strahlteilereinrichtung kann eine Anordnung von kaskadierten Spiegelschiebern umfassen. Ebenso ist es denkbar, dass die Strahlteilereinrichtung, insbesondere deren optische Bauteile, insgesamt oder teilweise, den einzusetzenden Detektoren oder den anstelle eines oder mehrerer Detektoren einzusetzenden Blindelementen zugeordnet ist. So ist es möglich, dass die einzelnen Detektoren und/oder die die Detektoren ersetzenden Blindelemente Teile der Strahlteilereinrichtung bilden.

In weiter vorteilhafter Weise umfasst das Detektormodul elektronische Funktionselemente oder Funktionseinheiten. Gleiches kann für die anzukoppelnden Detektoren gelten. Die elektronischen Funktionselemente oder Funktionseinheiten dienen zur Signalverarbeitung. So kann es sich dabei beispielsweise um einen AD-Wandler handeln. Beliebige miniatursierbare Funktionseinheiten sind in das Detektormodul bzw. in die einzelnen Detektoren integrierbar.

Das Detektormodul und/oder die einzelnen Detektoren umfassen üblicherweise wärmeerzeugende Bauteile, so beispielsweise Detektorröhren. Diese erreichen im Betrieb eine derart hohe Betriebstemperatur, dass insbesondere bei gekapselter Ausgestaltung ein einwandfreier Betrieb nicht mehr gewährleistet ist. So ist es von Vorteil, wenn das Detektormodul und/oder die einzelnen Detektoren eine Kühleinrichtung zur Kühlung der wärmeerzeugenden Komponenten aufweist bzw. aufweisen. Dazu kann ein Peltierelement dienen, welches das Detektormodul und/oder die Detektoren mit dem Mikroskopgehäuse oder mit dem Mikroskopstativ thermisch verbindet.

Im Konrekten könnte die Kühleinrichtung einen der wärmeerzeugenden Komponente zugeordneten inneren Wärmetauscher und einen dem Gehäuse des Detektormoduls oder dem Gehäuse oder Stativ des Mikroskops zugeordneten äußeren Wärmetauscher umfassen, wobei die Wärmetauscher miteinander strömungsverbunden sind. So könnte die Kühleinrichtung als Wasserkühlung oder ganz allgemein als Kältemittelkühlung mit einer Kühlmittelleitung ausgeführt sein.

Bei der Kühlmittelleitung kann es sich wiederum um eine konventionelle Leitung für Kühlmittel oder aber auch um eine Heatpipe handeln.

In Bezug auf das erfindungsgemäße Detektormodul wird auf den nebengeordneten Patentanspruch 31 verwiesen, der ein Detektormodul, insbesondere zur Anwendung in einem Mikroskop, beansprucht, nämlich mit den das Detektormodul betreffenden Merkmalen der Patentansprüche 1 bis 30. Zur Vermeidung von Wiederholungen sei insoweit auf die Ausführungen betreffend das erfindungsgemäße Mikroskop verwiesen.

