DE102004049770A1 - Vorrichtung zur Selektion und Detektion mindestens zweier Spektralbereiche eines Lichtstrahls - Google Patents

Vorrichtung zur Selektion und Detektion mindestens zweier Spektralbereiche eines Lichtstrahls Download PDF

Info

Publication number
DE102004049770A1
DE102004049770A1 DE200410049770 DE102004049770A DE102004049770A1 DE 102004049770 A1 DE102004049770 A1 DE 102004049770A1 DE 200410049770 DE200410049770 DE 200410049770 DE 102004049770 A DE102004049770 A DE 102004049770A DE 102004049770 A1 DE102004049770 A1 DE 102004049770A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
filter
gradient filter
spectral
light
pass filters
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
DE200410049770
Other languages
English (en)
Inventor
Werner Dr. Knebel
Gabriele Burger
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Leica Microsystems CMS GmbH
Original Assignee
Leica Microsystems CMS GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Leica Microsystems CMS GmbH filed Critical Leica Microsystems CMS GmbH
Priority to DE200410049770 priority Critical patent/DE102004049770A1/de
Priority to US11/247,750 priority patent/US7508507B2/en
Publication of DE102004049770A1 publication Critical patent/DE102004049770A1/de
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/10Beam splitting or combining systems
    • G02B27/1086Beam splitting or combining systems operating by diffraction only
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/0004Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/002Scanning microscopes
    • G02B21/0024Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
    • G02B21/0036Scanning details, e.g. scanning stages
    • G02B21/0044Scanning details, e.g. scanning stages moving apertures, e.g. Nipkow disks, rotating lens arrays
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/0004Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/002Scanning microscopes
    • G02B21/0024Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
    • G02B21/0052Optical details of the image generation
    • G02B21/0064Optical details of the image generation multi-spectral or wavelength-selective arrangements, e.g. wavelength fan-out, chromatic profiling
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/0004Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/002Scanning microscopes
    • G02B21/0024Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
    • G02B21/008Details of detection or image processing, including general computer control
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/10Beam splitting or combining systems
    • G02B27/12Beam splitting or combining systems operating by refraction only
    • G02B27/126The splitting element being a prism or prismatic array, including systems based on total internal reflection
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/10Beam splitting or combining systems
    • G02B27/14Beam splitting or combining systems operating by reflection only
    • G02B27/143Beam splitting or combining systems operating by reflection only using macroscopically faceted or segmented reflective surfaces

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)

