JP2011097114A5 - 露光装置及び液体供給方法 - Google Patents

Description

本発明は、液体を介して基板上に露光光を照射して基板を露光する露光装置及び液体供給方法に関するものである。
本願は、２００４年２月１９日に出願された特願２００４−４２９２９号に対し優先権を主張し、その内容をここに援用する。

Claims (16)

1. 投影光学系と液体とを介して基板上に露光光を照射して前記基板を露光する露光装置において、
   第１の方向に移動する前記基板上に前記液体を供給する供給口を備え、
   前記供給口は、前記第１の方向に関して前記投影光学系の投影領域の両側にそれぞれ設けられ、前記基板の第１の方向への移動距離をＬ１、前記供給口どうしの間の距離をＬ２としたとき、
   Ｌ１≧Ｌ２の条件を満足することを特徴とする露光装置。
2. 前記移動距離Ｌ１は、前記基板上の１つのショット領域を露光後の、次のショット領域を露光するためのステップ移動距離を含むことを特徴とする請求項１記載の露光装置。
3. 前記基板上の各ショット領域は、前記第１の方向へ前記基板を移動しながら走査露光され、
   前記移動距離Ｌ１は、前記基板上の１つのショット領域を走査露光するために必要な距離であることを特徴とする請求項１又は２記載の露光装置。
4. 前記供給口は、前記第１の方向の交差する第２の方向を長手方向とするスリット状であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項記載の露光装置。
5. 前記基板の第１の方向への移動距離は、前記走査露光時における前記基板の等速区間を含む請求項３に記載の露光装置。
6. 前記基板の第１の方向への移動距離は、前記走査露光時における前記基板の減速区間を含む請求項５に記載の露光装置。
7. 第１ベース部材と、
   前記基板を移動可能に保持する基板ステージと、
   前記基板ステージを支持する第２ベース部材とを備え、
   前記第２ベース部材上に漏出した液体の前記第１ベース部材への拡散が防止されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項記載の露光装置。
8. 前記第２ベース部材が、前記第１ベース部材とは分離していることを特徴とする請求項７記載の露光装置。
9. 前記第１ベース部材と前記第２ベース部材との相対位置を計測する第１計測装置を備えたことを特徴とする請求項８記載の露光装置。
10. 前記第２ベース部材上に漏出した液体は、前記第１ベース部材と前記第２ベース部材との間に流れることを特徴とする請求項８又は９記載の露光装置。
11. 前記第１ベース部材と前記第２ベース部材との間に流れた液体を回収する液体回収機構を備えたことを特徴とする請求項１０記載の露光装置。
12. 前記第１ベース部材上の機器と、前記第２ベース部材上の機器とは電気的に独立していることを特徴とする請求項７〜１１のいずれか一項記載の露光装置。
13. 前記第１ベース部材上の機器に電力を供給する第１電源と、
    前記第１電源とは独立して、前記第２ベース部材上の機器に電力を供給する第２電源とを備えたことを特徴とする請求項１２記載の露光装置。
14. 投影光学系をさらに備え、
    前記露光光は前記投影光学系と液体とを介して前記基板上に照射される請求項７〜１３のいずれか一項記載の露光装置。
15. 前記第１ベース部材は、前記投影光学系を支持することを特徴とする請求項１４記載の露光装置。
16. 投影光学系と液体とを介して基板上に露光光を照射して前記基板を露光する露光装置に用いられる液体供給方法において、
    第１の方向に移動する前記基板上に供給口を介して液体を供給することを含み、
    前記供給口は、前記第１の方向に関して前記投影光学系の投影領域の両側にそれぞれ設けられ、前記基板の第１の方向への移動距離をＬ１、前記供給口どうしの間の距離をＬ２としたとき、Ｌ１≧Ｌ２の条件を満足することを特徴とする液体供給方法。