JP2010026241A5 - - Google Patents
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Description
本発明の蛍光顕微鏡装置は、対物レンズを介して標本へ励起光を照射し、その標本で発生した蛍光を前記対物レンズを介して検出する観察用光学系と、前記対物レンズを介して前記標本へ焦点検出用の光を照射し、その標本で反射した前記光を前記対物レンズを介して検出する焦点検出用光学系と、前記焦点検出用光学系が照射する光の波長である焦点検出波長を、互いに異なる少なくとも２種類の波長の間で切り換える第１切換手段と、を備えたことを特徴とする。
また、本発明の焦点検出装置は、対物レンズを介して標本へ焦点検出用の光を照射し、その標本で反射した前記光を前記対物レンズを介して検出する焦点検出用光学系と、前記焦点検出用光学系が照射する光の波長である焦点検出波長を、互いに異なる少なくとも２種類の波長の間で切り換える切換手段とを備えたことを特徴とする。
なお、前記標本の観察に供される観察用光学系の光路と前記焦点検出用光学系の光路との交差箇所には波長分離ミラーが配置され、前記切換手段は、前記交差箇所に配置される波長分離ミラーを、分離波長の互いに異なる少なくとも２種類の波長分離ミラーの間で交換してもよい。
Claims (9)
- 対物レンズを介して標本へ励起光を照射し、その標本で発生した蛍光を前記対物レンズを介して検出する観察用光学系と、
前記対物レンズを介して前記標本へ焦点検出用の光を照射し、その標本で反射した前記光を前記対物レンズを介して検出する焦点検出用光学系と、
前記焦点検出用光学系が照射する光の波長である焦点検出波長を、互いに異なる少なくとも２種類の波長の間で切り換える第１切換手段と、
を備えたことを特徴とする蛍光顕微鏡装置。 - 請求項１に記載の蛍光顕微鏡装置において、
前記観察用光学系の光路と前記焦点検出用光学系の光路との交差箇所には波長分離ミラーが配置され、
前記第１切換手段は、
前記交差箇所に配置される波長分離ミラーを、分離波長の互いに異なる少なくとも２種類の波長分離ミラーの間で交換する
ことを特徴とする蛍光顕微鏡装置。 - 請求項１又は請求項２に記載の蛍光顕微鏡装置において、
前記観察用光学系が照射する励起光の波長である励起波長と、前記観察用光学系が検出する蛍光の波長である観察波長との組み合わせを、互いに異なる少なくとも２種類の組み合わせの間で切り換える第２切換手段を更に備えた
ことを特徴とする蛍光顕微鏡装置。 - 請求項３に記載の蛍光顕微鏡装置において、
前記観察用光学系の励起光路と観察光路との交差箇所には波長分離ミラーが配置され、
前記第２切換手段は、
前記交差箇所に配置される波長分離ミラーを、分離波長の異なる少なくとも２種類の波長分離ミラーの間で交換する
ことを特徴とする蛍光顕微鏡装置。 - 請求項３又は請求項４に記載の蛍光顕微鏡装置において、
前記第１切換手段は、
前記第２切換手段に連動する
ことを特徴とする蛍光顕微鏡装置。 - 請求項１〜請求項５の何れか一項に記載の蛍光顕微鏡装置において、
前記焦点検出波長の切り換え先である前記２種類の波長の一方は赤外域の波長であり、他方は可視光域の波長である
ことを特徴とする蛍光顕微鏡装置。 - 対物レンズを介して標本へ焦点検出用の光を照射し、その標本で反射した前記光を前記対物レンズを介して検出する焦点検出用光学系と、
前記焦点検出用光学系が照射する光の波長である焦点検出波長を、互いに異なる少なくとも２種類の波長の間で切り換える切換手段と
を備えたことを特徴とする焦点検出装置。 - 請求項７に記載の焦点検出装置において、
前記標本の観察に供される観察用光学系の光路と前記焦点検出用光学系の光路との交差箇所には波長分離ミラーが配置され、
前記切換手段は、
前記交差箇所に配置される波長分離ミラーを、分離波長の互いに異なる少なくとも２種類の波長分離ミラーの間で交換する
ことを特徴とする焦点検出装置。 - 請求項７又は請求項８に記載の焦点検出装置において、
前記焦点検出波長の切り換え先である前記２種類の波長の一方は赤外域の波長であり、他方は可視光域の波長である
ことを特徴とする焦点検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2008187403A JP5131071B2 (ja) | 2008-07-18 | 2008-07-18 | 蛍光顕微鏡装置及び焦点検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2008187403A JP5131071B2 (ja) | 2008-07-18 | 2008-07-18 | 蛍光顕微鏡装置及び焦点検出装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2010026241A JP2010026241A (ja) | 2010-02-04 |
| JP2010026241A5 true JP2010026241A5 (ja) | 2012-02-16 |
| JP5131071B2 JP5131071B2 (ja) | 2013-01-30 |
Family
ID=41732134
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2008187403A Active JP5131071B2 (ja) | 2008-07-18 | 2008-07-18 | 蛍光顕微鏡装置及び焦点検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP5131071B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP6252598B2 (ja) * | 2013-12-09 | 2017-12-27 | 株式会社ニコン | 光学装置、測定装置、測定方法、スクリーニング装置及びスクリーニング方法 |
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Family Cites Families (3)
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| JP2007101494A (ja) * | 2005-10-07 | 2007-04-19 | Nikon Corp | 表面検査装置 |
-
2008
- 2008-07-18 JP JP2008187403A patent/JP5131071B2/ja active Active
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