JP2010103560A5 - - Google Patents

Claims (22)

1. 投影光学系と、前記投影光学系と基板との間の液体とを介して前記基板上にパターンの像を投影することによって前記基板を露光する露光装置であって、
   前記液体を供給する液体供給機構と、
   第１電源から供給される電力によって駆動する駆動部を有する液体回収機構と、
   前記第１電源とは別の第２電源と、を備え、
   前記第１電源の停電時に、前記液体供給機構による前記液体の供給が停止されるとともに、前記駆動部に対する電力の供給が前記第２電源に切り替わり、前記液体回収機構による液体回収動作が継続される露光装置。
2. 投影光学系によりパタ−ン像を基板上に露光する露光装置であって、
   前記液体を供給する液体供給機構と、
   前記液体供給機構から供給された液体を、第１電源から供給される電力により回収する液体回収機構と、
   少なくとも前記第１電源の異常時に前記液体回収機構に電力を供給する第２電源と、を備え、
   前記異常時に、前記液体供給機構による前記液体の供給が停止されるとともに、前記第２電源からの電力供給によって前記液体回収機構による液体回収動作が継続される露光装置。
3. 前記液体回収機構は真空系を備え、
   前記第２電源は、前記真空系の駆動部に電力を供給する請求項１又は２記載の露光装置。
4. 前記液体回収機構は、前記基板上の液体を回収する請求項１〜３のいずれか一項記載の露光装置。
5. 前記液体回収機構は、前記基板の外側に流出した液体を回収する請求項１〜４のいずれか一項記載の露光装置。
6. 前記液体回収機構は、前記基板の周囲の隙間に流入した液体を回収する請求項１〜５のいずれか一項記載の露光装置。
7. 前記第２電源は、少なくとも液体を回収しきれるまで電力の供給を継続する請求項１〜６のいずれか一項記載の露光装置。
8. 前記第２電源から供給される電力によって駆動される、液体を検出するための液体センサを備え、
   前記液体センサの検出結果に基づいて、前記液体回収機構が駆動される請求項１〜７のいずれか一項記載の露光装置。
9. 前記停電後に前記液体供給機構の液体供給口から排出される液体量に関する情報に基づいて、前記液体回収機構が駆動される請求項１、及び３〜８のいずれか一項記載の露光装置。
10. 前記液体供給機構は、液体供給流路を遮断する遮断部を有し、
    前記遮断部で、前記液体供給流路を遮断することによって、前記液体供給機構による前記液体の供給が停止する請求項１〜９のいずれか一項記載の露光装置。
11. 前記液体供給機構は、前記液体供給流路に留まっている液体を排出する排出機構を有する請求項１０記載の露光装置。
12. 前記液体供給機構は、液体供給流路に留まっている液体を排出する排出機構を有する請求項１〜９のいずれか一項記載の露光装置。
13. 少なくとも前記投影光学系を収納するチャンバーを備え、
    前記第１電源と第２電源との少なくとも一方を前記チャンバーの外側に配置した請求項１〜１２のいずれか一項記載の露光装置。
14. 前記第２電源により前記チャンバーに電力を供給する請求項１３記載の露光装置。
15. 前記第１電源及び前記第２電源とは異なる第３電源により前記チャンバーに電力を供給する請求項１２記載の露光装置。
16. 請求項１〜１５のいずれか一項記載の露光装置を用いるデバイス製造方法。
17. 投影光学系と、前記投影光学系と基板との間の液体とを介して前記基板上にパターンの像を投影することによって前記基板を露光する露光装置で用いられる液体回収装置であって
    前記基板に供給された液体を第１電源から供給される電力により回収する液体回収機構と、
    少なくとも前記第１電源の異常時に前記液体回収機構に電力を供給する第２電源と、を備え、
    前記異常時に、前記第２電源からの電力供給により前記液体回収機構による液体回収を継続する液体回収装置。
18. 前記第２電源は、前記第１電源とともに前記液体回収機構に電力を供給する請求項１７記載の液体回収装置。
19. 前記第２電源は、前記第１電源の電圧変動に応じて前記液体回収機構に電力を供給する請求項１８記載の液体回収装置。
20. 投影光学系と基板との間に液体を供給し、前記投影光学系と前記液体とを介して前記基板にパタ−ンを露光する露光方法であって、
    前記液体を供給することと、
    第１電源から供給される電力を用いて液体回収機構により前記液体を回収することと、
    前記第１電源の異常時に、前記液体の供給を停止するとともに、前記第１電源とは異なる第２電源から供給される電力を用いて前記液体回収機構による前記液体の回収を継続することと、を含む露光方法。
21. 前記液体回収機構は複数であり、
    前記第２電源は前記複数の液体回収機構に電力を供給する請求項２０記載の露光方法。
22. 請求項２０又は２１記載の露光方法を用いるデバイス製造方法。