JPH06152007A - レーザ装置 - Google Patents
レーザ装置Info
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- JPH06152007A JPH06152007A JP30529092A JP30529092A JPH06152007A JP H06152007 A JPH06152007 A JP H06152007A JP 30529092 A JP30529092 A JP 30529092A JP 30529092 A JP30529092 A JP 30529092A JP H06152007 A JPH06152007 A JP H06152007A
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- laser gas
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 レーザガスを循環させるためのポンプを不要
とし、安価なレーザ装置を得る。 【構成】 レーザ容器１内にファン１４を設け、このフ
ァン１４を回転させることにより、レーザガス２を一対
の電極３の間に循環させるとともにノズル１９より容器
１外に排出させ電気集塵装置９を通してガス入口５より
容器１内に導入させる。
とし、安価なレーザ装置を得る。 【構成】 レーザ容器１内にファン１４を設け、このフ
ァン１４を回転させることにより、レーザガス２を一対
の電極３の間に循環させるとともにノズル１９より容器
１外に排出させ電気集塵装置９を通してガス入口５より
容器１内に導入させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、レーザ装置に係り特
にレーザガスの清浄化を図るものに関する。
にレーザガスの清浄化を図るものに関する。
【０００２】
【従来の技術】図６は例えば特開昭５８−１８６９８５
号に示された従来のレーザ装置の一例の概略構成を示す
正面図である。図において、１はレーザガス２が封入さ
れる容器、３は容器１内の長手方向に配設される一対の
電極、４は容器１の両端にそれぞれ設けられ、レーザ光
を外部に取り出すための窓、５は容器１内に窓４を介し
てレーザガス２を導入するガス入口、６は容器１内のレ
ーザガス２を外部に排出するガス出口、７はガス出口６
と両ガス入口５とをそれぞれ接続するように設けられた
管路、８は管路７上のガス出口６付近に設けられ、レー
ザガス２を管路７を介してガス出口６からガス入口５に
循環させるためのポンプ、９は管路７上のポンプ８より
ガス入口５側に設けられ、レーザガス２中の微粒子を静
電的に捕集する電気集塵装置、１０は管路７上の電気集
塵装置９の両側に設けられた休止ゾーンである。
号に示された従来のレーザ装置の一例の概略構成を示す
正面図である。図において、１はレーザガス２が封入さ
れる容器、３は容器１内の長手方向に配設される一対の
電極、４は容器１の両端にそれぞれ設けられ、レーザ光
を外部に取り出すための窓、５は容器１内に窓４を介し
てレーザガス２を導入するガス入口、６は容器１内のレ
ーザガス２を外部に排出するガス出口、７はガス出口６
と両ガス入口５とをそれぞれ接続するように設けられた
管路、８は管路７上のガス出口６付近に設けられ、レー
ザガス２を管路７を介してガス出口６からガス入口５に
循環させるためのポンプ、９は管路７上のポンプ８より
ガス入口５側に設けられ、レーザガス２中の微粒子を静
電的に捕集する電気集塵装置、１０は管路７上の電気集
塵装置９の両側に設けられた休止ゾーンである。
【０００３】次に上記のように構成された従来のレーザ
装置の動作について説明する。まず、一対の電極３が発
生する放電によりレーザガス２を励起させ、窓４を通し
てレーザ光を外に取り出す。この時、電極３自身がスパ
ッタされ、電極３を構成する材料の微粒子がレーザガス
２中に浮遊することとなる。このような状態ではこの微
粒子が窓４に付着する。この微粒子はレーザ光を吸収し
やすく、窓４は部分的に発熱を起こし微粒子が窓４に焼
きつけられるので、窓４の透過率が低下し、延いてはレ
ーザ発振効率が低下する。
装置の動作について説明する。まず、一対の電極３が発
生する放電によりレーザガス２を励起させ、窓４を通し
てレーザ光を外に取り出す。この時、電極３自身がスパ
ッタされ、電極３を構成する材料の微粒子がレーザガス
２中に浮遊することとなる。このような状態ではこの微
粒子が窓４に付着する。この微粒子はレーザ光を吸収し
やすく、窓４は部分的に発熱を起こし微粒子が窓４に焼
きつけられるので、窓４の透過率が低下し、延いてはレ
ーザ発振効率が低下する。
【０００４】上記のような問題点を解決するために、ポ
ンプ１８により容器１内のレーザガス２を図中の矢印に
示すように、ガス出口６→ポンプ８→電気集塵装置９→
休止ゾーン１０→ガス入口５の順に強制循環させ、ガス
出口６から排出されたレーザガス２中の微粒子を電気集
塵装置９にて静電気的に捕集させレーザガス２を清浄化
した後ガス入口５から容器１内へ導入する。ゆえに、ガ
ス入口９の近傍に設けられた窓４は、清浄化されたレー
ザガス２によりつねにパージされているため、微粒子に
さらされることなく長寿命化が図られている。
ンプ１８により容器１内のレーザガス２を図中の矢印に
示すように、ガス出口６→ポンプ８→電気集塵装置９→
休止ゾーン１０→ガス入口５の順に強制循環させ、ガス
出口６から排出されたレーザガス２中の微粒子を電気集
塵装置９にて静電気的に捕集させレーザガス２を清浄化
した後ガス入口５から容器１内へ導入する。ゆえに、ガ
ス入口９の近傍に設けられた窓４は、清浄化されたレー
ザガス２によりつねにパージされているため、微粒子に
さらされることなく長寿命化が図られている。
【０００５】又、図７は同一出願人により出願されてい
る特願平３−０４１５０９号に示されたポンプを使用し
ない従来のレーザ装置の異なる一例の概略構成を示す側
面図である。１〜３は図６と同様であるので同一符号を
付して説明を省略する。１１は容器１内のレーザガス２
を循環させるためのファン、１２は容器１と一体に設け
られ、内部に磁石１３を有し、この磁石１３の磁力によ
りレーザガス２中の微粒子を捕集する微粒子捕集装置で
ある。
る特願平３−０４１５０９号に示されたポンプを使用し
ない従来のレーザ装置の異なる一例の概略構成を示す側
面図である。１〜３は図６と同様であるので同一符号を
付して説明を省略する。１１は容器１内のレーザガス２
を循環させるためのファン、１２は容器１と一体に設け
られ、内部に磁石１３を有し、この磁石１３の磁力によ
りレーザガス２中の微粒子を捕集する微粒子捕集装置で
ある。
【０００６】次に上記のように構成された従来のレーザ
装置の動作について説明する。まずここで、上記従来装
置の一例と同様にレーザガス２中に微粒子が発生した場
合、ここでは、容器１と微粒子捕集装置１２とが一体化
されているので、ポンプを用いなくともファン１１を駆
動させることにより、レーザガス２を図中の矢印に示す
ように微粒子捕集装置１２に循環可能となり、レーザガ
ス２中の微粒子は磁石１３により捕集されるのでレーザ
ガス２は清浄化される。
装置の動作について説明する。まずここで、上記従来装
置の一例と同様にレーザガス２中に微粒子が発生した場
合、ここでは、容器１と微粒子捕集装置１２とが一体化
されているので、ポンプを用いなくともファン１１を駆
動させることにより、レーザガス２を図中の矢印に示す
ように微粒子捕集装置１２に循環可能となり、レーザガ
