JP2606657B2 - 放電励起エキシマレーザ装置 - Google Patents
放電励起エキシマレーザ装置Info
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- JP2606657B2 JP2606657B2 JP5280979A JP28097993A JP2606657B2 JP 2606657 B2 JP2606657 B2 JP 2606657B2 JP 5280979 A JP5280979 A JP 5280979A JP 28097993 A JP28097993 A JP 28097993A JP 2606657 B2 JP2606657 B2 JP 2606657B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、放電励起エキシマレー
ザ装置に関する。
ザ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】放電励起エキシマレーザの長寿命化の課
題の一つとして、放電により発生するダストがベアリン
グ内に混入することによるベアリングの劣化がある。従
来、これを防ぐために、電気集塵器等のダスト除去部に
よりクリーンにしたレーザガスをベアリングへ吹き付け
ることにより、ベアリングの劣化を抑制していた。従来
の放電励起エキシマレーザ装置については、米国特許５
０２７３６６に詳細に記述されている。従来の放電励起
エキシマレーザ装置の断面図を図５に示す。パルスガス
レーザとしてのこの放電励起エキシマレーザ装置は、レ
ーザ管２１、対向する一対のレーザミラー２、絶縁体２
３、放電電極２４、レーザファン２５、フランジ２６、
シャフト２７、ベアリング２８、ガス流路２９、電気集
塵器３０を有しており図示のごとく配置している。この
放電励起エキシマレーザ装置は、レーザファン２５によ
り、放電によりしたダストを含むレーザガスを電気集塵
器３０に導入し、クリーンにしたレーザガスをガス流路
２９を通してベアリング２８に吹き付けることにより、
ベアリング２８へのダストの混入を防ぎ、かつベアリン
グ２８自体の劣化も抑制していた。
題の一つとして、放電により発生するダストがベアリン
グ内に混入することによるベアリングの劣化がある。従
来、これを防ぐために、電気集塵器等のダスト除去部に
よりクリーンにしたレーザガスをベアリングへ吹き付け
ることにより、ベアリングの劣化を抑制していた。従来
の放電励起エキシマレーザ装置については、米国特許５
０２７３６６に詳細に記述されている。従来の放電励起
エキシマレーザ装置の断面図を図５に示す。パルスガス
レーザとしてのこの放電励起エキシマレーザ装置は、レ
ーザ管２１、対向する一対のレーザミラー２、絶縁体２
３、放電電極２４、レーザファン２５、フランジ２６、
シャフト２７、ベアリング２８、ガス流路２９、電気集
塵器３０を有しており図示のごとく配置している。この
放電励起エキシマレーザ装置は、レーザファン２５によ
り、放電によりしたダストを含むレーザガスを電気集塵
器３０に導入し、クリーンにしたレーザガスをガス流路
２９を通してベアリング２８に吹き付けることにより、
ベアリング２８へのダストの混入を防ぎ、かつベアリン
グ２８自体の劣化も抑制していた。
【０００３】他にダストを除去する装置が、特開平３−
１２９７９０号公報や特開昭６３−７６８２号公報に記
載されている。
１２９７９０号公報や特開昭６３−７６８２号公報に記
載されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この従来の放電励起エ
キシマレーザ装置においては、電気集塵器等の特別な装
置と、ガス流路とを必要とするため、装置が複雑化する
とともにコストの上昇を招くという欠点がある。
キシマレーザ装置においては、電気集塵器等の特別な装
置と、ガス流路とを必要とするため、装置が複雑化する
とともにコストの上昇を招くという欠点がある。
【０００５】本発明の目的は上述した欠点を解決し、装
置の複雑化を招くことなく、ベアリング部へのダストの
混入を防ぐことができる放電励起エキシマレーザ装置を
提供することにある。
置の複雑化を招くことなく、ベアリング部へのダストの
混入を防ぐことができる放電励起エキシマレーザ装置を
提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の第一の構成の放
電励起エキシマレーザ装置は、レーザ光を取り出すため
のレーザミラーと、レーザガスを封入するレーザ管及び
絶縁体と、光の誘導放出を可能にする放電を確保するた
めの放電電極と、前記放電電極間に高速のガス流を作り
出すためのレーザファンと、前記レーザファンを支持す
るためのベアリング部と、前記レーザファンを回転させ
るためのモータ及びカップリング部とを含んで成る放電
励起エキシマレーザ装置において、前記ベアリング部が
前記レーザファンのシャフトを支持するベアリングと前
記ベアリングを支持するためのハウジングとにより構成
され、前記ハウジングにはフィルタを備えたガス導入口
が設けられ、前記ガス導入口を通して前記ハウジング内
部から外部へのレーザガスの流れを形成するために、前
記ベアリング部側からみて前記レーザファンの回転方向
と逆向きの螺旋状の溝を表面に形成したガス排出部が前
