JP2007096050A - 露光装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】高解像度と高スループットを実現する露光装置を提供する。
【解決手段】被露光体の表面と、当該被露光体の表面に最も近い投影光学系の最終面との隙間を液体で満たし、前記投影光学系及び前記液体を介して前記被露光体を露光する露光装置であって、前記隙間の第1の間隔よりも小さい第2の間隔を前記被露光体又は前記被露光体に隣接した部材との間に形成して前記液体の移動を制限する移動規制部と、当該突起部を前記第2の間隔が広がるように移動させる移動手段とを有することを特徴とする露光装置を提供する。
【選択図】図1

Description

本発明は、一般には露光装置に係り、特に、投影光学系の最終面(最終レンズ)と被露光体の表面とを液体に浸漬し、投影光学系及び液体を介して被露光体を露光する所謂液浸露光装置に関する。
レチクル(又はマスク)パターンを投影光学系を介してウェハに露光する投影露光装置は従来から使用されており、近年では、高解像度で高スループットな露光装置が益々要求されている。高解像度の要請に応える一手段として液浸露光が注目されている。液浸露光は、投影光学系のウェハ側の媒質を液体にすることによって投影光学系の開口数(NA)の増加を更に進めるものである。投影光学系のNAは媒質の屈折率をnとすると、NA=n・sinθであるので、空気の屈折率よりも高い屈折率(n>1)の媒質を満たすことでNAをnまで大きくすることができる。この結果、プロセス定数k1と光源の波長λによって表される露光装置の解像度R(R=k1(λ/NA))を小さくしようとするものである。
液浸露光では、投影光学系の最終面とウェハ表面との隙間に局所的に液体を充填するローカルフィル方式が提案されている(例えば、特許文献1を参照のこと)。しかし、かかる狭い隙間に液体を充填することはしばしば困難であり、また、露光中にウェハを高速で移動することによって充填された液体が周囲に飛散する。この結果、隙間の液体の充填が不十分となり、気泡が混入して露光光を乱反射する。露光光の乱反射は露光量を減少させ、スループットを低下させる。そこで、隙間の周囲にガスを吹き付け、液体を隙間に封じ込めるエアカーテン方式が提案されている(例えば、特許文献2を参照のこと)。
国際公開第99/49504号パンフレット 特開2004−289126号公報
しかし、エアカーテン方式では、ガス圧が低いと液体を隙間に留める力が弱く、ガス圧が高いと逆に隙間から液体を飛散させてしまう。このため、エアカーテンのみでは液体の閉じ込め制御は実際には困難である。
本発明は、高解像度と高スループットを実現する露光装置を提供する。
本発明の一側面としての露光装置は、被露光体の表面と、当該被露光体の表面に最も近い投影光学系の最終面との隙間を液体で満たし、前記投影光学系及び前記液体を介して前記被露光体を露光する露光装置であって、前記隙間の第1の間隔よりも小さい第2の間隔を前記被露光体又は前記被露光体に隣接した部材との間に形成して前記液体の移動を制限する移動規制部と、当該突起部を前記第2の間隔が広がるように移動させる移動手段とを有することを特徴とする。本発明の別の側面としてのデバイス製造方法は、上述の露光装置を用いて被露光体を露光するステップと、当該露光された被露光体を現像するステップとを有することを特徴とする。
本発明の他の目的及び更なる特徴は、以下の添付図面を参照して説明される好ましい実施例によって明らかにされるであろう。
本発明によれば、高解像度と高スループットを実現する露光装置を提供することができる。
以下、添付図面を参照して、本発明の一側面としての露光装置1について説明する。ここで、図1は、露光装置1の概略ブロック図である。露光装置1は、投影光学系30のウェハ40側にある最終面(最終レンズ)とウェハ40との間に供給される液体LWを介して、レチクルパターンをウェハ40に露光する液浸型の投影露光装置である。本実施例は、ステップ・アンド・スキャン方式の露光装置(「スキャナー」とも呼ばれる。)を例に説明するが、本発明はステップ・アンド・リピート方式の露光装置(「ステッパー」とも呼ばれる。)にも適用可能である。
露光装置1は、照明装置10と、レチクルステージ25と、投影光学系30と、ウェハステージ45と、測距装置50と、ステージ制御部60とを有する。更に、露光装置1は、媒体供給部70と、液浸制御部80と、液体回収部90と、鏡筒100と、移動機構110とを有する。
照明装置10は、転写用の回路パターンが形成されたレチクル20を照明し、光源部12と、照明光学系14とを有する。
光源部12は、本実施形態では、光源として、波長約193nmのArFエキシマレーザーを使用する。但し、光源はArFエキシマレーザーに限定されず、例えば、波長約248nmのKrFエキシマレーザー、波長約157nmのFレーザーを使用してもよいし、光源の個数も限定されない。また、光源部12に使用可能な光源はレーザーに限定されるものではなく、一又は複数の水銀ランプやキセノンランプなどのランプも使用可能である。