Es gibt nun verschiedene Möglichkeiten, die Lehre der vorliegenden Erfindung in vorteilhafter Weise auszugestalten und weiterzubilden. Dazu ist einerseits auf die nachgeordneten Ansprüche, andererseits auf die nachfolgende Erläuterung eines bevorzugten Ausführungsbeispiels der erfindungsgemäßen Lehre anhand der Zeichnung zu verweisen. In Verbindung mit der Erläuterung des bevorzugten Ausführungsbeispiels der erfindungsgemäßen Lehre anhand der Zeichnung werden auch im Allgemeinen bevorzugte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Lehre erläutert. In der Zeichnung zeigt
1 in einer schematischen Ansicht ein Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Detektormoduls im Detektionsstrahlengang eines erfindungsgemäßen Mikroskops,
2 in einer schematischen Ansicht den Gegenstand aus 1, wobei drei der einzelnen Detektoren vom Detektormodul abgekoppelt sind,
3 in einer schematischen Seitenansicht, teilweise geschnitten, das Detektormodul aus den 1 und 2, wobei die Ankopplung eines einzelnen Detektors und der Verlauf des aufgespaltenen Detektionslichts erkennbar sind,
4 in einer vergrößerten Schnittdarstellung einen einzelnen Detektor, der an das Detektormodul ankoppelbar ist und
5 eine Funktionsgruppe des Detektors aus 4 mit Detektorröhre und weiteren Funktionselementen.
1 zeigt in einer schematischen Darstellung ein erfindungsgemäßes Detektormodul 1, welches Bestandteil eines erfindungsgemäßen Mikroskops ist. In Bezug auf das Mikroskop ist lediglich der Detektionsstrahlengang 2 mit bereits aufgespaltenem Detektionslicht gezeigt. So ist das Detektormodul 1 im Detektionsstrahlengang 2 des sonst nicht gezeigten Mikroskops angeordnet.
In erfindungsgemäßer Ausgestaltung handelt es sich bei dem Detektormodul 1 um ein austauschbares Bauteil, welches für sich gesehen, d.h. als solches, handhabbar ist. Die einzelnen Bestandteile des Detektormoduls 1 sind justiert, so dass dieses lediglich in den Detektionsstrahlengang 1 einbringbar und dort als Ganzes zu justieren ist.
Die 1, 2 und 3 zeigen gemeinsam, dass das Detektormodul 1 bei dem hier gewählten Ausführungsbeispiel insgesamt fünf voneinander unabhängige Detektoren 3 umfasst, die wiederum gemeinsam oder einzeln austauschbar sind. Dies ist in 2 angedeutet.
Für jeden Detektor 3 ist ein besonderer Detektorplatz 4 im Detektormodul 1 vorgesehen, wobei jeder Detektorplatz 4 des Detektormoduls 1 durch einen Detektor 3 oder durch ein in den Figuren nicht gezeigtes Blindelement belegbar ist. Wie bereits zuvor ausführlich dargelegt, kann es sich bei den Detektoren 3 um Detektoren unterschiedlicher Detektortypen handeln. Insoweit sei auf die Ausführungen in der allgemeinen Beschreibung verwiesen.
Das Detektormodul 1 ist über mechanische und elektrische Kopplungsmittel 5 in den Detektionsstrahlengang 2, genauer gesagt in ein entsprechendes Gehäuseteil des Mikroskops, einbringbar. Die mechanischen und elektrischen Kopplungsmittel 5 sind in 3 angedeutet.
