KR101402973B1 - 미세 시료용 프로브 고정홀더 및 이를 구비한 미세 시료 채취 장치 - Google Patents

미세 시료용 프로브 고정홀더 및 이를 구비한 미세 시료 채취 장치 Download PDF

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KR101402973B1
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Abstract

본 발명은 일정길이를 갖추고 미세 시료가 부착되는 프로브; 일측에 상기 프로브가 착탈가능하게 결합되는 제1부재; 및 상기 제1부재의 일단부에 연결되는 제2부재;을 포함하고, 상기 제1부재는 일단부가 상기 제2부재에 결합되는 제1부분과 일단부에 상기 프로브가 결합되는 제2부분으로 이루어지고, 상기 제1부분은 상기 제2부분에 대하여 제2부분의 길이방향 축을 중심으로 회전가능하게 구비되고, 상기 제1부분은 제2부분과의 대향면에 내측으로 일정깊이 절개형성되는 삽입홈이 구비되고, 상기 제2부분의 대향면에는 외측으로 일정길이 돌출되어 상기 삽입홈에 삽입되는 돌출부가 구비되며, 상기 제1부분의 일측에는 고정나사가 체결되는 조립공이 구비되고, 상기 조립공은 상기 삽입홈과 연통되도록 구비되어 상기 고정나사의 단부가 상기 삽입홈에 삽입된 돌출부의 일측을 구속함으로써 제2부분의 회전이 구속되며, 상기 제1부재는 제2부재에 대하여 일정각도 하방으로 기울어지게 연결되는 것을 특징으로 하는 미세 시료용 프로브 고정홀더를 제공한다.

Description

미세 시료용 프로브 고정홀더 및 이를 구비한 미세 시료 채취 장치{A probe fixing holder for micro samples and apparatus for collecting micro sample using thereof}
본 발명은 미세 시료용 프로브 고정홀더 및 이를 구비한 미세 시료 채취 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 미세한 크기를 갖는 하나의 시료를 정확하게 프로브에 부착시키고 시료의 부착상태를 간편하게 확인할 수 있는 미세 시료용 프로브 고정홀더 및 이를 구비한 미세 시료 채취 장치에 관한 것이다.
지난 수년 동안 주사탐침현미경(SPM)은 생물학적 연구를 수행하기 위한 강력한 툴로서의 활용이 점점 증대되고 있다. 이러한 주사탐침현미경은 분자, 셀, 조직 그리고 생체 물질에 이르기까지 다양한 범위를 측정하고 이미지로 보여준다. 이에 따라, 주사탐침현미경을 이용하여 Cell과 Cell, Protein과 Protein, 그리고 DNA와 DNA 사이에 작용하는 초미세력을 측정하거나 의공학 재료와 바이오 시료간에 작용하는 초미세력을 측정하는 연구가 활발히 진행되고 있다.
위의 주사탐침현미경과 같은 측정장치를 사용하여 개별 Protein 사이의 접착력과 고분자 상호간 쌍방향 힘 등을 측정하는 연구가 꾸준히 진행되고 있다. Force vs Distance 측정은 약물 전달 연구관련분야와 Cell에 약물 투여 후 Cell 표면의 경화정도 분석에 활용이 가능하다, 또한, 바이오 시료와 Cell간에 상호 작용하는 접착력을 분석함으로써 친화적 바이오 물질의 개발 연구에 활용될 수 있으며, 멤브레인과 미생물간의 Force vs Distance 측정을 통하여 Filter의 성능을 개선함으로써 수질환경을 개선시킬 수 있게 된다.