照明光学系14は、レチクル20を照明する光学系であり、レンズ、ミラー、オプティカルインテグレーター、絞り等を含む。例えば、コンデンサーレンズ、オプティカルインテグレーター、開口絞り、コンデンサーレンズ、スリット、結像光学系の順で整列する等である。オプティカルインテグレーターは、ハエの目レンズや2組のシリンドリカルレンズアレイ(又はレンチキュラーレンズ)板を重ねることによって構成されるインテグレーターを含むが、光学ロッドや回折素子に置換される場合もある。
レチクル20は、図示しないレチクル搬送系により露光装置1の外部から搬送され、レチクルステージ25に支持及び駆動される。レチクル20は、例えば、石英製で、その上には転写されるべき回路パターンが形成されている。レチクル20から発せられた回折光は、投影光学系30を通り、ウェハ40上に投影される。レチクル20とウェハ40とは、光学的に共役の関係に配置される。露光装置1は、スキャナーであるため、レチクル20とウェハ40を縮小倍率比の速度比で走査することにより、レチクル20のパターンをウェハ40上に転写する。なお、ステッパーの場合は、レチクル20とウェハ40を静止させた状態で露光が行われる。
レチクルステージ25は定盤27に固定される。レチクルステージ25は、図示しないレチクルチャックを介してレチクル20を支持し、図示しない移動機構及びステージ制御部60によって移動制御される。図示しない移動機構は、リニアモーターなどで構成され、走査方向(本実施形態では、X軸方向)にレチクルステージ25を駆動することでレチクル20を移動することができる。
投影光学系30は、レチクル20に形成されたパターンを経た回折光をウェハ40上に結像する。投影光学系30は、複数のレンズ素子のみからなるダイプトリック光学系、複数のレンズ素子と少なくとも一枚の凹面鏡とを有するカタディオプトリック光学系、ミラーのみからなるカトプトリック光学系等を使用する。投影光学系30は鏡筒100に収納される。
ウェハ40は、図示しないウェハ搬送系により露光装置1の外部から搬送され、ウェハステージ45に支持及び駆動される。ウェハ40は、被露光体の一例であり、本発明の被露光体は液晶基板やその他の被露光体を広く含む。ウェハ40には、フォトレジストが塗布されている。
同面板44は、ウェハステージ45に支持されたウェハ40の表面とウェハ40の外側の領域(ウェハステージ45)とを同一面にするための板であり、ウェハ40と略同一な高さを有する。また、同面板44は、一般的に、液浸露光を行う場合に使用され、ウェハ40の外側の領域においても液膜を形成することを可能にする。
ウェハステージ45は、定盤47に固定されており、図示しないウェハチャックを介してウェハ40を支持する。ウェハステージ45は、ウェハ40の上下方向(鉛直方向、即ち、Z軸方向)の位置や回転方向、傾きを調整する機能を有し、ステージ制御部60によって制御される。ウェハステージ45は、露光時において、投影光学系30の焦点面にウェハ40の表面が常に高精度に合致するように、ステージ制御部60によって制御される。
測距装置50は、レチクルステージ25及びウェハステージ45の2次元的な位置を、参照ミラー52及び54、及び、レーザー干渉計56及び58を介してリアルタイムに計測する。測距装置50による測距結果は、ステージ制御部60に伝達される。ステージ制御部60は、かかる測距結果に基づいて、位置決めや同期制御のために、レチクルステージ25及びウェハステージ45を一定の速度比率で駆動する。
ステージ制御部60は、レチクルステージ25及びウェハステージ45の駆動を制御する。
媒体供給部70は、液体LWを供給すると共に液体LWを投影光学系30とウェハ40の隙間に閉じ込めるエアカーテンを形成する。媒体供給部70は、図示しないタンク、図示しない圧送装置、図示しない流量制御装置、図示しない脱気装置、図示しない精製装置、図示しない温度制御装置と、液体供給配管72と、気体供給配管74とを有する。液体LWは、露光光の吸収が少ないものの中から選択され、更に、石英や蛍石などの屈折系光学素子と同程度の屈折率を有することが好ましい。具体的には、液体LWは、純水、機能水、フッ化液(例えば、フルオロカーボン)などが使用される。
タンクは、液体LW及び気体PGを貯蔵する。圧送装置は液体LW及び気体PGを送り出す。流量制御装置は、液体LW及び気体PGの供給流量を制御する。脱気装置は、液体LWの溶存ガスを十分に除去する。これにより、気泡の発生を抑制し、また、気泡が発生しても即座に液体中に吸収できる。例えば、液体LWに溶存可能な窒素及び酸素の80%を除去すれば、十分に気泡の発生を抑制することができる。脱気装置は、常時液体中の溶存ガスを除去してもよい。脱気装置は、例えば、膜モジュールと真空ポンプを含む。ガス透過性の膜を隔てて、一方に液体LWを流し、他方を真空にして液体LW中の溶存ガスをその膜を介して真空中に追い出す。精製装置は、例えば、タンクの原料中に含まれる金属イオン、微粒子及び有機物などの不純物を低減し、原料を精製する。精製装置により精製された液体LWは脱気装置に供給される。温度制御装置は、液体LWを所定の温度に制御する機能を有する。
