JP2013506152A5

JP2013506152A5 -

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Publication number: JP2013506152A5
Application number: JP2012530221A
Authority: JP
Filing date: 2010-09-17
Publication date: 2013-10-10
Anticipated expiration: 2030-09-17

Claims

顕微鏡であって、
照明装置（１９）であって、該照明装置を用いて、試料領域（Ｐ）を照明するための光のシートが生成され、該光のシートが、照明ビーム経路（３５）の照明軸（Ｘ）の方向、および前記照明軸（Ｘ）に交差して位置する横軸（Ｙ）の方向において、略平面状に延在している、前記照明装置（１９）と、
検出ビーム経路の検出軸（Ｚ）に沿って、前記試料領域（Ｐ）から放射される光を検出するために用いられる検出装置（１）であって、照明軸（Ｘ）と検出軸（Ｚ）との間の角度、および横軸（Ｙ）と検出軸（Ｚ）との間の角度がゼロではない、前記検出装置（１）とを備え、
前記照明装置（１９）が、照明光を別の照明ビーム経路（３６）内に偏向させ、前記照明軸（Ｘ）の方向および前記横軸（Ｙ）の方向において、略平面状に延在する別の光のシートを生成するための手段を含み、前記照明ビーム経路（３５）と、前記別の照明ビーム経路（３６）とが、本質的に同一の光学素子で構成され、かつ等しい光学波長を有し、前記光のシートと、前記別の光のシートとは、それらが、同じ照明軸（Ｘ）上の逆方向から前記試料領域（Ｐ）を照らすように互いに対して位置合わせされており、
前記照明装置（１９）は、前記照明ビーム経路（３５）と前記別の照明ビーム経路（３６）との間で、前記照明光を切替えるための切替え手段をさらに含み、
前記検出装置（１）は、前記試料領域（Ｐ）から放射される光を、光の位置依存検出のための空間分解アレイ検出器（４）に結像するための検出対物レンズ（２）を含む、顕微鏡において、
前記切替え手段は、１０ｍｓ未満の切替間隔を有する素早く切替可能な切替え素子を含み、前記アレイ検出器（４）の所定の積分時間と、前記切替え素子の切替間隔とは、前記試料領域（Ｐ）が、前記積分時間中に、前記照明軸（Ｘ）上の各方向から少なくとも一度は照明されるように互いに調整されていることを特徴とする顕微鏡。
前記切替え素子は、切替えミラー（３４）として設計されることを特徴とする、請求項１に記載の顕微鏡。
切替えミラー（３４）が、照明瞳の平面と共役である平面内に配置されることを特徴とする、請求項１または請求項２に記載の顕微鏡。
前記照明装置（１９）が、光のシートの生成のための手段を含み、該生成のための手段が、回転対称光ビームを生成するための手段と、前記横軸（Ｙ）に沿った前記試料領域（Ｐ）の光シート状走査のための走査手段と、角度走査手段であって、該角度走査手段を用いて前記光のシートと前記照明軸（Ｘ）との間の角度を変えることができる、前記角度走査手段とを含む、顕微鏡において、前記走査手段が、素早く切替可能な走査ミラー（２３）と走査対物レンズ（２４）とを含み、前記角度走査手段が、素早く切替可能な角度走査ミラー（２８）を含むことを特徴とする、請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の顕微鏡。
前記照明装置（１９）は、非点収差的に作用する光学素子を含み、前記非点収差的に作用する光学素子は、前記照明ビーム経路内および前記別の照明ビーム経路内のうちの少なくとも一方に配置され、前記非点収差的に作用する光学素子は、瞳面への切替えミラー（３４）または走査ミラー（２３）の正確な結像のためのものであることを特徴とする、請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載の顕微鏡。
前記切替えミラー（３４）は、検流計駆動部を有することを特徴とする、請求項２、３、及び５のいずれか一項に記載の顕微鏡。
前記非点収差的に作用する光学素子は、円柱光学素子（３３）を含むことを特徴とする、請求項５に記載の顕微鏡。
前記試料領域（Ｐ）は、前記アレイ検出器（４）の積分時間中に、前記照明光が一方の照明ビーム経路から別の照明ビーム経路へ少なくとも一度は切替えられるように、前記照
明軸（Ｘ）に沿って反対方向から実質的に同時に照明されることを特徴とする、請求項１乃至請求項７のいずれか一項に記載の顕微鏡を用いた画像の記録のための方法。