Abstract

Eine Vorrichtung zur Selektion und Detektion mindestens zweier Spektralbereiche eines Lichtstrahls, mit einer Selektionseinrichtung und einer Detektionseinrichtung, wobei im Strahlengang zwischen der Selektionseinrichtung und der Detektionseinrichtung ein Mittel zur Unterdrückung von Reflexions- und/oder Streulicht eines Beleuchtungslichts (15) eines Mikroskops angeordnet ist, ist im Hinblick auf eine besonders hohe Dynamik derart ausgestaltet und weitergebildet, dass das Mittel einen Verlaufsfilter (41) aufweist. Des Weiteren ist ein Mikroskop, insbesondere Scanmikroskop (10) mit einer Vorrichtung der obigen Art beansprucht.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Selektion und Detektion mindestens zweier Spektralbereiche eines Lichtstrahls, mit einer Selektionseinrichtung und einer Detektionseinrichtung, wobei im Strahlengang zwischen der Selektionseinrichtung und der Detektionseinrichtung ein Mittel zur Unterdrückung von Reflexions- und/oder Streulicht eines Beleuchtungslichts eines Mikroskops angeordnet ist. Des Weiteren betrifft die vorliegende Erfindung ein Mikroskop, insbesondere Scanmikroskop, mit einer derartigen Vorrichtung.
  • Vorrichtungen der eingangs genannten Art sind aus der Praxis bekannt und sind beispielsweise in Form eines Spektraldetektors in der DE 101 02 033 A1 beschrieben. Aus der DE 101 02 033 A1 ist es insbesondere bekannt, vor einem Detektor der Detektionseinrichtung im Detektionsstrahlengang ein Mittel zur Unterdrückung von Reflexions- und/oder Streulicht eines Beleuchtungslichts eines Mikroskops anzuordnen. Dabei kann Licht einer Anregungswellenlänge unterdrückt werden, die von einem Laser erzeugt wird.
  • Es gibt nunmehr Anwendungen, bei denen die Unterdrückung von Reflexions- und/oder Streulicht mit den bekannten Mitteln nicht ausreichend ist. Trotz der Verwendung beispielsweise eines Spektraldetektors und eines AOBS, die gemeinsam eine Unterdrückung von Anregungswellenlängen um den Faktor 10–6 – Spektraldetektor 10–4 bis 10–5 und AOBS 10–2 – aufweisen, gelangt häufig noch soviel Reststreulicht der Anregungswellenlängen in den Spektraldetektor, das hierdurch die Dynamik, d.h. das S/N-Verhältnis oder Signal-Rausch-Verhältnis erheblich reduziert ist. Ein leistungsfähiger Bandpassfilter weist bereits eine Unterdrückung von 10–6 auf. In Kombination mit einem leistungsstarken dichroitischen Strahlteiler, der eine Resttransmission der Anregungswellenlänge von ca. 1% aufweist, erhält man somit eine Gesamtunterdrückung von ca. 10–8. Jedoch gerade für Proben, die nahe am Deckglas beobachtet werden und eine geringe Intensität des Anregungs- und/oder Reflexionslichts liefern, reicht die Restlichtunterdrückung mit Spektraldetektor und AOBS nicht aus, da beide Signale etwa die gleiche Größenordnung aufweisen.
  • Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung sowie ein Mikroskop der eingangs genannten Art anzugeben, wonach eine besonders hohe Dynamik mit konstruktiv einfachen Mitteln realisiert ist.
  • Die voranstehende Aufgabe ist durch eine Vorrichtung mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1 gelöst. Danach ist die Vorrichtung derart ausgestaltet und weitergebildet, dass das Mittel einen Verlaufsfilter aufweist.
  • In erfindungsgemäßer Weise ist erkannt worden, dass durch die Verwendung eines besonderen Filters eine besonders hohe Unterdrückung von Reflexions- und/oder Streulicht eines Beleuchtungslichts erreichbar ist. Hierzu ist im Konkreten in weiter erfindungsgemäßer Weise das Mittel zur Unterdrückung von Reflexions- und/oder Streulicht derart ausgestaltet, dass das Mittel einen Verlaufsfilter aufweist. Mit einem Verlaufsfilter ist eine besonders genaue Anpassung an zu unterdrückende Wellenlängen und Bandbreiten von Wellenlängen ermöglicht. Damit können auch Proben sicher untersucht werden, die nahe am Deckglas beobachtet werden und eine geringe Intensität des Anregungs- und/oder Reflexionslichts liefern.
