JP5136715B2 - 液浸露光装置、液浸露光方法、デバイス製造方法、及び液浸部材 - Google Patents
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Description
第1実施形態について説明する。図1は、第1実施形態に係る露光装置EXを示す概略構成図である。図1において、露光装置EXは、マスクMを保持しながら移動可能なマスクステージ1と、基板Pを保持しながら移動可能な基板ステージ2と、マスクMを露光光ELで照明する照明系ILと、露光光ELで照明されたマスクMのパターンの像を基板Pに投影する投影光学系PLと、露光装置EX全体の動作を制御する制御装置3とを備えている。
次に、第2実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
次に、第3実施形態について説明する。上述の実施形態においては、第1ランド面21と第2ランド面29とがほぼ面一である場合を例にして説明したが、第1ランド面21と第2ランド面29とが互いに平行でなくてもよい。
次に、第4実施形態について説明する。図11は、第4実施形態に係る液浸部材6Cを示す側断面図である。本実施形態においては、液浸部材6Cの下面7Cの第1ランド面21と第2ランド面29とは、互いに平行であるが、基板Pの表面の法線方向(Z軸方向)に関して互いに異なる位置に配置されている。本実施形態においては、第1ランド面21及び第2ランド面29のそれぞれは、XY平面とほぼ平行であり、第2ランド面29は、基板Pの表面に対して第1ランド面21よりも離れた位置に配置される。本実施形態においても、液浸空間LSの拡大を抑制しつつ、液体LQを良好に回収できる。なお、第2ランド面29が、第1ランド面21より基板Pの表面に近くてもよい。
次に、第5実施形態について説明する。図12は、第5実施形態に係る液浸部材6Dを示す側断面図である。本実施形態においては、液浸部材6Dの下面7Dの第2ランド面29に段差42が形成されている。第1ランド面21は、XY平面とほぼ平行である。第2ランド面29のうち、露光光ELの光路に対して段差42の内側の第1領域42Aは、第1ランド面21とほぼ面一であり、露光光ELの光路に対して段差42の外側の第2領域42Bは、基板Pの表面に対して第1領域42Aよりも離れた位置に配置される。本実施形態においても、液浸空間LSの拡大を抑制しつつ、液体LQを良好に回収できる。なお、第1領域42Aが第1ランド面21と面一でなくてもよい。また、第2ランド面29の第2領域42Bが第1領域42Aよりも基板Pの表面に近くてもよい。その場合、第2領域42Bが第1ランド面21より基板Pの表面に近くてもよい。
次に、第6実施形態について説明する。図13は、第6実施形態に係る露光装置EXを示す側断面図である。本実施形態においては、第1部材12と第2部材13とは、相対的に移動可能である。また、本実施形態においては、露光装置EXは、第1部材12と第2部材13とを相対的に移動する駆動機構43を有する。本実施形態においては、第1部材12は、不図示の支持機構で支持されており、第1部材12の位置は支持機構によって固定されている。本実施形態においては、駆動機構43は、第2部材13を移動する。駆動機構43は、第2部材13に接続された接続部材44と、その接続部材44を移動することによって第2部材13を移動するアクチュエータ45と、アクチュエータ45を露光装置EXのボディ等の支持部材BDに連結する連結部材46とを含む。制御装置3は、駆動機構43を用いて、第1部材12に対して第2部材13を移動する。
次に、第7実施形態について説明する。図14は、第7実施形態に係る液浸部材6Eを示す側断面図である。上述の各実施形態においては、第1部材12の下板部12Aの少なくとも一部が終端光学素子4の下面5と基板Pの表面との間に配置されている場合を例にして説明したが、図14に示すように、第1部材12の下板部を省略してもよい。また、図14において、終端光学素子4の下面5と、第1部材12の第1ランド面21と、第2部材13の第2ランド面29とは、ほぼ面一である。供給口37は、終端光学素子4の外周面17と対向する位置に配置されており、外周面17に向けて液体LQを供給する。本実施形態においても、液体LQを良好に回収できる。なお、終端光学素子4の下面5と、第1部材12の第1ランド面21と、第2部材13の第2ランド面29とは、面一でなくてもよい。
また、上述の各実施形態において、供給口37を−Z方向を向くように(すなわち−Z方向に沿うように)設けてもよい。すなわち、第1部材12の下面21に供給口37を設けてもよい。
また、上述の各実施形態において、多孔部材30の表面(第1面)は、+Z方向を向くように斜めに(すなわち斜め上向きに)配置されている。他の実施形態において、多孔部材30の表面(第1面)が、露光光ELの光路を向くように、かつZ方向とほぼ平行に配置してもよい。また多孔部材30の表面(第1面)が、+Z方向を向くように、かつXY平面とほぼ平行に配置してもよい。この場合、第1部材12の上板部12cと第2部材13との間の空隙31まで毛管力によって引きこまれた液体LQを多孔部材30を介して回収すればよい。
Claims (28)
- 光学部材から射出される露光光を液体を介して基板に照射する液浸露光装置であって、
前記光学部材を囲むように配置された第1部材と、
前記第1部材に設けられ、前記液体を供給する液体供給口と、
