WO2015133176A1 - 顕微分光装置 - Google Patents
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- 238000001634 microspectroscopy Methods 0.000 title abstract 2
- 201000009310 astigmatism Diseases 0.000 claims abstract description 15
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 65
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 33
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 16
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 13
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims description 11
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 12
- 238000011897 real-time detection Methods 0.000 abstract 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 abstract 1
- 238000001069 Raman spectroscopy Methods 0.000 description 18
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 13
- 238000001237 Raman spectrum Methods 0.000 description 6
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 229920001222 biopolymer Polymers 0.000 description 2
- 238000001506 fluorescence spectroscopy Methods 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 229920002521 macromolecule Polymers 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 238000001712 DNA sequencing Methods 0.000 description 1
- 238000001530 Raman microscopy Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
- G01J3/0208—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using focussing or collimating elements, e.g. lenses or mirrors; performing aberration correction
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
- G01J3/021—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using plane or convex mirrors, parallel phase plates, or particular reflectors
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
- G01J3/0229—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using masks, aperture plates, spatial light modulators or spatial filters, e.g. reflective filters
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
- G01J3/0248—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using a sighting port, e.g. camera or human eye
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/10—Arrangements of light sources specially adapted for spectrometry or colorimetry
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/44—Raman spectrometry; Scattering spectrometry ; Fluorescence spectrometry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/44—Raman spectrometry; Scattering spectrometry ; Fluorescence spectrometry
- G01J3/4406—Fluorescence spectrometry
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
- G01N21/64—Fluorescence; Phosphorescence
- G01N21/645—Specially adapted constructive features of fluorimeters
- G01N21/6456—Spatial resolved fluorescence measurements; Imaging
- G01N21/6458—Fluorescence microscopy
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
- G01N21/65—Raman scattering
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- G02—OPTICS
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- G02B21/24—Base structure
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
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- G02B21/365—Control or image processing arrangements for digital or video microscopes
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- G02—OPTICS
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Abstract
Description
2 ビームエクスパンダ
3 ビームスプリッタ
4 ミラー
5 ビームスプリッタ
6 ミラー
7 励起ビーム
8 デフォーカス検知ビーム
9 デフォーカス検知ビーム
10 凹レンズ
11 凸レンズ
12 ダイクロイックミラー
13 対物レンズ
14 試料
15 XYZステージ
16 プリズム
17 白色光源
18 ビームスプリッタ
19 撮像素子
20 ダイクロイックミラー
21 フィルタ
22 第一結像レンズ
23 ピンホール
24 リレーレンズ
25 ラマン散乱光
26 フィルタ
27 回折格子
28 第二結像レンズ
29 撮像素子
30 白色光
31 レンズ
40 シリンドリカルレンズ
71 マルチビーム発生器
72 デフォーカス検知ビーム
73 励起ビーム
74 励起ビーム
75 デフォーカス検知ビーム
41 シリンドリカルレンズ
42 シリンドリカルレンズ
76 傾き補正ステージ
80 制御装置
Claims (15)
- 顕微分光装置において、
試料からの発光を励起するための励起ビームを出力する光源と、
該励起ビームを試料に照明するための対物レンズと、
該励起ビームによって励起された試料からの発光を検出する撮像素子と、
該対物レンズに入射する該励起ビームと波長または光軸の異なるデフォーカス検知ビームと、
該試料を該対物レンズの光軸方向に移動するためのステージと、
該デフォーカス検知ビームが該対物レンズを通って該試料上に形成する像の形状を観察する監視用撮像素子と、
