JP5253761B2 - 走査型レーザ顕微鏡 - Google Patents
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Description
複数の独立したレーザの、走査ヘッドへの伝送のためのファイバへの結合は、例えば(非特許文献2)および(特許文献2)に記載されている。
本発明の一態様は、試料を照明するための照明用放射線経路と、試料光を波長に応じて検出するための検出用放射線経路とを備え、検出波長を選択するためのフィルタが設けられている走査型レーザ顕微鏡であって、複数の部分放射線経路へと波長を選択するために、透過と反射との間の境界波長が場所によって変化する少なくとも1つのグラデーション・フィルタが設けられていることを特徴とする走査型レーザ顕微鏡である。
コリメートされた入力放射線は、グラデーション・フィルタVNFTで、2つの検出用放射線経路DE1およびDE2の方向に分割される。
グラデーション・フィルタVNFTは、入射する放射線の光軸に対して大抵は45度の角度で、検出用放射線経路中に配置されており、透過(DE1方向へ)と反射(DE2方向へ)との間の光学的に有効な境界波長を変化させるために、放射線経路において、フィルタの角度に沿って変位可能である。グラデーション・フィルタVNFTの変位が、中央制御ユニットを介してモータによって行われる。また、検出用ルートに波長をフレキシブルに割り当てるために、カスケーディングおよび共通制御が行われる。
●本発明の以下の有利な変形形態は、本開示の対象である。
●フィルタは、連続的にコーティングされる代わりに、幾つかの異なるフィルタで段階的にコーティングされていてもよく、あるいは、フィルタの一部が段階的だが他は連続的にコーティングされていてもよい。
●少なくとも1つの部分放射線経路に、更なるグラデーション・フィルタが配置されてもよい。
●波長の変化は、所望のスペクトル分解に適合させることもでき、絶対に線形でなければならないわけではない。図4には、境界波長の不連続な飛躍が示されている。
Claims (7)
- 試料を照明するための照明用放射線経路と、試料光を波長に応じて検出するための検出用放射線経路とを備え、検出波長を選択するためのフィルタが設けられている走査型レーザ顕微鏡であって、複数の部分放射線経路へと波長を選択するために、透過と反射との間の境界波長が場所によって変化する少なくとも1つのグラデーション・フィルタが設けられており、
前記少なくとも1つのグラデーション・フィルタの一部は、光を妨げることなく前記少なくとも1つのグラデーション・フィルタを通過させる、フィルタ特性が全く無いガラス板か、または光を完全に偏向するミラーであることを特徴とする走査型レーザ顕微鏡。 - 請求項1に記載の走査型レーザ顕微鏡において、前記グラデーション・フィルタが、光学的に有効な境界波長を変化させるために、前記検出用放射線経路において、変位可能に形成されている、走査型レーザ顕微鏡。
- 請求項1または2に記載の走査型レーザ顕微鏡において、少なくとも1つの部分放射線経路に、更なるグラデーション・フィルタが配置されている、走査型レーザ顕微鏡。
- 請求項1、2または3に記載の走査型レーザ顕微鏡において、前記グラデーション・フィルタの変位が、中央制御ユニットを介してモータによって行われる、走査型レーザ顕微鏡。
- 請求項1乃至4のうちのいずれか1項に記載の走査型レーザ顕微鏡において、検出用ルートに波長をフレキシブルに割り当てるために、カスケーディングおよび共通制御が行われる、走査型レーザ顕微鏡。
- 走査型レーザ顕微鏡の検出用放射線経路で使用するためのビーム・スプリッタであって、
波長に応じて透過部分と反射部分とに分離するための調整可能な分離のための、放射線経路において変位し得るグラデーション・フィルタを備え、
前記グラデーション・フィルタが、少なくとも部分的に、前記検出光の反射部分と透過部分との間の境界波長を、連続的または段階的に場所によって変化させ、
前記少なくとも1つのグラデーション・フィルタの一部は、光を妨げることなく前記少なくとも1つのグラデーション・フィルタを通過させる、フィルタ特性が全く無いガラス板か、または光を完全に偏向するミラーである、ビーム・スプリッタ。 - 請求項6に記載のビーム・スプリッタにおいて、前記グラデーション・フィルタが、ショート・パス、ロング・パス、またはバンド・パスとして実施されている、ビーム・スプリッタ。
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