JPH0621543A - ガスレ−ザ装置 - Google Patents
ガスレ−ザ装置Info
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- JPH0621543A JPH0621543A JP17844992A JP17844992A JPH0621543A JP H0621543 A JPH0621543 A JP H0621543A JP 17844992 A JP17844992 A JP 17844992A JP 17844992 A JP17844992 A JP 17844992A JP H0621543 A JPH0621543 A JP H0621543A
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- gas laser
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Abstract
(57)【要約】
【目的】この発明は送風ファンを回転自在に支持した軸
受で発生する物質がレ−ザ容器内を循環するガスレ−ザ
媒質に混入するのを防止したガスレ−ザ装置を提供する
ことにある。 【構成】ガスレ−ザ媒質が封入されたレ−ザ容器１と、
このレ−ザ容器内に軸受９を介して回転自在に設けられ
た送風ファン７と、上記軸受を非気密状態で覆ったケ−
シング２１と、このケ−シングに一端が連通し他端が上
記レ−ザ容器の内部に連通しているとともに中途部に上
記送風ファンの回転にともない上記軸受で発生する物質
を除去するトラップ２３が設けられたガス浄化管２２
と、このガス浄化管にその一端から他端に向かって上記
ガスレ−ザ媒質の一部を循環させる循環ポンプ２４とを
具備したことを特徴とする。
受で発生する物質がレ−ザ容器内を循環するガスレ−ザ
媒質に混入するのを防止したガスレ−ザ装置を提供する
ことにある。 【構成】ガスレ−ザ媒質が封入されたレ−ザ容器１と、
このレ−ザ容器内に軸受９を介して回転自在に設けられ
た送風ファン７と、上記軸受を非気密状態で覆ったケ−
シング２１と、このケ−シングに一端が連通し他端が上
記レ−ザ容器の内部に連通しているとともに中途部に上
記送風ファンの回転にともない上記軸受で発生する物質
を除去するトラップ２３が設けられたガス浄化管２２
と、このガス浄化管にその一端から他端に向かって上記
ガスレ−ザ媒質の一部を循環させる循環ポンプ２４とを
具備したことを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はガスレ−ザ媒質を放電
励起してレ−ザ光を発生させるガスレ−ザ装置に関す
る。
励起してレ−ザ光を発生させるガスレ−ザ装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】たとえばエキシマレ−ザやＣＯ2 レ−ザ
などのガスレ−ザ装置においては、レ−ザ出力の向上を
計るために、レ−ザ容器内に封入されたガスレ−ザ媒質
を強制的に循環させるということが行われている。
などのガスレ−ザ装置においては、レ−ザ出力の向上を
計るために、レ−ザ容器内に封入されたガスレ−ザ媒質
を強制的に循環させるということが行われている。
【０００３】図３はガスレ−ザ媒質を強制的に循環させ
るようにした従来のガスレ−ザ装置を示す。すなわち、
同図中１は内部にガスレ−ザ媒質が封入された気密構造
のレ−ザ容器である。このレ−ザ容器１内には一対の電
極２が離間対向して配設されている。
るようにした従来のガスレ−ザ装置を示す。すなわち、
同図中１は内部にガスレ−ザ媒質が封入された気密構造
のレ−ザ容器である。このレ−ザ容器１内には一対の電
極２が離間対向して配設されている。
【０００４】上記レ−ザ容器１の、上記電極２の長手方
向一端側と他端側とに対向する部分には、それぞれ窓３
が気密に設けられている。一方の窓３と対向する部位に
は高反射ミラ−４が配置され、他方の窓３と対向する部
位には、上記高反射ミラ−４とで光共振器を構成する出
力ミラ−５が配置されている。
向一端側と他端側とに対向する部分には、それぞれ窓３
が気密に設けられている。一方の窓３と対向する部位に
は高反射ミラ−４が配置され、他方の窓３と対向する部
位には、上記高反射ミラ−４とで光共振器を構成する出
力ミラ−５が配置されている。
【０００５】上記一対の電極２は、図示しない高圧電源
に接続されている。これら電極２間に高電圧が印加され
ると、放電が発生する。それによって、一対の電極２間
の放電空間部６においてガスレ−ザ媒質が放電励起され
てレ−ザ光が発生する。上記放電空間部６で発生したレ
−ザ光は上記高反射ミラ−４と出力ミラ−５との間で増
幅され、上記出力ミラ−５側から発振出力される。
に接続されている。これら電極２間に高電圧が印加され
ると、放電が発生する。それによって、一対の電極２間