ス２中の微粒子は磁石１３により捕集されるのでレーザ
ガス２は清浄化される。
【０００７】しかし、このように容器１と微粒子捕集装
置１２とを一体化しているので、容器１を流れるレーザ
ガス２の流量約１Ｍ3／ｍｉｎをすべて微粒子捕集装置
１２にて清浄化しなければならない。
置１２とを一体化しているので、容器１を流れるレーザ
ガス２の流量約１Ｍ3／ｍｉｎをすべて微粒子捕集装置
１２にて清浄化しなければならない。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】従来のレーザ装置は以
上のように構成されているので、レーザガス２を強性循
環させるためのポンプ８を必要とする。このポンプ８は
ハロゲンガスに腐食されないものを選択する必要がある
ため、ベローズポンプしか使用できない。しかしながら
このベローズポンプは高価なためレーザ装置としても高
価になるという問題点があった。一方、ポンプを必要と
しないレーザ装置は、容器１と微粒子捕集装置１２とを
一体化しているので、大容量の微粒子捕集装置１２が必
要となり、レーザ装置として高価になるという問題点が
あった。
上のように構成されているので、レーザガス２を強性循
環させるためのポンプ８を必要とする。このポンプ８は
ハロゲンガスに腐食されないものを選択する必要がある
ため、ベローズポンプしか使用できない。しかしながら
このベローズポンプは高価なためレーザ装置としても高
価になるという問題点があった。一方、ポンプを必要と
しないレーザ装置は、容器１と微粒子捕集装置１２とを
一体化しているので、大容量の微粒子捕集装置１２が必
要となり、レーザ装置として高価になるという問題点が
あった。
【０００９】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、レーザガスを循環させるための
ポンプを必要とせず、小容量のレーザガス清浄化装置で
レーザガスの清浄化を可能とすることにより、安価なレ
ーザ装置を提供することを目的とする。
ためになされたもので、レーザガスを循環させるための
ポンプを必要とせず、小容量のレーザガス清浄化装置で
レーザガスの清浄化を可能とすることにより、安価なレ
ーザ装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この発明に係る請求項１
のレーザ装置は、レーザガスが封入される容器、容器内
に設けられ、レーザガスを励起させ放電を発生する一対
の電極、容器の両端に設けられたレーザ光取り出し用の
窓もしくは、レーザ発振用の反射ミラー、容器内に導入
されるレーザガスが上記レーザ光取り出し用の窓もしく
は、レーザ発振用の反射ミラーに接触するように設けら
れたレーザガス入口、容器内に設けられ、レーザガスを
一対の電極の間に循環させるためのファン、容器のファ
ンよりレーザガス下流方向側で電極に至るまでの間に設
けられたレーザガス出口、レーザガス入口とレーザガス
出口との間に接続されたレーザガス清浄化装置を備えた
ものである。
のレーザ装置は、レーザガスが封入される容器、容器内
に設けられ、レーザガスを励起させ放電を発生する一対
の電極、容器の両端に設けられたレーザ光取り出し用の
窓もしくは、レーザ発振用の反射ミラー、容器内に導入
されるレーザガスが上記レーザ光取り出し用の窓もしく
は、レーザ発振用の反射ミラーに接触するように設けら
れたレーザガス入口、容器内に設けられ、レーザガスを
一対の電極の間に循環させるためのファン、容器のファ
ンよりレーザガス下流方向側で電極に至るまでの間に設
けられたレーザガス出口、レーザガス入口とレーザガス
出口との間に接続されたレーザガス清浄化装置を備えた
ものである。
【００１１】この発明に係る請求項２のレーザ装置は、
レーザガス出口の開口断面が容器内のレーザガス流を遮
る方向に形成されているものである。
レーザガス出口の開口断面が容器内のレーザガス流を遮
る方向に形成されているものである。
【００１２】この発明に係る請求項３のレーザ装置は、
ファンをレーザガス清浄化装置が停止時に、停止するよ
うにしたものである。
ファンをレーザガス清浄化装置が停止時に、停止するよ
うにしたものである。
【００１３】
【作用】この発明における請求項１のレーザ装置のファ
ンは容器内のレーザガスをレーザガス出口からレーザガ
ス清浄化装置を通しレーザガス入口へ循環させる。
ンは容器内のレーザガスをレーザガス出口からレーザガ
ス清浄化装置を通しレーザガス入口へ循環させる。
【００１４】この発明における請求項２のレーザ装置の
レーザガス出口は、レーザガス流を遮る方向に開口し、
循環するレーザガスの流量を増大させる。
レーザガス出口は、レーザガス流を遮る方向に開口し、
循環するレーザガスの流量を増大させる。
【００１５】この発明における請求項３のレーザ装置の
ファンは、レーザ清浄化装置が停止時に停止する。
ファンは、レーザ清浄化装置が停止時に停止する。
【００１６】
実施例１．図１及び図２はこの発明の実施例１によるレ
ーザ装置の概略構成を示す正面図及び側面図である。そ
れぞれの図において図６に示す従来の場合と同様の部分
については同一符号を付して説明を省略する。１４は容
器１の内部に設けられ、レーザガス２を循環させるため
のファン、１５はこのファン１４を回転させるためのモ
ータ、１６はこのモータ１５を駆動させるための駆動電
源、１７は電気集塵装置９を駆動させるための駆動電
源、１８は駆動電源１６及び１７を制御するための制御
装置である。
ーザ装置の概略構成を示す正面図及び側面図である。そ
れぞれの図において図６に示す従来の場合と同様の部分
については同一符号を付して説明を省略する。１４は容
器１の内部に設けられ、レーザガス２を循環させるため
のファン、１５はこのファン１４を回転させるためのモ
ータ、１６はこのモータ１５を駆動させるための駆動電
源、１７は電気集塵装置９を駆動させるための駆動電
源、１８は駆動電源１６及び１７を制御するための制御
装置である。
【００１７】１９は容器１のファン１４よりレーザガス
２下流方向側で電極３に至るまでの間に連結させた管路
７に接続されたファン１４から送出されるレーザガス２
を受けるように形成されたレーザガス出口としてのノズ
ル、２０は電極３の両側にそれぞれ設けられ、ファン１
４から送出されるレーザガス２を両電極３間に導くため
のガスダクト、２１は容器１の内部に設けられ、電極３
間で温度上昇したレーザガス２を冷却するための熱交換
器である。
２下流方向側で電極３に至るまでの間に連結させた管路
７に接続されたファン１４から送出されるレーザガス２
を受けるように形成されたレーザガス出口としてのノズ
ル、２０は電極３の両側にそれぞれ設けられ、ファン１
４から送出されるレーザガス２を両電極３間に導くため
のガスダクト、２１は容器１の内部に設けられ、電極３
間で温度上昇したレーザガス２を冷却するための熱交換
器である。
【００１８】次に上記のように構成された実施例１のレ
ーザ装置の動作について説明する。まず、一対の電極３
が発生する放電によりレーザガス２を励起させ、窓４を
通してレーザ光を外に取り出す。この時、電極３自身が
スパッタされ、電極３を構成する材料の微粒子がレーザ
ガス２中に浮遊することとなる。よって、レーザガス２
中の微粒子を除去するために、制御装置１８により駆動
電源１７を制御して電気集塵装置９を駆動させ、その
後、制御装置１８により駆動電源１６を制御してモータ
１５を駆動させ、ファン１４を回転させる。
ーザ装置の動作について説明する。まず、一対の電極３
が発生する放電によりレーザガス２を励起させ、窓４を
