JP2009239286A5 - - Google Patents

Claims (33)

1. 液浸露光で用いられる液浸システムであって、
   液体が満たされる光学部材と基板との間の露光光の光路の周囲に配置され、第１方向を向く第１面を有する第１部材であって、前記第１面と物体の表面との間の空間に液体が保持可能である、前記第１部材と、
   前記露光光の光路に対して前記第１面の外側に配置された液体回収口を有する第２部材であって、前記液体回収口と前記物体の表面との間の前記液体の少なくとも一部が前記液体回収口から回収される、前記第２部材と、
   少なくとも前記第１方向に沿って前記第１部材を移動可能な第１駆動装置と、
   前記第１部材から独立して少なくとも前記第１方向に沿って前記第２部材を移動可能な第２駆動装置と、を備えた液浸システム。
2. 前記物体の移動条件に応じて、前記第１方向における前記物体の表面と前記第１面との位置関係、及び前記物体の表面と前記液体回収口との位置関係の少なくとも一方が調整される請求項１記載の液浸システム。
3. 前記物体の移動条件に応じて、前記第１面と前記液体回収口とを相対移動する請求項２記載の液浸システム。
4. 前記移動条件は、前記第１面と実質的に平行な方向への前記物体の移動速度を含む請求項２又は３記載の液浸システム。
5. 前記移動条件は、前記第１面と実質的に平行な方向への前記物体の直線的な連続移動距離を含む請求項２〜４のいずれか一項記載の液浸システム。
6. 前記第１面と実質的に平行な方向への前記物体の移動中に、前記第１面及び前記液体回収口の少なくとも一方が、前記第１方向に沿って移動される請求項１〜５のいずれか一項記載の液浸システム。
7. 前記液体の供給条件に応じて、前記第１方向における前記物体の表面と前記第１面との位置関係、及び前記物体の表面と前記液体回収口との位置関係の少なくとも一方が調整される請求項１〜６のいずれか一項記載の液浸システム。
8. 前記供給条件は、単位時間当たりの液体供給量を含む請求項７記載の液浸システム。
9. 前記第１方向における前記光学部材の射出面と前記物体の表面との距離に応じて、前記第１方向における前記物体の表面と前記第１面との位置関係、及び前記物体の表面と前記液体回収口との位置関係の少なくとも一方が調整される請求項１〜８のいずれか一項記載の液浸システム。
10. 前記第１方向において、前記光学部材の射出面と前記第１面との距離が、前記射出面と前記液体回収口との距離と異なる請求項１〜８のいずれか一項記載の液浸システム。
11. 前記物体の表面と前記液体回収口との距離が前記物体の表面と前記第１面との距離よりも大きくなるように、前記第１方向における前記第１面の位置及び前記液体回収口の位置の少なくとも一方が調整される請求項１０記載の液浸システム。
12. 前記液体回収口は、第１液体回収領域と、前記露光光の光路に対して前記第１面の外側に配置された第２液体回収領域とを含む請求項１〜１１のいずれか一項記載の液浸システム。
13. 前記第１液体回収領域及び前記第２液体回収領域の少なくとも一方は、多孔部材の表面を含み、前記液体回収口と前記物体との間の液体の少なくとも一部は、前記多孔部材を介して回収される請求項１２記載の液浸システム。
14. 前記第１液体回収領域は前記第１方向を向き、前記第２液体回収領域の少なくとも一部は、前記第１方向と異なる方向を向く請求項１２又は１３記載の液浸システム。
15. 前記第１部材は、前記光路に液体を供給する液体供給口を有し、
    前記液体供給口は、前記第１方向と異なる方向を向く請求項１〜１４のいずれか一項記載の液浸システム。
16. 前記第１部材は、前記光路の周囲に配置される請求項１〜１５のいずれか一項記載の液浸システム。
17. 前記第２部材は、前記光路の周囲に配置される請求項１〜１６のいずれか一項記載の液浸システム。
18. 前記液体回収口は、前記光路の周囲に配置されている請求項１７記載の液浸システム。
19. 前記物体は、前記基板を含む請求項１〜１８のいずれか一項記載の液浸システム。
20. 液浸露光で用いられる液浸システムであって、
    液体が満たされる光学部材と基板との間の露光光の光路の周囲に配置され、第１方向を向く第１面を有する第１部材であって、前記第１面と物体の表面との間の空間に液体が保持可能である、前記第１部材と、
    前記露光光の光路に対して前記第１面の外側に配置された液体回収口を有する第２部材であって、前記液体回収口と前記物体の表面との間の前記液体の少なくとも一部が前記液体回収口から回収される、前記第２部材と、
    少なくとも前記第１方向に沿った前記第１部材と第２部材との間の相対移動を制御可能な駆動装置と、を備え、
    前記液体回収口は、第１回収領域と、前記露光光の光路に対して前記第１面の外側に配置された第２回収領域とを有し、
    前記第１方向に関して、前記物体の表面と前記第１回収領域との距離は、前記物体の表面と前記第２回収領域との距離よりも大きく、
    前記第１方向に関して、前記第１回収領域と前記第１面との位置関係は調整可能である、液浸システム。
21. 前記第１液体回収領域及び前記第２液体回収領域の少なくとも一方は、多孔部材の表面を含み、前記液体回収口と前記物体との間の液体の少なくとも一部は、前記多孔部材を介して回収される請求項２０記載の液浸システム。
22. 前記第１液体回収領域は前記第１方向を向いており、前記第２液体回収領域の少なくとも一部は、前記第１方向と異なる方向を向く請求項２０又は２１記載の液浸システム。
23. 前記第１液体回収領域と、前記第２液体回収領域の少なくとも一部は、実質的に平行である請求項２０又は２１記載の液浸システム。
24. 液浸露光で用いられる液浸システムであって、
    液体が満たされる光学部材と基板との間の露光光の光路の周囲に配置され、第１方向を向く第１面を有し、前記第１面と物体の表面との間の空間に液体が保持可能である第１部材と、
    前記露光光の光路に対して前記第１面の外側に配置され、前記物体の表面との間の前記液体の少なくとも一部が回収される前記液体回収口と、を備え、
    前記第１部材が、少なくとも前記第１方向に沿って移動可能な液浸システム。
25. 前記液体回収口を有する第２部材を備え、
    前記第１方向において、前記第１部材と前記第２部材とは相対的に移動可能である請求項２４記載の液浸システム。
26. 前記第１部材を移動する第１駆動装置と、
    前記第２部材を移動する第２駆動装置と、
    をさらに備えた請求項２５記載の液浸システム。
27. 前記第１方向は、前記光学部材の光軸と平行である請求項１〜２６のいずれか一項記載の液浸システム。
28. 前記第１部材は、前記第１方向と垂直な方向に移動可能である請求項１〜２７のいずれか一項記載の液浸システム。
29. 前記第２部材は、前記第１方向と垂直な方向に移動可能である請求項１〜２８のいずれか一項記載の液浸システム。
30. 液体を介して露光光で基板を露光する露光装置であって、
    請求項１〜２９のいずれか一項記載の液浸システムを備える露光装置。
31. 請求項３０記載の露光装置を用いて基板を露光することと、
    露光された基板を現像することと、を含むデバイス製造方法。
32. 液体を介して露光光で基板を露光する露光方法であって、
    請求項１〜２９のいずれか一項記載の液浸システムを用いて、前記光学部材と前記基板との間の前記露光光の光路を液体で満たすことと、
    前記光学部材と前記液体とを介して前記基板に露光光を照射することと、を含む露光方法。
33. 請求項３２記載の露光方法を用いて基板を露光することと、
    露光された基板を現像することと、を含むデバイス製造方法。