JP6622723B2 - 多焦点分光計測装置、及び多焦点分光計測装置用光学系 - Google Patents
多焦点分光計測装置、及び多焦点分光計測装置用光学系 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6622723B2 JP6622723B2 JP2016572194A JP2016572194A JP6622723B2 JP 6622723 B2 JP6622723 B2 JP 6622723B2 JP 2016572194 A JP2016572194 A JP 2016572194A JP 2016572194 A JP2016572194 A JP 2016572194A JP 6622723 B2 JP6622723 B2 JP 6622723B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- spectroscope
- objective
- unit
- light
- multifocal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title claims description 128
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 38
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 25
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 22
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 9
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 claims description 9
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 claims description 4
- 238000001069 Raman spectroscopy Methods 0.000 description 23
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 12
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 11
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 8
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 5
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 3
- 238000002189 fluorescence spectrum Methods 0.000 description 3
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 238000000701 chemical imaging Methods 0.000 description 2
- 238000013537 high throughput screening Methods 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 238000001237 Raman spectrum Methods 0.000 description 1
- VYXSBFYARXAAKO-WTKGSRSZSA-N chembl402140 Chemical compound Cl.C1=2C=C(C)C(NCC)=CC=2OC2=C\C(=N/CC)C(C)=CC2=C1C1=CC=CC=C1C(=O)OCC VYXSBFYARXAAKO-WTKGSRSZSA-N 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
- G01J3/0216—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using light concentrators or collectors or condensers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
- G01J3/0208—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using focussing or collimating elements, e.g. lenses or mirrors; performing aberration correction
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
- G01J3/0218—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using optical fibers
- G01J3/0221—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using optical fibers the fibers defining an entry slit
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