該デフォーカス検知ビームの像の形状からデフォーカス方向およびデフォーカス量を検知し、前記ステージを前記対物レンズのフォーカス位置に移動させるようフィードバック制御信号を送る制御装置とを備えることを特徴とする顕微分光装置。 - 請求項1に記載の顕微分光装置において、
前記デフォーカス検知ビームは少なくとも二個以上を備えていることを特徴とする顕微分光装置。 - 請求項2記載の顕微分光装置において、
前記少なくとも二個以上のデフォーカス検知ビームは、
その少なくとも一つは前記対物レンズによって、前記励起光ビームが前記対物レンズでフォーカスされる位置より対物レンズに近い位置にフォーカスされ、その少なくとも一つは前記対物レンズによって、該励起光ビームが前記対物レンズでフォーカスされる位置より対物レンズから遠い位置にフォーカスされ、
さらに、デフォーカスを観察する監視用撮像素子を備えることを特徴とする顕微分光装置。 - 請求項3に記載の顕微分光装置において、
前記デフォーカス検知用ビームは、
前記励起光ビームの光路上に、少なくとも2個のビームスプリッタを設け、さらにスプリット後に一方の光路上に、凹レンズ、他方の光路上に、凸レンズを設けることにより生成することを特徴とする顕微分光装置。 - 請求項1に記載の顕微分光装置において、
少なくとも一つのデフォーカス検知用ビームが非点収差を有することを特徴とする顕微分光装置。 - 請求項5に記載の顕微分光装置において、
非点収差を有するデフォーカス検知用ビームは、
前記励起光ビームの光路上に、ビームスプリッタを設け、スプリット後の光路上に、シリンドリカルレンズを設けることにより生成することを特徴とする顕微分光装置。 - 請求項5に記載の顕微分光装置において、
非点収差を有するデフォーカス検知ビームは、
デフォーカス検知ビームの光路上に、少なくとも2個のシリンドリカルレンズと、少なくとも1個のチューブレンズを有し、
該2個のシリンドリカルレンズは互いに曲率を含む面が垂直な方向に配置し、
該2個のシリンドリカルレンズの焦点は、該チューブレンズの焦点に対して対称に配置していることを特徴とする顕微分光装置。 - 請求項1に記載の顕微分光装置において、
前記励起ビームと波長のことなるデフォーカス検知用ビームを出力する光源を備えることを特徴とする顕微分光装置。 - 請求項8に記載の顕微分光装置において、前記デフォーカス検知用ビームの波長は、前記励起ビームの波長より短いことを特徴とする顕微分光装置。
- 請求項9に記載の顕微分光装置において、
デフォーカス検知ビームのそれぞれの光路上に、シリンドリカルレンズを有することを特徴とする顕微分光装置。 - 請求項2記載の顕微分光装置において、
前記制御装置は、前記試料表面の少なくとも一方向以上の傾きを検知することを特徴とする顕微分光装置。 - 請求項2記載の顕微分光装置において、
前記複数のデフォーカス検知ビームは、前記試料上に、少なくとも三個以上のデフォーカス検知スポットを形成し、
前記デフォーカス検知スポットは、少なくとも一つ以上が非同一直線上にあり、
前記制御装置は、前記三個以上のデフォーカス検知スポットの形状から前記試料表面の少なくとも二方向の傾きを検知することを特徴とする顕微分光装置。 - 請求項2記載の顕微分光装置において、
前記複数のデフォーカス検知ビームを全て同時に観察可能な監視用撮像素子を有することを特徴とする顕微分光装置。 - 請求項2に記載の顕微分光装置において、
前記監視用撮像素子は、前記デフォーカス検知用ビームの観察と、前記試料の観察とが同時にできること特徴とする顕微分光装置。 - 請求項1に記載の顕微分光装置において、
複数の励起ビームと複数のデフォーカス検知ビームを生成するマルチビーム発生器を有することを特徴とする顕微分光装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US15/120,792 US9804029B2 (en) | 2014-03-05 | 2015-01-16 | Microspectroscopy device |
JP2016506163A JP6446432B2 (ja) | 2014-03-05 | 2015-01-16 | 顕微分光装置 |
GB1614436.2A GB2537786B (en) | 2014-03-05 | 2015-01-16 | Microspectroscopy device |
DE112015000627.3T DE112015000627B4 (de) | 2014-03-05 | 2015-01-16 | Mikrospektroskopische Vorrichtung |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014-042263 | 2014-03-05 | ||
JP2014042263 | 2014-03-05 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
WO2015133176A1 true WO2015133176A1 (ja) | 2015-09-11 |
Family
ID=54054988
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
PCT/JP2015/051000 WO2015133176A1 (ja) | 2014-03-05 | 2015-01-16 | 顕微分光装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9804029B2 (ja) |
JP (1) | JP6446432B2 (ja) |
DE (1) | DE112015000627B4 (ja) |
GB (1) | GB2537786B (ja) |
WO (1) | WO2015133176A1 (ja) |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE112015000627B4 (de) | 2022-02-03 |
JP6446432B2 (ja) | 2018-12-26 |
GB201614436D0 (en) | 2016-10-05 |
GB2537786B (en) | 2021-03-03 |
JPWO2015133176A1 (ja) | 2017-04-06 |
GB2537786A (en) | 2016-10-26 |
DE112015000627T5 (de) | 2016-10-20 |
US20170023409A1 (en) | 2017-01-26 |
US9804029B2 (en) | 2017-10-31 |
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Date | Code | Title | Description |
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121 | Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application |
Ref document number: 15758037 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |
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ENP | Entry into the national phase |
Ref document number: 2016506163 Country of ref document: JP Kind code of ref document: A |
|
WWE | Wipo information: entry into national phase |
Ref document number: 15120792 Country of ref document: US |
|
ENP | Entry into the national phase |
Ref document number: 201614436 Country of ref document: GB Kind code of ref document: A Free format text: PCT FILING DATE = 20150116 |
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WWE | Wipo information: entry into national phase |
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|
WWE | Wipo information: entry into national phase |
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|
122 | Ep: pct application non-entry in european phase |
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