JPH038380A - レーザ発振器の内部ミラー保護方法およびその装置 - Google Patents
レーザ発振器の内部ミラー保護方法およびその装置Info
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- JPH038380A JPH038380A JP14224289A JP14224289A JPH038380A JP H038380 A JPH038380 A JP H038380A JP 14224289 A JP14224289 A JP 14224289A JP 14224289 A JP14224289 A JP 14224289A JP H038380 A JPH038380 A JP H038380A
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- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 7
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 abstract description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 7
- 238000010276 construction Methods 0.000 abstract 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 abstract 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 abstract 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 11
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- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/034—Optical devices within, or forming part of, the tube, e.g. windows, mirrors
- H01S3/0346—Protection of windows or mirrors against deleterious effects
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
この発明はレーザ発１辰器の内部ミラー保護方法および
その装置に関する。
その装置に関する。
（従来の技術）
従来、レーザＲ，ｌ辰器の発振器本体内部には電極の酸
化物や、保守による機器解体４組立時に混入する粉塵等
が発（辰ガス体と共に循環する。そのため、対向して設
けた内部ミラーは、発振器本体内を流れるガス体の循環
路より遠ざけて設け、ガス体に混入した粉塵の付着を軽
減していた。
化物や、保守による機器解体４組立時に混入する粉塵等
が発（辰ガス体と共に循環する。そのため、対向して設
けた内部ミラーは、発振器本体内を流れるガス体の循環
路より遠ざけて設け、ガス体に混入した粉塵の付着を軽
減していた。
（発明が解決しようとする課題）
ところで、上述した従来のレーザ発振器の内部ミラーに
おいては、ガス体の循環路より遠ざけて設けであるが、
ガス流が巻き込んでくるため、Ｎ極の酸化物や粉塵等に
より完全に内部ミラーを保護することができないという
問題があった。
おいては、ガス体の循環路より遠ざけて設けであるが、
ガス流が巻き込んでくるため、Ｎ極の酸化物や粉塵等に
より完全に内部ミラーを保護することができないという
問題があった。
また、保守などで入り込んだ粉塵は真空引きとベーキン
グを数回行うことで発振器外へ排出させるが、この方法
でも完全に取除くことはできない。
グを数回行うことで発振器外へ排出させるが、この方法
でも完全に取除くことはできない。
而して、発（歴時にレーザビームの熱で塵が内部ミラー
の面に焼付く可能性が高（、ミラーの寿命が短縮される
という問題があった。
の面に焼付く可能性が高（、ミラーの寿命が短縮される
という問題があった。
この発明の目的は、上記問題点を改善するため、内部ミ
ラーが設けであるミラー室に強制的に浄化したガス体を
送り込み、ミラーの汚れを防ぎミラーの長寿命化を図っ
たレーザ発振器の内部ミラー保護方法およびその装置を
提供することにある。
ラーが設けであるミラー室に強制的に浄化したガス体を
送り込み、ミラーの汚れを防ぎミラーの長寿命化を図っ
たレーザ発振器の内部ミラー保護方法およびその装置を
提供することにある。
［発明の構成］
（課題を解決づるための手段）
上記目的を達成するために、この発明は、ガス体の循環
路中に、前記ガス体の流路とほぼ直交する方向にレーザ
光軸を配したレーザ光１府器において、前記レーザ光軸
を往復させる複数の内部ミラーを備えたミラー室へ前記
循環路中のガス体をｉｍ′Ａシ強制的に供給せしめて内
部ミラーの汚れを防止するレーザ発振器の内部ミラー保
護方法である。
路中に、前記ガス体の流路とほぼ直交する方向にレーザ