- G01J3/0229—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using masks, aperture plates, spatial light modulators or spatial filters, e.g. reflective filters
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0289—Field-of-view determination; Aiming or pointing of a spectrometer; Adjusting alignment; Encoding angular position; Size of measurement area; Position tracking
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0294—Multi-channel spectroscopy
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J3/18—Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/30—Measuring the intensity of spectral lines directly on the spectrum itself
- G01J3/36—Investigating two or more bands of a spectrum by separate detectors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/44—Raman spectrometry; Scattering spectrometry ; Fluorescence spectrometry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/44—Raman spectrometry; Scattering spectrometry ; Fluorescence spectrometry
- G01J3/4406—Fluorescence spectrometry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
- G01N21/03—Cuvette constructions
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
- G01N21/64—Fluorescence; Phosphorescence
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
- G01N21/64—Fluorescence; Phosphorescence
- G01N21/645—Specially adapted constructive features of fluorimeters
- G01N21/6456—Spatial resolved fluorescence measurements; Imaging
- G01N21/6458—Fluorescence microscopy
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
- G01N21/65—Raman scattering
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
前記複数の観測領域の各々に光学的に相対する位置に1個ずつ設けられた複数の対物集光部と、
前記複数の対物集光部の各々に対応して1個ずつ設けられた、対応する対物集光部を通過した信号光を前記分光器に入力する分光器入力部と
を備えることを特徴とする。
一方、信号光が化学発光である場合のように、試料に照射光を照射しなくとも信号光が得られる場合には、本発明に係る多焦点分光計測装置に照射光の光源を設ける必要はない。
前記分光器入力部が前記複数の対物集光部の各々に対応して1個ずつ、マトリクスの点に配置されており、
前記マトリクスの行及び列が、前記分光器が有する分光素子における波長の分散方向に対して非平行である
という構成を取ることもできる。分光素子には回折格子やプリズム等を用いることができる。この構成により、1個の分光素子のみを用いて、各信号光からの回折光を互いに重なることなく得ることができる。この分光光学系は、本発明に係る多焦点分光計測装置用光学系だけではなく、例えば特許文献1や特許文献2に記載の装置においても用いることができる。
該装置に装着された状態において前記複数の観測領域の各々に光学的に相対する位置に1個ずつ配置されるように設けられた複数の対物集光部を備えることを特徴とする。
(1-1) 第1実施例の多焦点分光計測装置の構成
第1実施例の多焦点分光計測装置10は、図1に示すように、試料Sを収容するウェルが縦横にマトリクス状に配置されたマルチウェルMWを載置する試料ホルダ13を有する。マルチウェルMWの底面及び試料ホルダ13は、照射光及び信号光に対して透明なガラス製である。この試料ホルダ13に相対して、複数の対物レンズ(対物集光部)111が縦横にマトリクス状に配置された対物レンズアレイ(対物集光部アレイ)11が設けられている。これら複数の対物レンズ111は、試料ホルダ13にマルチウェルMWが保持された状態において、各ウェルに1個ずつ相対するように設けられている。これらウェルはそれぞれ、1つの試料Sの観測領域となる。各対物レンズ111は、試料ホルダ13の反対側から、信号光である平行光が入射したときに、試料ホルダ13に保持されたマルチウェルMWにおいて相対するウェル内で焦点を結ぶ位置に配置されている。