위와 같은 다양한 연구를 수행하기 위해서는 주사탐침현미경에 사용되는 시료의 채취가 필요하다. 통상적으로 시료는 프로브의 단부에 하나의 입자를 부착시킨 후 개별적인 입자와 입자간의 초미세력을 측정하게 된다. 이에 따라, 상기 프로브에 측정 대상이 되는 시료의 단일 입자를 정확하게 부착하는 것이 매우 중요하다. 그러나 측정장치에 사용하기 위하여 프로브에 시료를 부착시키는 별다른 장치가 현재는 없는 실정이다. 이에 따라, 연구자들이 많은 시간 투자와 반복적인 채취 작업을 통해 얻은 노하우로 프로브에 시료를 부착시켜 연구를 수행하고 있다. 그러나 검사에 사용되는 시료의 단일 입자는 그 크기가 마이크로미터 이하로 매우 작기 때문에 시료의 단일 입자를 프로브에 정확한 위치 및 개수로 부착하는 것이 매우 어려운 실정이다. 더불어 연구자 개개인에 의한 수작업을 통해 이루어지기 때문에 성공률이 매우 낮아 시료 채취 작업에 많은 시간을 할애해야 하는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 일단에 프로브가 결합되는 고정홀더의 길이 중간이 하방으로 일정각도 기울어지도록 구비함으로써 미세 시료의 단일 입자를 프로브에 빠르고 정확하게 부착할 수 있는 미세 시료용 프로브 고정홀더 및 이를 이용한 미세 시료 채취 장치를 제공하는 데 있다.
또한, 본 발명은 고정홀더가 X축, Y축, Z축 방향으로 모두 이동되도록 구성함으로써 미세한 조정을 통하여 프로브에 미세 시료의 단일 입자를 정확하게 부착하고 렌즈부를 통하여 단일 입자의 부착상태를 곧바로 확인할 수 있는 미세 시료 채취 장치를 제공하는 데 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 일정길이를 갖추고 미세 시료가 부착되는 프로브; 일측에 상기 프로브가 착탈가능하게 결합되는 제1부재; 및 상기 제1부재의 일단부에 연결되는 제2부재;을 포함하고, 상기 제1부재는 제2부재에 대하여 일정각도 하방으로 기울어지게 연결되는 것을 특징으로 하는 미세 시료용 프로브 고정홀더를 제공한다.
바람직하게는, 상기 제1부재는 일단부가 힌지축을 매개로 상기 제1부재에 대해서 회전가능하게 결합될 수 있다.
바람직하게는, 상기 제1부재의 하부면에는 상기 프로브의 일단부가 삽입될 수 있도록 내측으로 일정깊이 절개형성되는 안착홈이 구비되고, 상기 안착홈에 프로브의 일단부가 삽입된 상태에서 안착홈의 개방부를 덮는 고정판에 의해 고정될 수 있다.
바람직하게는, 상기 제1부재는 일단부가 상기 제2부재에 결합되는 제1부분과 일단부에 상기 프로브가 결합되는 제2부분으로 이루어지고, 상기 제1부분은 상기 제2부분에 대하여 제2부분의 길이방향 축을 중심으로 회전가능하게 구비될 수 있다.
바람직하게는, 상기 제1부분은 제2부분과의 대향면에 내측으로 일정깊이 절개형성되는 삽입홈이 구비되고, 상기 제2부분의 대향면에는 외측으로 일정길이 돌출되어 상기 삽입홈에 삽입되는 돌출부가 구비될 수 있다.
바람직하게는, 상기 제1부분의 일측에는 고정나사가 체결되는 조립공이 구비되고, 상기 조립공은 상기 삽입홈과 연통되도록 구비되어 상기 고정나사의 단부가 상기 삽입홈에 삽입된 돌출부의 일측을 구속함으로써 제2부분의 회전이 구속될 수 있다.
바람직하게는, 상기 제1부분의 대향면에는 테두리를 따라 등간격으로 이격배치되는 복수 개의 각도조절홈이 구비되고, 상기 제2부분의 대향면에는 상기 각도조절홈과 대응되는 위치에 적어도 하나의 융기부가 구비될 수 있다.