の放電空間部６においてガスレ−ザ媒質が放電励起され
てレ−ザ光が発生する。上記放電空間部６で発生したレ
−ザ光は上記高反射ミラ−４と出力ミラ−５との間で増
幅され、上記出力ミラ−５側から発振出力される。
【０００６】上記レ−ザ容器１内には送風ファン７が設
けられている。この送風ファン７の両端には支軸８が突
設されている。各支軸８はそれぞれ軸受９に回転自在に
支持されている。一方の支軸８は上記レ−ザ容器１の側
壁に、このレ−ザ容器１の気密を損なうことなく設けら
れた磁気カップリング１１を介してレ−ザ容器１の外部
に配設されたモ−タ１２の回転軸１３に連結されてい
る。
けられている。この送風ファン７の両端には支軸８が突
設されている。各支軸８はそれぞれ軸受９に回転自在に
支持されている。一方の支軸８は上記レ−ザ容器１の側
壁に、このレ−ザ容器１の気密を損なうことなく設けら
れた磁気カップリング１１を介してレ−ザ容器１の外部
に配設されたモ−タ１２の回転軸１３に連結されてい
る。
【０００７】上記モ−タ１２が作動して上記送風ファン
７が回転駆動されれば、上記レ−ザ容器１内でガスレ−
ザ媒質が循環させられる。それによって、上記一対の電
極２間の放電空間部６には、放電によって生じた不純物
を含むガスレ−ザ媒質が新鮮なガスレ−ザ媒質に置換さ
れるから、一対の電極２間での放電が安定して点弧さ
れ、レ−ザ出力の低下を招くのが防止されるようになっ
ている。
７が回転駆動されれば、上記レ−ザ容器１内でガスレ−
ザ媒質が循環させられる。それによって、上記一対の電
極２間の放電空間部６には、放電によって生じた不純物
を含むガスレ−ザ媒質が新鮮なガスレ−ザ媒質に置換さ
れるから、一対の電極２間での放電が安定して点弧さ
れ、レ−ザ出力の低下を招くのが防止されるようになっ
ている。
【０００８】ところで、このような構成のガスレ−ザ装
置において、高繰返し運転を行うには、上記放電空間部
６において、先の放電によって生成された不純物をつぎ
の放電が点弧されるまでに除去するために、ガスレ−ザ
媒質を数１０ｍ／ｓの高速度で流すことが要求される。
そのためには、上記送風ファン７を3000〜4000rev ／mi
n で回転させなければならない。送風ファン７を高速で
回転させるためには、この送風ファン７の支軸８を回転
自在に支持した軸受９に潤滑油を供給する必要がある。
したがって、上記軸受９には通常、グリ−スが封入され
ている。
置において、高繰返し運転を行うには、上記放電空間部
６において、先の放電によって生成された不純物をつぎ
の放電が点弧されるまでに除去するために、ガスレ−ザ
媒質を数１０ｍ／ｓの高速度で流すことが要求される。
そのためには、上記送風ファン７を3000〜4000rev ／mi
n で回転させなければならない。送風ファン７を高速で
回転させるためには、この送風ファン７の支軸８を回転
自在に支持した軸受９に潤滑油を供給する必要がある。
したがって、上記軸受９には通常、グリ−スが封入され
ている。
【０００９】しかしながら、送風ファン７を高速で回転
させ続けると、上記軸受９やグリ−スの温度が上昇する
から、グリ−スの成分が蒸発し、ガスレ−ザ媒質に混入
する。不純物が混入したガスレ−ザ媒質が一対の電極２
間の放電空間部６に供給されると、これら電極２間に点
弧される放電が不安定となる。そのため、ガスレ−ザ媒
質を高速度で循環させても、安定した放電が得られず、
レ−ザ出力の低下を招くということがある。
させ続けると、上記軸受９やグリ−スの温度が上昇する
から、グリ−スの成分が蒸発し、ガスレ−ザ媒質に混入
する。不純物が混入したガスレ−ザ媒質が一対の電極２
間の放電空間部６に供給されると、これら電極２間に点
弧される放電が不安定となる。そのため、ガスレ−ザ媒
質を高速度で循環させても、安定した放電が得られず、
レ−ザ出力の低下を招くということがある。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】このように、従来は高
繰返し運転によってレ−ザ出力を高めるため、ガスレ−
ザ媒質を高速度で循環させるようにすると、送風ファン
を支持した軸受から発生する物質がガスレ−ザ媒質に混
入するため、電極間での放電が不安定となってレ−ザ出
力の低下を招くということがあった。
繰返し運転によってレ−ザ出力を高めるため、ガスレ−
ザ媒質を高速度で循環させるようにすると、送風ファン
を支持した軸受から発生する物質がガスレ−ザ媒質に混
入するため、電極間での放電が不安定となってレ−ザ出
力の低下を招くということがあった。
【００１１】この発明は上記事情に基づきなされたもの
で、その目的とするところは、軸受で発生する物質がガ
スレ−ザ媒質に混入するのを防止することができるよう
にしたガスレ−ザ装置を提供することにある。
で、その目的とするところは、軸受で発生する物質がガ
スレ−ザ媒質に混入するのを防止することができるよう