第1実施例の多焦点分光計測装置10の動作を説明する。
マルチウェルMWの各ウェルに試料Sを収容し、このマルチウェルMWを試料ホルダ13に保持する。この状態で、2個の光源19よりそれぞれ、径拡大光学系191を通して、対応するフィルタ14の板状部材の全面に照射光(レーザ光)を照射する。照射光は図中の光路上において破線の矢印で示す。照射光はフィルタ14によって、対物レンズ111の光軸に平行な方向に反射され、全ての対物レンズ111に入射する。照射光は、各対物レンズ111において、相対するウェル(観測領域)に集光され、それにより試料Sに照射される。
第1実施例の多焦点分光計測装置10を用いて、蛍光及びラマン光を計測する実験を行った。この実験では、マルチウェルMW内の縦に8個、横に12個並んだ合計96個のウェルを測定領域とした。対物レンズ111、第2レンズ121及び分光器入力部151も同様に縦に8個、横に12個配置した。試料Sは、蛍光計測ではローダミン6G、ラマン光計測ではエタノールであり、各計測においては96個の全ウェルに同種の試料を収容した。このように、この実験において試料を収容したウェルはマルチウェルMW全体の一部のみであるが、それでもなお、96個の観測領域を合わせた全観測領域は縦36.0mm、横54.0mmという、特許文献1における全観測領域の約107倍の面積を有する。
図5を用いて、第2実施例の多焦点分光計測装置10Aについて説明する。この多焦点分光計測装置10Aは、第1実施例の多焦点分光計測装置10におけるフィルタ14の代わりに、1枚の四角形の板状部材から成るフィルタ14Aが、全ての対物レンズ111を覆うように、対物レンズ111の光軸に対して45°傾斜して設けられている。光源19は1個のみ用いられる。光源19からのレーザ光は、フィルタ14Aの、対物レンズアレイ11を向いた面の全面に照射され、フィルタ14Aにより反射されて各対物レンズ111に入射する。このフィルタ14Aを除いて、第2実施例の多焦点分光計測装置10Aの構成及び動作は、第1実施例の多焦点分光計測装置10の構成及び動作と同様である。
図6を用いて、第3実施例の多焦点分光計測装置10Bについて説明する。本実施例の多焦点分光計測装置10Bは、照射光に関して透明な材料から成るマルチウェルNWを用いて、マルチウェルNWの背面(対物レンズアレイ11の反対側)から照射光を試料Sに照射するための構成を有する。多焦点分光計測装置10Bは、マルチウェルNWにおけるウェルと同じ間隔でマトリクス状に配置された照射光出力端131Aを有している。各照射光出力端131Aは、分光器入力部151に設けられたものとは別の光ファイバの出力端であり、当該光ファイバの入力端側に照射光が入射するように光源(図示せず)が設けられている。各照射光出力端131Aは、試料ホルダ13Aの上面に露出するように、試料ホルダ13に埋め込まれている。
図8を用いて、第4実施例の多焦点分光計測装置10Cについて説明する。本実施例の多焦点分光計測装置10Cでは、第3実施例の多焦点分光計測装置10Bにおける対物レンズアレイ11の代わりに、以下に述べる対物レンズアレイ11Aを用いる。対物レンズアレイ11Aは、第3実施例における対物レンズアレイ11の対物レンズ111と同様に配置された複数の対物レンズ111Aを有する。各対物レンズ111Aは、相対するウェル(観測領域)内の試料Sからの信号光を収集し、ウェルの反対側において当該信号光を焦点に集光するレンズである。この焦点の位置に、対応する分光器入力部151が設けられている。対物レンズ111Aと分光器入力部151の間には、照射光を遮断して信号光を透過させるフィルタ14Cが設けられているが、第2レンズは設けられていない。ここまでに述べた点以外は、第4実施例の多焦点分光計測装置10Cは第3実施例の多焦点分光計測装置10Bと同様の構成を有する。
図9を用いて、第5実施例の多焦点分光計測装置を示す。本実施例の多焦点分光計測装置10Dは、対物レンズアレイ11と試料ホルダ13Aの間に、2枚1組のレンズ(集光部)211、212から成る倍率変換部21を有する。倍率変換部21は、試料ホルダ13Aに保持された試料からの信号光の像を拡大して対物レンズアレイ11に導入する。これにより、観測領域が狭い試料を観測することができる。また、多焦点分光計測装置10Dは、第2レンズアレイ12と分光器入力部集合体15の間に、対物レンズからの信号光の像を縮小する2枚1組のレンズ(集光部)221、222から成る分光器入力部側倍率変換部22を有する。これにより、光ファイバの入力端である分光器入力部151よりも対物レンズアレイ及び第2レンズを大きくすることができる。なお、多焦点分光計測装置10Dは、倍率変換部21と分光器入力部側倍率変換部22のいずれか一方のみを有していてもよい。また、観測領域が大きい試料を用いる場合には、前記倍率変換部21の代わりに、試料からの信号光の像を縮小する倍率変換部を用いてもよい。また、前記分光器入力部側倍率変換部22の代わりに、対物レンズからの信号光の像を拡大する分光器入力部側倍率変換部を用いてもよい。
図10を用いて、第6実施例の多焦点分光計測装置を示す。本実施例の多焦点分光計測装置10Eは、試料ホルダ13Bを図10の左右方向及び紙面に垂直な方向に移動する移動手段を有している。試料ホルダ13Bに載置されるマルチウェルMWは、対物レンズアレイ11における対物レンズ111の個数よりも十分に多いウェルを有している。多焦点分光計測装置10Eは、このような移動手段を有することにより、より多くの試料に対する分析を行うことができる。この移動手段を自動制御することにより、多数試料の高速自動測定を行うことができる。また、マルチウェルMWの代わりに、試料ホルダ13Bに大型の試料を保持させることにより、当該試料の分光イメージング測定を行うことができる。なお、多焦点分光計測装置10Eでは試料ホルダ13Bを移動するが、対物レンズアレイ11、第2レンズアレイ12、分光器入力部集合体15及びフィルタ14を一体として移動するようにしてもよい。