通してレーザ光を外に取り出す。この時、電極３自身が
スパッタされ、電極３を構成する材料の微粒子がレーザ
ガス２中に浮遊することとなる。よって、レーザガス２
中の微粒子を除去するために、制御装置１８により駆動
電源１７を制御して電気集塵装置９を駆動させ、その
後、制御装置１８により駆動電源１６を制御してモータ
１５を駆動させ、ファン１４を回転させる。
【００１９】そして、このファン１４の回転により容器
１内のレーザガス流は図２中に矢印で示すように、ファ
ン１４→電極３→熱交換器２１→ファン１４と循環され
る。このようにレーザガス２が循環すると、レーザガス
２の圧損を生じるので場所によってガス圧は異なってい
る。この時、ガス入口５に比べてガス出口１９のガス圧
は高くなっている。例えばファン１４の回転数を１５０
０ｒｐｍ、一対の電極３間の距離を１５ｍｍとした時、
空気中にてノズル１９とガス入口５のガス圧を測定する
と、ノズル１９の方が１０ｍｍＡｑ高い。
１内のレーザガス流は図２中に矢印で示すように、ファ
ン１４→電極３→熱交換器２１→ファン１４と循環され
る。このようにレーザガス２が循環すると、レーザガス
２の圧損を生じるので場所によってガス圧は異なってい
る。この時、ガス入口５に比べてガス出口１９のガス圧
は高くなっている。例えばファン１４の回転数を１５０
０ｒｐｍ、一対の電極３間の距離を１５ｍｍとした時、
空気中にてノズル１９とガス入口５のガス圧を測定する
と、ノズル１９の方が１０ｍｍＡｑ高い。
【００２０】よって、レーザガス２はこの圧力差によっ
て、図１中の矢印に示すように、容器１内からノズル１
９を介して管路７に排出され、電気集塵装置９を通り、
ガス入口５から再び容器１内に導入され、以下この動作
を繰り返すことによって循環する。この循環過程におい
て電気集塵装置９はガス出口１９から放出されたレーザ
ガス２中の微粒子を静電気的に捕集し、レーザガス２を
清浄化した後ガス入口５に送りこむ。ゆえに、ガス入口
５に設けられた窓４は清浄化されたレーザガス２により
常にパージされているため、微粒子にさらされることな
く長寿命化が図られる。
て、図１中の矢印に示すように、容器１内からノズル１
９を介して管路７に排出され、電気集塵装置９を通り、
ガス入口５から再び容器１内に導入され、以下この動作
を繰り返すことによって循環する。この循環過程におい
て電気集塵装置９はガス出口１９から放出されたレーザ
ガス２中の微粒子を静電気的に捕集し、レーザガス２を
清浄化した後ガス入口５に送りこむ。ゆえに、ガス入口
５に設けられた窓４は清浄化されたレーザガス２により
常にパージされているため、微粒子にさらされることな
く長寿命化が図られる。
【００２１】又、この時、管路７内を流れるレーザガス
２の流量を実測すると約１０ｌ／ｍｉｎと測定され、こ
のレーザガス２の流量は窓４をパージするのに十分な量
である。そして、例えばネオン、クリプトン及びフッ素
の混合ガスをレーザガス２とし、ＫｒＦエキシマレーザ
を５×１０8パルスレーザを発振させても、窓４に汚れ
の付着はみられなかった。
２の流量を実測すると約１０ｌ／ｍｉｎと測定され、こ
のレーザガス２の流量は窓４をパージするのに十分な量
である。そして、例えばネオン、クリプトン及びフッ素
の混合ガスをレーザガス２とし、ＫｒＦエキシマレーザ
を５×１０8パルスレーザを発振させても、窓４に汚れ
の付着はみられなかった。
【００２２】尚、ここでは窓４としレーザ光を外部に取
り出すように構成したレーザ装置について示したが、反
射ミラーを用いた構成のレーザ装置に適用しても同様の
効果が得られる。
り出すように構成したレーザ装置について示したが、反
射ミラーを用いた構成のレーザ装置に適用しても同様の
効果が得られる。
【００２３】実施例２．上記実施例１ではガス出口を管
路７を容器１の側壁に連結させ、その内部にファン１４
から送出されるレーザガス２を受けるように設けられた
ノズル１９で形成したものについて示したがこれに限ら
れることなく、図３に示すようにノズル１９のかわりに
板を湾曲させたものを内部に取り付けて、ファン１４か
ら送出されるレーザガス２を受けるようにしても同様の
効果を奏する。
路７を容器１の側壁に連結させ、その内部にファン１４
から送出されるレーザガス２を受けるように設けられた
ノズル１９で形成したものについて示したがこれに限ら
れることなく、図３に示すようにノズル１９のかわりに
板を湾曲させたものを内部に取り付けて、ファン１４か
ら送出されるレーザガス２を受けるようにしても同様の
効果を奏する。
【００２４】実施例３．又、図４に示すように管路７を
直接容器１の内部に差し込み、且つ、管路７の開口でフ
ァン１４から送出されるレーザガス２を受けるようにし
ても同様の効果を奏する。
直接容器１の内部に差し込み、且つ、管路７の開口でフ
ァン１４から送出されるレーザガス２を受けるようにし
ても同様の効果を奏する。
【００２５】実施例４．上記各実施例ではガス出口の開
口断面が容器１内のレーザガス２流を遮る方向に形成さ
れているけれども、図５に示すように管路７を容器１の
側壁に連結し、この管路７の開口からレーザガスを排出
するようにし、ガス出口２２としても良い。但し、この
場合上記各実施例と同条件で比較するとガス出口２２と
ガス入口５とのレーザガス２の圧力差が２ｍｍＡｑとな
るので、ガス出口２２からガス入口５に流れるレーザガ
ス２流量は低下する。しかし、ガス出口２２自体の加工
が容易なため、レーザ装置自体は安価となる。
口断面が容器１内のレーザガス２流を遮る方向に形成さ
れているけれども、図５に示すように管路７を容器１の
側壁に連結し、この管路７の開口からレーザガスを排出
するようにし、ガス出口２２としても良い。但し、この
場合上記各実施例と同条件で比較するとガス出口２２と
ガス入口５とのレーザガス２の圧力差が２ｍｍＡｑとな
るので、ガス出口２２からガス入口５に流れるレーザガ
ス２流量は低下する。しかし、ガス出口２２自体の加工
が容易なため、レーザ装置自体は安価となる。
【００２６】実施例５．上記各実施例ではレーザガス清
浄化装置としてレーザガス２の圧損の少ない電気集塵装
置を用いた例を示したが、これに限られることなく、レ
ーザガス清浄化装置として同様にレーザガス２の圧損の
少ない、磁力を用いて微粒子を捕集する微粒子捕集装
置、及び、ガス温度を下げることによりレーザガス中の
不純ガス成分を凝結させて捕集する冷却トラップ装置を
用いてもよく、又、これらを組み合わせたものを用いて
も、同様の効果を奏する。
浄化装置としてレーザガス２の圧損の少ない電気集塵装
置を用いた例を示したが、これに限られることなく、レ
ーザガス清浄化装置として同様にレーザガス２の圧損の
少ない、磁力を用いて微粒子を捕集する微粒子捕集装
置、及び、ガス温度を下げることによりレーザガス中の
不純ガス成分を凝結させて捕集する冷却トラップ装置を
用いてもよく、又、これらを組み合わせたものを用いて
も、同様の効果を奏する。
【００２７】実施例６．上記各実施例においては、装置
の材料について述べなかったがレーザガス中にフッ素も
しくは塩化水素ガスを含有する場合、レーザガスの触れ
る部分をニッケル、ニッケルコートされた金属材料、ア
ルミナセラミックス及びテフロンの組み合わせで構成す
るようにすれば、レーザガスの劣化が無く、レーザガス
の寿命を長くすることができる。特に、レーザガス清浄
化装置として電気集塵装置を用いる場合にはその構成が
簡単なため、比較的高価な上記材料を用いても安価とな
る。
の材料について述べなかったがレーザガス中にフッ素も
しくは塩化水素ガスを含有する場合、レーザガスの触れ