にしたガスレ−ザ装置を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
にこの発明は、ガスレ−ザ媒質を放電励起してレ−ザ光
を発生させるガスレ−ザ装置において、上記ガスレ−ザ
媒質が封入されたレ−ザ容器と、このレ−ザ容器内に軸
受を介して回転自在に設けられた送風ファンと、上記軸
受を非気密状態で覆ったケ−シングと、このケ−シング
に一端が連通し他端が上記レ−ザ容器の内部に連通して
いるとともに中途部に上記送風ファンの回転にともない
上記軸受で発生する物質を除去する浄化部が設けられた
ガス浄化管と、このガス浄化管にその一端から他端に向
かって上記ガスレ−ザ媒質の一部をを循環させる循環手
段とを具備したことを特徴とする。
にこの発明は、ガスレ−ザ媒質を放電励起してレ−ザ光
を発生させるガスレ−ザ装置において、上記ガスレ−ザ
媒質が封入されたレ−ザ容器と、このレ−ザ容器内に軸
受を介して回転自在に設けられた送風ファンと、上記軸
受を非気密状態で覆ったケ−シングと、このケ−シング
に一端が連通し他端が上記レ−ザ容器の内部に連通して
いるとともに中途部に上記送風ファンの回転にともない
上記軸受で発生する物質を除去する浄化部が設けられた
ガス浄化管と、このガス浄化管にその一端から他端に向
かって上記ガスレ−ザ媒質の一部をを循環させる循環手
段とを具備したことを特徴とする。
【００１３】
【作用】上記構成によれば、軸受で発生した物質はガス
レ−ザ媒質の一部とともにガス浄化管に流れて除去さ
れ、レ−ザ容器内を循環することがないから、高繰返し
運転が可能となり、レ−ザ出力を高めることができる。
レ−ザ媒質の一部とともにガス浄化管に流れて除去さ
れ、レ−ザ容器内を循環することがないから、高繰返し
運転が可能となり、レ−ザ出力を高めることができる。
【００１４】
【実施例】以下、この発明の一実施例を図１を参照して
説明する。なお、図３に示す構成と同一部分には同一記
号を付して説明を省略する。
説明する。なお、図３に示す構成と同一部分には同一記
号を付して説明を省略する。
【００１５】この発明のガスレ−ザ装置は、支軸８を支
持した一対の軸受９がそれぞれケ−シング２１によって
覆われている。このケ−シング２１は上記支軸８の外周
面と対応する部分が非接触状態となっている。つまり、
ケ−シング２１は上記軸受８を非気密状態で覆ってい
る。
持した一対の軸受９がそれぞれケ−シング２１によって
覆われている。このケ−シング２１は上記支軸８の外周
面と対応する部分が非接触状態となっている。つまり、
ケ−シング２１は上記軸受８を非気密状態で覆ってい
る。
【００１６】上記各ケ−シング２１には、レ−ザ容器１
の外部に配置されたガス浄化管２２の一端から分岐され
た２本の分岐管２２ａがそれぞれ接続されている。上記
ガス浄化管２２の他端は上記レ−ザ容器１の一端面に接
続され、中途部には上記軸受９で発生するオイルミスト
を除去する浄化部としてのオイルミストトラップ２３
と、上記ガス浄化管２２に矢印で示す方向の流れを生じ
させる循環ポンプ２４とが設けられている。すなわち、
上記循環ポンプ２４が作動することで、レ−ザ容器１内
のガスレ−ザ媒質の一部が一対のケ−シング２１内から
分岐管２２ａを介してガス浄化管２２に吸引される。そ
して、上記オイルミストトラップ２３および循環ポンプ
２４を通って上記レ−ザ容器１内へ戻る経路で循環す
る。
の外部に配置されたガス浄化管２２の一端から分岐され
た２本の分岐管２２ａがそれぞれ接続されている。上記
ガス浄化管２２の他端は上記レ−ザ容器１の一端面に接
続され、中途部には上記軸受９で発生するオイルミスト
を除去する浄化部としてのオイルミストトラップ２３
と、上記ガス浄化管２２に矢印で示す方向の流れを生じ
させる循環ポンプ２４とが設けられている。すなわち、
上記循環ポンプ２４が作動することで、レ−ザ容器１内
のガスレ−ザ媒質の一部が一対のケ−シング２１内から
分岐管２２ａを介してガス浄化管２２に吸引される。そ
して、上記オイルミストトラップ２３および循環ポンプ
２４を通って上記レ−ザ容器１内へ戻る経路で循環す
る。
【００１７】このような構成のガスレ−ザ装置によれ
ば、高繰返し運転をしてレ−ザ出力を高めるために、送
風ファン７を高速で回転させると、この送風ファン７の
支軸８を支持した軸受９の部分の温度が上昇する。それ
によって、上記軸受９の部分に供給されたグリ−スが蒸
発してオイルミストが発生する。上記軸受９から発生し
たオイルミストは、その軸受９がケ−シング２１によっ
て覆われているから、レ−ザ容器１内のガスレ−ザ媒質
に混入することがない。
ば、高繰返し運転をしてレ−ザ出力を高めるために、送
風ファン７を高速で回転させると、この送風ファン７の
支軸８を支持した軸受９の部分の温度が上昇する。それ
によって、上記軸受９の部分に供給されたグリ−スが蒸
発してオイルミストが発生する。上記軸受９から発生し
