JP2014010216A - 多焦点共焦点顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光源3からの光は回折素子5を利用してスポットアレイ状光源に変換されており、ピンホールがマトリックス状に二次元配列されたピンホール板9、23を配設して共焦点光学系が構成されている。ラマン分光の検出用には、この共焦点光学系の出射側に配列変換手段としてのバンドルファイバー27が配設されており、このバンドルファイバー27を通すことでピンホール板23のピンホール25に対応した三次元情報が二次元情報となって出てくることになり、このバンドルファイバー27から出てきたラマン散乱光は回折格子29で分散され、CCDカメラ31上にその分散スペクトルが結像される。CCDカメラ31はその分散スペクトルからラマン分光イメージを形成する。
【選択図】 図1
Description
共焦点タイプの顕微鏡は、上記した構成上、単焦点になっているので、試料を二次元的に観察・測定をしたい場合に対応して、試料上で集光点を走査できるよう、特許文献1に示すような、スキャナユニットが設けられている。
更に、スキャナユニットの分だけ顕微鏡の構成部材が増えて、構造が複雑化し、装置サイズが大型化すると共に、製作コストの高騰を招く。
特に、ラマン分光のイメージ取得を目的とするラマン分光に利用しようとすると、ラマン散乱光は、信号強度が微弱なので、ラマン分光のイメージング化に多大な時間が掛かる上に、振動影響も深刻なものとなる。
また、本発明は、反射光、透過光、散乱光等の観察光をファイバーで伝送した上で検出する系、その中でも信号強度の弱いラマン散乱光を検出系で有効な、多焦点共焦点顕微鏡を提供することを、その目的とする。
Perror(max):バンドルファイバーのPitch誤差
従って、作業時間が短縮化され、顕微鏡全体の構造が単純化し、サイズがコンパクトになり、顕微鏡の製作コストも抑えられている。
先ず、共焦点光学系について説明する。
符号3は光源を示し、この光源3は励起光を発するレーザ光源になっている。符号5は回折素子を示し、この回折素子5に光源3からの励起光が入射すると、二次元的に複数の特定方向に偏向される。
符号7は集光レンズを、符号9は複数のピンホールがマトリックス状に二次元配列されたピンホール板をそれぞれ示す。集光レンズ7は回折素子5で偏向された光をピンホール板9のピンホール上に集光させる。光源3、回折素子5、集光レンズ7、及びピンホール板9によって、スポットアレイ状光源が構成されており、光源3からの光がピンホール板9を通過すると、図1のイメージ図に示すように、ピンホール数に対応した複数の光束に変わっている。
上記した光源3から試料Sに至る光路に配設されたもので、照明光学系が構成されている。
試料Sからは観察光として複数の光束が反射されてくると、これらの光束は、それぞれ同じ光路を戻り、対物レンズ15を通過してエッジフィルター13に至ると、このエッジフィルター13でラマン散乱光が透過される。透過されたラマン散乱光はハーフミラー19で一部が反射され、この反射された分のラマン散乱光が集光レンズ21に入射する。集光レンズ21はこの入射した散乱光を、ピンホール板23のピンホール25上に集光させる。
上記した試料Sからピンホール板23に至る光路に配設されたもので、結像光学系が構成されている。
そして、上記した照明光学系と結像光学系は共焦点光学系となっている。
符号27はバンドルファイバーを示し、図1のイメージ図に示すように、このバンドルファイバー27の一端側は二次元配列され、他端側が一次元配列されており、一端側が入射側に、他端側が出射側を向いている。
符号29は分光手段としての回折格子を、符号31は二次元受光手段としてのCCDカメラをそれぞれ示す。
上記したバンドルファイバー27からCCDカメラ31に至る光路に配設されたもので、ラマン分光の観察光学系が構成されている。
ピンホールアレイのピンホール径φが以下の式に従って設定されている。