記レーザファンと前記ベアリングの間のシャフトに配置
されたことを特徴とする。
電励起エキシマレーザ装置は、レーザ光を取り出すため
のレーザミラーと、レーザガスを封入するレーザ管及び
絶縁体と、光の誘導放出を可能にする放電を確保するた
めの放電電極と、前記放電電極間に高速のガス流を作り
出すためのレーザファンと、前記レーザファンを支持す
るためのベアリング部と、前記レーザファンを回転させ
るためのモータ及びカップリング部とを含んで成る放電
励起エキシマレーザ装置において、前記ベアリング部が
前記レーザファンのシャフトを支持するベアリングと前
記ベアリングを支持するためのハウジングとにより構成
され、前記ハウジングにはフィルタを備えたガス導入口
が設けられ、前記ガス導入口を通して前記ハウジング内
部から外部へのレーザガスの流れを形成するために、前
記ベアリング部側からみて前記レーザファンの回転方向
と逆向きの螺旋状の溝を表面に形成したガス排出部が前
記レーザファンと前記ベアリングの間のシャフトに配置
されたことを特徴とする。
【０００７】本発明の第二の構成の放電励起エキシマレ
ーザ装置は、レーザ光を取り出すためのレーザミラー
と、レーザガスを封入するレーザ管及び絶縁体と、光の
誘導放出を可能にする放電を確保するための放電電極
と、前記放電電極間に高速のガス流を作り出すためのレ
ーザファンと、前記レーザファンを支持するためのベア
リング部と、前記レーザファンを回転させるためのモー
タ及びカップリング部とを含んで成る放電励起エキシマ
レーザ装置において、前記ベアリング部が前記レーザフ
ァンのシャフトを支持するベアリングと前記ベアリング
を支持するためのハウジングとにより構成され、前記ハ
ウジングにはフィルターを備えたガス導入口が設けら
れ、前記ガス導入口を通して前記ハウジング内部から外
部へ流れるレーザガスを形成するために前記レーザファ
ンの両側の一部に軸流ファン部を形成したことを特徴と
する。
ーザ装置は、レーザ光を取り出すためのレーザミラー
と、レーザガスを封入するレーザ管及び絶縁体と、光の
誘導放出を可能にする放電を確保するための放電電極
と、前記放電電極間に高速のガス流を作り出すためのレ
ーザファンと、前記レーザファンを支持するためのベア
リング部と、前記レーザファンを回転させるためのモー
タ及びカップリング部とを含んで成る放電励起エキシマ
レーザ装置において、前記ベアリング部が前記レーザフ
ァンのシャフトを支持するベアリングと前記ベアリング
を支持するためのハウジングとにより構成され、前記ハ
ウジングにはフィルターを備えたガス導入口が設けら
れ、前記ガス導入口を通して前記ハウジング内部から外
部へ流れるレーザガスを形成するために前記レーザファ
ンの両側の一部に軸流ファン部を形成したことを特徴と
する。
【０００８】
【作用】本発明の第一の構成の放電励起エキシマレーザ
装置においては、ベアリング部に螺旋状の溝を形成した
ガス排出部を設けたことにより、フィルターを通してク
リーンなガスによりベアリング内部を満たすことが可能
となり、複雑な装置を必要とすることなく、放電により
発生するダストの混入を抑制することが出来る。
装置においては、ベアリング部に螺旋状の溝を形成した
ガス排出部を設けたことにより、フィルターを通してク
リーンなガスによりベアリング内部を満たすことが可能
となり、複雑な装置を必要とすることなく、放電により
発生するダストの混入を抑制することが出来る。
【０００９】本発明の第二の構成の放電励起エキシマレ
ーザ装置においては、レーザファンの両側に軸流ファン
部を設けたことにより、フィルターを通してクリーンな
ガスによりベアリング内部を満たすことが可能となり、
複雑な装置を必要とすることなく、放電により発生する
ダストの混入を抑制することが出来る。
ーザ装置においては、レーザファンの両側に軸流ファン
部を設けたことにより、フィルターを通してクリーンな
ガスによりベアリング内部を満たすことが可能となり、
複雑な装置を必要とすることなく、放電により発生する
ダストの混入を抑制することが出来る。
【００１０】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。図１は、本発明の第一の実施例の放電励起エキシマ
レーザ装置の断面図である。図２は、図１のベアリング
部６を詳細に示す断面図である。図３はガス排出部１５
を詳細に示す斜視図である。図４は、本発明の第二の実
施例の放電励起エキシマレーザ装置におけるベアリング
部及びレーザファンを詳細に示す部分断面図である。
る。図１は、本発明の第一の実施例の放電励起エキシマ
レーザ装置の断面図である。図２は、図１のベアリング
部６を詳細に示す断面図である。図３はガス排出部１５
を詳細に示す斜視図である。図４は、本発明の第二の実
施例の放電励起エキシマレーザ装置におけるベアリング
部及びレーザファンを詳細に示す部分断面図である。
【００１１】図１に示す放電励起エキシマレーザ装置
は、レーザガスを封入するレーザ管１と、レーザ光を取
り出すための対向する一対のレーザミラー２と、絶縁体
３と、光の誘導放出を可能とする放電を確保するための
放電電極４と、放電電極４の電極間に高速のガス流を作
り出すためのレーザファン５と、レーザファン５を支持
するベアリング部６と、レーザファン５を回転させるた
めのモータ８及びカップリング部８を有する。