たオイルミストは、その軸受９がケ−シング２１によっ
て覆われているから、レ−ザ容器１内のガスレ−ザ媒質
に混入することがない。
【００１８】一方、上記循環ポンプ２４が作動すること
で、上記ケ−シング２１の内部は負圧に吸引される。そ
れによって、ケ−シング２１の内部には、レ−ザ容器１
内のガスレ−ザ媒質の一部が流入し、オイルミストとと
もに分岐管２２ａからガス浄化管２２へと流れる。ガス
浄化管２２へ流れたオイルミストを含むガスレ−ザ媒質
は、オイルミストトラップ２３を通ることで、オイルミ
ストが除去されて浄化されたのち、循環ポンプ２４の吐
出側からレ−ザ容器１内へ戻される。
で、上記ケ−シング２１の内部は負圧に吸引される。そ
れによって、ケ−シング２１の内部には、レ−ザ容器１
内のガスレ−ザ媒質の一部が流入し、オイルミストとと
もに分岐管２２ａからガス浄化管２２へと流れる。ガス
浄化管２２へ流れたオイルミストを含むガスレ−ザ媒質
は、オイルミストトラップ２３を通ることで、オイルミ
ストが除去されて浄化されたのち、循環ポンプ２４の吐
出側からレ−ザ容器１内へ戻される。
【００１９】したがって、送風ファン７を高速回転させ
ることで軸受９からオイルミストが発生しても、そのオ
イルミストがレ−ザ容器１内のガスレ−ザ媒質に混入す
ることがないから、一対の電極２間の放電が不安定とな
ってレ−ザ出力が低下するのを防止できる。
ることで軸受９からオイルミストが発生しても、そのオ
イルミストがレ−ザ容器１内のガスレ−ザ媒質に混入す
ることがないから、一対の電極２間の放電が不安定とな
ってレ−ザ出力が低下するのを防止できる。
【００２０】なお、上記一実施例ではガス浄化管２２の
中途部に、循環手段としての循環ポンプ２４を設けた
が、図２に示すように、支軸８のケ−シング２１によっ
て覆われる部分の外周面に循環ポンプ２４´を形成する
複数の羽根３１を設けるようにしてもよい。
中途部に、循環手段としての循環ポンプ２４を設けた
が、図２に示すように、支軸８のケ−シング２１によっ
て覆われる部分の外周面に循環ポンプ２４´を形成する
複数の羽根３１を設けるようにしてもよい。
【００２１】
【発明の効果】以上述べたようにこの発明は、レ−ザ容
器内に設けられる送風ファンを回転自在に支持した軸受
をケ−シングで覆い、このケ−シングにガス浄化管の一
端を接続し、他端を上記レ−ザ容器に接続するととも
に、中途部に上記軸受で発生する物質を除去する浄化部
を設け、上記ガス浄化管にその一端から他端に向かって
上記ガスレ−ザ媒質の一部を循環させるようにした。
器内に設けられる送風ファンを回転自在に支持した軸受
をケ−シングで覆い、このケ−シングにガス浄化管の一
端を接続し、他端を上記レ−ザ容器に接続するととも
に、中途部に上記軸受で発生する物質を除去する浄化部
を設け、上記ガス浄化管にその一端から他端に向かって
上記ガスレ−ザ媒質の一部を循環させるようにした。
【００２２】そのため、送風ファンを高速で回転させる
ことで、上記軸受で不純物が発生しても、その物質がが
レ−ザ容器内を循環するガスレ−ザ媒質に混入すること
がないから、高繰り返し運転時に、上記物質によって放
電が不安定となって、レ−ザ出力が低下するのを防止す
ることができる。
ことで、上記軸受で不純物が発生しても、その物質がが
レ−ザ容器内を循環するガスレ−ザ媒質に混入すること
がないから、高繰り返し運転時に、上記物質によって放
電が不安定となって、レ−ザ出力が低下するのを防止す
ることができる。
【図１】この発明の一実施例のガスレ−ザ装置を示す全
体の構成図。
体の構成図。
【図２】この発明の他の実施例を示す循環ポンプの一部
の拡大図。
の拡大図。
【図３】従来のガスレ−ザ装置の構成図。
１…レ−ザ容器、７…送風ファン、９…軸受、２１…ケ
−シング、２２…ガス浄化管、２３…オイルミストトラ
ップ（浄化部）、２４…循環ポンプ。
−シング、２２…ガス浄化管、２３…オイルミストトラ
ップ（浄化部）、２４…循環ポンプ。
Claims (1)
- 【請求項１】 ガスレ−ザ媒質を放電励起してレ−ザ光
を発生させるガスレ−ザ装置において、上記ガスレ−ザ
媒質が封入されたレ−ザ容器と、このレ−ザ容器内に軸
受を介して回転自在に設けられた送風ファンと、上記軸
受を非気密状態で覆ったケ−シングと、このケ−シング
に一端が連通し他端が上記レ−ザ容器の内部に連通して
いるとともに中途部に上記送風ファンの回転にともない
上記軸受で発生する物質を除去する浄化部が設けられた
ガス浄化管と、このガス浄化管にその一端から他端に向
かって上記ガスレ−ザ媒質の一部を循環させる循環手段