前記第1部材と異なる第2部材と、
前記第2部材を移動する駆動機構と、
前記液体供給口から供給され、前記第1部材と前記第2部材との間の第1開口部から、前記第1部材と前記第2部材との間の空隙部に流入した前記液体の少なくとも一部を回収する液体回収部と、
前記第1開口部と異なる第2開口部と、を備え、
前記空隙部が前記第2開口部を介して周囲の空間に開放されている液浸露光装置。 - 前記第1開口部は環状であって、
前記空隙部は、前記第1開口部に沿って環状である請求項1記載の液浸露光装置。 - 前記液体回収部は、前記空隙部に沿って環状である請求項2記載の液浸露光装置。
- 前記液体回収部は、前記基板の表面と対向しないように配置されている請求項1〜3のいずれか一項記載の液浸露光装置。
- 前記液体回収部は、前記第2部材に設けられている請求項1〜4のいずれか一項記載の液浸露光装置。
- 前記第1部材は第1部分を有し、
前記第2部材は第2部分を有し、
前記第1部分と前記第2部分が対向するように前記第1部材と前記第2部材とが配置され、
前記空隙部は、前記第1部分と前記第2部分との間に形成され、
前記液体回収部は、前記第2部分に設けられている請求項5記載の液浸露光装置。 - 前記駆動機構により、前記第1部材と前記第2部材とは、相対的に移動可能である請求項1〜6のいずれか一項記載の液浸露光装置。
- 前記液体回収部に接続された液体回収流路を備え、
前記液体回収部は、前記空隙部から前記液体回収流路への気体の通過を抑制する請求項1〜7のいずれか一項記載の液浸露光装置。 - 前記空隙部は、前記第1開口部から液体が流入可能な毛管路を形成する請求項1〜8のいずれか一項記載の液浸露光装置。
- 前記第2部材は、前記露光光の光路に対して前記第1部材の外側に、前記空隙部を介して、前記第1部材を囲むように設けられている請求項1〜9のいずれか一項記載の液浸露光装置。
- 前記空隙部の気体が前記第2開口部を介して周囲空間に流出可能である請求項1〜10のいずれか一項記載の液浸露光装置。
- 前記第1部材は露光光が通過する開口を有し、
前記液体供給口から供給された前記液体は、前記露光光が通過する前記開口を介して前記第1開口部から前記空隙部に流入する請求項1〜11のいずれか一項記載の液浸露光装置。 - 請求項1〜請求項12のいずれか一項記載の液浸露光装置を用いて基板を露光することと、
前記露光された基板を現像することと、を含むデバイス製造方法。 - 光学部材から射出される露光光で基板を露光する液浸露光装置で用いられる液浸部材であって、
液体供給口と、
前記露光光が通過する開口の周囲に形成された下面と、
前記露光光の光路に対して前記下面の外側に配置された第1開口部と、
前記液体供給口から供給された液体が前記第1開口部を介して流入可能な空隙部と、
前記空隙部に流入した前記液体の少なくとも一部を通過させるとともに、前記空隙部の気体の通過を抑制する液体回収部と、
前記第1開口部と異なる第2開口部と、を備え、
前記空隙部の気体が前記第2開口部を介して周囲空間に流出可能な液浸部材。 - 前記第1開口部は環状であって、
前記空隙部は、前記第1開口部に沿って環状である請求項14記載の液浸部材。 - 前記液体回収部は、前記空隙部に沿って環状である請求項15記載の液浸部材。
- 前記露光光が通過する開口を有する第1部材と、
前記第1部材とは異なる第2部材とをさらに備え、
前記第1開口部、前記第2開口部、及び前記空隙部のそれぞれが、前記第1部材と前記第2部材との間に設けられている請求項14〜16のいずれか一項記載の液浸部材。 - 前記第1部材は第1部分を有し、
前記第2部材は第2部分を有し、
前記第1部分と前記第2部分が対向するように前記第1部材と前記第2部材とが配置され、
前記空隙部は、前記第1部分と前記第2部分との間に形成され、
前記液体回収部は、前記第2部分に設けられている請求項17記載の液浸部材。 - 前記液体供給口は、前記第1部材に設けられている請求項17又は18記載の液浸部材。
- 前記第1部材と前記第2部材とは、相対的に移動可能である請求項17〜19のいずれか一項記載の液浸部材。
- 前記液体回収部から回収された前記液体が流れる回収流路をさらに備える請求項14〜20のいずれか一項記載の液浸部材。
- 前記液体回収部は、前記空隙部から前記回収流路への気体の通過を抑制する請求項21記載の液浸部材。
- 前記液体回収部は、前記空隙部から前記回収流路へ液体のみを通過させる請求項21又は22記載の液浸部材。
- 前記空隙部は、前記第1開口部から液体が流入可能な毛管路を形成する請求項14〜23のいずれか一項記載の液浸部材。
- 前記液体供給口から供給された前記液体は、前記露光光が通過する前記開口を介して前記第1開口部から前記空隙部に流入する請求項14〜24のいずれか一項記載の液浸部材。
- 請求項14〜請求項25のいずれか一項記載の液浸部材を備えた液浸露光装置。
- 基板を露光する液浸露光方法であって、
前記基板上の液体を介して露光光で前記基板を露光することと、
前記基板の露光中に、請求項14〜25のいずれか一項に記載の液浸部材を使って前記基板上の液体を回収することと、を含む液浸露光方法。 - 請求項27記載の露光方法を用いて基板を露光することと、
前記露光された基板を現像することと、を含むデバイス製造方法。
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