JP2010133710A5

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Publication number: JP2010133710A5
Application number: JP2008306951A
Authority: JP
Filing date: 2008-12-02
Publication date: 2011-05-06
Anticipated expiration: 2028-12-02

Claims

試料を載置する試料ステージと、
前記試料に形成された微小試料を採取する採取具と、
採取した前記微小試料を載置して透過電子顕微鏡もしくは走査透過電子顕微鏡に導入するキャリアと、
前記試料，前記微小試料，前記採取具、及び前記キャリアを拡大して見る顕微鏡と、
前記試料ステージ，前記採取具、及び前記キャリアを内蔵する試料室と、を備え、
前記試料室内にて前記試料から採取した前記微小試料を前記キャリアに移設する微小試料採取装置であって、
前記キャリアは、液体を保持する開口を有し、
前記試料から採取した前記微小試料を前記液体に保持するように構成されたことを特徴とする微小試料採取装置。
請求項１記載の微小試料採取装置において、
前記微小試料を前記液体の表面に吸着させて該微小試料を前記キャリアに保持することを特徴とする微小試料採取装置。
請求項１記載の微小試料採取装置において、
前記微小試料を前記液体に浸漬させて該微小試料を前記キャリアに保持することを特徴とする微小試料採取装置。
請求項１記載の微小試料採取装置において、
前記キャリアが、前記透過電子顕微鏡または前記走査型透過電子顕微鏡に搭載可能な試料ホルダに着脱可能なキャリアホルダ上に載置でき、当該キャリアホルダは前記試料室内のキャリアホルダ移動機構に着脱可能であることを特徴とする微小試料採取装置。
請求項１記載の微小試料採取装置において、
前記液体が、イオン液体であることを特徴とする微小試料採取装置。
請求項５記載の微小試料採取装置において、
前記イオン液体が、室温の真空環境にて実質蒸発しない液体であることを特徴とする微小試料採取装置。
請求項５記載の微小試料採取装置において、
前記イオン液体の融点が１０℃以下であることを特徴とする微小試料採取装置。
請求項５記載の微小試料採取装置において、
前記イオン液体のアニオンまたはカチオン部位のいずれかが有機イオンであることを特徴とする微小試料採取装置。
請求項５記載の微小試料採取装置において、
前記イオン液体が、テトラフルオロホウ酸ブチルメチルイミダゾリウム、又はブチルエチルメチルイミダゾリウムであることを特徴とする微小試料採取装置。
請求項５記載の微小試料採取装置において、
前記顕微鏡が、光学式顕微鏡，走査電子顕微鏡又は走査イオン顕微鏡であることを特徴とする微小試料採取装置。
請求項５記載の微小試料採取装置において、
前記顕微鏡が、液体金属イオン源もしくは電界電離ガスイオン源を用いた集束イオンビームによる走査イオン顕微鏡であることを特徴とする微小試料採取装置。
請求項１記載の微小試料採取装置において、
前記顕微鏡が光学式顕微鏡であり、
前記試料室が、乾燥空気，窒素、又は不活性ガスで実質的に満たされていることを特徴とする微小試料採取装置。
請求項１記載の微小試料採取装置において、
前記採取具は、採取される前記微小試料と面接触する平面部を有し、該平面部が、ガラス、金属、又はシリコンで形成されていることを特徴とする微小試料採取装置。
請求項１記載の微小試料採取装置において、
前記試料を拡大して観察する第１の顕微鏡と、
前記キャリアを拡大して見る第２の顕微鏡と、
前記採取具，前記キャリア、及び前記第２の顕微鏡を搭載し、前記採取具を前記試料の試料面の任意の位置に移動できる顕微鏡移動機構と、
前記顕微鏡移動機構を制御する計算処理機と、を有することを特徴とする微小試料採取装置。
請求項１記載の微小試料採取装置において、
前記試料は、集束イオンビームにより前記微小試料が当該試料から離脱する直前まで加工されていることを特徴とする微小試料採取装置。
請求項１記載の微小試料採取装置において、
前記キャリアは略矩形板であり、当該略矩形板の直交する２辺に平行な２辺に沿って複数個の開口が配列されていることを特徴とする微小試料採取装置。
請求項１記載の微小試料採取装置において、
前記開口のそれぞれには互いの開口を区別する認識アドレスと、
前記キャリアを所定位置に移動させるキャリアホルダ移動機構と、
前記認識アドレスの指定に基づいて、指定された開口が前記顕微鏡の視野内となるように前記キャリアホルダ移動機構を動作させる計算処理機と、を備えることを特徴とする微小試料採取装置。
請求項１７記載の微小試料採取装置において、
前記計算処理機が、
前記試料に予め形成された前記微小試料のうち指定された微小試料の座標に基づいて前記試料ステージを移動させ、前記微小試料を前記顕微鏡の視野内に移動させる微小試料位置出しを行うことを特徴とする微小試料採取装置。
請求項１記載の微小試料採取装置において、
前記キャリアの顕微鏡画像に前記キャリアにある前記開口を特定するアドレスを表示するディスプレイを備えることを特徴とする微小試料採取装置。
ウェハの表面もしくは内部の異物や欠陥を検査するウェハ検査装置と、
前記ウェハに集束イオンビームを照射して、該ウェハの異物や欠陥を含む微小試料を該ウェハに形成する集束イオンビーム試料作製装置と、
前記ウェハに形成された前記微小試料を採取してキャリアに載置する微小試料採取装置と、
前記キャリアに載置した前記微小試料を解析する透過電子顕微鏡又は走査型透過電子顕微鏡と、を含む検査解析システムにおいて、
前記ウェハ検査装置，前記集束イオンビーム試料作製装置，前記微小試料採取装置、及び前記透過電子顕微鏡もしくは前記走査型透過電子顕微鏡が、前記ウェハの異物や欠陥の少なくとも該ウェハ上の存在位置を共有することを特徴とする検査解析システム。
ウェハの表面もしくは内部の異物や欠陥を検査するウェハ検査工程と、
前記ウェハに集束イオンビームを照射して、該ウェハの異物や欠陥を含む微小試料を該ウェハに形成する試料作製工程と、
前記ウェハに加工された前記微小試料を採取してキャリアに載置する微小試料採取工程と、
前記微小試料を載置した前記キャリアを透過電子顕微鏡、又は走査型透過電子顕微鏡に搭載して観察を行う解析工程と、を含むことを特徴とする検査解析方法。