とを具備したことを特徴とするガスレ−ザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17844992A JPH0621543A (ja) | 1992-07-06 | 1992-07-06 | ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17844992A JPH0621543A (ja) | 1992-07-06 | 1992-07-06 | ガスレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0621543A true JPH0621543A (ja) | 1994-01-28 |
Family
ID=16048718
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17844992A Pending JPH0621543A (ja) | 1992-07-06 | 1992-07-06 | ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0621543A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000033431A1 (fr) * | 1998-11-30 | 2000-06-08 | Ebara Corporation | Laser excimere a excitation de decharge electrique |
| EP1108275A1 (en) * | 1998-08-28 | 2001-06-20 | Cymer, Inc. | Tangential fan with cutoff assembly and vibration control for electric discharge laser |
| US7321607B2 (en) | 2005-11-01 | 2008-01-22 | Cymer, Inc. | External optics and chamber support system |
| US7706424B2 (en) | 2005-09-29 | 2010-04-27 | Cymer, Inc. | Gas discharge laser system electrodes and power supply for delivering electrical energy to same |
| US8379687B2 (en) | 2005-06-30 | 2013-02-19 | Cymer, Inc. | Gas discharge laser line narrowing module |
-
1992
- 1992-07-06 JP JP17844992A patent/JPH0621543A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1108275A1 (en) * | 1998-08-28 | 2001-06-20 | Cymer, Inc. | Tangential fan with cutoff assembly and vibration control for electric discharge laser |
| EP1108275A4 (en) * | 1998-08-28 | 2006-03-01 | Cymer Inc | TANGENTIAL FAN WITH CUTTING DEVICE AND VIBRATION CHECK FOR ELECTRICAL DISCHARGE LASER |
| WO2000033431A1 (fr) * | 1998-11-30 | 2000-06-08 | Ebara Corporation | Laser excimere a excitation de decharge electrique |
| US6539043B1 (en) | 1998-11-30 | 2003-03-25 | Ebara Corporation | Discharge-pumped excimer laser device |
| US8379687B2 (en) | 2005-06-30 | 2013-02-19 | Cymer, Inc. | Gas discharge laser line narrowing module |
| US7706424B2 (en) | 2005-09-29 | 2010-04-27 | Cymer, Inc. | Gas discharge laser system electrodes and power supply for delivering electrical energy to same |
| US7321607B2 (en) | 2005-11-01 | 2008-01-22 | Cymer, Inc. | External optics and chamber support system |
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