光軸を配したレーザ光１府器において、前記レーザ光軸
を往復させる複数の内部ミラーを備えたミラー室へ前記
循環路中のガス体をｉｍ′Ａシ強制的に供給せしめて内
部ミラーの汚れを防止するレーザ発振器の内部ミラー保
護方法である。
また、この発明は、ガス体が循環するレーザ光（辰器本
体と、このレーザ光振器本体におけるガス体の流れと直
交した側壁の両側に設けられ内部ミラーを備えたミラー
室と、このミラー室と前記レーザ発振器本体の側壁とを
連結した導入管と、この導入管内に設けられた送風機な
らびにフィルタと、を備えてレーザ発振器の内部ミラー
保護装買を構成した。
体と、このレーザ光振器本体におけるガス体の流れと直
交した側壁の両側に設けられ内部ミラーを備えたミラー
室と、このミラー室と前記レーザ発振器本体の側壁とを
連結した導入管と、この導入管内に設けられた送風機な
らびにフィルタと、を備えてレーザ発振器の内部ミラー
保護装買を構成した。
（作用）
この発明のレーザ発ｊ届器の内部ミラー保護方法を採用
することにより、ガス体の循環路中に前記ガス体の流路
と直交する方向に設けたレーザ光軸を往復させ放電域を
作る内部ミラーが設けである。その内部ミラーを備えた
ミラー室内へ前記循環路中のガス体を濾過して強制的に
ミラー室内へ送り込むため、内部ミラーはガス体に混入
した粉塵等により汚れず、長寿命化が図られる。
することにより、ガス体の循環路中に前記ガス体の流路
と直交する方向に設けたレーザ光軸を往復させ放電域を
作る内部ミラーが設けである。その内部ミラーを備えた
ミラー室内へ前記循環路中のガス体を濾過して強制的に
ミラー室内へ送り込むため、内部ミラーはガス体に混入
した粉塵等により汚れず、長寿命化が図られる。
また、この発明のレーザ光（辰器の内部ミラー保護装置
を採用することにより、ガス体が循環するレーザ光１辰
器本体の側壁は導入管を介してミラー室に連結しである
。その導入管にはフィルタと送風機が設けであるので、
送風機を作動させることによりフィルタにて濾過された
ガス体が内部ミラー室へ送り込まれる。したがって、内
部ミラーには粉塵や電極の酸化物が付着しないので内部
ミラーの汚れが防止される。而して、内部ミラーの長寿
命化が図られる。
を採用することにより、ガス体が循環するレーザ光１辰
器本体の側壁は導入管を介してミラー室に連結しである
。その導入管にはフィルタと送風機が設けであるので、
送風機を作動させることによりフィルタにて濾過された
ガス体が内部ミラー室へ送り込まれる。したがって、内
部ミラーには粉塵や電極の酸化物が付着しないので内部
ミラーの汚れが防止される。而して、内部ミラーの長寿
命化が図られる。
（実施例）
以下、この発明の実施例を図面に阜づいて詳細に説明す
る。
る。
第２図を参照するに、レーザ光１辰器１には、レーザ発
振器本体３が設けられている。このレーザ光振器本体３
の上部には第２図において左右方向に貫通する上部ガス
通路５が形成されている。この上部ガス通路５の前後（
ガス流方向Ｇに向って左右）の側壁には、光共振器を構
成する複数の内部ミラー７を備えたミラー室９が設けら
れている。
振器本体３が設けられている。このレーザ光振器本体３
の上部には第２図において左右方向に貫通する上部ガス
通路５が形成されている。この上部ガス通路５の前後（
ガス流方向Ｇに向って左右）の側壁には、光共振器を構
成する複数の内部ミラー７を備えたミラー室９が設けら
れている。
すなわち、第２図において上部ガス通路５の後側壁面の
ミラー室９には、前記光共振器の入力ミラー７ａとリヤ
フォールディングミラー７ｂが設けである。上部ガス通
路５の前側壁面（図示せず）に設けたミラー室には、前
記光共振器のフロントフォールディングミラー及び出力
ミラーが設けられている。また、前記上部ガス通路５の
上下の側壁であって前配りＡ７フオールデイングミラー
７０の近傍には、前記ガス流中に放電を行４【うだめの
アノード１１とカソード１３が設けられている。
ミラー室９には、前記光共振器の入力ミラー７ａとリヤ
フォールディングミラー７ｂが設けである。上部ガス通
路５の前側壁面（図示せず）に設けたミラー室には、前
記光共振器のフロントフォールディングミラー及び出力
ミラーが設けられている。また、前記上部ガス通路５の
上下の側壁であって前配りＡ７フオールデイングミラー
７０の近傍には、前記ガス流中に放電を行４【うだめの
アノード１１とカソード１３が設けられている。
方、前記アノード１１の下方にはレーザ媒質であるガス
流Ｇを送風するためのブロワ１５が設けられている。そ
して、そのブロワ１５により送風されたガス流Ｇが側部
ガス通路１７を介して前記上部ガス通路５に導通され、
この上部ガス通路５を通過した後、他の側部ガス通路１
９を介して熱交換器２１に到り、ここで冷却され再びブ
ロワ１５に戻されるようになっている。
流Ｇを送風するためのブロワ１５が設けられている。そ
して、そのブロワ１５により送風されたガス流Ｇが側部
ガス通路１７を介して前記上部ガス通路５に導通され、
この上部ガス通路５を通過した後、他の側部ガス通路１
９を介して熱交換器２１に到り、ここで冷却され再びブ
ロワ１５に戻されるようになっている。
前記ミラー室９について更に詳細に説明する。
第１図を参照するに、レーザ発振器本体３に設けたアノ