液体供給配管72は、投影光学系30の最終面の周囲に配置され、図2に示すように、液体LWを、鏡筒100に形成された液体供給口101に接続される。これにより、液体供給配管72は、投影光学系30とウェハ40の隙間に液体LWを供給し、液体LWの液膜を形成する。投影光学系30とウェハ40との間の隙間は、液体LWの液膜を安定に形成できる程度であり、例えば、1.0mmとするとよい。ここで、図2は、投影光学系30とウェハ40近傍の概略拡大断面図である。
液体供給配管72は、液体LWを汚染しないように、溶出物質が少ないテフロン樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂などで構成されることが好ましい。液体LWに純水以外の液体を用いる場合には、液体LWに耐性を有し、且つ、溶出物質が少ない材料で液体供給配管72を構成する。
気体供給配管74は、図2に示すように、鏡筒100に形成された気体供給口102に接続され、液体LWを投影光学系30の最終面とウェハ40の隙間の周囲に供給する。この結果、液体LWを前記隙間に閉じ込めるエアカーテンを形成し、隙間外部の環境を液体LWから保護すると共に隙間外部の気体の液体LWへの接触を防止する。気体供給配管74は、各種樹脂やステンレスなどの金属から構成され、気体PGの流量が規制される電磁弁115が取り付けられている。
気体PGとしては、窒素、ヘリウム、ネオン、アルゴンなどの不活性ガス又は水素を使用される。気体PGは、液体LWを前記隙間に閉じ込めるとともに、露光への影響が大きい酸素を液体LWから遮断する。不活性ガス又は水素は液体LWに溶解しても露光への屈折率変化などの影響が少なく、転写性能の劣化は少ない。
液浸制御部80は、ウェハステージ45の現在位置、速度、加速度、目標位置及び移動方向などの情報をステージ制御部60から取得する。かかる情報に基づいて、液浸制御部80は、液体LWの供給及び回収の切り替え、停止、供給及び回収する液体LWの量を制御する。液浸制御部80は、制御指令を、媒体供給部70や媒体回収部90に与える。
媒体回収部90は、媒体供給部70が供給する液体LW及び気体PGを回収する機能を有し、本実施形態では、液体回収配管92と気体回収配管94とを有する。また、媒体回収部90は、回収した液体LW及び気体PGを一時的に貯蔵するタンク、液体LW及び気体PGを吸い取る吸引部、液体LW及び気体PGの回収流量を制御するための流量制御装置などを更に有する。
液体回収配管92は、鏡筒100に形成された液体回収口103を介して、供給された液体LWを主に回収する。液体回収配管92は、液体LWを汚染しないように、溶出物質が少ないテフロン樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂などの樹脂で構成することが好ましい。液体LWに純水以外の液体を用いる場合には、液体LWに耐性を有し、且つ、溶出物質が少ない材料で液体回収配管92を構成する。
液体回収口103による回収の速度が均一になるように、バッファ層130を液体回収配管92の途中に設けてもよい。バッファ層130には気体と液体の両方が回収され、これが振動を発生させるため、バッファ層130は鏡筒100以外に構成されるのが好ましい。
気体回収配管94は、鏡筒100に形成された気体回収口104に接続され、供給された気体PGを主に回収し、液体LWの一部も回収する。気体回収配管94は、各種樹脂やステンレスなどの金属から構成される。
鏡筒100は、投影光学系30を保持する機能を有し、図2に示すように、液体供給口101と、気体供給口102と、液体回収口103と、気体回収口104とが形成され、凸部100aを有する。供給口101及び102と、回収口103及び104は、それぞれ、図3に示すように、2つの同心円で挟まれた形状を有する開口であり、スポンジなどの多孔質部材を嵌め込んでもよいし、空洞でもよい。ここで、図3は、鏡筒100の概略底面図である。供給口101及び102と、回収口103及び104は、2つの同心円の代わりに、2つの相似の多角形で挟まれた形状、その他の形状を有してもよい。
開口101乃至104は、開口101、103、104及び102の順番で中心から径方向に配置される。
液体供給口101は、液体供給配管72に接続して液体LWを供給するための開口であるため、開口101乃至104の中で投影光学系30に最も近接して配置される。液体回収口103は、液体回収配管92に接続し、供給した液体LWを回収するための開口であるため、液体供給101の近傍外側に設けられる。
一方、気体供給口102は、気体供給配管74に接続して気体PGを供給するための開口である。即ち、気体供給口102はエアカーテンを構成するためのものであるから、本実施例では、開口101乃至104の中で最外周(後述する凸部100a)に設けられる。気体回収口104は、供給した気体PGを回収するための開口であり、気体回収配管94に接続する。このため、気体回収口104は、気体供給口102の近傍に設けられる。気体回収口104を気体供給口102の内側に設けることで気体PGの流路を外側から内側に向けている。