  • Folglich ist mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung eine Vorrichtung angegeben, bei der eine besonders hohe Dynamik mit konstruktiv einfachen Mitteln realisiert ist.
  • Im Hinblick auf eine besonders einfache Positionierung bei gleichzeitig hoher Wirksamkeit des Verlaufsfilters könnte der Verlaufsfilter zwischen einem Spiegelschieber und einem Detektor der Detektionseinrichtung angeordnet sein. Hierbei ist eine besonders sichere Unterdrückung der Anregungswellenlänge oder der Anregungswellenlängen realisiert. Im Konkreten könnte der Verlaufsfilter in einem Multibanddetektor zwischen dem Spiegelschieber und einem Photomultiplier angeordnet sein.
  • Hinsichtlich eines vielfältigen Einsatzes des Verlaufsfilters könnte der Verlaufsfilter Langpassfilter mit unterschiedlichen Charakteristika aufweisen. Mit anderen Worten könnten verschiedene Langpassfilter in den Verlaufsfilter integriert sein. Hierdurch könnte beispielsweise einem oder mehreren Kanälen oder sämtlichen Kanälen eines Detektors oder Photomultipliers jeweils einzelne Filter in Form beispielsweise der Langpassfilter zugeordnet werden. Hierdurch ist eine besonders sichere und individuelle Unterdrückung von Reflexions- und/oder Streulicht ermöglicht.
  • Zur Gewährleistung einer besonders hohen Flexibilität und eines besonders hohen Maßes der Anpassbarkeit an die Art der vorliegenden spektralen Aufspaltung könnten die Langpassfilter austauschbar sein. Hierdurch ist eine individuelle und auf den jeweiligen Einsatzfall abstimmbare Ausgestaltung des Verlaufsfilters ermöglicht.
  • Verlaufsfilter werden beispielsweise von der Ocean Optics kommerziell angeboten, die dort als LVF-H High-Pass Filter angeboten werden. Hierbei handelt es sich um linear variable Filter.
  • Im Konkreten könnte der Verlaufsfilter derart aufgebaut sein, dass die Langpassfilter hintereinander angeordnet sind. In konstruktiv besonders einfacher und kompakter Weise könnten die Langpassfilter auf einem gemeinsamen Substrat angeordnet sein. Hierdurch wäre eine einfache Handhabbarkeit des gesamten Verlaufsfilters realisiert.
  • Die Selektionseinrichtung einer Vorrichtung zur Selektion und Detektion mindestens zweier Spektralbereiche eines Lichtstrahls weist üblicherweise ein spektral aufspaltendes Element auf. Hierbei kann es sich beispielsweise um ein Gitter oder um ein Prisma handeln. Hinsichtlich einer besonders wirkungsvollen Unterdrückung von Reflexions- und/oder Streulicht könnte der Verlaufsfilter eine Filterstruktur aufweisen, die im Wesentlichen und vorzugsweise genau der spektralen Aufspaltung eines spektral aufspaltenden Elements der Selektionseinrichtung – vorzugsweise an der Position des Verlaufsfilters – entspricht oder an diese angepasst ist. Mit anderen Worten liegt hier eine vorzugsweise exakte Abstimmung des Verlaufsfilters auf das spektral aufspaltende Element vor.
  • Insbesondere im Fall eines linear aufspaltenden Elements der Selektionseinrichtung könnte die Filterstruktur des Verlaufsfilters an die Segmente eines Zeilendetektors der Detektionseinrichtung derart angepasst sein, dass immer nur ein genau vorgebbarer spektraler Anteil auf das Zeilensegment auftrifft. Jegliches Streulicht oder Reflexionslicht wäre dabei unterdrückt. Im Konkreten könnte dies bei einem als linear aufspaltendes Element dienenden Gitter in Verbindung mit einem Mehranoden-Photomultiplier erfolgen.
  • Im Falle eines nicht linear aufspaltenden Elements, beispielsweise ein Prisma, könnte die Filterstruktur des Verlaufsfilters auch an dieses nicht linear aufspaltende Element der Selektionseinrichtung angepasst sein. Der erfindungsgemäße Ver laufsfilter weist die entsprechende Variabilität auf, die eine Anpassung an sowohl linear als auch an nicht linear aufspaltende Elemente ermöglicht.