本発明に係る多焦点分光計測装置は、上記実施例には限定されない。
例えば、上記実施例ではいずれも、ウェルに収容された試料Sに対して1個ずつ相対するように対物レンズ111(111A)を設けたが、1個の試料における複数の観測領域の各々に対して1個ずつ対物レンズを設けるようにしてもよい。この場合、第2レンズ及び分光器入力部は、各対物レンズに1対1に対応するように設ければよい。
上記各実施例では、分光器は、特許文献1と同様のものを用いるが、以下では、それ以外の分光器の構成の例を示す。図13に、当該分光器の概略構成図を示す。この分光器は回折格子42を有する。図13(a)は回折格子42の表面に平行な1方向から見た図である。回折格子42には、図の紙面に垂直な方向に延びる格子線が設けられている。回折格子42の前段には、第2レンズアレイ12の各第2レンズ121から出射された信号光が通過するピンホールがマトリクス状に配置されたピンホールアレイ41が設けられている。ピンホールアレイ41は前記分光器入力部に相当する。図13(a)には、図13(a)に実線の矢印で示した方向に隣接する2個のピンホールPH1及びPH2を示した。これら2個のピンホールPH1及びPH2は、図の紙面に垂直な方向に互いにずれて配置されている。これら2個のピンホールPH1とPH2を結ぶ線は、ピンホールが配置されるマトリクスの行に相当することから、該行は図の紙面に対して傾斜している(該紙面に平行でも垂直でもない)。それに対して、回折格子42における波長の分散方向は格子線に垂直、すなわち図の紙面に平行な方向である。従って、マトリクスの行は、回折格子42における波長の分散方向に対して非平行である。マトリクスの列も同様である。ピンホールアレイ41と回折格子42の間にはレンズ441が設けられている。各信号光はピンホールを通過した後に拡がってゆき、レンズ441により平行光となって回折格子42に照射される。回折格子42の表面では、信号光は波長により異なる角度で回折される。各回折光は、レンズ442により受光器43に集光される。
11、11A、11P、11X…対物レンズアレイ(対物集光部アレイ)
111、111A、111X…対物レンズ(対物集光部)
111C、1112C…レンズアレイの凸部
1112P、112…レンズアレイの板材
1112…両面レンズアレイ
1112A…両面レンズ
12…第2レンズアレイ(分光器側レンズアレイ、分光器側集光部アレイ)
121…第2レンズ(分光器側レンズ、分光器側集光部)
13、13A、13B…試料ホルダ(試料配置部)
131A…照射光出力端
14、14A、14B、14C…フィルタ
15…分光器入力部集合体
151…分光器入力部
17…分光器
19、91…レーザ光源
191…径拡大光学系
1911…径拡大レンズ
1912…平行ビーム形成レンズ
21…倍率変換部
211…倍率変換部のレンズ(集光部)
22…分光器入力部側倍率変換部
221…分光器入力部側倍率変換部のレンズ(集光部)
41…ピンホールアレイ(分光器入力部)
42…回折格子
43…受光器
441、442…レンズ
90…従来の多焦点分光計測装置
92…マイクロレンズアレイ
921…マイクロレンズ
93…エッジフィルタ
94…ピンホールアレイ
95…リレーレンズ
96…従来の多焦点分光計測装置における対物レンズ
97…レンズ光学系
98…ファイババンドル
99…分光器
DL、DL1、DL2…回折光
NW…マルチウェル
P…信号光の光軸と回折格子の表面の交点
PH1、PH2…ピンホール
S…試料
Claims (16)
- 試料配置部に配置された試料における所定の複数の観測領域から発せられる信号光を分光器に導入することにより分光する装置であって、
前記複数の観測領域の各々に光学的に相対する位置に1個ずつ設けられた複数の対物集光部と、
前記複数の対物集光部の各々に対応して1個ずつ設けられた、対応する対物集光部を通過した信号光を前記分光器に入力する分光器入力部と、
前記複数の対物集光部の各々に対応して1個ずつ、前記分光器入力部との間に設けられた分光器側集光部と
を備え、
前記分光器側集光部側から前記対物集光部に入射する平行光線が該対物集光部を通過して焦点を結ぶ位置に、該対物集光部と光学的に相対する前記観測領域内の点が存在し、
前記信号光が前記分光器側集光部を通過して焦点を結ぶ位置に、該分光器側集光部に対応する分光器入力部が存在し、
前記対物集光部と前記分光器側集光部の間の光が平行光線になるように該対物集光部及び該分光器側集光部が配置されている
ことを特徴とする多焦点分光計測装置。 - 前記試料に照射することによって前記試料から前記信号光が発せられる光である照射光を該試料に照射する光源を備えることを特徴とする請求項1に記載の多焦点分光計測装置。
- 前記光源が、前記対物集光部を通して前記照射光を前記試料に照射する位置に配置されていることを特徴とする請求項2に記載の多焦点分光計測装置。
- 前記試料配置部と前記分光器入力部の間に設けられた、前記信号光の波長の光を透過して前記照射光の波長の光を反射するフィルタを備えることを特徴とする請求項3に記載の多焦点分光計測装置。
- 前記フィルタに複数の照射光が照射され、該フィルタに反射された後の複数の照射光が互いに異なる対物集光部に照射されるように該フィルタが配置されていることを特徴とする請求項4に記載の多焦点分光計測装置。
- 前記フィルタが前記照射光の数と同数個設けられており、該フィルタの各々に互いに異なる照射光が照射されるように該フィルタが配置されていることを特徴とする請求項5に記載の多焦点分光計測装置。