凸部100aは、投影光学系30の最終面よりもウェハ方向に突出し、投影光学系30とウェハ40との間隔よりも小さい間隔を形成する。これによって、凸部100aは、液体LWの移動を制限することによってエアカーテンによる液体LWの閉じ込め効果の実効を図っている。投影光学系30の最終面とウェハ40との隙間は1mm程度であるが、凸部100aとそれに対応するウェハ40又は同面板44との距離hは0.4mm程度である。エアカーテンの吹き付け力が大き過ぎると隙間内の液体LWが飛散する可能性があるために、拭き付け力の上限は制限される。しかし、かかる上限では1mmの隙間に液体LWを留めておくには不十分であるので凸部100aによって距離hを1mmよりも小さくして気体PGの吹き付け力の低下を防止している。
エアカーテンによる液体LWの閉じ込め機能が確保されるので、液体LWに高屈折率を有する有機系・無機系材料を使用したとしても材料が蒸発して露光装置1の内外の雰囲気を汚染することを防止することができる。
しかし、小さい距離hでは、停電、地震、振動などの場合に、凸部100aとウェハ40とが接触するおそれがある。そこで、本実施例の露光装置1は、移動機構110を有している。移動機構110は、凸部100aがウェハ40に衝突することを防止することを目的として凸部100aを移動する。移動機構110は、図2に示すように、駆動部111と、計測部113と、電磁弁115と、制御部117とを有する。
駆動部111は、凸部100aを駆動する機能を有し、本実施例では、引っ張りバネから構成される。駆動部111は、移動可能に凸部100aを鏡筒100に接続し、駆動部111が配置される空間αは気体供給配管74と連通している。そのため、駆動部111は、気体供給配管74から供給される気体PGの圧力によって凸部100aを移動させることができる。気体PGが空間αに供給されると、空間αの圧力が上がり、凸部100aはウェハ40方向に移動する。そして、気体PGの供給が停止すると、空間αの圧力が下がり、ばねの力により凸部100aは鏡筒100方向に移動する。凸部100aが移動する位置は、凸部100aに形成された図示しないストッパによって規制してもよい。凸部100aがバネ力によって引き上げられた状態では、凸部100aとウェハ40との間隔hは、投影光学系30の最終面とウェハ40との間隔と略同等となる。また、液体LWは、アライメント時に、特に漏れやすくなるため、アライメント時には、凸部100aを下げる必要がある。勿論、アライメント時以外でも、凸部100aを引き上げてもよい。
計測部113は、投影光学系30の最終面とウェハ40との距離を計測する測距センサであり、例えば、鏡筒100又はウェハステージ45に取り付けられる。計測部113は、計測結果を後述する制御部117に伝達する。
ストッパ119bは、水平方向に突起する突起であり、凸部100aがウェハ40方向に移動する下限を規定する。そのため、凸部100aにも水平方向に突起する突起124aが形成されている。
電磁弁115は、後述する制御部117の駆動制御と図示しない電源からの電力供給により、電磁力により気体供給配管74を開閉する。電磁弁115は通電中に気体供給配管74を開口し、通電停止時に気体供給配管74を閉口する。図示しない電源による通電は、後述する制御部117によって制御されている。
制御部117は、計測部113の計測結果に基づいて電磁弁115への通電を制御し、気体PGの供給を制御する。この結果、制御部117は空間αの圧力を制御することによって凸部100aの光軸方向の移動を制御する。
ウェハステージ45の誤動作や図示しない除振装置の誤動作時などの場合に、凸部100aとウェハ40が異常接近するおそれがあるが、かかる異常の有無を気体PGの流量低下によって判断することができる。制御部117が電磁弁115を制御することによって誤動作時の凸部100aとウェハ40との接触を回避することができる。
以上のように、露光装置1は、投影光学系30とウェハ40の隙間よりも凸部100aとウェハ40又は同面板44との距離を小さくすることによって、液体LWを隙間に閉じ込めることができる。その結果、露光装置1は、気泡による露光量の低下を防止してスループットを向上させることができる。
また、凸部100aは移動機構110によって上下移動が可能であるため、異常時や誤動作などの場合に凸部100aとウェハ40との衝突を防止して信頼性を向上することができる。
以下、図4及び図5を参照して、鏡筒100及び移動機構110の別の実施例である鏡筒100A及び移動機構110Aを説明する。ここで、図4は、鏡筒100A及び移動機構110Aの断面図である。図5は、鏡筒100A及び移動機構110Aの部分拡大断面図である。鏡筒100Aは、投影光学系30を保持する機能を有する。本実施例の露光装置は、図4及び図5に示すように、液体供給口101と、気体供給口102Aと、液体回収口103と、回収口105及び106と、凸部120を有する。気体供給口102Aの機能は気体供給口102と実質的に同様である。