또한, 본 발명은 일정면적을 갖는 수평부와 상기 수평부의 일단에 상부로 일정길이 연장되는 수직부가 구비되는 지지프레임; 상기 수평부의 상부면에 설치되어 복수 개의 입자들로 이루어진 미세 시료가 놓여지는 스테이지; 프로브의 위치를 이동시켜 스테이지 상의 미세 시료로부터 단일 입자를 채취할 수 있도록 일측에 결합된 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항의 미세 시료용 프로브 고정홀더의 위치를 조정하는 조정부; 및 복수 개의 렌즈를 통하여 작업자가 상기 프로브의 위치를 확인하면서 미세 시료를 프로브에 부착시키고 프로브에 부착된 미세 시료의 부착상태를 확인할 수 있도록 상기 수직부의 일측에 결합되는 렌즈부;를 포함하는 미세 시료용 채취 장치를 제공한다.
바람직하게는, 상기 스테이지는 상기 수평부에 대하여 동일 평면상에서 X축과 Y축 방향으로 각각 이동가능하게 구비될 수 있다.
바람직하게는, 상기 조정부는 일측에 결합되는 상기 미세 시료용 프로브 고정홀더를 서로 직교하는 X축, Y축 및 Z축 방향으로 이동가능하게 구비될 수 있다.
본 발명에 의하면, 일단에 프로브가 결합되는 고정홀더의 길이 중간이 하방으로 일정각도 기울어지도록 구비함으로써 미세 시료의 단일 입자를 프로브에 빠르고 정확하게 부착할 수 있어 시료 채취 시간을 획기적으로 단축할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 고정홀더가 X축, Y축, Z축 방향으로 모두 이동되도록 구성함으로써 미세한 조정을 통하여 프로브에 미세 시료의 단일 입자를 정확하게 부착하고 렌즈부를 통하여 단일 입자의 부착상태를 곧바로 확인할 수 있어 정확성을 높일 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 미세 시료용 프로브 고정홀더를 나타낸 전체 사시도.
도 2는 도 1의 분리도.
도 3은 도 1에서 제1부분의 저면도.
도 4는 도 1에서 제1부재가 회전된 상태를 나타낸 도면.
도 5는 본 발명에 따른 미세 시료용 채취 장치를 나타낸 개략도.
도 6은 도 5의 평면도 및 측면도.
도 7은 도 5에서 스테이지를 나타낸 평면도 및 정면도.
도 8은 도 5에서 조정부를 나타낸 평면도 및 정면도.
도 9는 프로브에 미세 시료의 입자가 부착된 상태를 나타낸 비교사진으로서, a)는 단일 입자가 부착된 상태이고, b)는 복수 개의 입자가 부착된 상태.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 더욱 상세히 설명하기로 한다.
이하에서, 발명의 이해를 돕기 위해 도면부호를 부가함에 있어 동일한 구성요소에 대해서는 비록 다른 도면에 표시되었다 하더라도 동일한 도면부호를 사용하기로 한다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 미세 시료용 채취 장치(100)는 지지프레임(110), 조정부(130) 및 렌즈부(150)를 포함한다.
상기 지지프레임(110)은 상기 조정부(130) 및 렌즈부(150)를 지지하는 것으로, 일정면적을 갖는 수평부(112)와 상기 수평부(112)의 일단에 상부로 일정높이 연장되는 수직부(114)로 구성된다.
그리고, 상기 수평부(112)의 상부면에는 채취하고자하는 미세 시료가 놓여지는 스테이지(120)와 상기 조정부(130)가 배치된다. 이때, 상기 수평부(112)의 하부면에는 적어도 하나의 방진패드(116)가 추가적으로 구비되어 미세 시료의 채취 작업시 외부에서 전달되는 진동에 의해 상기 지지프레임(110)이 진동되는 것을 방지하여 채취 작업의 정확성을 높일 수 있도록 하는 것이 바람직하다.