る部分をニッケル、ニッケルコートされた金属材料、ア
ルミナセラミックス及びテフロンの組み合わせで構成す
るようにすれば、レーザガスの劣化が無く、レーザガス
の寿命を長くすることができる。特に、レーザガス清浄
化装置として電気集塵装置を用いる場合にはその構成が
簡単なため、比較的高価な上記材料を用いても安価とな
る。
【００２８】実施例７．上記各実施例においては、制御
装置１８による制御の詳細な説明を行わなかったが、も
しも、ファン１４のみを回転させレーザガス清浄化装置
を停止させている場合には、レーザガス２は微粒子を除
去されないまま管路７を循環するので、レーザガス２中
に微粒子を含んだまま窓４をパージすることとなり窓４
に微粒子が付着してしまうという不具合を生じる。
装置１８による制御の詳細な説明を行わなかったが、も
しも、ファン１４のみを回転させレーザガス清浄化装置
を停止させている場合には、レーザガス２は微粒子を除
去されないまま管路７を循環するので、レーザガス２中
に微粒子を含んだまま窓４をパージすることとなり窓４
に微粒子が付着してしまうという不具合を生じる。
【００２９】又、特に、レーザガス２循環時に電気集塵
装置９を駆動していないと、コロナ放電が発生せず、集
塵電極に付着した微粒子が剥がれ易くなっており、電気
集塵装置９をレーザガス２が通過する際、レーザガス２
中の微粒子の増加を招き、この状態ではレーザを発振さ
せなくとも約１日で窓４はくもってしまい、次に、レー
ザを発振させるとレーザ出力は約２０％も低下してしま
う等の不具合を生じるため、レーザガス清浄化装置停止
時にファン１４も必ず停止するように制御装置１８にて
制御するようにすればこれらの不具合は解消される。
装置９を駆動していないと、コロナ放電が発生せず、集
塵電極に付着した微粒子が剥がれ易くなっており、電気
集塵装置９をレーザガス２が通過する際、レーザガス２
中の微粒子の増加を招き、この状態ではレーザを発振さ
せなくとも約１日で窓４はくもってしまい、次に、レー
ザを発振させるとレーザ出力は約２０％も低下してしま
う等の不具合を生じるため、レーザガス清浄化装置停止
時にファン１４も必ず停止するように制御装置１８にて
制御するようにすればこれらの不具合は解消される。
【００３０】
【発明の効果】以上のように、請求項１の発明によれ
ば、レーザガスが封入される容器、容器内に設けられ、
レーザガスを励起させ放電を発生する一対の電極、容器
の両端に設けられたレーザ光取り出し用の窓もしくは、
レーザ発振用の反射ミラー、容器内に導入されるレーザ
ガスがレーザ光取り出し用の窓もしくは、レーザ発振用
の反射ミラーに接触するように設けられたレーザガス入
口、容器内に設けられ、レーザガスを一対の電極の間に
循環させるためのファン、上記容器のファンよりレーザ
ガス下流方向側で電極に至るまでの間に設けられたレー
ザガス出口、レーザガス入口とレーザガス出口との間に
接続されたレーザガス清浄化装置を備えるようにし、
又、請求項２の発明によれば、レーザガス出口はその開
口断面が容器内のレーザガス流を遮る方向に形成されて
いるようにし、又、請求項３の発明によれば、ファンを
レーザガス清浄化装置が停止時に、停止するようにして
いるので、レーザガスを循環させるためのポンプを必要
とせず、小容量のレーザガス清浄化装置でレーザガスの
清浄化を可能とし、安価なレーザ装置を提供することが
できる。
ば、レーザガスが封入される容器、容器内に設けられ、
レーザガスを励起させ放電を発生する一対の電極、容器
の両端に設けられたレーザ光取り出し用の窓もしくは、
レーザ発振用の反射ミラー、容器内に導入されるレーザ
ガスがレーザ光取り出し用の窓もしくは、レーザ発振用
の反射ミラーに接触するように設けられたレーザガス入
口、容器内に設けられ、レーザガスを一対の電極の間に
循環させるためのファン、上記容器のファンよりレーザ
ガス下流方向側で電極に至るまでの間に設けられたレー
ザガス出口、レーザガス入口とレーザガス出口との間に
接続されたレーザガス清浄化装置を備えるようにし、
又、請求項２の発明によれば、レーザガス出口はその開
口断面が容器内のレーザガス流を遮る方向に形成されて
いるようにし、又、請求項３の発明によれば、ファンを
レーザガス清浄化装置が停止時に、停止するようにして
いるので、レーザガスを循環させるためのポンプを必要
とせず、小容量のレーザガス清浄化装置でレーザガスの
清浄化を可能とし、安価なレーザ装置を提供することが
できる。
【図１】この発明の実施例１によるレーザ装置の概略構
成を示す正面図である。
成を示す正面図である。
【図２】図１によるレーザ装置の概略構成を示す側面図
である。
である。
【図３】この発明の実施例２によるレーザ装置の概略構
成を示す側面図である。
成を示す側面図である。
【図４】この発明の実施例３によるレーザ装置の概略構
成を示す側面図である。
成を示す側面図である。
【図５】この発明の実施例４によるレーザ装置の概略構
成を示す側面図である。
成を示す側面図である。
【図６】従来のレーザ装置の一例の概略構成を示す正面
図である。
図である。
【図７】従来のレーザ装置の異なる一例の概略構成を示
す側面図である。
す側面図である。
１ 容器 ２ レーザガス ３ 電極 ４ 窓 ５ ガス入口 ６、２２ ガス出口 ７ 管路 ８ ポンプ ９ 電気集塵装置 １１、１４ ファン １５ モータ １６、１７ 駆動電源 １８ 制御装置 １９ ノズル ２０ ガスダクト ２１ 熱交換器
【手続補正書】
【提出日】平成５年３月８日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正内容】
【書類名】 明細書
【発明の名称】 レーザ装置
【特許請求の範囲】
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、レーザ装置に係り特
にレーザガスの清浄化を図るものに関する。
にレーザガスの清浄化を図るものに関する。
【０００２】
【従来の技術】図６は例えば特開昭５８−１８６９８５
号に示された従来のレーザ装置の一例の概略構成を示す
正面図である。図において、１はレーザガス２が封入さ
れる容器、３は容器１内の長手方向に配設される一対の
電極、４は容器１の両端にそれぞれ設けられ、レーザ光
を外部に取り出すための窓、５は容器１内に窓４を介し
てレーザガス２を導入するガス入口、６は容器１内のレ
ーザガス２を外部に排出するガス出口、７はガス出口６
と両ガス入口５とをそれぞれ接続するように設けられた
管路、８は管路７上のガス出口６付近に設けられ、レー
ザガス２を管路７を介してガス出口６からガス入口５に
循環させるためのポンプ、９は管路７上のポンプ８より
ガス入口５側に設けられ、レーザガス２中の微粒子を静
電的に捕集する電気集塵装置、１０は管路７上の電気集
塵装置９の両側に設けられた休止ゾーンである。
号に示された従来のレーザ装置の一例の概略構成を示す
正面図である。図において、１はレーザガス２が封入さ
れる容器、３は容器１内の長手方向に配設される一対の
電極、４は容器１の両端にそれぞれ設けられ、レーザ光
を外部に取り出すための窓、５は容器１内に窓４を介し
てレーザガス２を導入するガス入口、６は容器１内のレ
ーザガス２を外部に排出するガス出口、７はガス出口６
と両ガス入口５とをそれぞれ接続するように設けられた
管路、８は管路７上のガス出口６付近に設けられ、レー
ザガス２を管路７を介してガス出口６からガス入口５に
循環させるためのポンプ、９は管路７上のポンプ８より
ガス入口５側に設けられ、レーザガス２中の微粒子を静
電的に捕集する電気集塵装置、１０は管路７上の電気集
塵装置９の両側に設けられた休止ゾーンである。
【０００３】次に上記のように構成された従来のレーザ
装置の動作について説明する。まず、一対の電極３が発
生する放電によりレーザガス２を励起させ、窓４を通し
てレーザ光を外に取り出す。この時、電極３自身がスパ
ッタされ、電極３を構成する材料の微粒子がレーザガス
２中に浮遊することとなる。このような状態ではこの微
粒子が窓４に付着する。この微粒子はレーザ光を吸収し
やすく、窓４は部分的に発熱を起こし微粒子が窓４に焼
きつけられるので、窓４の透過率が低下し、延いてはレ
ーザ発振効率が低下する。
装置の動作について説明する。まず、一対の電極３が発
生する放電によりレーザガス２を励起させ、窓４を通し
てレーザ光を外に取り出す。この時、電極３自身がスパ
ッタされ、電極３を構成する材料の微粒子がレーザガス
２中に浮遊することとなる。このような状態ではこの微
粒子が窓４に付着する。この微粒子はレーザ光を吸収し
やすく、窓４は部分的に発熱を起こし微粒子が窓４に焼
きつけられるので、窓４の透過率が低下し、延いてはレ
ーザ発振効率が低下する。
【０００４】上記のような問題点を解決するために、ポ
ンプ１８により容器１内のレーザガス２を図中の矢印に
示すように、ガス出口６→ポンプ１８→電気集塵装置９
→休止ゾーン１０→ガス入口５の順に強制循環させ、ガ
ス出口６から排出されたレーザガス２中の微粒子を電気
集塵装置９にて静電気的に捕集させレーザガス２を清浄
化した後ガス入口５から容器１内へ導入する。ゆえに、
ガス入口５の近傍に設けられた窓４は、清浄化されたレ
ーザガス２によりつねにパージされているため、微粒子
にさらされることなく長寿命化が図られている。
ンプ１８により容器１内のレーザガス２を図中の矢印に
示すように、ガス出口６→ポンプ１８→電気集塵装置９
→休止ゾーン１０→ガス入口５の順に強制循環させ、ガ
ス出口６から排出されたレーザガス２中の微粒子を電気
集塵装置９にて静電気的に捕集させレーザガス２を清浄
化した後ガス入口５から容器１内へ導入する。ゆえに、
ガス入口５の近傍に設けられた窓４は、清浄化されたレ
ーザガス２によりつねにパージされているため、微粒子
にさらされることなく長寿命化が図られている。
【０００５】又、図７は同一出願人により出願されてい
る特願平３−０４１５０９号に示されたポンプを使用し
ない従来のレーザ装置の異なる一例の概略構成を示す側
面図である。１〜３は図６と同様であるので同一符号を
付して説明を省略する。１１は容器１内のレーザガス２
を循環させるためのファン、１２は容器１と一体に設け
られ、内部に磁石１３を有し、この磁石１３の磁力によ
りレーザガス２中の微粒子を捕集する微粒子捕集装置で
ある。
る特願平３−０４１５０９号に示されたポンプを使用し
ない従来のレーザ装置の異なる一例の概略構成を示す側
面図である。１〜３は図６と同様であるので同一符号を
付して説明を省略する。１１は容器１内のレーザガス２
を循環させるためのファン、１２は容器１と一体に設け
られ、内部に磁石１３を有し、この磁石１３の磁力によ
りレーザガス２中の微粒子を捕集する微粒子捕集装置で
ある。
【０００６】次に上記のように構成された従来のレーザ
装置の動作について説明する。まずここで、上記従来装
置の一例と同様にレーザガス２中に微粒子が発生した場
合、ここでは、容器１と微粒子捕集装置１２とが一体化
されているので、ポンプを用いなくともファン１１を駆
動させることにより、レーザガス２を図中の矢印に示す
ように微粒子捕集装置１２に循環可能となり、レーザガ
ス２中の微粒子は磁石１３により捕集されるのでレーザ
ガス２は清浄化される。
装置の動作について説明する。まずここで、上記従来装
置の一例と同様にレーザガス２中に微粒子が発生した場
合、ここでは、容器１と微粒子捕集装置１２とが一体化
されているので、ポンプを用いなくともファン１１を駆
動させることにより、レーザガス２を図中の矢印に示す
ように微粒子捕集装置１２に循環可能となり、レーザガ
ス２中の微粒子は磁石１３により捕集されるのでレーザ
ガス２は清浄化される。
【０００７】しかし、このように容器１と微粒子捕集装
置１２とを一体化しているので、容器１を流れるレーザ
ガス２の流量約１Ｍ3／ｍｉｎをすべて微粒子捕集装置
１２にて清浄化しなければならない。
置１２とを一体化しているので、容器１を流れるレーザ
ガス２の流量約１Ｍ3／ｍｉｎをすべて微粒子捕集装置
１２にて清浄化しなければならない。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】従来のレーザ装置は以
上のように構成されているので、レーザガス２を強性循
環させるためのポンプ８を必要とする。このポンプ８は
ハロゲンガスに腐食されないものを選択する必要がある
ため、ベローズポンプしか使用できない。しかしながら
このベローズポンプは高価なためレーザ装置としても高
価になるという問題点があった。一方、ポンプを必要と
しないレーザ装置は、容器１と微粒子捕集装置１２とを
一体化しているので、大容量の微粒子捕集装置１２が必
要となり、レーザ装置として高価になるという問題点が
あった。
上のように構成されているので、レーザガス２を強性循
環させるためのポンプ８を必要とする。このポンプ８は
ハロゲンガスに腐食されないものを選択する必要がある
ため、ベローズポンプしか使用できない。しかしながら
このベローズポンプは高価なためレーザ装置としても高
価になるという問題点があった。一方、ポンプを必要と
しないレーザ装置は、容器１と微粒子捕集装置１２とを
一体化しているので、大容量の微粒子捕集装置１２が必
要となり、レーザ装置として高価になるという問題点が
あった。
【０００９】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、レーザガスを循環させるための
ポンプを必要とせず、小容量のレーザガス清浄化装置で
レーザガスの清浄化を可能とすることにより、安価なレ
ーザ装置を提供することを目的とする。
ためになされたもので、レーザガスを循環させるための
ポンプを必要とせず、小容量のレーザガス清浄化装置で
レーザガスの清浄化を可能とすることにより、安価なレ
ーザ装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この発明に係る請求項１
のレーザ装置は、レーザガスが封入される容器、容器内
に設けられ、レーザガスを励起させ放電を発生する一対
の電極、容器の両端に設けられたレーザ光取り出し用の
窓もしくは、レーザ発振用の反射ミラー、容器内に導入
されるレーザガスが上記レーザ光取り出し用の窓もしく
は、レーザ発振用の反射ミラーに近くに設けられたレー
ザガス入口、容器内に設けられ、レーザガスを一対の電
極の間に循環させるためのファン、容器のファンよりレ
ーザガス下流方向側で電極に至るまでの間に設けられた
レーザガス出口、レーザガス入口とレーザガス出口との
間に接続されたレーザガス清浄化装置を備えたものであ
る。
のレーザ装置は、レーザガスが封入される容器、容器内
に設けられ、レーザガスを励起させ放電を発生する一対
の電極、容器の両端に設けられたレーザ光取り出し用の
窓もしくは、レーザ発振用の反射ミラー、容器内に導入
されるレーザガスが上記レーザ光取り出し用の窓もしく
は、レーザ発振用の反射ミラーに近くに設けられたレー
ザガス入口、容器内に設けられ、レーザガスを一対の電
極の間に循環させるためのファン、容器のファンよりレ
ーザガス下流方向側で電極に至るまでの間に設けられた