凸部120は、液体LWを投影光学系30とウェハ40との隙間に閉じ込める機能を有し、鏡筒100Aと別体に設けられ、気体供給口102A、回収口105及び106が形成されている。また、凸部120は、移動機構110Aによって移動可能に保持されている。
回収口105は、ウェハステージ45の停止時に周辺雰囲気を吸引し、ウェハステージ45の移動時にスキャン方向に漏れ出した液膜を回収するための開口であり、気体回収配管94と接続される。(気体)回収口106は、供給した気体PGを回収するための開口であり、外部と連通している。回収口106に不図示の気体回収配管を接続することで、供給した気体PGと蒸発した液体LWを回収することができる。気体回収口106は、回収口105と気体供給口102Aの間に設けられ、液体LWで塞がれない程度に大きく断面積をとった気体の流路として機能する。
回収口105及び106は、2つの同心円に挟まれた形状を有する開口であり、スポンジなどの多孔質部材がはめ込まれてもよいし、空洞でもよい。回収口105及び106は、気体供給口102Aよりも内側に形成され、2つの同心円の代わりに、2つの相似の多角形で挟まれた形状、その他の形状を有してもよい。
回収口105から液体LWを吸い込み始めると回収口105における吸引量は減少するため、吸引しきれない液体LWは外側に漏れ出そうとする。しかし、回収口105の更に外側に設けた気体供給口102Aから気体PGを液体LWに吹き付けて閉じ込めることができる。
回収口105が液体LWで塞がれて回収口106がないと気体供給口102Aから鏡筒100Aの中央に向かう気体PGの循環がなくなるため、エアカーテンを維持できなくなる。また、気体供給口102Aから気体PGを吹き付ける際に液膜が乱れて気泡が発生することがあるが、かかる気泡は液膜と共に回収口105で回収される。また、ウェハステージ45の移動方向が逆転し、上記気泡が回収口105で回収しきれなかった場合にも、液体供給口101の外側で発生した気泡が液体供給口101の内側に進入することを抑えることができる。その結果、更に液体LWを外部へと逃がし難くすることができる。
液体回収口103は気体も同時に吸い込むため、凸部110とウェハ40との距離が狭いと、液体空間の圧力が上昇してしまう。それにより、鏡筒100Aとウェハ40とが吸引し合い、例えば、ウェハ40が持ち上がるなどの問題が発生し得る。しかし、本実施例の場合、凸部120と鏡筒100Aの間に隙間Pがあり、この部分が圧力抜きとして働くので好ましい。
回収口105が液体LWと気体PGを同時に吸い上げる際に振動が発生する。この振動を投影光学系30に伝えないようにするために、本実施例では、鏡筒100Aと回収口105を別体に設けている。更に振動を抑える必要があれば、露光中に回収口105からの吸引と気体供給口102Aからの気体PGの供給を停止してもよい。
移動機構110Aは、凸部120がウェハ40に衝突することを防止する。移動機構110Aは、図5に示すように、駆動部111と、計測部113Aと、電磁弁115と、制御部117と、筐体119とを有する。移動機構110Aは筐体119を有する点で移動機構110と相違する。
計測部113Aは計測対象が計測部113と異なる。計測部113Aは、気体PGの流量若しくは圧力を計測し、計測可能な位置に配置される。また、計測部113Aは、空間αの圧力又は空間αに流入する気体PGを計測する。計測部113Aは、制御部117と電気的に接続され、計測結果を制御部117に通知する。なお、計測部113Aは、凸部120とウェハ40の間の距離hを計測する変位センサであってもよい。制御部117は、凸部120の移動を制御する。制御部117は、計測部113Aの計測結果を利用する以外は制御部117と同様の機能を有する。
筐体119は、凸部120を移動可能に保持する機能を有し、鏡筒100Aと別体に設けられ、ストッパ119aを有する。ストッパ119aは、水平方向に突起する突起であり、凸部120がウェハ40方向に移動する下限を規定する。そのため、凸部120にも水平方向に突起する突起112Aが形成されている。
以上のように、本実施例は、凸部120によって液体LWを投影光学系30とウェハ40の隙間に閉じ込め、気泡による露光量の低下を防止してスループットを向上させることができる。また、移動機構110によって凸部120が上下移動できるため、異常時や誤動作時に凸部120を退避させることができる。その結果、本実施例は凸部120とウェハ40との衝突を防止して信頼性の高い露光装置を提供することができる。
なお、図4では気体供給口102Aのウェハ40からの高さが投影光学系30の最終レンズよりも低いが、図6に示すように、ウェハ40からの気体供給口102Bの高さが、投影光学系30の最終レンズよりも高くてもよい。図6では、回収口105が気体供給口102よりも低い位置にあることで、気体供給口102Bから供給される気体PGによる液体LWの乱れが抑えられる。そのため、図4の実施例と同様にウェハステージ45のスキャンに伴う液体LWの漏れを抑えることができる。ここで、図6は、図4に示す気体供給口102Aの変形例を示す概略断面図である。