Letztendlich handelt es sich dabei um Steckverbindung oder um eine Bajonettverbindung sowie um elektrische Anschlüsse zur Stromversorgung und zur Datenübertragung.
Die 1 bis 3 lassen des Weiteren erkennen, dass das Detektormodul 1 im Wesentlichen einen Aufnahmeblock 6 umfasst, der im Sinne einer Trommel ausgebildet ist. Entlang des Umfanges des Aufnahmeblocks 6 sind die Detektoren 3 angeordnet, wobei der Aufnahmeblock 6 ein Gehäuse mit Innenraum 7 bildet, der bis auf die den Strahlengang des Detektionslichts betreffenden Anschlussöffnungen 8 nach außen geschlossen ist.
Zum Ankoppeln der Detektoren 3 sind im Aufnahmeblock 6 entlang seines Umfanges Buchten 9 ausgebildet, wobei die Buchten 9 nach außen gerichtete Öffnungen 10 für das aus dem Innenraum 7 des Gehäuses 6 zu dem jeweiligen Detektor 3 umgelenkte Detektionslicht 11 haben. Die Öffnungen 10 sind derart ausgebildet und dimensioniert, dass sich ein Anschlussflansch 12 des jeweiligen Detektors 3 einstecken lässt. Eine optische Verbindung ist damit geschaffen.
Jeder Detektor 3 weist darüber hinaus einen zum mechanischen und/oder elektrischen Anschluss dienenden Stecker 13 auf, der sich den Darstellungen aus den 3, 4 und 5 entnehmen lässt.
Wie bereits zuvor erwähnt, sind die einzelnen Detektoren 3 an den Aufnahmeblock 6 ansteckbar und in ihrer Position arretierbar. Dazu dienen in den Figuren nicht gezeigte Schrauben.
Der Aufnahmeblock 6 umfasst eine Einkoppelöffnung 14 für den bereits aufgespaltenen Detektionslichtstrahl 15 und eine dem Innenraum 7 des Aufnahmeblocks 6 zugeordnete Strahlteilereinrichtung 16, die wiederum kaskadierte Spiegelschieber umfasst.
Die 3, 4 und 5 zeigen insgesamt oder teilweise den Aufbau eines Detektors 3, der sich modular an das Detektormodul 1 entsprechend dem Bedarf anstecken lässt. So lässt 3 erkennen, dass der Detektor 3 neben dem Anschlussflansch 12 für die optische Ankopplung einen Stecker 13 zur elektrischen Ankopplung um fasst, wobei sowohl der Anschlussflansch 12 als auch der Stecker 13 auch zur mechanischen Ankopplung dienen. Zur Kühlung Wärme erzeugender Elemente des Detektors 3 weist dieser auf der Außenseite Kühlrippen 17 auf, nämlich die Abwärme erzeugen und im Inneren des Detektorgehäuses 18 in mehr oder weniger gekapselter Form angeordnet sind.
Die 4 und 5 zeigen neben dem Detektorgehäuse 18 und den Kühlrippen 17 den zum elektrischen Anschluss dienenden Stecker 13 und den zum optischen Anschluss dienenden Anschlussflansch 12. Darüber hinaus ist die Detektorröhre 19 nebst Stromversorgung 20 und Kühlkopf 21 zu erkennen.
Hinsichtlich weiterer Merkmale, die sich den Figuren nicht entnehmen lassen, sei zur Vermeidung von Wiederholungen auf den allgemeinen Teil der Beschreibung verwiesen. Im Übrigen sei darauf hingewiesen, dass das voranstehend erörterte Ausführungsbeispiel der beispielhaften Erläuterung der beanspruchten Lehre dient, diese jedoch nicht auf das Ausführungsbeispiel einschränkt.