  • Bei einer konkreten Ausgestaltung könnte die Detektionseinrichtung einen Photomultiplier aufweisen, der als Mehranoden- oder Mehrkanal-Photomultiplier ausgebildet sein könnte.
  • Der Verlaufsfilter oder die Verlaufsfilter könnten stationär vor dem Photomultiplier nahe der Fokuslinie angeordnet sein. Der Verlaufsfilter oder die Verlaufsfilter müssen nicht mehr verschoben werden, wenn sie zusammen mit einem Spiegelschieber oder Spiegelschiebern kalibriert worden sind.
  • Zur Abbildung der Spektralbereiche auf den oder die Verlaufsfilter oder auf die Detektionseinrichtung könnten Mikrolinsen verwendet werden.
  • Die obige Aufgabe wird ebenfalls durch ein Mikroskop, insbesondere Scanmikroskop, mit einer Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 14 gelöst. Hinsichtlich der Ausgestaltung des Mikroskops bezüglich der Vorrichtung zur Selektion und Detektion mindestens zweier Spektralbereiche eines Lichtstrahls wird zur Vermeidung von Wiederholungen auf die voranstehende Beschreibung verwiesen.
  • Mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist eine Vorrichtung realisiert, bei der die Dynamik deutlich erhöht ist. Störendes Streulicht und Reflexionslicht wird signifikant unterdrückt. Dabei werden die erfindungsgemäß eingesetzten Verlaufsfilter auch als Graded Index Filter bezeichnet.
  • Es gibt nun verschiedene Möglichkeiten, die Lehre der vorliegenden Erfindung in vorteilhafter Weise auszugestalten und weiterzubilden. Dazu ist einerseits auf die nachgeordneten Ansprüche, andererseits auf die nachfolgende Erläuterung bevorzugter Ausführungsbeispiele der erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Selektion und Detektion mindestens zweier Spektralbereiche eines Lichtstrahls zu verweisen. In Verbindung mit der Erläuterung der bevorzugten Ausführungsbeispiele anhand der Zeichnung werden auch im Allgemeinen bevorzugte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Lehre erläutert. In der Zeichnung zeigen
  • 1 in einer schematischen Darstellung ein Scanmikroskop mit einem Mittel zur Unterdrückung von Reflexions- und/oder Streulicht eines Beleuchtungslichts,
  • 2 in einer schematischen Darstellung ein erstes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Selektion und Detektion mindestens zweier Spektralbereiche eines Lichtstrahls,
  • 3 in einer schematischen Darstellung ein zweites Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Selektion und Detektion mindestens zweier Spektralbereiche eines Lichtstrahls, wobei die Vorrichtung in einem Scanmikroskop angeordnet ist,
  • 4a in einer schematischen Darstellung die Anordnung eines Verlaufsfilters bei einem linear aufspaltenden Gitter und
  • 4b in einer schematischen Darstellung die Anordnung eines Verlaufsfilters bei einem nicht linear aufspaltenden Prisma.
  • 1 zeigt in einer schematischen Darstellung ein Scanmikroskop 10 mit einer Lichtquelle 1, die als Laser ausgebildet ist. Der durch den Laser erzeugte Beleuchtungslichtstrahl 15 wird durch ein Beleuchtungspinhole 12 über einen dichroitischen Strahlteiler 5 zu einem Scanmodul 29 geführt, das einen kardanisch aufgehängten Scanspiegel 31 aufweist, der den Beleuchtungslichtstrahl 15 über eine Scanoptik 33, die Optik 35 und durch die Mikroskopoptik 37 hindurch über bzw. durch eine Probe 39 führt. Das von der Probe ausgehende Licht 43 definiert einen Beobachtungsstrahlengang 17 und gelangt durch die Mikroskopoptik 37 und über das Scanmodul 29 zum dichroitischen Strahlteiler 5, passiert diesen und trifft auf einen Detektor 3 der als einzelner Photomultiplier ausgeführt ist. Dabei passiert das Licht 43 ein Detektionspinhole 19 und eine Optik 8. Vor dem Detektor 3 ist ein Mittel 40 zur Unterdrückung von Reflexions- und/oder Streulicht angeordnet.