は、レーザガスを封入するレーザ管１と、レーザ光を取
り出すための対向する一対のレーザミラー２と、絶縁体
３と、光の誘導放出を可能とする放電を確保するための
放電電極４と、放電電極４の電極間に高速のガス流を作
り出すためのレーザファン５と、レーザファン５を支持
するベアリング部６と、レーザファン５を回転させるた
めのモータ８及びカップリング部８を有する。
【００１２】図２に示すように、ベアリング部６は、レ
ーザファン５のシャフト１０を支持するベアリング１１
と、ベアリング１１を支持するハウジング１２とにより
構成される。ハウジング１２には、フィルタ１３を備え
たガス導入口１４が設けられており、ベアリング部６と
レーザファン５の間のシャフト１０部分には、シャフト
１０を囲むようにガス排出部１５が設けられている。ガ
ス排出部１５の表面の一例としては図３に示すように、
ベアリング部６側からみて、レーザファン５の回転と逆
向きに螺旋状の溝１６が形成されている。これにより、
ガス導入口１４に備えられたフィルタ１３を通して、ベ
れアリング部６内部から外部へ流れるレーザガス流を形
成することが可能となる。
ーザファン５のシャフト１０を支持するベアリング１１
と、ベアリング１１を支持するハウジング１２とにより
構成される。ハウジング１２には、フィルタ１３を備え
たガス導入口１４が設けられており、ベアリング部６と
レーザファン５の間のシャフト１０部分には、シャフト
１０を囲むようにガス排出部１５が設けられている。ガ
ス排出部１５の表面の一例としては図３に示すように、
ベアリング部６側からみて、レーザファン５の回転と逆
向きに螺旋状の溝１６が形成されている。これにより、
ガス導入口１４に備えられたフィルタ１３を通して、ベ
れアリング部６内部から外部へ流れるレーザガス流を形
成することが可能となる。
【００１３】この第一の実施例による放電励起エキシマ
レーザにおいては、ベアリング部６に螺旋状の溝を複数
形成したガス排出部１６を設けることにより、フィルタ
ー１３を通してクリーンなガスをベアリング内部を満た
すことが可能となり、放電により発生するダストの混入
を著しく抑制することが出来る。
レーザにおいては、ベアリング部６に螺旋状の溝を複数
形成したガス排出部１６を設けることにより、フィルタ
ー１３を通してクリーンなガスをベアリング内部を満た
すことが可能となり、放電により発生するダストの混入
を著しく抑制することが出来る。
【００１４】図４に示す第二の実施例の放電励起エキシ
マレーザ装置は、フィルター１３を通してハウジング１
２内部から外部へレーザガスを流すために、レーザファ
ン５ａの両側の一部に軸流ファン部１７を設けてある。
マレーザ装置は、フィルター１３を通してハウジング１
２内部から外部へレーザガスを流すために、レーザファ
ン５ａの両側の一部に軸流ファン部１７を設けてある。
【００１５】この第二の実施例の放電励起エキシマレー
ザにおいては、レーザファン５ａの両側の一部に形成し
た軸流ファン部１７により、フィルター１３を通してク
リーンなガスによりベアリング内部を満たすことが可能
となり、放電により発生するダストの混入を著しく抑制
することが出来る。
ザにおいては、レーザファン５ａの両側の一部に形成し
た軸流ファン部１７により、フィルター１３を通してク
リーンなガスによりベアリング内部を満たすことが可能
となり、放電により発生するダストの混入を著しく抑制
することが出来る。
【００１６】
【発明の効果】以上延べたように本発明によれば、レー
ザファンのシャフトを支持するベアリングを保持するハ
ウジング内にレーザガスを導入し、かつガス排出部もし
くはレーザファンにレーザガスを外部に排出する溝もし
くは軸流ファン部（遠心ファン）を設けることにより、
複雑な装置を必要とすることなく、クリーンなガスを常
時ベアリング内部に満たすことが可能となり、ベアリン
グ部へのダストの混入を防いでベアリング部の劣化を著
しく抑制することが可能となって長寿命の放電励起エキ
シマレーザ装置を提供することができる効果がある。
ザファンのシャフトを支持するベアリングを保持するハ
ウジング内にレーザガスを導入し、かつガス排出部もし
くはレーザファンにレーザガスを外部に排出する溝もし
くは軸流ファン部（遠心ファン）を設けることにより、
複雑な装置を必要とすることなく、クリーンなガスを常
時ベアリング内部に満たすことが可能となり、ベアリン
グ部へのダストの混入を防いでベアリング部の劣化を著
しく抑制することが可能となって長寿命の放電励起エキ
シマレーザ装置を提供することができる効果がある。
【図１】本発明の第一の実施例の放電励起エキシマレー
ザ装置の断面図である。
ザ装置の断面図である。
【図２】図１のベアリング部６を詳細に示す断面図であ
る。
る。
【図３】図２のガス排出部１５を詳細に示す断面図であ
る。
る。
【図４】本発明の第二の実施例のベアリング部及びレー
ザファンの部分を詳細に示す部分断面図である。
ザファンの部分を詳細に示す部分断面図である。
【図５】従来の放電励起エキシマレーザ装置を示す断面
図である。
図である。
１ レーザ管 ２ レーザミラー ３ 絶縁体 ４ 放電電極 ５，５ａ レーザファン ６ ベアリング部 ７ カップリング部 ８ モータ ９ フランジ １０ シャフト １１ ベアリング １２ ハウジング １３ フィルター １４ ガス導入口 １５ ガス排出部 １６ 溝 １７ 軸流ファン部