ード１１に所定の距離を隔てて複数のカソード１３が複
数列配設されている。そのアノード１１とカソード１３
は電気回路２３で結ばれ、直流電源２５より゛電流がア
ノード１１から各カソ−ド１３、安定抵抗２７に流れ、
アノード１１と各カソード１３間に放電域２９が形成さ
れる。
ード１１に所定の距離を隔てて複数のカソード１３が複
数列配設されている。そのアノード１１とカソード１３
は電気回路２３で結ばれ、直流電源２５より゛電流がア
ノード１１から各カソ−ド１３、安定抵抗２７に流れ、
アノード１１と各カソード１３間に放電域２９が形成さ
れる。
前記放電ＶＡ２９中を光軸３１が往復するようにレーザ
発振器本体３の側壁３３ａ、３３ｂ１．：設けたミラー
室９ａ、９ｂ内に複数個の内部ミラー７が装着されてい
る。すなわち、光軸３１は第１図において右側に設けた
ミラー室９ａ内に装着された入力ミラー７ａより入り、
左側に設けたミラー室９ｂ内に装着したフロントボール
ディングミラー７ｃに投射される。投射された光軸３１
は所定角度に反射されてミラー室９ａ内に設けたリヤホ
ールディングミラー７ｂに当る。そのリヤホールディン
グミラー７ｂより反射された光軸３１は、ミラー室９ｂ
内に設けた出力ミラー７ｄを通り、レーザ発振器１の外
部にレーザビームしＢとなって投射される。
発振器本体３の側壁３３ａ、３３ｂ１．：設けたミラー
室９ａ、９ｂ内に複数個の内部ミラー７が装着されてい
る。すなわち、光軸３１は第１図において右側に設けた
ミラー室９ａ内に装着された入力ミラー７ａより入り、
左側に設けたミラー室９ｂ内に装着したフロントボール
ディングミラー７ｃに投射される。投射された光軸３１
は所定角度に反射されてミラー室９ａ内に設けたリヤホ
ールディングミラー７ｂに当る。そのリヤホールディン
グミラー７ｂより反射された光軸３１は、ミラー室９ｂ
内に設けた出力ミラー７ｄを通り、レーザ発振器１の外
部にレーザビームしＢとなって投射される。
前記ミラー室９ａ、９ｂは、循環路中のガス体が直接流
入しないようレーザ発振器本体３の側壁３３ａ、３３ｂ
より外方へ突設され、前述した光軸３１が通過するため
の穴３５が明いている。更に、前記レーザ発振器本体３
の側壁３３ａ、３３ｂの前記ミラー室９ａ、９ｂの前方
向く第１図において上方）より引出された導入管３７が
ミラー室９ａ、９ｂに３！！！結連通してあり、その導
入管３７内に送風機３つとフィルタ４１が設けられてい
る。
入しないようレーザ発振器本体３の側壁３３ａ、３３ｂ
より外方へ突設され、前述した光軸３１が通過するため
の穴３５が明いている。更に、前記レーザ発振器本体３
の側壁３３ａ、３３ｂの前記ミラー室９ａ、９ｂの前方
向く第１図において上方）より引出された導入管３７が
ミラー室９ａ、９ｂに３！！！結連通してあり、その導
入管３７内に送風機３つとフィルタ４１が設けられてい
る。
上記構成において、レーザ発振器１の上部ガス通路５を
通るガス体を導入管３７に設けた送ｆｆ１１３９により
導入管３７内に吸引する。吸引されたガス体はフィルタ
４１にてガス体に含まれた電？４の酸化物や保守時に流
入した粉塵等を濾過し、清浄なガス体をミラー室９ａ、
９ｂに送り込む。送られた清浄なガス体は、ミラー室９
ａ、９ｂに設けた光＠３１が通過する穴３５より、再び
レーザ発（辰器１の上部ガス通路５に戻される。
通るガス体を導入管３７に設けた送ｆｆ１１３９により
導入管３７内に吸引する。吸引されたガス体はフィルタ
４１にてガス体に含まれた電？４の酸化物や保守時に流
入した粉塵等を濾過し、清浄なガス体をミラー室９ａ、
９ｂに送り込む。送られた清浄なガス体は、ミラー室９
ａ、９ｂに設けた光＠３１が通過する穴３５より、再び
レーザ発（辰器１の上部ガス通路５に戻される。
而して、汚れたガス流がミラーＷ９ａ、９ｂに流れ込ま
なくなり、内部ミラー７ （７ｂ、７ｃ）に電極の酸化
物や粉塵などが付着しないから、内部ミラー７ （７ｂ
、７ｃ）が保護される。而して、内部ミラー７ （７ｂ
、７Ｃ）の寿命化を図ることができる。更に、保守等に
より真空容器を開放した後のベーキングあるいは真空引
き時間も短縮できる。
なくなり、内部ミラー７ （７ｂ、７ｃ）に電極の酸化
物や粉塵などが付着しないから、内部ミラー７ （７ｂ
、７ｃ）が保護される。而して、内部ミラー７ （７ｂ
、７Ｃ）の寿命化を図ることができる。更に、保守等に
より真空容器を開放した後のベーキングあるいは真空引
き時間も短縮できる。
なお更に、前記フィルタ４１に０２を吸収する材質を使
用すれば、カソード１３の寿命が艮くなり、また、使用
済のフィルタ４１を分析することで発振器内部の粉塵の
種類と状態をｆＩ＋断することができる。
用すれば、カソード１３の寿命が艮くなり、また、使用
済のフィルタ４１を分析することで発振器内部の粉塵の
種類と状態をｆＩ＋断することができる。
なお、この発明は前述した実施例に限定されることなく
、適宜の変更を行なうことにより、その他の態様で実施
し得るねのである。例えば、発振用ガスが常時供給され
ている物であれば、そのガスをミ・ラー保護用に吹き付
けることも可能である。
、適宜の変更を行なうことにより、その他の態様で実施
し得るねのである。例えば、発振用ガスが常時供給され