- 前記フィルタが前記対物集光部と前記分光器入力部の間に、前記光源から照射される照射光が前記対物集光部の光軸の方向に反射するように配置されていることを特徴とする請求項4〜6のいずれかに記載の多焦点分光計測装置。
- 前記光源が、前記対物集光部を通すことなく前記照射光を前記試料に照射する位置に配置されていることを特徴とする請求項2に記載の多焦点分光計測装置。
- 前記試料配置部と前記分光器入力部の間に設けられた、前記信号光の波長の光を透過して前記照射光の波長の光を除去するフィルタを備えることを特徴とする請求項8に記載の多焦点分光計測装置。
- 前記複数の対物集光部が縦横にマトリクス状に配置されている対物集光部アレイを備えることを特徴とする請求項1〜9のいずれかに記載の多焦点分光計測装置。
- 前記対物集光部アレイと前記分光器入力部の間に、前記複数の対物集光部の各々に光学的に相対して分光器側集光部が1個ずつ設けられた分光器側集光部アレイを備え、各々の前記対物集光部と該対物集光部に光学的に相対する前記分光器側集光部の間の信号光が該対物集光部を通過して焦点を結ぶ位置に、該対物集光部と光学的に相対する前記観測領域内の点が存在し、該信号光が該分光器側集光部を通過して焦点を結ぶ位置に、該対物集光部に対応する分光器入力部が存在することを特徴とする請求項10に記載の多焦点分光計測装置。
- 前記複数の観測領域と前記複数の対物集光部の間に、該複数の観測領域の各々からの信号光の像を拡大又は縮小する倍率変換部を備えることを特徴とする請求項1〜11のいずれかに記載の多焦点分光計測装置。
- 前記分光器側集光部と前記分光器入力部の間に、該分光器側集光部に対応する対物集光部からの信号光の像を拡大又は縮小する分光器入力部側倍率変換部を備えることを特徴とする請求項1〜12のいずれかに記載の多焦点分光計測装置。
- 前記分光器入力部が前記複数の対物集光部の各々に対応して1個ずつ、マトリクスの点に配置されており、
前記マトリクスの行及び列が、前記分光器が有する分光素子における波長の分散方向に対して非平行である
ことを特徴とする請求項1〜13のいずれかに記載の多焦点分光計測装置。 - 前記試料配置部に配置された試料を含む平面に沿って該試料と前記複数の対物集光部の相対的な位置を移動させる移動手段を備えることを特徴とする請求項1〜14のいずれかに記載の多焦点分光計測装置。
- 試料配置部に配置された試料における所定の複数の観測領域から発せられる信号光を分光器に導入することにより分光する装置で用いられる光学系であって、
該装置に装着された状態において前記複数の観測領域の各々に光学的に相対する位置に1個ずつ配置されるように設けられた複数の対物集光部と、
前記複数の対物集光部の各々に対応して1個ずつ、前記分光器入力部との間に設けられた分光器側集光部と
を備え、
前記分光器側集光部側から前記対物集光部に入射する平行光線が該対物集光部を通過して焦点を結ぶ位置に、該対物集光部と光学的に相対する前記観測領域内の点が存在し、
前記信号光が前記分光器側集光部を通過して焦点を結ぶ位置に、該分光器側集光部に対応する分光器入力部が存在し、
前記対物集光部と前記分光器側集光部の間の光が平行光線になるように該対物集光部及び該分光器側集光部が配置されている
ことを特徴とする多焦点分光計測装置用光学系。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015017431 | 2015-01-30 | ||
JP2015017431 | 2015-01-30 | ||
PCT/JP2016/052707 WO2016121946A1 (ja) | 2015-01-30 | 2016-01-29 | 多焦点分光計測装置、及び多焦点分光計測装置用光学系 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2016121946A1 JPWO2016121946A1 (ja) | 2017-11-24 |
JP6622723B2 true JP6622723B2 (ja) | 2019-12-18 |
Family
ID=56543548
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016572194A Active JP6622723B2 (ja) | 2015-01-30 | 2016-01-29 | 多焦点分光計測装置、及び多焦点分光計測装置用光学系 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10823612B2 (ja) |
EP (1) | EP3273225B1 (ja) |
JP (1) | JP6622723B2 (ja) |
CA (1) | CA2988822C (ja) |
WO (1) | WO2016121946A1 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10852519B2 (en) * | 2016-11-30 | 2020-12-01 | Asm Technology Singapore Pte Ltd | Confocal imaging of an object utilising a pinhole array |
DE112018000430T5 (de) * | 2017-01-19 | 2019-10-02 | Agilent Technologies Inc. | Optische Spektrometermodule, Systeme und Verfahren zur optischen Analyse mit mehreren Lichtstrahlen |