Claims (2)
- 【請求項１】 レーザ光を取り出すためのレーザミラー
と、レーザガスを封入するレーザ管及び絶縁体と、光の
誘導放出を可能にする放電を確保するための放電電極
と、前記放電電極間に高速のガス流を作り出すためのレ
ーザファンと、前記レーザファンを支持するためのベア
リング部と、前記レーザファンを回転させるためのモー
タ及びカップリング部とを含んで成る放電励起エキシマ
レーザ装置において、前記ベアリング部が前記レーザフ
ァンのシャフトを支持するベアリングと前記ベアリング
を支持するためのハウジングとにより構成され、前記ハ
ウジングにはフィルタを備えたガス導入口が設けられ、
前記ガス導入口を通して前記ハウジング内部から外部へ
のレーザガスの流れを形成するために、前記ベアリング
部側からみて前記レーザファンの回転方向と逆向きの螺
旋状の溝を表面に形成したガス排出部が前記レーザファ
ンと前記ベアリングの間のシャフトに配置されたことを
特徴とする放電励起エキシマレーザ装置。 - 【請求項２】 レーザ光を取り出すためのレーザミラー
と、レーザガスを封入するレーザ管及び絶縁体と、光の
誘導放出を可能にする放電を確保するための放電電極
と、前記放電電極間に高速のガス流を作り出すためのレ
ーザファンと、前記レーザファンを支持するためのベア
リング部と、前記レーザファンを回転させるためのモー
タ及びカップリング部とを含んで成る放電励起エキシマ
レーザ装置において、前記ベアリング部が前記レーザフ
ァンのシャフトを支持するベアリングと前記ベアリング
を支持するためのハウジングとにより構成され、前記ハ
ウジングにはフィルターを備えたガス導入口が設けら
れ、前記ガス導入口を通して前記ハウジング内部から外
部へ流れるレーザガスを形成するために前記レーザファ
ンの両側の一部に軸流ファン部を形成したことを特徴と
する放電励起エキシマレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5280979A JP2606657B2 (ja) | 1993-11-10 | 1993-11-10 | 放電励起エキシマレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5280979A JP2606657B2 (ja) | 1993-11-10 | 1993-11-10 | 放電励起エキシマレーザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07135363A JPH07135363A (ja) | 1995-05-23 |
| JP2606657B2 true JP2606657B2 (ja) | 1997-05-07 |
Family
ID=17632567
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5280979A Expired - Fee Related JP2606657B2 (ja) | 1993-11-10 | 1993-11-10 | 放電励起エキシマレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2606657B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102574710B1 (ko) * | 2021-12-08 | 2023-09-06 | 김동민 | 레이저 모듈 어셈블리 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5027366A (en) | 1988-01-15 | 1991-06-25 | Cymer Laser Technologies | Compact excimer laser |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04359644A (ja) * | 1990-12-28 | 1992-12-11 | Toshiba Lighting & Technol Corp | ブラシレスモータ |
-
1993
- 1993-11-10 JP JP5280979A patent/JP2606657B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5027366A (en) | 1988-01-15 | 1991-06-25 | Cymer Laser Technologies | Compact excimer laser |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07135363A (ja) | 1995-05-23 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19961224 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313115 |
|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
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