한편, 상기 스테이지(120)는 상기 수평부(112)의 상부면에서 서로 직교하는 X축과 Y축 방향으로 각각 이동될 수 있도록 구비된다. 이를 위해, 상기 스테이지(120)의 하부측에는 일정면적을 갖는 제1고정판(121), 제1판(122) 및 제2판(123)이 배치된다. 구체적으로 설명하면, 상기 제1고정판(121)은 하부면이 상기 수평부(112)의 상부면에 고정설치되고, 상기 제1고정판(121)의 상부측에 제1조절레버(124)의 조작을 통해 X축방향으로 제1고정판(121)의 상부면에 대해서 슬라이딩 이동되는 제1판(122)이 배치되며, 제1판(122)의 상부측에 제2조절레버(125)의 조작을 통해 상기 X축과 직교하는 Y축 방향으로 제1판(122)의 상부면에 대해서 슬라이딩 이동되는 제2판(123)이 배치되며, 상기 제2판(123)의 상부면에 상기 스테이지(120)가 고정장착된다. 이에 따라, 상기 제1조절레버(124) 및 제2조절레버(125)의 조작을 통해 스테이지(120)가 X축과 Y축방향으로 각각 이동됨으로써 스테이지(120)의 이동과 함께 스테이지(120)의 상부면에 놓여진 미세 시료의 위치가 조정되어 상기 렌즈부(150)의 시야각 내로 미세 시료의 위치를 조정할 수 있게 된다.
상기 조정부(130)는 실험 또는 연구에 사용되는 미세 시료의 단일 입자를 프로브(160)를 통해 용이하게 채취할 수 있도록 하는 것으로, 일측에는 상기 프로브(160)가 결합된 고정홀더(140)가 결합된다. 이러한 조정부(130)는 서로 직교하는 X축, Y축 및 Z축 방향으로 상기 고정홀더(140)가 각각 이동될 수 있도록 구비되어 상기 프로브(160)의 위치를 미세하게 조정함으로써 스테이지(120) 상에 놓여진 미세 시료로부터 단일입자를 정확하고 빠르게 채취할 수 있도록 한다.
이를 위해, 상기 조정부(130)는 상기 수평부(112)의 상부면에 고정설치되는 제2고정판(131)과, 상기 제2고정판(131)의 상부면에 배치되어 제3조절레버(132)의 조작을 통해 X축방향으로 제2고정판(131)에 대해서 슬라이딩 이동되는 제3판(133)과, 상기 제3판(133)의 상부면에 배치되어 제4조절레버(134)의 조작을 통해 제3판(133)의 상부면에 대해서 슬라이딩 이동되는 제4판(135)을 포함한다. 그리고, 상기 제4판(135)의 상부면에는 일정높이를 갖는 연결프레임(136)이 고정결합되며, 연결프레임(136)의 일측에는 제5조절레버(137)의 조작을 통해 연결프레임(136)에 대해서 높이방향인 Z축방향으로 슬라이딩 이동되는 제5판(138)이 구비되며, 상기 제5판(138)의 일측에 상기 고정홀더(140)가 착탈가능하게 결합된다. 이에 따라, 상기 제3,4,5조절레버(132,134,137)의 조작을 통해 제5판(138)의 일측에 결합된 고정홀더(140)가 X축, Y축 및 Z축방향으로 각각 이동됨으로써 고정홀더(140)에 결합된 프로브(160)의 단부위치가 미세하게 조정된다. 이로 인해, 상기 프로브(160)를 통해 스테이지(120) 상에 놓여진 미세 시료로부터 단일입자를 정확하게 채취할 수 있게 된다.