US10935492B2 (en) * | 2018-04-13 | 2021-03-02 | Applied Materials, Inc. | Metrology for OLED manufacturing using photoluminescence spectroscopy |
CN113640257A (zh) * | 2020-04-27 | 2021-11-12 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 阵列样品光谱测试系统 |
JP7392856B2 (ja) * | 2020-06-24 | 2023-12-06 | 株式会社島津製作所 | 顕微ラマン分光測定装置、及び顕微ラマン分光測定装置の調整方法 |
JP7455434B2 (ja) * | 2020-12-22 | 2024-03-26 | 国立大学法人大阪大学 | 光学モジュール、及び多焦点光学装置 |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5866911A (en) | 1994-07-15 | 1999-02-02 | Baer; Stephen C. | Method and apparatus for improving resolution in scanned optical system |
US7071477B2 (en) * | 1994-07-15 | 2006-07-04 | Baer Stephen C | Superresolution in microlithography and fluorescence microscopy |
US6104945A (en) | 1995-08-01 | 2000-08-15 | Medispectra, Inc. | Spectral volume microprobe arrays |
DE19748211A1 (de) * | 1997-10-31 | 1999-05-06 | Zeiss Carl Fa | Optisches Array-System und Reader für Mikrotiterplatten |
EP1190232A1 (en) * | 1999-06-26 | 2002-03-27 | Packard Instrument Company, Inc. | Microplate reader |
US6563581B1 (en) | 2000-07-14 | 2003-05-13 | Applera Corporation | Scanning system and method for scanning a plurality of samples |
JP4727573B2 (ja) | 2003-04-04 | 2011-07-20 | ブイピー ホールディング, エルエルシー | 増強ナノ分光学的走査のための方法および装置 |
KR100527535B1 (ko) | 2003-04-17 | 2005-11-09 | 주식회사 하이닉스반도체 | 입출력 압축 회로 |
US7329860B2 (en) * | 2005-11-23 | 2008-02-12 | Illumina, Inc. | Confocal imaging methods and apparatus |
WO2009027102A2 (en) | 2007-08-29 | 2009-03-05 | Eppendorf Ag | Device and method for radiometric measurement of a plurality of samples |
JP5816083B2 (ja) * | 2008-06-24 | 2015-11-17 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェKoninklijke Philips N.V. | マイクロアレイ評価システム及び方法 |
EP2163885A1 (en) | 2008-06-24 | 2010-03-17 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Microarray characterization system and method |
JP5424108B2 (ja) * | 2008-11-18 | 2014-02-26 | 株式会社エス・テイ・ジャパン | ラマンイメージング装置 |
JP5229201B2 (ja) | 2009-12-07 | 2013-07-03 | 三菱電機株式会社 | プラスチックの識別装置およびその方法 |
US9068916B2 (en) * | 2010-03-15 | 2015-06-30 | Bio-Rad Laboratories, Inc. | Microassembled imaging flow cytometer |
JP5717052B2 (ja) * | 2011-04-25 | 2015-05-13 | 株式会社リコー | 分光計測装置、画像評価装置、及び画像形成装置 |
JP2012237647A (ja) * | 2011-05-11 | 2012-12-06 | Univ Of Tokyo | 多焦点共焦点ラマン分光顕微鏡 |
US9229169B2 (en) * | 2011-08-16 | 2016-01-05 | International Business Machines Corporation | Lens array optical coupling to photonic chip |
-
2016
- 2016-01-29 EP EP16743549.4A patent/EP3273225B1/en active Active