  • 2 zeigt in einer schematischen Darstellung ein erstes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Selektion und Detektion mindestens zweier Spektralbereiche eines Lichtstrahls. Das Licht 43 wird mit einer nicht dargestellten Optik auf ein Element 22 zum spektralen Auffächern abgebildet. Das Element 22 ist durch ein Prisma gebildet. Der aufgefächerte Lichtstrahl 24 trifft über ein Fokussiermittel 26 auf eine Spaltdetektoranordnung 50. Die Spaltdetektoranordnung 50 wird zur Detektion zweier Spektralbereiche des aufgefächerten Lichtstrahls 24 verwendet. Hierzu ist eine Selektionseinrichtung 44 und eine Detektionseinrichtung 46 vorgesehen. Die Selektionseinrichtung 44 umfasst Mittel 45 zum Ausblenden eines ersten Spektralbereichs und andererseits zur Reflexion zumindest eines Teils 45b des nicht ausgeblendeten Spektralbereichs. Die Detektionseinrichtung 46 weist einen im Strahlengang des ausgeblendeten ersten Spektralbereichs angeordneten ersten Detektor 47 und einen im Strahlengang des reflektierten Teils 45b des Spektralbereichs angeordneten zweiten Detektor 48 auf.
  • 2 zeigt des Weiteren, dass vor dem zweiten Detektor 48 eine Blende 42 vorgesehen ist, mit der ein weiterer Teil des reflektierten Teils 45b des Spektralbereichs 45b ausgewählt werden kann, bevor er auf den zweiten Detektor 48 gelangt. Die Mittel 45 zum Ausblenden sind jeweils als Spaltblende ausgeführt, wobei zur Reflexion zumindest eines Teils des nicht ausgeblendeten Spektralbereichs auf einer dem einfallenden Licht zugewandten Oberfläche jeweils eine totalreflektierende Beschichtung 49 vorgesehen ist. Die Mittel 45 zum Ausblenden können zur Realisierung eines Spiegelschiebers 45 in die durch die Doppelpfeile in 2 angedeuteten Richtungen mechanisch verschoben werden, um somit einen gewünschten Spektralbereich für die Untersuchung auszuwählen. Der Verlaufsfilter ist bei dem hier gezeigten Ausführungsbeispiel zwischen dem ersten Detektor 47 und dem Mittel 45 zum Ausblenden des ersten Spektralbereichs angeordnet.
  • 3 zeigt das Scanmikroskop 10 aus 1 mit einem zweiten Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Selektion und Detektion mindestens zweier Spektralbereiche eines Lichtstrahls 43. Die Vorrichtung weist ein Element 22 zum spektralen Auffächern in Form eines Prismas auf. Der aufgefächerte Lichtstrahl 24 wird über ein Fokussiermittel 26 auf den Verlaufsfilter 41 abgebildet, der auf einem Mehrkanalphotomultiplier 28 angeordnet ist.
  • 4a zeigt in einer schematischen Darstellung die Kombination des Verlaufsfilters 41 mit einem Gitter, das eine lineare Aufspaltung des von der Probe ausgehenden Lichts erzeugt.
  • 4b zeigt in einer schematischen Darstellung die Kombination eines Verlaufsfilters 41 mit einem eine nicht lineare Aufspaltung liefernden Prisma.
  • Sowohl bei einer linearen Aufspaltung als auch bei einer nicht linearen Aufspaltung kann die Filterstruktur des Verlaufsfilters 41 derart ausgebildet sein, dass hier eine exakte Anpassung an die jeweilige spektrale Aufspaltung vorliegt. Der Dispersionsverlauf der Aufspaltung kann durch den Verlaufsfilter 41 abgebildet werden. Mit anderen Worten ist die Auswahl und Anordnung unterschiedlicher Langpassfilter derart realisierbar, dass mit den einzelnen Langpassfiltern eine Abstimmung auf einzelne Spektralbereiche des aufgespaltenen Lichts vorliegt. Hierdurch ist eine besonders wirksame Restlichtunterdrückung erreicht.
  • Hinsichtlich weiterer vorteilhafter Ausgestaltungen der erfindungsgemäßen Vorrichtung und des erfindungsgemäßen Mikroskops wird zur Vermeidung von Wiederholungen auf den allgemeinen Teil der Beschreibung sowie auf die beigefügten Patentansprüche verwiesen.
  • Schließlich sei ausdrücklich darauf hingewiesen, dass die voranstehend beschriebenen Ausführungsbeispiele lediglich zur Erörterung der beanspruchten Lehre dienen, diese jedoch nicht auf die Ausführungsbeispiele einschränken.