여기서, 상기 고정홀더(140)는 미세 시료가 부착되는 프로브(160)를 고정하는 역할을 수행하는 것으로, 일단부가 상기 제5판(138)측에 결합되는 제2부재(142)와 상기 프로브(160)가 결합되는 제1부재(141)로 이루어지며, 상기 제1부재(141)가 제2부재(142)에 대하여 하방으로 일정각도 기울어지게 연결된다. 이에 따라, 상기 프로브(160)가 장착된 상태에서 고정홀더(140)가 제5판(138)측에 연결되면 상기 프로브(160)의 자유단부는 상대적으로 최저점에 놓이게 된다. 이로 인해, 상기 제5조절레버(137)의 조작을 통해 상기 고정홀더(140)가 하방으로 이동하게 되면 프로브(160)의 자유단부는 스테이지 상에 놓여진 미세 시료와 점접촉을 하게 되어 미세한 크기를 갖는 미세 시료의 단일 입자를 정확하게 채취할 수 있게 된다. 여기서, 상기 고정홀더(140)는 일측면에 내측으로 일정깊이 절개형성되는 결합공(139a)을 갖추고 제5판(138)에 고정결합되는 지지바(139)에 상기 제2부재(142)의 일단부에 돌출형성된 돌출부(142a)가 삽입됨으로써 상기 지지바(139)를 매개로 상기 제5판(138)측에 착탈가능하게 결합될 수 있다.
이때, 일단부가 서로 연결되는 제1부재(141)와 제2부재(142)는 힌지축(143)을 매개로 힌지연결됨으로써 제1부재(141)의 회전각도를 조정할 수 있도록 한다. 그리고, 상기 제1부재(141)의 하부면에는 내측으로 일정깊이 절개형성되는 안착홈(144)이 구비되어 상기 프로브(160)의 일단부가 삽입될 수 있도록 하고, 상기 안착홈(144)에 프로브(160)의 일단부가 삽입된 상태에서 안착홈(144)의 개방부를 덮는 덮개판(145)에 의해 상기 프로브(160)가 고정되도록 한다. 이에 따라, 상기 프로브(160)를 통해 미세 시료의 채취 작업이 끝나게 되면 상기 덮개판(145)을 제거하여 고정홀더(140)로부터 미세 시료가 채취된 프로브(160)만을 분리할 수 있도록 한다. 여기서, 상기 덮개판(145)은 볼트부재(146)를 통하여 상기 제1부재(141)의 하부면에 착탈가능하게 결합된다. 그리고 상기 프로브(160)는 미세 시료 입자를 부착하기 위하여 MEMS공정에 의해 제작되는 일반적인 것으로 상세한 설명은 생략하며, 끝단부에 일정높이 돌출형성되는 별도의 팁부(미도시)가 구비될 수도 있다.
한편, 상기 제1부재(141)는 일단부에 결합된 프로브(160)에 정확하게 미세 시료의 단일 입자가 부착되었는지를 상기 렌즈부(150)를 통해 용이하게 확인할 수 있도록 길이 중간이 길이방향에 대하여 회전가능하게 구비될 수 있다. 즉, 상기 제1부재(141)는 일단부가 상기 제2부재(142)에 힌지결합되는 제1부분(141a)과 일단부에 상기 프로브(160)가 결합되는 제2부분(141b)으로 이루어지고, 상기 제1부분(141a)은 상기 제2부분(141b)에 대하여 제2부분(141b)의 길이방향 축을 중심으로 회전가능하게 결합된다. 그리고, 상기 제1부분(141a)은 상기 제2부분(141b)의 대향면에 내측으로 일정깊이 절개형성되는 삽입홈(141c)이 구비되고 상기 제2부분(141b)의 대향면에는 외측으로 일정길이 돌출되어 상기 삽입홈(141c)에 삽입되는 돌출부(141d)가 마련된다. 더불어, 상기 제1부분(141a)의 일측에는 고정나사(147)가 체결될 수 있도록 조립공(141e)이 형성되며 상기 조립공(141e)은 상기 삽입홈(141c)과 연통되도록 형성된다. 이에 따라, 상기 제2부분(141b)의 돌출부(141d)를 상기 삽입홈(141c)에 삽입한 후 상기 조립공(141e)에 고정나사(147)를 체결하면 고정나사(147)의 단부가 상기 돌출부(141d)의 일측을 구속함으로써 제2부분(141b)이 삽입홈(141c)으로부터 이탈되는 것을 방지함과 동시에 제1부분(141a)에 대해서 회전되는 것을 구속하게 된다. 그리고, 상기 제2부분(141b)을 회전시키고자 하는 경우에는 상기 고정나사(147)를 풀어 제2부분(141b)을 회전시킨 후 다시 고정나사(147)를 조여줌으로써 상기 제2부분(141b)이 회전된 상태를 유지할 수 있도록 한다.