ピンホール25のピッチ(pitch)は、以下の式に従って設定されている。
Perror(max):バンドルファイバーのPitch誤差
なお、Perror(max)は、各ファイバー、この実施の形態では、9つのファイバーについて誤差を計測し、その中の最大値を示す。図3では左側の中段に位置するファイバーにPerror(max)が出ている。
上記のようにピンホール板23を設定すると、各焦点イメージは離間して、ラマン分光イメージが離散したものとなるが、XY試料ステージ17を動かして試料Sに対して光学系を相対的にスキャンまたはステップ動作させ、ラマン分光イメージを合成することで試料Sの隙間無いラマン分光イメージを作り出せる。上記したスキャンやステップの動作は、光学系を動かすわけではないので、ラマン分光に振動の影響は与えない。
傾き角度θを以下の式に従って設定し、光学系を相対的走査させることで効率良く短時間に作業を進めることができる。
第1の実施の形態に係る多焦点共焦点ラマン分光顕微鏡1と同じ構成部分は同じ符号を付すことで説明を省略する。
この多焦点共焦点ラマン分光顕微鏡41では、照明光学系に、エクスパンダー43、マイクロレンズアレイ45が配設されており、このマイクロレンズアレイ45はピンホール板9のピンホールと共役的に配置されている。
光源3からの光がエクスパンダー43に入射して拡大されることで、戻り光の危険が回避されている。そして、エクスパンダー43からの拡大された光がマイクロレンズアイレ45で分割されて複数の束になっている。マイクロレンズアレイ45は共役的に配置されている。マイクロレンズアレイ45で集光された光束がピンホール板9に向かうことになるので、光損失が少なくなっている。
いずれにしても、特許請求されている事項を除いては、従来からあるまたは将来案出される光学系を任意に組み合わせることができる。
3‥‥光源 5‥‥回折素子
7‥‥集光レンズ 9‥‥ピンホール板
11‥‥コリメートレンズ 13‥‥ダイクロイックミラー
15‥‥対物レンズ 17‥‥試料ステージ
19‥‥ハーフミラー 21‥‥集光レンズ
23‥‥ピンホール板 25‥‥ピンホール
27‥‥バンドルファイバー 29‥‥回折格子
31‥‥CCDカメラ 33‥‥結像レンズ
35‥‥観察窓
41‥‥多焦点共焦点ラマン分光顕微鏡(第2の実施の形態)
43‥‥エクスパンダー 45‥‥マイクロレンズアレイ
Claims (8)
- 二次元配列されたスポットアレイ状光源を有し、前記光源からの光が試料上の前記光源と略共役な位置に照射される照明光学系と、
前記試料からの観察光を前記試料上の集光位置及び前記スポットアレイ状光源と略共役な位置に二次元配列されたピンホールアレイに結像する結像光学系と、
前記結像した光を検出する検出手段と、
を備えたことを特徴とする多焦点共焦点顕微鏡。 - 請求項1に記載した多焦点共焦点顕微鏡において、
検出手段は、
二次元配列された観察光の光束を一次元配列に変換するバンドルファイバーと、
前記一次元配列された光束を分光する分光手段と、
前記分光された光束を受光する二次元受光手段と、
を備えたことを特徴とする顕微鏡。 - 請求項1から5のいずれかに記載した多焦点共焦点顕微鏡において、
スポットアレイ状光源は、光源と、前記光源からの光を二次元的に複数特定方向に偏向させる回折素子と、前記二次元的に複数特定方向に偏向された光を二次元配列されたスポットアレイに集光する集光光学系とにより構成されていることを特徴とする顕微鏡。 - 請求項1から5のいずれかに記載した多焦点共焦点顕微鏡において、
スポットアレイ状光源は、光源と、前記光源からの光を二次元配列させるマイクロレンズアレイにより構成されていることを特徴とする顕微鏡。 - 請求項1から7のいずれかに記載した多焦点共焦点顕微鏡において、
ラマン分光の検出用であることを特徴とする顕微鏡。
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