ている物であれば、そのガスをミ・ラー保護用に吹き付
けることも可能である。
〔発明の効果１
以上のごとき実施例の説明より叩解されるように、この
発明によれば、ガス体が循環する発振器本体の側壁より
導入管内に設けた送風機によりフィルタを介して強制的
にミラー室内へ清浄なガス体を供給する。また、この際
、内部ガス圧に変化が起きない。
発明によれば、ガス体が循環する発振器本体の側壁より
導入管内に設けた送風機によりフィルタを介して強制的
にミラー室内へ清浄なガス体を供給する。また、この際
、内部ガス圧に変化が起きない。
而して、ミラー室内に設けたミラーの表面を電極の酸化
物や粉塵より保護し、ミラーの長寿命化を図ることがで
き、更に、発振用ガスの浄化を行うなうことができる。
物や粉塵より保護し、ミラーの長寿命化を図ることがで
き、更に、発振用ガスの浄化を行うなうことができる。
第１図はこの発明の主要部を示し、第１図は第２図にお
けるＩ−１線に沿った拡大断面図、第２図はこの発明を
実施する一実施例のレーザ発１辰器の全体説明図である
。 １・・・レーザ発振器 ３・・・レーザ発＠器本体 ７・・・内部ミラー ７ａ・・・入力ミラー７
ｂ・・・リヤホールディングミラー ７Ｃ・・・フロントホールディングミラー７ｄ・・・出
力ミラー
けるＩ−１線に沿った拡大断面図、第２図はこの発明を
実施する一実施例のレーザ発１辰器の全体説明図である
。 １・・・レーザ発振器 ３・・・レーザ発＠器本体 ７・・・内部ミラー ７ａ・・・入力ミラー７
ｂ・・・リヤホールディングミラー ７Ｃ・・・フロントホールディングミラー７ｄ・・・出
力ミラー
Claims (2)
- （１）ガス体の循環路中に、前記ガス体の流路とほぼ直
交する方向にレーザ光軸を配したレーザ発振器において
、前記レーザ光軸を往復させる複数の内部ミラーを備え
たミラー室へ前記循環路中のガス体を濾過し強制的に供
給せしめて内部ミラーの汚れを防止することを特徴とす
るレーザ発振器の内部ミラー保護方法。 - （２）ガス体が循環するレーザ発振器本体と、このレー
ザ発振器本体におけるガス体の流れと直交した側壁の両
側に設けられ内部ミラーを備えたミラー室と、このミラ
ー室と前記レーザ発振器本体の側壁とを連結した導入管
と、この導入管内に設けられた送風機ならびにフィルタ
と、を備えてなることを特徴とするレーザ発振器の内部
ミラー保護装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14224289A JPH038380A (ja) | 1989-06-06 | 1989-06-06 | レーザ発振器の内部ミラー保護方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14224289A JPH038380A (ja) | 1989-06-06 | 1989-06-06 | レーザ発振器の内部ミラー保護方法およびその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH038380A true JPH038380A (ja) | 1991-01-16 |
Family
ID=15310746
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14224289A Pending JPH038380A (ja) | 1989-06-06 | 1989-06-06 | レーザ発振器の内部ミラー保護方法およびその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH038380A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999038234A1 (fr) * | 1998-01-22 | 1999-07-29 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Oscillateur a laser a gaz et dispositif de traitement a laser a gaz |
| JP2019134122A (ja) * | 2018-02-02 | 2019-08-08 | 住友重機械工業株式会社 | レーザ発振器 |
-
1989
- 1989-06-06 JP JP14224289A patent/JPH038380A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999038234A1 (fr) * | 1998-01-22 | 1999-07-29 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Oscillateur a laser a gaz et dispositif de traitement a laser a gaz |
| JP2019134122A (ja) * | 2018-02-02 | 2019-08-08 | 住友重機械工業株式会社 | レーザ発振器 |
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