レーザガス出口、レーザガス入口とレーザガス出口との
間に接続されたレーザガス清浄化装置を備えたものであ
る。
【００１１】この発明に係る請求項２のレーザ装置は、
レーザガス出口の開口断面が容器内のレーザガス流を遮
る方向に形成されているものである。
レーザガス出口の開口断面が容器内のレーザガス流を遮
る方向に形成されているものである。
【００１２】この発明に係る請求項３のレーザ装置は、
ファンをレーザガス清浄化装置が停止時に、停止するよ
うにしたものである。
ファンをレーザガス清浄化装置が停止時に、停止するよ
うにしたものである。
【００１３】
【作用】この発明における請求項１のレーザ装置のファ
ンは容器内のレーザガスをレーザガス出口からレーザガ
ス清浄化装置を通しレーザガス入口へ循環させる。
ンは容器内のレーザガスをレーザガス出口からレーザガ
ス清浄化装置を通しレーザガス入口へ循環させる。
【００１４】この発明における請求項２のレーザ装置の
レーザガス出口は、レーザガス流を遮る方向に開口し、
循環するレーザガスの流量を増大させる。
レーザガス出口は、レーザガス流を遮る方向に開口し、
循環するレーザガスの流量を増大させる。
【００１５】この発明における請求項３のレーザ装置の
ファンは、レーザ清浄化装置が停止時に停止する。
ファンは、レーザ清浄化装置が停止時に停止する。
【００１６】
【実施例】 実施例１．図１及び図２はこの発明の実施例１によるレ
ーザ装置の概略構成を示す正面図及び側面図である。そ
れぞれの図において図６に示す従来の場合と同様の部分
については同一符号を付して説明を省略する。１４は容
器１の内部に設けられ、レーザガス２を循環させるため
のファン、１５はこのファン１４を回転させるためのモ
ータ、１６はこのモータ１５を駆動させるための駆動電
源、１７は電気集塵装置９を駆動させるための駆動電
源、１８は駆動電源１６及び１７を制御するための制御
装置である。
ーザ装置の概略構成を示す正面図及び側面図である。そ
れぞれの図において図６に示す従来の場合と同様の部分
については同一符号を付して説明を省略する。１４は容
器１の内部に設けられ、レーザガス２を循環させるため
のファン、１５はこのファン１４を回転させるためのモ
ータ、１６はこのモータ１５を駆動させるための駆動電
源、１７は電気集塵装置９を駆動させるための駆動電
源、１８は駆動電源１６及び１７を制御するための制御
装置である。
【００１７】１９は容器１のファン１４よりレーザガス
２下流方向側で電極３に至るまでの間に連結させた管路
７に接続されたファン１４から送出されるレーザガス２
を受けるように形成されたレーザガス出口としてのノズ
ル、２０は電極３の両側にそれぞれ設けられ、ファン１
４から送出されるレーザガス２を両電極３間に導くため
のガスダクト、２１は容器１の内部に設けられ、電極３
間で温度上昇したレーザガス２を冷却するための熱交換
器である。
２下流方向側で電極３に至るまでの間に連結させた管路
７に接続されたファン１４から送出されるレーザガス２
を受けるように形成されたレーザガス出口としてのノズ
ル、２０は電極３の両側にそれぞれ設けられ、ファン１
４から送出されるレーザガス２を両電極３間に導くため
のガスダクト、２１は容器１の内部に設けられ、電極３
間で温度上昇したレーザガス２を冷却するための熱交換
器である。
【００１８】次に上記のように構成された実施例１のレ
ーザ装置の動作について説明する。まず、一対の電極３
が発生する放電によりレーザガス２を励起させ、窓４を
通してレーザ光を外に取り出す。この時、電極３自身が
スパッタされ、電極３を構成する材料の微粒子がレーザ
ガス２中に浮遊することとなる。よって、レーザガス２
中の微粒子を除去するために、制御装置１８により駆動
電源１７を制御して電気集塵装置９を駆動させ、その
後、制御装置１８により駆動電源１６を制御してモータ
１５を駆動させ、ファン１４を回転させる。
ーザ装置の動作について説明する。まず、一対の電極３
が発生する放電によりレーザガス２を励起させ、窓４を
通してレーザ光を外に取り出す。この時、電極３自身が
スパッタされ、電極３を構成する材料の微粒子がレーザ
ガス２中に浮遊することとなる。よって、レーザガス２
中の微粒子を除去するために、制御装置１８により駆動
電源１７を制御して電気集塵装置９を駆動させ、その
後、制御装置１８により駆動電源１６を制御してモータ
１５を駆動させ、ファン１４を回転させる。
【００１９】そして、このファン１４の回転により容器
１内のレーザガス流は図２中に矢印で示すように、ファ
ン１４→電極３→熱交換器２１→ファン１４と循環され
る。このようにレーザガス２が循環すると、レーザガス
２の圧損を生じるので場所によってガス圧は異なってい
る。この時、ガス入口５に比べてガス出口１９のガス圧
は高くなっている。例えばファン１４の回転数を１５０
０ｒｐｍ、一対の電極３間の距離を１５ｍｍとした時、
空気中にてノズル１９とガス入口５のガス圧を測定する
と、ノズル１９の方が１０ｍｍＡｑ高い。
１内のレーザガス流は図２中に矢印で示すように、ファ
ン１４→電極３→熱交換器２１→ファン１４と循環され
る。このようにレーザガス２が循環すると、レーザガス
２の圧損を生じるので場所によってガス圧は異なってい
る。この時、ガス入口５に比べてガス出口１９のガス圧
は高くなっている。例えばファン１４の回転数を１５０
０ｒｐｍ、一対の電極３間の距離を１５ｍｍとした時、
空気中にてノズル１９とガス入口５のガス圧を測定する
と、ノズル１９の方が１０ｍｍＡｑ高い。
【００２０】よって、レーザガス２はこの圧力差によっ
て、図１中の矢印に示すように、容器１内からノズル１
９を介して管路７に排出され、電気集塵装置９を通り、
ガス入口５から再び容器１内に導入され、以下この動作
を繰り返すことによって循環する。この循環過程におい
て電気集塵装置９はガス出口１９から放出されたレーザ
ガス２中の微粒子を静電気的に捕集し、レーザガス２を
清浄化した後ガス入口５に送りこむ。ゆえに、ガス入口
５近くに設けられた窓４は清浄化されたレーザガス２に
より常にパージされているため、微粒子にさらされるこ
となく長寿命化が図られる。
て、図１中の矢印に示すように、容器１内からノズル１
９を介して管路７に排出され、電気集塵装置９を通り、
ガス入口５から再び容器１内に導入され、以下この動作
を繰り返すことによって循環する。この循環過程におい
て電気集塵装置９はガス出口１９から放出されたレーザ
ガス２中の微粒子を静電気的に捕集し、レーザガス２を
清浄化した後ガス入口５に送りこむ。ゆえに、ガス入口
５近くに設けられた窓４は清浄化されたレーザガス２に
より常にパージされているため、微粒子にさらされるこ
となく長寿命化が図られる。
【００２１】又、この時、管路７内を流れるレーザガス
２の流量を実測すると約１０ｌ／ｍｉｎと測定され、こ
のレーザガス２の流量は窓４をパージするのに十分な量
である。そして、例えばネオン、クリプトン及びフッ素
の混合ガスをレーザガス２とし、ＫｒＦエキシマレーザ
を５×１０8パルスレーザを発振させても、窓４に汚れ
の付着はみられなかった。
２の流量を実測すると約１０ｌ／ｍｉｎと測定され、こ
のレーザガス２の流量は窓４をパージするのに十分な量
である。そして、例えばネオン、クリプトン及びフッ素
の混合ガスをレーザガス２とし、ＫｒＦエキシマレーザ
を５×１０8パルスレーザを発振させても、窓４に汚れ
の付着はみられなかった。
【００２２】尚、ここでは窓４としレーザ光を外部に取
り出すように構成したレーザ装置について示したが、反