また、図4乃至図6において、気体供給口102A及び102Bからの気体PGの供給方向がウェハ40表面に対して約45度で傾斜しているが、この角度はウェハ40表面に垂直に近づけてもよい。この場合、凸部120の鏡筒側の壁面の垂直方向の長さはそれに応じて長くなる。
ウェハ40又は同面板44の接触角が高ければ、以下の2種類の方法でも、液体LWの閉じ込め効果の実効を図ることができる。第1の方法は、投影光学系30の最終レンズの高さ以上の位置に気体供給口102と回収口106を設け、回収口105を無くす方法である。第2の方法は、凸部120から気体供給口102と回収口106を無くして回収口105のみを設ける方法である。この場合、ウェハ40又は同面板44の接触角が高ければ液体LWが広がる距離が短く、広がった液体LWも厚い。そのため、低い位置に回収口105を設ければ広がった液体LWを回収することができる。
以下、図7及び図8を参照して、鏡筒100及び移動機構110の別の実施例である鏡筒100B及び移動機構110Bを説明する。ここで、図7は、鏡筒100B及び移動機構110Bの概略断面図である。図8は、鏡筒100B及び移動機構110Bの部分拡大断面図である。鏡筒100Bは、投影光学系30を保持する機能を有する。本実施例の露光装置は、図7及び図8に示すように、液体供給口101と、気体供給口102Aと、液体回収口103Bと、回収口105及び106とが形成され、凸部122を有する。
凸部122は、液体LWを投影光学系30とウェハ40との隙間に閉じ込める機能を有し、鏡筒100Bと別体に設けられ、気体供給口102A、回収口105及び106が形成されている。また、凸部120は、移動機構110Bによって移動可能に保持されている。
液体回収口103Bは液体回収口103と実質的に同様の機能を有するが、本実施例は鏡筒100Bと別体に設け、液体回収口103Bが液体LW及び/又は気体PGを吸い上げた際の振動から投影光学系30を保護している。
液体回収口103Bは気体も同時に吸い込むため、凸部110とウェハ40との距離が狭いと、液体空間の圧力が上昇してしまう。それにより、鏡筒100Aとウェハ40とが吸引し合い、例えば、ウェハ40が持ち上がるなどの問題が発生し得る。しかし、本実施例の場合、凸部122と鏡筒100Bの間に隙間Pがあり、この部分が圧力抜きとして働くので好ましい。
回収口105が液体LWと気体PGを同時に吸い上げる際に振動が発生する。この振動を投影光学系30に伝えないようにするために、本実施例では、鏡筒100Bと回収口105を別体に設けている。更に振動を抑える必要があれば、露光中に回収口105からの吸引と気体供給口102Aからの気体PGの供給を停止してもよい。
移動機構110Bは、凸部122がウェハ40に衝突することを防止する。移動機構110Bは、図8に示すように、駆動部111と、計測部113Bと、電磁弁115と、制御部117と、筐体119Bとを有する。筐体119Bの機能は筐体119と実質的に同様である。
以上のように、本実施例は、凸部122によって液体LWを投影光学系30とウェハ40の隙間に閉じ込め、気泡による露光量の低下を防止してスループットを向上させることができる。また、移動機構110Bによって凸部122が上下移動できるため、異常時や誤動作時に凸部122を退避させることができる。その結果、本実施例は凸部122とウェハ40との衝突を防止して信頼性の高い露光装置を提供することができる。
以下、図9を参照して、鏡筒100及び移動機構110の別の実施例である鏡筒100C及び移動機構110Cを説明する。ここで、図9は、鏡筒100C及び移動機構110Cの断面図である。鏡筒100Cは、投影光学系30を保持する機能を有する。本実施例の露光装置は、図9に示すように、液体供給口101と、液体回収口103と、回収口107とが形成され、凸部124を有する。鏡筒100Cは回収口107と凸部124を有する点で鏡筒100と相違する。
凸部124は、液体LWを投影光学系30とウェハ40との隙間に閉じ込める機能を有し、鏡筒100Cと一体に投影光学系30の最終面よりもウェハ方向に突出して設けられている。また、凸部120は、移動機構110Cによって移動可能に保持されている。
回収口107は気体を回収するための開口であり、液体LWが充填される空間と外部とを接続している。液体回収口103は、液体と気体の両方を吸引してしまうため、凸部124とウェハ40との隙間の液体充填空間の圧力が上昇してウェハ40が持ち上がる等の問題が発生し得る。そこで、回収口107は液体充填空間の圧力を下げている。
回収口107は、2つの同心円に挟まれた形状を有する開口であり、スポンジなどの多孔質部材がはめ込まれてもよいし、空洞でもよい。回収口107は、液体回収口103よりも外側に形成され、2つの同心円の代わりに、2つの相似の多角形で挟まれた形状、その他の形状を有してもよい。
移動機構110Cは、鏡筒100Cに部分的に一体となり、凸部124がウェハ40に衝突することを防止する。移動機構110Cは、図9に示すように、駆動部111と、計測部113Cと、電磁弁115と、制御部117Cと、ストッパ119bとを有する。
計測部113Cは、投影光学系30の最終面とウェハ40との距離を計測する測距センサであり、例えば、鏡筒100C又はウェハステージ45に取り付けられる。計測部113Cは、計測結果を後述する制御部117Cに伝達する点は計測部113と同様である。制御部117Cは、凸部124の移動を制御する。制御部117Cは、計測部113Cの計測結果を利用する以外は制御部117と同様の機能を有する。
ストッパ119bは、水平方向に突起する突起であり、凸部124がウェハ40方向に移動する下限を規定する。そのため、凸部124にも水平方向に突起する突起124aが形成されている。ストッパ119bと突起124aのペアの機能はストッパ119aと突起112Aと実質的に同様である。
以上のように、本実施例は、凸部124によって液体LWを投影光学系30とウェハ40の隙間に閉じ込め、気泡による露光量の低下を防止してスループットを向上させることができる。また、移動機構110Cによって凸部124が上下移動できるため、異常時や誤動作時に凸部124を退避させることができる。その結果、本実施例は凸部124とウェハ40との衝突を防止して信頼性の高い露光装置を提供することができる。
以下、図10を参照して、鏡筒100及び移動機構110の別の実施例である鏡筒100D及び移動機構110Dを説明する。ここで、図10は、鏡筒100D及び移動機構110Dの部分拡大断面図である。鏡筒100Dは、投影光学系30を保持する機能を有する。本実施例の露光装置は、図10に示すように、液体供給口101と、液体回収口103Dとが形成され、凸部126を有する。本実施例の露光装置は図8に示す露光装置と筐体119Dがエアカーテン形成機構を有しない点で筐体119Bと異なる以外は同様である。即ち、液体回収口103Dは液体回収口103Bと実質的に同様の機能を有する。凸部126も凸部122と実質的に同様の機能を有し、移動機構110Dによって移動可能に保持されている。
移動機構110Dは、凸部126がウェハ40に衝突することを防止する。移動機構110Dは、図10に示すように、駆動部111と、計測部113Cと、電磁弁115と、制御部117Cと、筐体119Dとを有する。筐体119Dは筐体119Bと実質的に同様の機能を有し、ストッパ119cを有する。また、凸部126は突起126aを有する。ストッパ119cと突起126aのペアの機能はストッパ119aと突起112Aと実質的に同様である。
以上のように、本実施例は、凸部126によって液体LWを投影光学系30とウェハ40の隙間に閉じ込め、気泡による露光量の低下を防止してスループットを向上させることができる。また、移動機構110によって凸部126が上下移動できるため、異常時や誤動作時に凸部126を退避させることができる。その結果、本実施例は凸部126とウェハ40との衝突を防止して信頼性の高い露光装置を提供することができる。
露光においては、光源部12から発せられた光束は、照明光学系14によりレチクル20を、例えば、ケーラー照明する。レチクル20を通過してレチクルパターンを反映する光は、投影光学系30により、液体LWを介してウェハ40に結像される。露光装置1は液体LWにより高解像度の露光を施すことができ、凸部100a、120乃至126(以下、単に「参照番号100a」で代表させる。)によって液体LWを投影光学系30とウェハ40の隙間に閉じ込めることができる。その結果、露光装置1は、気泡の混入による露光量の低下を防止してスループットを向上させることができる。また、移動機構110乃至110D(以下、単に「参照番号110」で代表させる。)によって凸部100aが上下移動できるため、異常時や誤動作時に凸部100aを退避させることができる。その結果、本実施例は凸部100aとウェハ40との衝突を防止して信頼性の高い露光装置を提供することができる。
次に、図11及び図12を参照して、上述の露光装置1を利用したデバイスの製造方法の実施例を説明する。図11は、デバイス(ICやLSIなどの半導体チップ、LCD、CCD等)の製造を説明するためのフローチャートである。ここでは、半導体チップの製造を例に説明する。ステップ1(回路設計)では、デバイスの回路設計を行う。ステップ2(マスク製作)では、設計した回路パターンを形成したマスクを製作する。ステップ3(ウェハ製造)では、シリコンなどの材料を用いてウェハを製造する。ステップ4(ウェハプロセス)は、前工程と呼ばれ、マスクとウェハを用いて本発明のリソグラフィー技術によってウェハ上に実際の回路を形成する。ステップ5(組み立て)は、後工程と呼ばれ、ステップ4によって作成されたウェハを用いて半導体チップ化する工程であり、アッセンブリ工程(ダイシング、ボンディング)、パッケージング工程(チップ封入)等の工程を含む。ステップ6(検査)では、ステップ5で作成された半導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テストなどの検査を行う。こうした工程を経て半導体デバイスが完成し、これが出荷(ステップ7)される。
