JP2006116465A

JP2006116465A - 基板の処理装置

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Publication number: JP2006116465A
Application number: JP2004308377A
Authority: JP
Inventors: Hideki Sueyoshi; 秀樹末吉; Akinori Iso; 明典磯
Original assignee: Shibaura Mechatronics Corp
Current assignee: Shibaura Mechatronics Corp
Priority date: 2004-10-22
Filing date: 2004-10-22
Publication date: 2006-05-11
Anticipated expiration: 2024-10-22
Also published as: TWI421924B; KR101116713B1; CN1778478B; KR20060049096A; CN1778478A; TW200631083A; JP4537826B2

Abstract

【課題】この発明はブラシの両端を回転可能に支持する一対のスピンドルを芯ずれなく処理槽の幅方向に沿って設けることができるようにした処理装置を提供することにある。
【解決手段】処理槽内を搬送される基板を、この処理槽内に設けられたブラシユニット１１によって処理する処理装置であって、
ブラシユニットは、同一垂直面上に水平方向に所定間隔で離間する第１の取り付け部１７と第２の取り付け部１８とを有するフレーム１２と、軸線を平行にして上下方向に配置される第１の上部ブラシ３２及び第１の下部ブラシ３３と、第１の取り付け部と第２の取り付け部とに取り付けられ第１の上部ブラシの軸方向両端部を回転可能に支持する一対の第１のスピンドル２７と、第１の取り付け部と第２の取り付け部とに取り付けられ第２の下部ブラシの軸方向両端部を回転可能に支持する一対の第２のスピンドル２８とを具備する。
【選択図】図２

Description

この発明は基板を処理槽内に設けられたブラシユニットによって処理する基板の処理装置に関する。

液晶表示装置に用いられるガラス製の基板には回路パターンが形成される。基板に回路パターンを形成するにはリソグラフィープロセスが採用される。リソグラフィープロセスは周知のように上記基板にレジストを塗布し、このレジストに回路パターンが形成されたマスクを介して光を照射する。

つぎに、レジストの光が照射されない部分或いは光が照射された部分を除去し、レジストが除去された部分をエッチングする。そして、エッチング後に基板からレジストを除去するという一連の工程を複数回繰り返すことで、上記基板に回路パターンを形成する。

このようなリソグラフィープロセスにおいては、上記基板に現像液、エッチング液或いはエッチング後にレジストを除去する剥離液などの処理液によって基板を処理する工程、さらに処理液による処理後に洗浄液によって洗浄する工程が必要となる。

基板を洗浄する洗浄工程において、たとえば基板に付着した処理液を洗浄除去するような場合には、処理槽内を搬送される基板に対し、シャワーノズルによって洗浄液を噴射することで、基板から処理液を洗浄除去することが可能である。

しかしながら、基板にパーティクルなどの汚れが強固に付着しているような場合、基板に単に洗浄液を噴射するだけでは汚れを確実に洗浄除去することができない。したがって、そのような場合には処理槽内を搬送される基板をブラシユニットによって洗浄するということが行われる。

上記ブラッシングユニットは、搬送される基板の上面をブラッシングする上部ブラシと、下面をブラッシングする下部ブラシとを有する。各ブラシは、軸方向の両端部がそれぞれスピンドルによって回転可能に支持されている。そして、各ブラシの軸方向一端部に設けられたスピンドルと、他端部に設けられたスピンドルはそれぞれ左右一対のブラケットに取り付け固定される。左右一対のブラケットは基板の搬送方向に対して直交する幅方向に配置され、下端が処理装置を構成する架台に固定されて立設される。

ところで、基板の搬送方向と直交する幅方向に左右一対のブラケットを立設し、これらブラケットに上、下一対のブラシの軸方向一端部と他端部とに設けられたスピンドルを取り付け固定する構造によると、左右一対のブラケットを基板の搬送方向と直交する方向の同一直線上に精密に位置決め固定すること、つまり一対のブラケットを基板の搬送方向と直交する方向に芯ずれなく位置決め固定するということが難しい。

左右一対のブラケットに芯ずれが生じると、各ブラケットに取り付けられてブラシの軸方向一端部と他端部とを回転可能に支持する左右一対のスピンドルの軸線にもずれが生じる。スピンドルの軸線にずれが生じた状態でブラシを回転駆動すると、スピンドルやブラシの軸に応力が発生することになるから、スピンドルの損傷やブラシ軸の損傷を招くということがある。

さらに、処理槽内の狭い空間で左右一対のブラケットを架台に取り付け固定したり、これらのブラケットにブラシの両端部に設けられたスピンドルを取り付け固定するなどの作業を行わなければならないから、作業性が悪いということもあった。

この発明は、上下ブラシの軸方向両端を回転可能に支持する左右一対のスピンドルを、基板の搬送方向に対して直交する方向に芯ずれなく精密に位置決めして設けることができるようにした基板の処理装置を提供することにある。

この発明は、処理槽内を搬送される基板を、この処理槽内に設けられたブラシユニットによって処理する処理装置であって、
上記ブラシユニットは、
同一垂直面上に水平方向に所定間隔で離間する第１の取り付け部と第２の取り付け部とを有するフレームと、
軸線を平行にして上下方向に配置される第１の上部ブラシ及び第１の下部ブラシと、
上記第１の取り付け部と第２の取り付け部とに取り付けられ上記第１の上部ブラシの軸方向両端部を回転可能に支持する一対の第１のスピンドルと、
上記第１の取り付け部と第２の取り付け部とに取り付けられ上記第２の下部ブラシの軸方向両端部を回転可能に支持する一対の第２のスピンドルと
を具備したことを特徴とする基板の処理装置にある。

上記第１のスピンドルと第２のスピンドルは、上記第１の取り付け部と第２の取り付け部とにそれぞれ上下動可能に設けられ、第１、第２のスピンドルは第１の上下駆動機構によってそれぞれ上記各取り付け部に上下方向の位置決め調整可能に設けられていることが好ましい。

上記フレームには、上記第１の取り付け部と平行な第３の取り付け部と、上記第２の取り付け部と平行で上記第３の取り付け部に対して所定間隔で離間した第４の取り付け部とが設けられ、
上記第３の取り付け部と第４の取り付け部とには第３のスピンドルと第４のスピンドルとがそれぞれ上下方向に対応して設けられ、
上記第３の取り付け部と第４の取り付け部とに設けられた一対の第３のスピンドルには第２の上部ブラシの軸方向両端部が回転可能に支持され、一対の第４のスピンドルには第２の下部ブラシの軸方向両端部が回転可能に支持されていることが好ましい。

上記第３のスピンドルと第４のスピンドルは、上記第３の取り付け部と第４の取り付け部とにそれぞれ上下動可能に設けられ、第３、第４のスピンドルは第２の上下駆動機構によってそれぞれ上記各取り付け部に上下方向の位置決め調整可能に設けられていることが好ましい。

上記フレームは、連結部及びこの連結部の両端に設けられた一対の脚部とによって門型形状に形成されていて、上記第１の取り付け部と第２の取り付け部とは上記一対の脚部の一側面に形成され、上記第３の取り付け部と第４の取り付け部は上記一対の脚部の上記一側部と平行な他側面に形成されていることが好ましい。

この発明によれば、フレームに同一垂直面上に位置して水平方向に所定間隔で離間する一対の取り付け部を形成し、これらの取り付け部に上部ブラシの軸方向両端部と下部ブラシの軸方向両端部をそれぞれ回転可能に支持する各一対のスピンドルを上下方向に対応して設けるようにした。

そのため、各一対のスピンドルを芯ずれなく設けることが可能となるから、これらスピンドルやスピンドルに支持される上下一対のブラシ軸に応力が発生して損傷を招くのを防止することができる。

以下、この発明の一実施の形態を図面を参照して説明する。
図１はこの発明の処理装置の縦断面図であって、この処理装置は処理槽１を備えている。この処理槽１内には図３に示すように複数の搬送ローラ２からなる搬送機構３が設けられている。これらの搬送ローラ２は所定方向に回転駆動される。上記処理槽１の一端には搬入口４が形成され、この搬入口４から処理槽１内に搬入された、たとえば液晶表示パネルなどに用いられるガラス製の基板Ｗは上記搬送ローラ２によって搬送され、上記処理槽１の他端に形成された搬出口５から搬出されるようになっている。

図１に示すように、上記処理槽１は上面に形成された開口部７が蓋体６によって開閉できる構成となっている。上記処理槽１内には、この処理槽１内を上記搬送ローラ２によって搬送される基板Ｗ（図３に示す）をブラシ洗浄するブラシユニット１１が後述するように設置されている。さらに、処理槽１の底部は排液管８を介して廃液タンク９に接続されている。