- 2016-01-29 JP JP2016572194A patent/JP6622723B2/ja active Active
- 2016-01-29 CA CA2988822A patent/CA2988822C/en active Active
- 2016-01-29 US US15/547,652 patent/US10823612B2/en active Active
- 2016-01-29 WO PCT/JP2016/052707 patent/WO2016121946A1/ja active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10823612B2 (en) | 2020-11-03 |
JPWO2016121946A1 (ja) | 2017-11-24 |
CA2988822C (en) | 2022-06-28 |
EP3273225A1 (en) | 2018-01-24 |
EP3273225A4 (en) | 2019-01-09 |
EP3273225B1 (en) | 2022-11-23 |
US20180136040A1 (en) | 2018-05-17 |
CA2988822A1 (en) | 2016-08-04 |
WO2016121946A1 (ja) | 2016-08-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6622723B2 (ja) | 多焦点分光計測装置、及び多焦点分光計測装置用光学系 | |
JP4887989B2 (ja) | 光学顕微鏡及びスペクトル測定方法 | |
JP6091100B2 (ja) | 共焦点顕微装置 | |
US9343494B2 (en) | Light guided pixel configured for emissions detection and comprising a guide layer with a wavelength selective filter material and a light detector layer | |
JP2012237647A (ja) | 多焦点共焦点ラマン分光顕微鏡 | |
JP2014010216A (ja) | 多焦点共焦点顕微鏡 | |
JP4817356B2 (ja) | 光学顕微鏡 | |
EP2685303B1 (en) | Optical microscope, and spectroscopic measurement method | |
KR20160119805A (ko) | 다중 스팟 주사 수집 광학장치 | |
WO2012070314A1 (ja) | 顕微鏡用分光分析装置、光軸ズレ補正装置、分光装置とそれを用いた顕微鏡 | |
US8633432B2 (en) | Reflective focusing and transmissive projection device | |
US20160054225A1 (en) | Ultra dark field microscope | |
US20170030835A1 (en) | Parallel acquisition of spectral signals from a 2-d laser beam array | |
US20130250088A1 (en) | Multi-color confocal microscope and imaging methods | |
US20110147613A1 (en) | Device and method for enhanced analysis of particle sample | |
KR101603726B1 (ko) | 멀티모달 현미경 | |
JP7325736B2 (ja) | 光学測定装置 | |
Balsam et al. | Modeling and design of micromachined optical Söller collimators for lensless CCD-based fluorometry | |
KR101861919B1 (ko) | 반도체의 고속 광학 검사방법 | |
EP3236303A1 (en) | Confocal microscope with improved resolution | |
JP2004361087A (ja) | 生体分子解析装置 | |
JP2009230021A (ja) | 光学顕微鏡、及びスペクトル測定方法 | |
JP2009145102A (ja) | エバネッセント波発生装置及びそれを用いた観察装置 | |
JP7527041B2 (ja) | 分光測定装置、及び分光測定方法 | |
WO2024162430A1 (ja) | ラマン分光測定装置、及びラマン分光測定方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170727 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190118 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20191119 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20191122 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6622723 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |