JPS5979831A - マイクロサンプリング装置 - Google Patents

マイクロサンプリング装置

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Publication number
JPS5979831A
JPS5979831A JP18905282A JP18905282A JPS5979831A JP S5979831 A JPS5979831 A JP S5979831A JP 18905282 A JP18905282 A JP 18905282A JP 18905282 A JP18905282 A JP 18905282A JP S5979831 A JPS5979831 A JP S5979831A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
inspected
liquid droplet
specimen
nozzle
laser
Prior art date
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Pending
Application number
JP18905282A
Other languages
English (en)
Inventor
Isao Sugaya
功 菅谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP18905282A priority Critical patent/JPS5979831A/ja
Publication of JPS5979831A publication Critical patent/JPS5979831A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N1/00Sampling; Preparing specimens for investigation
    • G01N1/02Devices for withdrawing samples

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、特に局部的な微少部分の検体の抽出に好適な
サンプリング装置に関する。
〔従来技術〕
従来のサンプリングは、機械的な切削やエツチングによ
る方法であυ、検体の硬度や材質、溶媒などの制約を受
け、かつ微少部分の抽出が困難であるとともに検体が多
量の溶媒で希釈される欠点があった。また、レーザー照
射による微少部分の発光分析が行なわれているが、試料
の有効利用や分析感度において十分とは言えない(例え
ば山根典子、他;分光研究 19.147 (1970
) 、久保田正明;分光研究 20,241(1971
)、石田良平、他:分光研究 21.16 (1972
))。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、微少部分の検体を抽出し、高感度分析
機器への試料を送付するためのマイクロサンプリング装
置を提供することにある。
〔発明の概要〕
試料中の微少部分を分離する方法として、レーザーの利
用は局部の照射が可能で高密度のエネルギーを照射でき
、導体、不導体など物質によらず蒸発が可能である。レ
ーザーの発振波長と適当な溶媒の選択によシ、検体の蒸
発、飛散を液滴内にとどめることが可能である。液滴の
採取は、洗浄液を含む細管を液滴と接触し循環系とする
。細管の一部を圧縮移動させることによシ、液滴および
洗浄液を細管の一部に捕集して検体を採取できる。
すなわち本発明のマイクロサンプリング装置は、局部的
な微少検体の抽出装置において、検体を液滴でおおいレ
ーザー照射することによシ、液滴中に検体を抽出するこ
とを特徴とする。検体を含む液滴は、例えばゴム管で接
続された2本のノズルと接触させる。ゴム管部に設けた
ロールの移動に伴なう容積変化によシ、まえもって洗浄
液を加えたノズルと他端のノズルとの間に連続した液体
の流れを作り、検体の完全な抽出を行なう。
〔発明の実施例〕
以下、本発明の一実施例を第1図により説明する。試料
1中の任意の検体を蒸発分離するためのレーザー光9と
、検体を液滴2に捕集しノズル3で採取するだめの機構
とからなる。試料1と液滴採取機構は、微動ステージ1
2に保持され顕微鏡観察のもとに操作される。
試料l中の検体の近傍は、コツクロとロール7を操作し
て溶媒4を滴下し液滴2でおおう。実体顕微鏡11およ
び微動ステージ12により捕集すべき検体を照射位置に
合せ、レーザー発振器IOよシレーブー光9を照射する
。検体を含んだ液滴2は、ノズル3と接触させ、ゴム管
8を圧縮しているロール7の回転移動によって、液滴2
をノズル3の他端に抽出する。
本実施例によれば、基板上の薄膜において、3X 10
−5cm2の検体を数十μLの液体に抽出することがで
きるので、微少試料のサンプリングに効果がある。
〔発明の効果〕
本発明によれば、レーザーの照射によって蒸発。
飛散する検体を液滴中に捕集することができる。
さらにこの液滴は、循環系をなすノズルと接触させて一
端に捕集することができるので、わずかな溶媒中に微少
検体を抽出するサンプリングの効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明のマイクロサンプリング装置の模式的
縦断面図である。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1、局部的な微少検体の抽出装置において、検体するこ
    とを%徴とするマイクロサンプリング装置。
JP18905282A 1982-10-29 1982-10-29 マイクロサンプリング装置 Pending JPS5979831A (ja)

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JPS5979831A true JPS5979831A (ja) 1984-05-09

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ID=16234482

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7679031B2 (en) * 2004-05-26 2010-03-16 Yamazaki Mazak Corporation Method for checking a nozzle for a laser beam machine

Cited By (1)

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