이때, 상기 제1부분(141a)과 제2부분(141b)의 대향면에는 서로 대응되는 각도조절홈(141f)과 융기부(141g)가 구비된다. 즉, 도 2에 도시된 바와 같이 상기 제1부분(141a)의 대향면에는 테두리를 따라 등간격으로 이격배치되는 복수 개의 각도조절홈(141f)이 일정깊이 절개형성되고, 상기 제2부분(141b)의 대향면에는 테두리를 따라 상기 각도조절홈(141f)과 대응되는 위치에 적어도 하나의 융기부(141g)가 돌출형성된다. 이에 따라, 작업자는 미세 시료가 프로브(160)에 부착된 상태를 확인하기 위하여 제2부분(141b)을 일정각도 회전시키는 경우 제2부분(141b)을 일정각도 회전시킨 후 상기 융기부(141g)가 각도조절홈(141f)에 삽입되도록 함으로써 고정나사(147)를 조이는 과정에서 제2부분(141b)의 회전각도가 틀어지는 것을 방지하게 된다.
상기 렌즈부(150)는 복수 개의 렌즈(152,154)를 통하여 작업자가 상기 프로브(160)의 위치를 확인하면서 미세 시료를 프로브(160)에 부착시키고 프로브(160)에 부착된 미세 시료의 부착상태를 간편하게 확인할 수 있도록 하기 위한 것이다. 이러한 렌즈부(150)는 대물렌즈(152)와 접안렌즈(154)를 갖추고 회전레버(156)를 통해 높이가 조절되는 통상적인 현미경으로 구비되는 것으로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
본 발명에 의하면, 일단에 프로브가 결합되는 고정홀더의 길이 중간이 하방으로 일정각도 기울어지도록 구비함으로써 미세 시료의 단일 입자를 프로브에 빠르고 정확하게 부착할 수 있어 시료 채취 시간을 획기적으로 단축할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 고정홀더가 조정부를 통하여 X축, Y축, Z축 방향으로 모두 이동되도록 구성함으로써 미세한 조정을 통하여 프로브에 미세 시료의 단일 입자를 정확하게 부착하고 렌즈부를 통하여 단일 입자의 부착상태를 곧바로 확인할 수 있어 정확성을 높일 수 있는 효과가 있다.
상기에서 본 발명의 특정 실시예와 관련하여 도면을 참조하여 상세히 설명하였지만, 본 발명을 이와 같은 특정 구조에 한정하는 것은 아니다. 당 업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 기술적 사상을 벗어나지 않고서도 용이하게 수정 또는 변경할 수 있을 것이다. 그러나 이러한 단순한 설계변형 또는 수정을 통한 등가물, 변형물 및 교체물은 모두 명백하게 본 발명의 권리범위 내에 속함을 미리 밝혀둔다.