射ミラーを用いた構成のレーザ装置に適用しても同様の
効果が得られる。
り出すように構成したレーザ装置について示したが、反
射ミラーを用いた構成のレーザ装置に適用しても同様の
効果が得られる。
【００２３】実施例２．上記実施例１ではガス出口を管
路７を容器１の側壁に連結させ、その内部にファン１４
から送出されるレーザガス２を受けるように設けられた
ノズル１９で形成したものについて示したがこれに限ら
れることなく、図３に示すようにノズル１９のかわりに
板を湾曲させたものを内部に取り付けて、ファン１４か
ら送出されるレーザガス２を受けるようにしても同様の
効果を奏する。
路７を容器１の側壁に連結させ、その内部にファン１４
から送出されるレーザガス２を受けるように設けられた
ノズル１９で形成したものについて示したがこれに限ら
れることなく、図３に示すようにノズル１９のかわりに
板を湾曲させたものを内部に取り付けて、ファン１４か
ら送出されるレーザガス２を受けるようにしても同様の
効果を奏する。
【００２４】実施例３．又、図４に示すように管路７を
直接容器１の内部に差し込み、且つ、管路７の開口でフ
ァン１４から送出されるレーザガス２を受けるようにし
ても同様の効果を奏する。
直接容器１の内部に差し込み、且つ、管路７の開口でフ
ァン１４から送出されるレーザガス２を受けるようにし
ても同様の効果を奏する。
【００２５】実施例４．上記各実施例ではガス出口の開
口断面が容器１内のレーザガス２流を遮る方向に形成さ
れているけれども、図５に示すように管路７を容器１の
側壁に連結し、この管路７の開口からレーザガスを排出
するようにし、ガス出口２２としても良い。但し、この
場合上記各実施例と同条件で比較するとガス出口２２と
ガス入口５とのレーザガス２の圧力差が２ｍｍＡｑとな
るので、ガス出口２２からガス入口５に流れるレーザガ
ス２流量は低下する。しかし、ガス出口２２自体の加工
が容易なため、レーザ装置自体は安価となる。
口断面が容器１内のレーザガス２流を遮る方向に形成さ
れているけれども、図５に示すように管路７を容器１の
側壁に連結し、この管路７の開口からレーザガスを排出
するようにし、ガス出口２２としても良い。但し、この
場合上記各実施例と同条件で比較するとガス出口２２と
ガス入口５とのレーザガス２の圧力差が２ｍｍＡｑとな
るので、ガス出口２２からガス入口５に流れるレーザガ
ス２流量は低下する。しかし、ガス出口２２自体の加工
が容易なため、レーザ装置自体は安価となる。
【００２６】実施例５．上記各実施例ではレーザガス清
浄化装置としてレーザガス２の圧損の少ない電気集塵装
置を用いた例を示したが、これに限られることなく、レ
ーザガス清浄化装置として同様にレーザガス２の圧損の
少ない、磁力を用いて微粒子を捕集する微粒子捕集装
置、及び、ガス温度を下げることによりレーザガス中の
不純ガス成分を凝結させて捕集する冷却トラップ装置を
用いてもよく、又、これらを組み合わせたものを用いて
も、同様の効果を奏する。
浄化装置としてレーザガス２の圧損の少ない電気集塵装
置を用いた例を示したが、これに限られることなく、レ
ーザガス清浄化装置として同様にレーザガス２の圧損の
少ない、磁力を用いて微粒子を捕集する微粒子捕集装
置、及び、ガス温度を下げることによりレーザガス中の
不純ガス成分を凝結させて捕集する冷却トラップ装置を
用いてもよく、又、これらを組み合わせたものを用いて
も、同様の効果を奏する。
【００２７】実施例６．上記各実施例においては、装置
の材料について述べなかったがレーザガス中にフッ素も
しくは塩化水素ガスを含有する場合、レーザガスの触れ
る部分をニッケル、ニッケルコートされた金属材料、ア
ルミナセラミックス及びテフロンの組み合わせで構成す
るようにすれば、レーザガスの劣化が無く、レーザガス
の寿命を長くすることができる。特に、レーザガス清浄
化装置として電気集塵装置を用いる場合にはその構成が
簡単なため、比較的高価な上記材料を用いても安価とな
る。
の材料について述べなかったがレーザガス中にフッ素も
しくは塩化水素ガスを含有する場合、レーザガスの触れ
る部分をニッケル、ニッケルコートされた金属材料、ア
ルミナセラミックス及びテフロンの組み合わせで構成す
るようにすれば、レーザガスの劣化が無く、レーザガス
の寿命を長くすることができる。特に、レーザガス清浄
化装置として電気集塵装置を用いる場合にはその構成が
簡単なため、比較的高価な上記材料を用いても安価とな
る。
【００２８】実施例７．上記各実施例においては、制御
装置１８による制御の詳細な説明を行わなかったが、も
しも、ファン１４のみを回転させレーザガス清浄化装置
を停止させている場合には、レーザガス２は微粒子を除
去されないまま管路７を循環するので、レーザガス２中
に微粒子を含んだまま窓４をパージすることとなり窓４
に微粒子が付着してしまうという不具合を生じる。
装置１８による制御の詳細な説明を行わなかったが、も
しも、ファン１４のみを回転させレーザガス清浄化装置
を停止させている場合には、レーザガス２は微粒子を除
去されないまま管路７を循環するので、レーザガス２中
に微粒子を含んだまま窓４をパージすることとなり窓４
に微粒子が付着してしまうという不具合を生じる。
【００２９】又、特に、レーザガス２循環時に電気集塵
装置９を駆動していないと、コロナ放電が発生せず、集
塵電極に付着した微粒子が剥がれ易くなっており、電気
集塵装置９をレーザガス２が通過する際、レーザガス２
中の微粒子の増加を招き、この状態ではレーザを発振さ
せなくとも約１日で窓４はくもってしまい、次に、レー
ザを発振させるとレーザ出力は約２０％も低下してしま
う等の不具合を生じるため、レーザガス清浄化装置停止
時にファン１４も必ず停止するように制御装置１８にて
制御するようにすればこれらの不具合は解消される。
装置９を駆動していないと、コロナ放電が発生せず、集
塵電極に付着した微粒子が剥がれ易くなっており、電気
集塵装置９をレーザガス２が通過する際、レーザガス２
中の微粒子の増加を招き、この状態ではレーザを発振さ
せなくとも約１日で窓４はくもってしまい、次に、レー
ザを発振させるとレーザ出力は約２０％も低下してしま
う等の不具合を生じるため、レーザガス清浄化装置停止
時にファン１４も必ず停止するように制御装置１８にて
制御するようにすればこれらの不具合は解消される。
【００３０】実施例８．上記各実施例では、例えば図１
に示すように管路７と電気集塵装置９と駆動電源１７と
から成るレーザガス清浄化装置を容器１の外部に設ける
レーザ装置の例を示したが、これに限られることなく容
器１の内部でレーザガス２の流れの妨げにならないよう
な場所にレーザガス清浄化装置を設けるようにしても上
記各実施例と同様の効果を奏するのはもちろんのこと、
レーザ装置自体の構成が簡単になる。
に示すように管路７と電気集塵装置９と駆動電源１７と
から成るレーザガス清浄化装置を容器１の外部に設ける
レーザ装置の例を示したが、これに限られることなく容
器１の内部でレーザガス２の流れの妨げにならないよう
な場所にレーザガス清浄化装置を設けるようにしても上
記各実施例と同様の効果を奏するのはもちろんのこと、
レーザ装置自体の構成が簡単になる。
【００３１】
【発明の効果】以上のように、請求項１の発明によれ
ば、レーザガスが封入される容器、容器内に設けられ、
レーザガスを励起させ放電を発生する一対の電極、容器
の両端に設けられたレーザ光取り出し用の窓もしくは、
レーザ発振用の反射ミラー、容器内に導入されるレーザ
ガスがレーザ光取り出し用の窓もしくは、レーザ発振用
の反射ミラーに近くに設けられたレーザガス入口、容器