Claims (15)

  1. Vorrichtung zur Selektion und Detektion mindestens zweier Spektralbereiche (45b) eines Lichtstrahls (43), mit einer Selektionseinrichtung (44) und einer Detektionseinrichtung (46), wobei im Strahlengang zwischen der Selektionseinrichtung (44) und der Detektionseinrichtung (46) ein Mittel (40) zur Unterdrückung von Reflexions- und/oder Streulicht eines Beleuchtungslichts (15) eines Mikroskops angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass das Mittel (40) einen Verlaufsfilter (41) aufweist.
  2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Verlaufsfilter (41) zwischen einem Spiegelschieber (45) und einem Detektor (47, 28) der Detektionseinrichtung (46) angeordnet ist.
  3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Verlaufsfilter (41) Langpassfilter mit unterschiedlichen Charakteristika aufweist.
  4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Langpassfilter austauschbar sind.
  5. Vorrichtung nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Langpassfilter hintereinander angeordnet sind.
  6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Langpassfilter auf einem gemeinsamen Substrat angeordnet sind.
  7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Verlaufsfilter (41) eine Filterstruktur aufweist, die im Wesentlichen und vorzugsweise genau der spektralen Aufspaltung eines spektral aufspaltenden Elements (22) der Selektionseinrichtung (44) – vorzugsweise an der Position des Verlaufsfilters (41) – entspricht oder an diese angepasst ist.
  8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass – insbesondere im Fall eines linear aufspaltenden Elements der Selektionseinrichtung (44) – die Filterstruktur des Verlaufsfilters (41) an die Segmente eines Zeilendetektors der Detektionseinrichtung (46) derart angepasst ist, dass immer nur genau ein vorgebbarer spektraler Anteil auf das Zeilensegment auftrifft.
  9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass das linear aufspaltende Element ein Gitter ist.
  10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Filterstruktur des Verlaufsfilters (41) an ein nicht linear aufspaltendes Element (22) der Selektionseinrichtung (44) angepasst ist.
  11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass das nicht linear aufspaltende Element ein Prisma ist.
  12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Detektionseinrichtung (46) einen Photomultiplier aufweist.
  13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass der Photomultiplier ein Mehranoden- oder Mehrkanal-Photomultiplier (28) ist.
  14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass zur Abbildung der Spektralbereiche (45b) auf den Verlaufsfilter (41) oder auf die Detektionseinrichtung (46) Mikrolinsen vorgesehen sind.
  15. Mikroskop, insbesondere Scanmikroskop (10), mit einer Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 14.
DE200410049770 2004-10-12 2004-10-12 Vorrichtung zur Selektion und Detektion mindestens zweier Spektralbereiche eines Lichtstrahls Ceased DE102004049770A1 (de)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE200410049770 DE102004049770A1 (de) 2004-10-12 2004-10-12 Vorrichtung zur Selektion und Detektion mindestens zweier Spektralbereiche eines Lichtstrahls
US11/247,750 US7508507B2 (en) 2004-10-12 2005-10-11 Device for selecting and detecting at least two spectral regions of a light beam

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE200410049770 DE102004049770A1 (de) 2004-10-12 2004-10-12 Vorrichtung zur Selektion und Detektion mindestens zweier Spektralbereiche eines Lichtstrahls

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102004049770A1 true DE102004049770A1 (de) 2006-04-13

Family

ID=36088921

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE200410049770 Ceased DE102004049770A1 (de) 2004-10-12 2004-10-12 Vorrichtung zur Selektion und Detektion mindestens zweier Spektralbereiche eines Lichtstrahls

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE102004049770A1 (de)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1882969A1 (de) * 2006-07-28 2008-01-30 Carl Zeiss MicroImaging GmbH Laser-Scanning-Mikroskop
WO2008012056A1 (de) * 2006-07-28 2008-01-31 Carl Zeiss Microimaging Gmbh Laser-scanning-mikroskop
EP2395380A1 (de) * 2010-06-09 2011-12-14 Olympus Corporation Abtastmikroskop
DE102014108138A1 (de) * 2014-06-10 2015-12-17 Ernst-Abbe-Fachhochschule Jena Spektralsensor und Verfahren zur spektralen Analyse einfallenden Lichts

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1882969A1 (de) * 2006-07-28 2008-01-30 Carl Zeiss MicroImaging GmbH Laser-Scanning-Mikroskop
WO2008012056A1 (de) * 2006-07-28 2008-01-31 Carl Zeiss Microimaging Gmbh Laser-scanning-mikroskop
EP2395380A1 (de) * 2010-06-09 2011-12-14 Olympus Corporation Abtastmikroskop
US8530824B2 (en) 2010-06-09 2013-09-10 Olympus Corporation Scanning microscope
DE102014108138A1 (de) * 2014-06-10 2015-12-17 Ernst-Abbe-Fachhochschule Jena Spektralsensor und Verfahren zur spektralen Analyse einfallenden Lichts
DE102014108138B4 (de) * 2014-06-10 2016-12-29 Ernst-Abbe-Fachhochschule Jena Spektralsensor zur spektralen Analyse einfallenden Lichts

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE19906757B4 (de) Mikroskop
EP0717834A1 (de) Vorrichtung zur selektion und detektion mindestens zweier spektralbereiche eines lichtstrahls
WO2012034852A1 (de) Optisches abbildungssystem zur multispektralen bildgebung
DE102006047913B4 (de) Hochempfindliche spektralanalytische Einheit
EP0941470B1 (de) Fluoreszenzkorrelationsspektroskopiemodul für ein mikroskop
DE102006017705B4 (de) Spektralanalytische Einheit mit einem Beugungsgitter und Laserscanning-Mikroskop
DE19842153C2 (de) Fluoreszenzmikroskop
DE202008016287U1 (de) Anordnung zur Durchstimmung von Farbstrahlteilern
EP1122574B1 (de) Mikroskop-Aufbau
EP3333611B1 (de) Optisches gerät mit mindestens einem spektral selektiven bauelement
DE10335466B4 (de) Rastermikroskop
DE102015001032A1 (de) Raman-Spektroskopie-Beleuchtungs- und Auslesesystem
DE102006045839B4 (de) Laserscanningmikroskop mit Element zur Pupillenmanipulation
DE102009012874B4 (de) Mikroskop, insbesondere Laser Scanning Mikroskop
DE10029680B4 (de) Mikroskop-Aufbau
DE10021379A1 (de) Optische Messanordnung insbesondere zur Schichtdickenmessung
DE102010060747B4 (de) Konfokales Laser-Scanmikroskop zum Untersuchen einer Probe
DE102004049770A1 (de) Vorrichtung zur Selektion und Detektion mindestens zweier Spektralbereiche eines Lichtstrahls
WO2006000173A1 (de) Optische anordnung zum spektralselektiven nachweis von licht eines lichtstrahls
DE10031458B4 (de) Scan-Mikroskop mit einem Zirkulator
DE10102033B4 (de) Vorrichtung und Scanmikroskop zur gleichzeitigen Detektion mehrerer Spektralbereiche eines Lichtstrahls
DE102012205722B4 (de) Abbildendes Farbteilermodul, Mikroskop mit einem solchen Farbteilermodul sowie Verfahren zum Abbilden eines Objektfeldes in eine erste und eine zweite Bildebene
DE102004029733A1 (de) Rastermikroskop und Verfahren zur Rastermikroskopie
DE102022110651B4 (de) Kompaktes optisches Spektrometer
EP4189358B1 (de) Verfahren zum detektieren von emissionslicht, detektionsvorrichtung und laserscanning-mikroskop

Legal Events

Date Code Title Description
R012 Request for examination validly filed

Effective date: 20110901

R016 Response to examination communication
R002 Refusal decision in examination/registration proceedings
R003 Refusal decision now final