JP4598911B2 - 基板から処理液を除去する方法及び装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は基板に付着した処理液を除去するための除去方法及び除去装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
たとえば、液晶表示装置や半導体装置の製造工程においては、ガラス基板や半導体ウエハなどの基板に回路パタ−ンを形成するための成膜プロセスやフォトプロセスがある。これらのプロセスにおいては、上記基板をそれぞれの処理室で順次異なる処理液で処理することがある。
【0003】
上記基板の処理の種類には、現像、エッチング、レジストの剥離などがあり、各処理室ではそれぞれの処理に応じた現像液、エッチング液、剥離液などの処理液を用いて処理が行われる。これらの処理液は高価であるため、基板に付着して処理室から持ち出されないよう、回収して再利用するようにしている。
【0004】
基板に付着残留した処理液を除去回収する場合、従来はエアーナイフが用いられていた。すなわち、エア−ナイフから加圧された気体を基板に向けて噴射し、この基板に付着残留した処理液を除去するということが行われていた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、エアーナイフから気体を噴射して基板に付着残留した処理液を除去する場合、気体の圧力を高くし、基板から処理液を確実に除去するようにしている。
【0006】
しかしながら、気体の圧力を高くすると、基板から処理液を確実に除去することはできるものの、基板が気体によって部分的に乾燥するということが発生するから、その部分乾燥により処理液が残留した部分に汚れ(ウオータマーク)が生じるということがある。
【0007】
基板に部分乾燥が生じないよう、気体の圧力を低くすることも考えられるが、その場合、基板からの処理液の除去が十分に行われず、基板に付着して持ち出される処理液の量が増大することになるから、処理液の回収率が低下し、ランニングコストの増大を招くということになる。
【0008】
この発明は、基板に部分乾燥を生じさせずに、処理液の除去率を向上させることができるようにした基板から処理液を除去する方法及び装置を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
請求項1の発明は、基板に付着した処理液を除去するための処理液の除去方法において、
上記基板の処理液が付着した面に向けてその処理液と同じ機能の処理液を霧化して噴射することを特徴とする処理液の除去方法にある。
【0010】
請求項2の発明は、基板に付着した処理液を除去するための処理液の除去装置において、
液切り槽と、
この液切り槽内に設けられ上記基板を所定方向に搬送する搬送手段と、
この搬送手段によって搬送される基板の処理液が付着した面に向けてその処理液と同じ機能の処理液を霧化して噴射する液切りナイフと
を具備したことを特徴する処理液の除去装置にある。
【0011】
請求項3の発明は、上記液切りナイフは、霧化した処理液を基板の搬送方向と逆方向に向けて噴射することを特徴とする請求項2記載の処理液の除去装置にある。
【0012】
請求項4の発明は、上記液切りナイフはナイフ本体を有し、このナイフ本体には、
液体を供給する液体供給管が接続される液体用ヘッダと、この液体用ヘッダに一端が連通し他端から上記液体を噴射する液体用スリットと、所定の圧力の気体を供給する気体供給管が接続される気体用ヘッダと、この気体用ヘッダに一端が連通し他端から噴射する気体によって上記液体用スリットから噴射する気体を霧化する気体用スリットとが設けられていることを特徴とする請求項2記載の処理液の除去装置にある。
【0013】
請求項5の発明は、上記液体用スリットは直線状で、上記気体用スリットは上記液体用スリットから噴射される液体の噴出方向に気体の噴出方向が交差するよう傾斜していることを特徴とする請求項4記載の処理液の除去装置にある。
【0014】
このように、基板に付着した処理液と同じ機能の処理液を霧化して基板に噴射するようにしたことで、霧化された処理液によって基板を乾燥させることなく、その基板に付着した処理液を除去することができ、しかも処理液を霧化することで、基板に付着する処理液の量をきわめてわずかにすることができる。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の一実施の形態を図面を参照して説明する。
【0016】
図3に示すこの発明の装置は、図中鎖線で示す液切り槽1を備えている。この液切り槽1内には前工程の図示しない処理槽でたとえば現像処理、エッチング処理あるいは剥離処理などが行われた半導体ウエハやガラス基板などの基板2が供給される。この基板2の上面には上記処理槽で行われた処理に用いられた処理液Lが付着残留している。この状態を図4(a)に示す。
【0017】
上記液切り槽1には図示しない搬入口と搬出口とが形成されている。上記基板2は搬入口から供給され、液切り槽1内に設けられた搬送手段3によって搬送される。基板2は液切り槽1を搬送される間に、この基板2の上面に付着した処理液Lが後述するように除去される。そして、基板2は上記搬出口から搬出されるようになっている。
【0018】
上記搬送手段3は、上記搬入口と搬出口との間に軸線を平行にして所定間隔で設けられた複数の搬送軸4(図1に示す)を有する。この搬送軸4には、両端部に上記基板2の幅方向両端部を支持する一対の第1の搬送ローラ5、中途部に基板2の下面を支持する複数の第2の搬送ローラ6が設けられ、これらローラ5、6によって基板2が搬送されるようになっている。
【0019】
上記液切り槽1内を搬送される基板2は、液切り槽1内の搬入口側に設けられた液切りナイフ11によってその上面に付着残留した処理液Lが除去される。この液切りナイフ11は、図1に示すようにナイフ本体12を有する。このナイフ本体12は帯板状の中央板13を有する。この中央板13の一側面には第1のノズル板14が接合され、他側面には第2のノズル板15が接合されている。これら中央板13、及び第1、第2のノズル板14,15は連結ねじ16によって一体的に結合されている。
【0020】
なお、第1のノズル板14は調整ねじ14aによって上記中央板13の上下方向の取付け位置を調整できるようになっている。
【0021】
上記中央板13の長さ寸法は、上記搬送軸4の両端部に設けられた一対の第1の搬送ローラ5の間隔よりも長く設定され、上記第1、第2のノズル板14、15の長さ寸法は上記中央板13よりもわずかに短く設定されている。
【0022】
図3に示すように、接合された3枚の板材の両端部の一対のノズル板14、15間にはそれぞれ端部材17が設けられている。この端部材17には取付け部材18の一端が連結されている。この取付け部材18の他端は上記液切り槽1内に設けられた固定部19に取付けられている。それによって、上記ナイフ本体12は、下端を上記搬送ローラ5、6によって搬送される基板2の上面に対向させた状態で上記液切り槽1内に設けられる。
【0023】
図1と図3に示すように、上記ナイフ本体12には、上記第1のノズル板14の外面に一対の液体用ヘッダ21(図1に1つだけ示す)が設けられ、第2のノズル板15の外面には一対の気体用ヘッダ22(1つのみ図示)が設けられている。
【0024】
上記液体用ヘッダ21には液体供給管23が接続され、この液体供給管23を通じて処理液Lが供給される。処理液Lとしては、液切り槽1に搬入される基板2に付着した処理液Lと同じ機能のものが用いられるようになっている。たとえば、基板2にエッチング液が付着している場合には、液体供給管23から供給される処理液Lはエッチング液となる。
【0025】
上記気体用ヘッダ22には気体供給管24が接続され、この気体供給管24からは所定の圧力に加圧された清浄な空気や不活性ガスなどの気体が供給されるようになっている。
【0026】
上記第1のノズル板14の高さ寸法は中央板13の高さ寸法よりも短く設定され、その内面の高さ方向上部には、この第1のノズル板14の幅方向ほぼ全長にわたる第1の凹部25が形成されている。この第1の凹部25は第1のノズル板14の幅方向に所定間隔で形成された複数の第1の連通孔26を介して上記液体用ヘッダ21に連通している。
【0027】
上記第1の凹部25の下端には、図2に示すように一端を上記第1の凹部25に連通させ、他端を第1のノズル板14の下端面に開放した液体用スリット27が上記第1のノズル板14の幅方向ほぼ全長にわたって形成されている。
【0028】
したがって、上記液体供給管23から液体用ヘッダ21に供給された処理液Lは、第1の凹部25と液体用スリット27を通り、この液体用スリット27の下端から中央板13の一側面に沿って下方に噴出するようになっている。
【0029】
上記第2のノズル板15の内面には、第2の凹部28が第2のノズル板15の幅方向ほぼ全長にわたって形成されている。上記第2のノズル板15の下端部には、図2に示すように上記中央板13の方向に向かって傾斜した第1の斜面29に形成され、上記中央板13の下端部の上記第1の斜面29に対向する部分には第2の斜面30が同じ傾斜角度で形成されている。
【0030】
上記第1の斜面29と第2の斜面30との対向面間には所定間隔の気体用スリット31が第2のノズル板15の幅方向ほぼ全長にわたって形成されている。つまり、気体用スリット31は上記液体用スリット27に対して所定の角度で傾斜して形成されている。
【0031】
上記気体用スリット31は、一端を上記第2の凹部28の下端に連通し、他端を中央板13及び第2のノズル板15の下端面に開放している。上記第2の凹部28は、上記第2のノズル板15に幅方向に所定間隔で形成された複数の連通孔32(1つのみ図示)を介して上記気体用ヘッダ22に連通している。
【0032】
したがって、上記気体用ヘッダ22に供給された所定の圧力の気体は上記第2の凹部28と気体用スリット31を通り、この気体用スリット31の下端から噴射される。
【0033】
上記液体用スリット27は直線状で、気体用スリット31は液体用スリット27に対して所定の角度で傾斜している。そのため、気体用スリット31から噴射した気体は液体用スリット27から噴射する処理液Lに衝突するから、処理液Lは気体によって霧化されることになる。
【0034】
そして、上記液切りナイフ11は、図1に示すように搬送される基板2の板面に対して液体用スリット27をほぼ垂直にし、気体用スリット31を基板2の搬送方向後方に向けて上記液切り槽1内に配設されている。図中矢印Aは基板2の搬送方向を示す。
【0035】
このような構成の液切り槽1には、現像処理、エッチング処理あるいは剥離処理された基板2がその上面に処理液Lが付着した状態で供給される。基板2が液切り槽1の搬入口から内部に搬入されると、この内部の搬入口寄りに配設された液切りナイフ11によって基板2に付着残留した処理液Lが除去されることになる。
【0036】
すなわち、液切り槽1内に設けられた液切りナイフ11には基板2に付着した処理液Lと同じ機能の処理液Lと、所定の圧力に加圧された気体とが供給される。それによって液切りナイフ11からは、処理液Lが気体によって霧化された処理液(以下、霧化処理液Fという)が基板2の上面に向けて噴射される。
【0037】
霧化処理液Fは所定の圧力で、しかも基板2の搬送方向後方に向かって基板2の上面に噴射される。したがって、図4(a)に示すように基板2の上面全体に付着した処理液Lは、基板2を矢印Aで示す方向へ搬送することで、霧化処理液Fの勢いによって図4(b)に示すように搬送方向後方へ押し流される。さらに、基板2を矢印A方向へ搬送することで、処理液Lは図4(c)に示すように基板2の上面から除去されることになる。
【0038】
基板2の上面に付着した処理液Lを霧化処理液Fによって除去することで、基板2の上面には霧化処理液Fが付着する。そのため、基板2の上面は霧化処理液Fによって乾燥するのが防止されるから、気体だけによって処理液Lを除去する場合のように基板2が部分的に乾燥し、その乾燥むらによってしみができるなどの汚れが発生するのを防止することができる。
【0039】
霧化処理液Fは、基板2に付着した処理液Lを除去した後、この基板2の上面に付着することになる。しかしながら、基板2の上面に付着する霧化処理液Fの量は、処理工程で基板2に付着残留した処理液Lの量に比べて微量であるから、霧化処理液Fを基板2に付着した処理液Lの除去に用いても、ランニングコストの上昇をきわめてわずかに押えることができる。
【0040】
霧化処理液Fを作るための処理液には、基板2に付着した処理液Lと同じ機能のものが用いられている。そのため、基板2の上面から除去されて回収された処理液Lに霧化処理液Fが混じっても、基板から除去されて回収される処理液Lの品質を低下させるということがない。
【0041】
霧化処理液Fを作るために、処理液Lを噴射する液体用スリット27を直線状にし、気体を噴射する気体用スリット31を上記液体用スリット27に対して所定の角度で傾斜した。
【0042】
そのため、液切りナイフ11は、そのナイフ本体12をほぼ垂直に配設しても、霧化処理液Fを基板の搬送方向後方に向かって噴射することができるから、基板2の上面に付着した処理液Lを基板2の搬送方向後方に向けて押し流し、除去することができる。つまり、液切りナイフ11を傾斜させて配設しなくとも、霧化処理液Fを斜め後方に向けて噴出できるから、液切りナイフ11を設置するために要するスペースを小さくすることができる。
【0043】
処理液Lを霧化状にして噴射することで、その霧化処理液Fは基板2上の処理液Lを押し流すだけでなく、液切り槽1内に充満し、その内面や内部に設けられた搬送ローラ5,6などに満遍なく付着する。そして、所定量付着することで滴下するということが繰り返されることで、液切り槽1内が霧化処理液Fによって洗浄され、塵埃の付着堆積が防止されることになる。したがって、液切り処理時に液切り槽1内の汚れによって基板2が汚染されるのを防止することができる。
【0044】
この発明は上記一実施の形態に限定されず、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形可能である。たとえば、上記一実施の形態では基板の上面に付着した処理液だけを除去する場合について説明したが、前工程で基板の下面にも処理液が付着し、その処理液を除去することが要求される場合には、搬送される基板の下面側にも液切りナイフを配設すればよい。
【0045】
さらに、基板としては液晶表示装置用のガラス基板に限られず、半導体ウエハであってもよく、その点もなんら限定されるものでない。
【0046】
【発明の効果】
以上のようにこの発明によれば、基板に付着残留した処理液と同じ機能の処理液を霧化して基板に噴射することで、基板から処理液を除去するようにした。
【0047】
そのため、霧化された処理液によって基板を部分的に乾燥させることなく、その基板に付着残留した処理液を除去することができるから、基板にウオータマークが生じるのを防止できるばかりか、処理液を霧化して使用するため、処理液の使用量がきわめてわずかになり、ランニングコストの上昇を招くということもない。
【0048】
さらに、霧化処理液は基板に付着した処理液と同じ機能のものであるから、基板から回収された処理液に霧化処理液が混じっても、回収される処理液の品質を低下させるということがない。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施の形態を示す液切りナイフの縦断面図。
【図2】同じく液切りナイフの下端部の拡大断面図。
【図3】同じく液切り槽内における液切りナイフの配置状態を示す側面図。
【図4】同じく基板に付着した処理液が霧化処理液によって除去される状態の説明図。
【符号の説明】
1…液切り槽
2…基板
3…搬送手段
11…液切りナイフ
12…ナイフ本体
21…液体用ヘッダ
22…気体用ヘッダ
23…液体供給管
24…気体供給管
Claims (5)
- 基板に付着した処理液を除去するための処理液の除去方法において、
上記基板の処理液が付着した面に向けてその処理液と同じ機能の処理液を霧化して噴射することを特徴とする処理液の除去方法。 - 基板に付着した処理液を除去するための処理液の除去装置において、
液切り槽と、
この液切り槽内に設けられ上記基板を所定方向に搬送する搬送手段と、
この搬送手段によって搬送される基板の処理液が付着した面に向けてその処理液と同じ機能の処理液を霧化して噴射する液切りナイフと
を具備したことを特徴する処理液の除去装置。 - 上記液切りナイフは、霧化した処理液を基板の搬送方向と逆方向に向けて噴射することを特徴とする請求項2記載の処理液の除去装置。
- 上記液切りナイフはナイフ本体を有し、このナイフ本体には、
液体を供給する液体供給管が接続される液体用ヘッダと、この液体用ヘッダに一端が連通し他端から上記液体を噴射する液体用スリットと、所定の圧力の気体を供給する気体供給管が接続される気体用ヘッダと、この気体用ヘッダに一端が連通し他端から噴射する気体によって上記液体用スリットから噴射する気体を霧化する気体用スリットとが設けられていることを特徴とする請求項2記載の処理液の除去装置。 - 上記液体用スリットは直線状で、上記気体用スリットは上記液体用スリットから噴射される液体の噴出方向に気体の噴出方向が交差するよう傾斜していることを特徴とする請求項4記載の処理液の除去装置。
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