内に設けられ、レーザガスを一対の電極の間に循環させ
るためのファン、上記容器のファンよりレーザガス下流
方向側で電極に至るまでの間に設けられたレーザガス出
口、レーザガス入口とレーザガス出口との間に接続され
たレーザガス清浄化装置を備えるようにし、又、請求項
２の発明によれば、レーザガス出口はその開口断面が容
器内のレーザガス流を遮る方向に形成されているように
し、又、請求項３の発明によれば、ファンをレーザガス
清浄化装置が停止時に、停止するようにしているので、
レーザガスを循環させるためのポンプを必要とせず、小
容量のレーザガス清浄化装置でレーザガスの清浄化を可
能とし、安価なレーザ装置を提供することができる。
ば、レーザガスが封入される容器、容器内に設けられ、
レーザガスを励起させ放電を発生する一対の電極、容器
の両端に設けられたレーザ光取り出し用の窓もしくは、
レーザ発振用の反射ミラー、容器内に導入されるレーザ
ガスがレーザ光取り出し用の窓もしくは、レーザ発振用
の反射ミラーに近くに設けられたレーザガス入口、容器
内に設けられ、レーザガスを一対の電極の間に循環させ
るためのファン、上記容器のファンよりレーザガス下流
方向側で電極に至るまでの間に設けられたレーザガス出
口、レーザガス入口とレーザガス出口との間に接続され
たレーザガス清浄化装置を備えるようにし、又、請求項
２の発明によれば、レーザガス出口はその開口断面が容
器内のレーザガス流を遮る方向に形成されているように
し、又、請求項３の発明によれば、ファンをレーザガス
清浄化装置が停止時に、停止するようにしているので、
レーザガスを循環させるためのポンプを必要とせず、小
容量のレーザガス清浄化装置でレーザガスの清浄化を可
能とし、安価なレーザ装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施例１によるレーザ装置の概略構
成を示す正面図である。
成を示す正面図である。
【図２】図１によるレーザ装置の概略構成を示す側面図
である。
である。
【図３】この発明の実施例２によるレーザ装置の概略構
成を示す側面図である。
成を示す側面図である。
【図４】この発明の実施例３によるレーザ装置の概略構
成を示す側面図である。
成を示す側面図である。
【図５】この発明の実施例４によるレーザ装置の概略構
成を示す側面図である。
成を示す側面図である。
【図６】従来のレーザ装置の一例の概略構成を示す正面
図である。
図である。
【図７】従来のレーザ装置の異なる一例の概略構成を示
す側面図である。
す側面図である。
【符号の説明】 １ 容器 ２ レーザガス ３ 電極 ４ 窓 ５ ガス入口 ６、２２ ガス出口 ７ 管路 ８ ポンプ ９ 電気集塵装置 １１、１４ ファン １５ モータ １６、１７ 駆動電源 １８ 制御装置 １９ ノズル ２０ ガスダクト ２１ 熱交換器
Claims (3)
- 【請求項１】 レーザガスが封入される容器、上記容器
内に設けられ、上記レーザガスを励起させ放電を発生す
る一対の電極、上記容器の両端に設けられたレーザ光取
り出し用の窓もしくは、レーザ発振用の反射ミラー、上
記容器内に導入される上記レーザガスが上記レーザ光取
り出し用の窓もしくは、上記レーザ発振用の反射ミラー
に接触するように設けられたレーザガス入口、上記容器
内に設けられ、上記レーザガスを上記一対の電極の間に
循環させるためのファン、上記容器の上記ファンより上
記レーザガス下流方向側で上記電極に至るまでの間に設
けられたレーザガス出口、上記レーザガス入口と上記レ
ーザガス出口との間に接続されたレーザガス清浄化装置
を備えたことを特徴とするレーザ装置。 - 【請求項２】 レーザガス出口はその開口断面が容器内
のレーザガス流を遮る方向に形成されていることを特徴
とする請求項１記載のレーザ装置。 - 【請求項３】 ファンをレーザガス清浄化装置が停止時
に、停止するようにしたことを特徴とする請求項１記載
のレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30529092A JP2734911B2 (ja) | 1992-11-16 | 1992-11-16 | レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30529092A JP2734911B2 (ja) | 1992-11-16 | 1992-11-16 | レーザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06152007A true JPH06152007A (ja) | 1994-05-31 |
| JP2734911B2 JP2734911B2 (ja) | 1998-04-02 |
Family
ID=17943325
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30529092A Expired - Fee Related JP2734911B2 (ja) | 1992-11-16 | 1992-11-16 | レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2734911B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7321607B2 (en) | 2005-11-01 | 2008-01-22 | Cymer, Inc. | External optics and chamber support system |
| US7706424B2 (en) | 2005-09-29 | 2010-04-27 | Cymer, Inc. | Gas discharge laser system electrodes and power supply for delivering electrical energy to same |
| US8379687B2 (en) | 2005-06-30 | 2013-02-19 | Cymer, Inc. | Gas discharge laser line narrowing module |
-
1992
- 1992-11-16 JP JP30529092A patent/JP2734911B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8379687B2 (en) | 2005-06-30 | 2013-02-19 | Cymer, Inc. | Gas discharge laser line narrowing module |
| US7706424B2 (en) | 2005-09-29 | 2010-04-27 | Cymer, Inc. | Gas discharge laser system electrodes and power supply for delivering electrical energy to same |
| US7321607B2 (en) | 2005-11-01 | 2008-01-22 | Cymer, Inc. | External optics and chamber support system |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2734911B2 (ja) | 1998-04-02 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |