KR20080021319A - 대면적 기판 이송장치의 윤활장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 대면적 기판 이송장치의 윤활장치에 관한 것으로, 본 발명 대면적 기판 이송장치의 윤활장치는 장축의 양측단과 단축의 일측단을 회전 가능하게 고정하는 외측 베어링을 지지하는 두 프레임과, 상기 두 프레임의 사이에 위치하여 상기 단축의 타측단을 회전 가능하게 고정하는 내측 베어링을 지지하는 내측 베어링 지지부를 포함하는 대면적 기판의 이송장치에 있어서, 상기 내측 베어링 지지부는 외부의 습식윤활제를 공급받아 상기 내측 베어링을 세정 및 윤활 시키도록 구성된다. 이와 같은 구성의 본 발명은 이송 단축의 일단을 회전 가능한 상태로 지지하는 내측 베어링 지지부의 내측 베어링에 습식윤활제를 공급하여 세정 및 윤활이 이루어지도록 함으로써, 파티클의 발생을 억제 및 방지하여 공정의 신뢰성을 향상시키는 효과가 있다.

Description

대면적 기판 이송장치의 윤활장치{Lubrication device for large-area substrate transfer apparatus}

도 1은 종래 대면적 기판 이송장치의 사시도이다.

도 2는 도 1의 평면도이다.

도 3은 본 발명 대면적 기판 이송장치의 윤활장치의 사시도이다.

도 4는 도 3의 측단면도이다.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

100:고정부 110:배출구

200:내측 베어링 300:베어링 하우징

310:윤활제 공급포트 320:습식윤활제 공급관

330:습식윤활제 배출관

본 발명은 대면적 기판 이송장치의 윤활장치에 관한 것으로, 특히 단축을 이용하여 대면적 기판을 이송하는 장치에서 파티클이 발생되는 것을 방지하는 대면적 기판 이송장치의 윤활장치에 관한 것이다.

일반적으로, 대면적 기판 이송장치는 설비의 구조에 의해 장축의 이송롤러를 사용할 수 없는 구간에, 단축의 이송롤러를 적용하여 대면적 기판을 이송하도록 구성된다.

이와 같이 대면적 기판 이송장치에서 단축이 적용되는 예로는 일방향으로 대면적 기판을 경사지게 이송하는 과정에서, 그 대면적 기판의 하향경사면 측으로 공기를 분사하여 기판을 건조시키는 건조장치의 이송장치를 들 수 있다.

상기 단축을 이용한 이송장치는 장축 이송장치에 비하여, 그 단축을 회전가능한 상태로 지지하는 베어링 지지구조를 윤활시키기가 용이하지 않았으며, 이와 같은 종래 대면적 기판의 단축 이송장치를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 1은 종래 대면적 기판 이송장치의 사시도이고, 도 2는 그 평면의 개략구성도이다.

도 1과 도 2를 참조하면, 종래 대면적 기판 이송장치는 대면적 기판의 이송방향을 따라 상호 소정 간격 이격되어 위치하며, 상호 대응하는 베어링 삽입구를 구비하는 두 프레임(11,12)과, 상기 두 프레임(11,12)의 사이에 사선 방향으로 위치하여 이송되는 대면적 기판의 상면과 하면 각각에 건조공기를 분사하는 두 에어나이프(13,14)와, 상기 프레임(11,12)의 베어링 삽입구에 삽입되는 다수의 외측 베어링(15)과, 상기 두 에어나이프(13,14)의 경사면을 따라 상기 두 프레임(11,12)의 베어링 삽입구에 대응하는 위치에 위치하는 내측 베어링 지지부(16)와, 상기 내측 베어링 지지부(16)에 의해 지지되는 내측 베어링(17)과, 상기 내측 베어링(17)과 그에 대응하는 위치의 외측 베어링(15)에 의해 회전 가능한 상태로 지지되며, 결합된 이송롤러(18)에 접촉되는 대면적 기판을 이송하는 이송 단축(19)으로 구성된다.

미설명 부호 20은 이송 장축이다.

이하, 상기와 같이 구성된 종래 대면적 기판의 단축 이송장치의 구조 및 작용을 보다 상세히 설명한다.

먼저, 종래 대면적 기판의 단축 이송장치는 대면적 기판의 이송경로를 따라 대면적 기판의 폭 이상의 간격으로 두 프레임(11,12)이 구비된다.

상기 두 프레임(11,12)은 상호 동일 높이 또는 다른 높이로 설치할 수 있으며, 이송되는 대면적 기판을 평행하게 이송하거나, 이송방향의 좌측 또는 우측으로 경사지게 이송되도록 할 수 있다.

상기 경사이송은 이송되는 대면적 기판을 세정 하는 등의 공정에서 경사면을 따라 파티클이 제거되도록 하는 등의 작용을 한다.

상기 두 프레임(11,12)는 상호 대응하는 위치에 베어링 삽입구가 마련되어 있으며, 그 베어링 삽입구에는 외측 베어링(15)이 삽입된다.

상기 이송 장축(20)은 양측단이 두 프레임(11,12)의 대응 위치에 마련된 두 외측 베어링(15)에 의해 회전 가능한 상태로 고정된다.

이와 같은 구조에서 세정된 대면적 기판이 이송되는 과정에서 건조할 필요가 있으며, 상기 두 프레임(11,12)의 사이에서 상호 상하로 마주보며, 그 두 프레임(11,12)에 대하여 사선 방향을 따라 위치하는 에어나이프(13,14)를 사용한다.

상기 에어나이프(13,14)가 사선방향으로 배치되는 것은 대면적 기판에 잔류하는 세정수를 이송방향의 측면측으로 밀어내어 건조시키기 위한 것이다.

이와 같은 두 에어나이프(13,14)의 배치에 의하여 상기 에어나이프(13,14)가설치되는 위치에서는 이송 장축(20)을 사용할 수 없다.

즉, 이송 장축(20)을 사용하면, 두 에어나이프(13,14)의 사이로 그 이송 장축(20)이 통과해야 하나, 이와 같은 구조는 건조효율을 저하시키며 이송되는 대면적 기판과의 거리 등을 고려할 때 바람직하지 않다.

상기의 이유로 두 에어나이프(13,14)의 배치 영역에서는 이송 단축(19)을 사용한다.

상기 이송 단축(19)의 일측은 상기 두 프레임(11,12) 중 일측의 외측 베어링(15)에 결합되며, 타측은 내측 베어링 지지부(16)에 삽입된 내측 베어링(17)에 삽입된다.

상기 내측 베어링 지지부(16)는 상측에 내측 베어링 삽입구를 가지는 것으로서, 상기 두 에어나이프(13,14)의 전면부와 후면부에 각각 인접하여 상호 사선방향으로 배치된다.

상기 이송 단축(19)과 이송 장축(20)에는 이송롤러(18)가 마련되어, 그 이송롤러(18)에 배면이 접촉되는 대면적 기판을 이송한다.

그러나, 상기와 같은 이송 단축을 사용하는 종래 대면적 기판의 이송장치는 이송 단축(19)의 일측에 결합되는 내측 베어링(17)에 윤활제를 공급하기가 용이하지 않으며, 이에 따라 내측 베어링(17)의 마모에 의한 파티클이 발생되어 공정의 신뢰성이 저하되며, 대면적 기판을 오염시켜 수율을 저하시는 문제점이 있었다.

상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명은, 이송 단축을 지지하는 내측 베어링에서 발생되는 파티클을 줄일 수 있는 대면적 기판 이송장치의 윤활장치를 제공함에 그 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명 대면적 기판 이송장치의 윤활장치는 장축의 양측단과 단축의 일측단을 회전 가능하게 고정하는 외측 베어링을 지지하는 두 프레임과, 상기 두 프레임의 사이에 위치하여 상기 단축의 타측단을 회전 가능하게 고정하는 내측 베어링을 지지하는 내측 베어링 지지부를 포함하는 대면적 기판의 이송장치에 있어서, 상기 내측 베어링 지지부는 외부의 습식윤활제를 공급받아 상기 내측 베어링을 세정 및 윤활 시키도록 구성된다.

상기 내측 베어링 지지부는 외부로부터 습식윤활제를 공급받는 윤활제 공급 포트와, 상기 윤활제 공급포트로부터 상기 지지된 내측 베어링의 일측면으로 연장되는 습식윤활제 공급관과, 상기 베어링의 타측면으로부터 상기 고정부의 배출구까지 연장되는 습식윤활제 배출관을 포함한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다. 그러나 이하의 실시예는 이 기술분야에서 통상적인 지식을 가진 자에게 본 발명이 충분히 이해되도록 제공되는 것으로서 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 다음에 기술되는 실시예에 한정되는 것은 아니다. 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.

도 3은 본 발명 대면적 기판 이송장치의 윤활장치의 바람직한 실시예에 따른 내측 베어링 지지부의 사시도이고, 도 4는 도 3의 측단면도이다.

도 3과 도 4를 각각 참조하면, 본 발명 대면적 기판 이송장치의 윤활장치는 습식윤활제를 배출하는 배출구(110)를 구비하는 고정부(100)와, 상기 고정부(100) 상에 고정되어 내측 베어링(200)을 고정 지지함과 아울러 상기 내측 베어링(200)의 측면에 습식윤활제를 공급함과 아울러 윤활에 사용된 습식윤활제를 상기 배출구(110)를 통해 배출하는 베어링 하우징(300)으로 구성된다.

상기 베어링 하우징(300)은 일면에 습식윤활제를 공급받는 윤활제 공급포트(310)와, 상기 윤활제 공급포트(310)를 통해 공급된 습식윤활제를 고정 지지된 내측 베어링(200)의 저면부 측면으로 공급하는 습식윤활제 공급관(320)과, 상기 내 측 베어링(200)을 통과한 습식윤활제를 상기 고정부(100)의 배출구(110)를 통해 배출하는 습식윤활제 배출관(330)을 포함한다.

이하, 상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 대면적 기판 이송장치의 윤활장치의 구성과 작용을 보다 상세히 설명한다.

먼저, 상기 설명한 종래기술에서 상세히 설명한 바와 같이 대면적 기판을 세정하는 장치에서 에어나이프를 이용한 건조영역 등에서는 이송 단축을 사용해야 하며, 그 이송 단축을 사용하기 위해서는 상기 에어나이프와 인접한 부분에서 이송 단축을 고정하는 내측 베어링 지지부가 요구된다.

상기 내측 베어링 지지부는 내측 베어링(200)과, 그 내측 베어링(200)의 내륜이 회전 가능한 상태가 되도록 지지하는 베어링 하우징(300)을 포함한다.

이때의 베어링 하우징(300)은 고정부(100)에 의해 견고하게 고정된다.

상기 고정부(100)에는 배출구(100)가 마련되어 있어, 내측 베어링(200)의 윤활에 사용된 습식윤활제가 외부로 배출될 수 있도록 한다.

상기 고정부(100)에 의해 고정된 베어링 하우징(300)은 그 측면에 외부로부터습식윤활제를 공급받을 수 있는 윤활제 공급포트(310)가 마련된다.

이때의 습식윤활제의 예로는 탈이온수가 사용될 수 있다.

상기 윤활제 공급포트(310)로 공급된 습식윤활제는 상기 윤활제 공급포트(310)에서부터 상기 내측 베어링(200)의 측면부로 연장된 습식윤활제 공급관(320)에 의해 내측 베어링(200)의 일측면으로 공급된다.

상기 공급된 습식윤활제는 내측 베어링(200)의 내부 저면측으로 유입된다.

이때, 상기 내측 베어링(200)의 내륜에는 대면적 기판을 이송하는 단축이 삽입 고정되어 있으며, 그 대면적 기판을 이송하는 과정에서 내륜과 함께 볼이 회전하기 때문에 상기 공급된 습식윤활제는 내측 베어링(200)의 전체를 윤활시킨다.

상기 공급된 습식윤활제의 작용은 볼과 외륜 및 볼과 내륜의 마찰을 줄이고, 마찰에 의해 발생되는 파티클을 제거하는 역할을 한다. 즉, 세정과 윤활작용을 동시에 수행할 수 있다.

상기와 같이 세정과 윤활작용을 위한 내측 베어링(200)은 양측면의 캡이 개방되어 베어링 볼이 노출된 것이 바람직하다.

이와 같이 내측 베어링(200)을 세정 및 윤활시킨 사용된 습식윤활제는 상기 습식윤활제 공급관(320)과는 반대편의 내측 베어링(200)의 측면으로부터 상기 고정부(100)의 배출구(110)까지 연장된 습식윤활제 배출관(330)을 통해 배출된다.

상기와 같이 배출된 습식윤활제는 파티클을 포함하고 있는 것이며, 이는 습식 윤활제의 재생과정을 통해 재생되어 재사용할 수 있다.

즉, 상기와 같은 작용의 습식윤활제를 회수하고, 이를 재생한 후, 다시 공급하는 작용을 하는 기능의 장치를 더 포함하여 구성할 수 있다.

상기 윤활제 공급포트(310), 습식윤활제 공급관(320), 습식윤활제 배출관(330)은 단일한 몸체의 베어링 하우징(300)의 내에 가공된 것일 수 있으며, 베어링 하우징(300)을 조립체로 하여 상기 습식윤활제를 공급받아 내측 베어링(200)을 세정 및 윤활시킨 다음 회수하는 구조를 획득할 수도 있다.

이상에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시 예를 들어 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시 예에 한정되지 않으며 본 발명의 개념을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능하다.

예를 들어, 상기의 베어링 하우징(300)과 고정부(100)를 일체로 할 수 있다.

상기한 바와 같이 본 발명은, 이송 단축의 일단을 회전 가능한 상태로 지지하는 내측 베어링 지지부의 내측 베어링에 습식윤활제를 공급하여 세정 및 윤활이 이 루어지도록 함으로써, 파티클의 발생을 억제 및 방지하여 공정의 신뢰성을 향상시키는 효과가 있다.

또한, 본 발명은 내측 베어링의 세정과 윤활에 사용된 습식윤활제를 재생하여 재사용함으로써, 환경오염을 방지할 수 있는 효과가 있다.

Claims (2)

1. 장축의 양측단과 단축의 일측단을 회전 가능하게 고정하는 외측 베어링을 지지하는 두 프레임과, 상기 두 프레임의 사이에 위치하여 상기 단축의 타측단을 회전 가능하게 고정하는 내측 베어링을 지지하는 내측 베어링 지지부를 포함하는 대면적 기판의 이송장치에 있어서,

   상기 내측 베어링 지지부는 외부의 습식윤활제를 공급받아 상기 내측 베어링을 세정 및 윤활 시키는 것을 특징으로 하는 대면적 기판 이송장치의 윤활장치.
2. 제2항에 있어서,

   상기 내측 베어링 지지부는,

   외부로부터 습식윤활제를 공급받는 윤활제 공급포트;

   상기 윤활제 공급포트로부터 상기 지지된 내측 베어링의 일측면으로 연장되는 습식윤활제 공급관; 및

   상기 베어링의 타측면에서 배출되는 습식윤활제를 외부로 배출하는 배출관을 포함하는 대면적 기판 이송장치의 윤활장치.

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