上記ブラシユニット１１は図２、図４及び図５に示すようにフレーム１２を有する。このフレーム１２は連結部１３及びこの連結部１３の両端に一体形成された一対の脚部１４によって側面形状が門型に形成されている。連結部１３及び脚部１４の断面形状は上方及び外側が開放したＵ字状になっている。

一対の脚部１４の下端には連結板１５が取り付け固定されていて、上記連結部１３の長手方向中途部には図１に示すようにフレーム１２をチェーンブロックなどに搬送手段で吊るときに利用される吊り下げ金具１６が設けられている。

図５に示すように、一方の上記脚部１４の一側面は第１の取り付け部１７に形成され、他方の上記脚部１４の一側面は第２の取り付け部１８に形成されている。第１の取り付け部１７と第２の取り付け部１８とは後述するように同一垂直面上に位置し、水平方向に所定間隔、つまり上記基板Ｗの幅寸法よりも大きな間隔で離間するよう形成されている。

さらに、一方の上記脚部１４の他側面は上記第１の取り付け部１７と平行に第３の取り付け部１９が形成され、他方の上記脚部１４の他側面は上記第２の取り付け部１８と平行に第４の取り付け部２０が形成されている。したがって、第３の取り付け部１９と第４の取り付け部２０とは第１、第２の取り付け部１７，１８と同様、同一垂直面上に位置して水平方向に所定間隔で離間している。

図４と図５に示すように、第１乃至第４の取り付け部１７〜２０を形成する一対の脚部１４の両側の同一垂直面上に位置する基準面２１には、それぞれ一対のリニアガイド２２が平行かつ上下方向に沿って設けられている。

各一対のリニアガイド２２にはそれぞれ上部可動板２３と下部可動板２４とがこれらの内面に固定された２つで対をなす一対のスライダ２５をスライド可能に係合させて設けられている。つまり、上部可動板２３と下部可動板２４とは上記リニアガイド２２に沿って上下動可能となっている。

それによって、第１の取り付け部１７と第２の取り付け部１８とに設けられたそれぞれ一対の上部可動板２３と下部可動板２４との板面は上記基準面２１に準じて同一垂直面上に位置している。さらに、第３の取り付け部１９と第４の取り付け部２０とに設けられたそれぞれ一対の上部可動板２３と下部可動板２４との板面は、同じく上記基準面２１に準じて同一垂直面上に位置している。

一対の脚部１４の第１、第２の取り付け部１７，１８に設けられた２枚の上部可動板２３にはそれぞれ第１のスピンドル２７がその一側面を固定して設けられ、同じく２枚の下部可動板２４にはそれぞれ第２のスピンドル２８が一側面を固定して設けられている。

一対の脚部１４の第３、第４の取り付け部１９，２０に設けられた２枚の上部可動板２３にはそれぞれ第３のスピンドル２９がその一側面を固定して設けられ、同じく２枚の下部可動板２４にはそれぞれ第４のスピンドル３０が一側面を固定して設けられている。

一対の第１のスピンドル２７には第１の上部ブラシ３２の軸方向両端部が回転可能に支持され、一対の第２のスピンドル２８には第１の下部ブラシ３３の軸方向両端部が回転可能に支持されている。

さらに、一対の第３のスピンドル２９には第２の上部ブラシ３４の軸方向両端部が回転可能に支持され、一対の第４のスピンドル３０には第２の下部ブラシ３５の軸方向両端部が回転可能に支持されている。

上記各ブラシ３２〜３５は図５に示すように中空軸３６の外周面にブラシ毛３７が設けられているとともに、上記中空軸３６の両端に支軸３９が連結されていて、上記支軸３９が各スピンドル２７〜３０に回転可能に支持されている。

各ブラシ３２〜３５の軸方向両端部を回転可能に支持した各一対の第１乃至第４のスピンドル２７〜３０の一方の軸方向の一端面にはそれぞれ駆動源４０が設けられている。各駆動源４０は各ブラシ３２〜３５の支軸３９に連結され、これらブラシ３２〜３５を所定方向に回転駆動する。

つまり、各一対の上部ブラシ３２，３４と下部ブラシ３３，３５とは逆方向に回転駆動される。各一対のブラシの回転方向は、通常、基板Ｗの搬送方向に対して逆方向に回転駆動されるが、ブラシの周速度と基板Ｗの搬送速度が異なれば、各ブラシの回転方向は基板Ｗの搬送方向と同方向であってもよい。また、一方の一対の上下ブラシ３２，３３と他方の一対の上下ブラシ３４，３５の一方を基板Ｗの搬送方向と同方向、他方を逆方としてもよい。