100 : 미세 시료용 채취 장치 110 : 지지프레임
112 : 수평부 114 : 수직부
116 : 방진패드 120 : 스테이지
121 : 제1고정판 122 : 제1판
123 : 제2판 124 : 제1조절레버
125 : 제2조절레버 130 : 조정부
131 : 제2고정판 132 : 제3조절레버
133 : 제3판 134 : 제4조절레버
135 : 제4판 136 : 연결프레임
137 : 제5조절레버 138 : 제5판
139 : 지지바 139a : 결합공
140 : 미세 시료용 프로브 고정홀더 141 : 제1부재
141a : 제1부분 141b : 제2부분
141c : 삽입홈 141d : 돌출부
141e : 조립공 141f : 각도조절홈
141g : 융기부 142 : 제2부재
142a : 돌출부 143 : 힌지축
144 : 안착홈 145 : 덮개판
146 : 볼트부재 147 : 고정나사
150 : 렌즈부 152 : 대물렌즈
154 : 접안렌즈 156 : 회전레버
160 : 프로브

Claims (10)

  1. 일정길이를 갖추고 미세 시료가 부착되는 프로브;
    일측에 상기 프로브가 착탈가능하게 결합되는 제1부재; 및
    상기 제1부재의 일단부에 연결되는 제2부재;을 포함하고,
    상기 제1부재는 일단부가 상기 제2부재에 결합되는 제1부분과 일단부에 상기 프로브가 결합되는 제2부분으로 이루어지고, 상기 제1부분은 상기 제2부분에 대하여 제2부분의 길이방향 축을 중심으로 회전가능하게 구비되고,
    상기 제1부분은 제2부분과의 대향면에 내측으로 일정깊이 절개형성되는 삽입홈이 구비되고, 상기 제2부분의 대향면에는 외측으로 일정길이 돌출되어 상기 삽입홈에 삽입되는 돌출부가 구비되며,
    상기 제1부분의 일측에는 고정나사가 체결되는 조립공이 구비되고, 상기 조립공은 상기 삽입홈과 연통되도록 구비되어 상기 고정나사의 단부가 상기 삽입홈에 삽입된 돌출부의 일측을 구속함으로써 제2부분의 회전이 구속되며,
    상기 제1부재는 제2부재에 대하여 일정각도 하방으로 기울어지게 연결되는 것을 특징으로 하는 미세 시료용 프로브 고정홀더.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 제1부재는 일단부가 힌지축을 매개로 상기 제2부재에 대해서 회전가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 미세 시료용 프로브 고정홀더.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 제1부재의 하부면에는 상기 프로브의 일단부가 삽입될 수 있도록 내측으로 일정깊이 절개형성되는 안착홈이 구비되고, 상기 안착홈에 프로브의 일단부가 삽입된 상태에서 안착홈의 개방부를 덮는 고정판에 의해 고정되는 것을 특징으로 하는 미세 시료용 프로브 고정홀더.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 제1부분의 대향면에는 테두리를 따라 등간격으로 이격배치되는 복수 개의 각도조절홈이 구비되고, 상기 제2부분의 대향면에는 상기 각도조절홈과 대응되는 위치에 적어도 하나의 융기부가 구비되는 것을 특징으로 하는 미세 시료용 프로브 고정홀더.
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 일정면적을 갖는 수평부와 상기 수평부의 일단에 상부로 일정길이 연장되는 수직부가 구비되는 지지프레임;
    상기 수평부의 상부면에 설치되어 복수 개의 입자들로 이루어진 미세 시료가 놓여지는 스테이지;
    프로브의 위치를 이동시켜 스테이지 상의 미세 시료로부터 단일 입자를 채취할 수 있도록 일측에 결합된 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항의 미세 시료용 프로브 고정홀더의 위치를 조정하는 조정부; 및
    복수 개의 렌즈를 통하여 작업자가 상기 프로브의 위치를 확인하면서 미세 시료를 프로브에 부착시키고 프로브에 부착된 미세 시료의 부착상태를 확인할 수 있도록 상기 수직부의 일측에 결합되는 렌즈부;를 포함하는 미세 시료용 채취 장치.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 스테이지는 상기 수평부에 대하여 동일 평면상에서 X축과 Y축 방향으로 각각 이동가능하게 구비되는 것을 특징으로 하는 미세 시료용 채취 장치.
  10. 제 8항에 있어서,
    상기 조정부는 일측에 결합되는 상기 미세 시료용 프로브 고정홀더를 서로 직교하는 X축, Y축 및 Z축 방향으로 이동가능하게 구비되는 것을 특징으로 하는 미세 시료용 채취 장치.
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