Claims

Mikroskop mit einer Lichtquelle und einer Detektoreinrichtung, wobei sich zwischen der Lichtquelle und einer Probe ein Beleuchtungsstrahlengang und zwischen der Probe und der Detektoreinrichtung ein Detektionsstrahlengang (2) erstreckt, dadurch gekennzeichnet, dass die Detektoreinrichtung als in den Detektionsstrahlengang (2) einbringbares und insgesamt austauschbares Detektormodul (1) ausgeführt ist.
Mikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Detektormodul (1) mindestens zwei unabhängige Detektoren (3) umfasst und dass die Detektoren (3) gemeinsam oder einzeln austauschbar sind.
Mikroskop nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Detektormodul (1) drei bis fünf unabhängige Detektoren (3) umfasst und dass die Detektoren (3) gemeinsam oder einzeln austauschbar sind.
Mikroskop nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass für jeden Detektor (3) ein Detektorplatz (4) im Detektormodul (1) vorgesehen ist und dass jeder Detektorplatz (4) des Detektormoduls (1) durch einen Detektor (3) oder durch ein Blindelement belegbar ist.
Mikroskop nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Detektormodul (1) Detektoren (3) gleicher und/oder unterschiedlicher Detektortypen umfasst.
Mikroskop nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass als Detektoren (3) Röhrendetektoren, insbesondere Fotomultiplierröhren, Photonenzähler, etc. vorgesehen sind.
Mikroskop nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass im Detektionsstrahlengang vor der Einkopplung des Detektionslichts (11) in das Detektormodul (1) ein optisches Mittel zur Auffächerung oder Aufspaltung des Detektionslichts (11) vorgesehen ist.
Mikroskop nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei dem optischen Mittel um ein Prisma handelt.
Mikroskop nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Detektormodul (1) über Kopplungsmittel (5) in den Detektionsstrahlengang einbringbar ist und dass die Kopplungsmittel (5) dem Detektormodul (1) und einem Gehäuse des Mikroskops und/oder Funktionsgruppen des Mikroskops zugeordnet sind.
Mikroskop nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass das Detektormodul (1) von außerhalb des Gehäuses des Mikroskops zugänglich und austauschbar ist.
Mikroskop nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Kopplungsmittel (5) eine Steckverbindung umfassen.
Mikroskop nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Kopplungsmittel (5) eine Bajonettverbindung umfassen.
Mikroskop nach einem der Ansprüche 9 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Kopplungsmittel (5) elektrische Anschlüsse zur Stromversorgung und zur Datenübertragung umfassen.
Mikroskop nach, dadurch gekennzeichnet, dass das Detektormodul (1) einen vorzugsweise als Trommel ausgeführten Aufnahmeblock (6) für die einzelnen Detektoren (3) umfasst.
Mikroskop nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass der Aufnahmeblock (6) aus Aluminium gefertigt ist.
Mikroskop nach Anspruch 14 oder 15, dadurch gekennzeichnet, dass der Aufnahmeblock (6) ein Gehäuse mit Innenraum (7) bildet, der bis auf die den Strahlengang des Detektionslichts (11) betreffenden Anschlussöffnungen (8) nach außen weitestgehend geschlossen ist.
Mikroskop nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass das Gehäuse (6) entlang seines Umfangs zum Andocken für die einzelnen Detektoren (3) dienende Buchten (9) aufweist und dass die Buchten (9) jeweils mit einer Öffnung für das aus dem Innenraum des Gehäuses (7) zu dem jeweiligen Detektor (3) umgelenkte Detektionslicht (11) ausgestattet sind, in die ein Anschlussflansch (12) des jeweiligen Detektors (3) passt.
Mikroskop nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, dass die einzelnen Detektoren (3) an den Aufnahmeblock (6) ansteckbar und in ihrer Position arretierbar, vorzugsweise anschraubbar, sind.
Mikroskop nach einem der Ansprüche 14 bis 18, dadurch gekennzeichnet, dass der Aufnahmeblock (6) eine Einkoppelöffnung (14) für den ggf. bereits aufgespaltenen Detektionslichtstrahl und eine dem Innenraum zugeordnete Strahlteilereinrichtung (16) zur weiteren Aufspaltung des Detektionslichtstrahls (15) auf die einzelnen Detektoren (3) umfasst.
Mikroskop nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlteilereinrichtung (16) eine Anordnung von kaskadierten Spiegelschiebern umfasst.
Mikroskop nach Anspruch 19 oder 20, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlteilereinrichtung (16), insbesondere deren optische Bauteile, zumindest teilweise den einzusetzenden Detektoren (3) oder den anstelle eines oder mehrerer Detektoren (3) einzusetzenden Blindelementen zugeordnet ist.
Mikroskop nach einem der Ansprüche 1 bis 21, dadurch gekennzeichnet, dass das Detektormodul (1) elektronische Funktionselemente oder Funktionseinheiten umfasst.
Mikroskop nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, dass die elektronischen Funktionselemente oder Funktionseinheiten zur Signalverarbeitung dienen.
Mikroskop nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, dass die elektronischen Funktionseinheiten einen AD-Wandler umfassen.
Mikroskop nach einem der Ansprüche 1 bis 24, dadurch gekennzeichnet, dass das Detektormodul (1) und/oder die einzelnen Detektoren (3) eine Kühleinrichtung zur Kühlung Wärme erzeugender Komponenten aufweist/aufweisen.
Mikroskop nach Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet, dass die Kühleinrichtung ein Peltierelement umfasst, welches das Detektormodul (1) und/oder die Detektoren (3) mit dem Mikroskopgehäuse oder mit dem Mikroskopstativ thermisch verbindet.
Mikroskop nach Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet, dass die Kühleinrichtung einen der Wärme erzeugenden Komponente zugeordneten inneren Wärmetauscher und einen dem Gehäuse des Detektormoduls (1) oder dem Gehäuse (6) oder Stativ des Mikroskops zugeordneten äußeren Wärmetauscher umfasst, wobei die beiden Wärmetauscher miteinander strömungsverbunden sind.
Mikroskop nach Anspruch 27, dadurch gekennzeichnet, dass die Kühleinrichtung als Wasserkühlung ausgeführt ist.
Mikroskop nach Anspruch 27, dadurch gekennzeichnet, dass die Kühleinrichtung als Kältemittelkühlung mit Kältemittelleitung ausgeführt ist.
Mikroskop nach Anspruch 29, dadurch gekennzeichnet, dass die Kältemittelleitung als Heatpipe ausgeführt ist.
Mikroskop nach einem der Ansprüche 25 bis 30, dadurch gekennzeichnet, dass die Detektoren (3) mittels eines Gehäuses (6) gekapselt sind und Wärme leitende Elemente aufweisen, die von Wärme erzeugenden Bausteinen zu auf der Außenseite angeordnete Kühlrippen (17) führen.
Detektormodul (1) mit mehreren Detektoren (3), insbesondere zur Anwendung in einem Mikroskop, mit den das Detektormodul (1) betreffenden Merkmalen nach einem der Patentansprüche 1 bis 31.