図12は、ステップ4のウェハプロセスの詳細なフローチャートである。ステップ11(酸化)では、ウェハの表面を酸化させる。ステップ12(CVD)では、ウェハの表面に絶縁膜を形成する。ステップ13(電極形成)では、ウェハ上に電極を蒸着などによって形成する。ステップ14(イオン打ち込み)では、ウェハにイオンを打ち込む。ステップ15(レジスト処理)では、ウェハに感光剤を塗布する。ステップ16(露光)では、露光装置1によってマスクパターンをウェハに露光する。ステップ17(現像)では、露光したウェハを現像する。ステップ18(エッチング)では、現像したレジスト像以外の部分を削り取る。ステップ19(レジスト剥離)では、エッチングが済んで不要となったレジストを取り除く。これらのステップを繰り返し行うことによってウェハ上に多重に回路パターンが形成される。かかるデバイス製造方法によれば、従来よりも高品位のデバイスを製造することができる。このように、露光装置1を使用するデバイス製造方法、並びに結果物としてのデバイスも本発明の一側面を構成する。
以上、本発明の好ましい実施例について説明したが、本発明はこれらの実施例に限定されないことはいうまでもなく、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。
本発明の一側面としての露光装置の概略ブロック図である。 図1に示す露光装置の投影光学系とウェハ近傍の概略拡大断面図である。 図1に示す露光装置の鏡筒の概略底面図である。 図1に示す鏡筒と移動機構の別の実施例の概略断面図である。 図4に示す鏡筒と移動機構の部分拡大断面図である。 図4に示す気体供給口の変形例を示す概略断面図である。 図1に示す鏡筒と移動機構の更に別の実施例の概略断面図である。 図7に示す鏡筒と移動機構の部分拡大断面図である。 図1に示す鏡筒と移動機構の更に別の実施例の概略断面図である。 図1に示す鏡筒と移動機構の更に別の実施例の部分拡大断面図である。 図1に示す露光装置を利用するデバイス(ICやLSIなどの半導体チップ、LCD、CCD等)の製造方法のフローチャートである。 図11に示すステップ4の詳細なフローチャートである。
符号の説明
1 露光装置
30 投影光学系
40 ウェハ(被露光体)
100−100D 鏡筒
100a、120、122、124、126 凸部
102 気体供給口
104 気体回収口
110−110D 移動機構

Claims (10)

  1. 被露光体の表面と、当該被露光体の表面に最も近い投影光学系の最終面との隙間を液体で満たし、前記投影光学系及び前記液体を介して前記被露光体を露光する露光装置であって、
    前記隙間の第1の間隔よりも小さい第2の間隔を前記被露光体又は前記被露光体に隣接した部材との間に形成して前記液体の移動を制限する移動規制部と、
    当該突起部を前記第2の間隔が大きくなるように移動することができる移動手段とを有することを特徴とする露光装置。
  2. 前記露光装置は、前記液体を前記隙間に閉じ込めるために前記液体に気体を吹き付ける吹付手段を更に有し、
    前記移動手段は前記気体の圧力を利用することを特徴とする請求項1記載の露光装置。
  3. 前記移動手段は、
    前記気体の圧力又は流量を計測する計測手段と、
    前記計測手段の計測結果に基づいて前記移動規制部の移動を制御する制御部とを有することを特徴とする請求項2記載の露光装置。
  4. 前記移動手段は、
    前記移動規制部と前記被露光体又は部材との距離を計測する計測手段と、
    前記計測手段の計測結果に基づいて前記移動規制部の移動を制御する第2の制御部とを有することを特徴とする請求項1記載の露光装置。
  5. 前記移動手段は、前記移動規制部の前記被露光体又は部材に向かう移動を制限する規制手段を有することを特徴とする請求項1記載の露光装置。
  6. 前記露光装置は、
    前記投影光学系を収納する第1の筐体と、
    前記液体を前記隙間に閉じ込めるために前記液体に気体を吹き付ける吹付手段と、
    前記気体を回収する回収手段と、
    前記吹付手段及び前記回収手段の少なくとも一方を収納し、前記第1の筐体とは離間した第2の筐体とを更に有することを特徴とする請求項1記載の露光装置。
  7. 前記投影光学系を収納する第1の筐体と、
    前記液体を回収する回収手段と、
    前記回収手段を収納し、前記第1の筐体とは離間した第2の筐体とを更に有することを特徴とする請求項1記載の露光装置。
  8. 前記移動規制部に設けられ、前記液体又は気体を回収する回収手段を更に有することを特徴とする請求項1記載の露光装置。
  9. 前記隙間を前記投影光学系の外部の圧力と同一にする手段を更に有することを特徴とする請求項1記載の露光装置。
  10. 請求項1乃至9のうちいずれか一項記載の露光装置を用いて被露光体を露光するステップと、
    当該露光された被露光体を現像するステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。
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