上記第１の上部ブラシ３２と第１の下部ブラシ３３は、第１の上下駆動機構４１によって別々に上下方向に駆動して位置決め調整できるようになっており、上記第２の上部ブラシ３４と第２の下部ブラシ３５は、上記第１の上下駆動機構４１と同じ構成の第２の上下駆動機構４２によって別々に上下方向に駆動して位置決め調整できるようになっている。

上記第１、第２の位置決め機構４１，４２は上記フレーム１２の一対の脚部１４の上端に軸線を水平にして取り付けられた一対の第１の支持体４４を有する。図４に示すように一対の第１の支持体４４（一方の図示）には可動ブロック４５がスライド可能に支持されている。この可動ブロック４５には駆動軸４６の上端部がスライド可能に支持されている。

各駆動軸４６の下端は、一対の第１のスピンドル２７及び第３のスピンドル２９が設けられた上記上部可動板２３の上端に連結固定されている。駆動軸４６の上端部にはローラ４７が設けられ、このローラ４７は上記可動ブロック４５に上下方向に沿って傾斜して形成された傾斜溝４８に係合している。それによって、上記可動ブロック４５が軸方向にスライドすれば、上記傾斜溝４８に沿ってローラ４７が上下動し、その上下動に駆動軸４６が連動するから、この駆動軸４６に連結された上部可動板２３がリニアガイド２２に沿って上下駆動される。

左右一対の上部可動板２３は、一対の第１のスピンドル２７を介して第１の上部ブラシ３２及び一対の第３のスピンドル２９を介して第２の上部ブラシ３４が回転可能に支持されている。したがって、上部可動板２３を上下駆動すれば、上記第１、第２の上部ブラシ３２，３４を上下動させて位置決めすることができる。

左右一対の可動ブロック４５の一端は連動軸５１によって連結されている。一方の可動ブロック４５の他端にはスライド軸５２（図４に示す）の一端が連結されている。このスライド軸５２は一方の脚部１４にブラケット５０によって取り付けられた第２の支持体５３にスライド可能に支持されている。

第２の支持体５３には第１の操作軸５４の上端部が回転可能に支持されている。この第１の操作軸５４の上端部には上記スライド軸５２に設けられた従動歯車に噛合する駆動歯車（ともに図示せず）が設けられている。そして、第１の操作軸５４の下端に設けられた操作ノブ５５によってこの第１の操作軸５４を回転させると、その回転によって上記スライド軸５２を軸方向に駆動することができる。

上記スライド軸５２を軸方向に駆動すると、それに第１のブロック４５が連動してスライドするから、上述したように第１の上部ブラシ３２と第２の上部ブラシ３４の上下方向の位置を調整することができる。

図４に示すように、上記第２の支持体５３には上昇用レバー５６が中途部をピン５６ａによって回動可能に連結されて設けられている。この操作レバー５６の上端は上記スライド軸５２の上記第２の支持体５３に支持された部分にピン５６ｂによって回動可能かつ相対的に上下方向にスライド可能に連結されている。

したがって、上記操作レバー５６を図４に矢印で示す反時計方向である、上端が後退する方向に回動させれば、この操作レバー５６によってスライド軸５２を強制的に後退方向に駆動させることができる。それによって、第１、第２の上部ブラシ３２，３４を上記第１の操作軸５４の回転操作に比べて迅速に大きな寸法で上昇させることができるようになっている。

上記第１、第２の上下駆動機構４１，４２による上記第１、第２の下部ブラシ３３，３５の上下駆動は、第１、第２の上部ブラシ３２，３４とほぼ同じ構成の機構によって行われる。すなわち、詳細は図示しないが、図２に示すようにフレーム１２の一対の脚部１４の上端に取り付けられた一対の第１の支持体４４Ａを有し、一方の支持体４４Ａには第１のブロック（図示せず）がスライド可能に設けられている。

上記第１のブロックは第２の支持体５３Ａにスライド可能に設けられたスライド軸（図示せず）に連結されている。第２の支持体５３Ａには第２の操作軸５４Ａの上端が回転可能に支持され、この第２の操作軸５４Ａを操作ノブ５５Ａによって回転させることで、上記スライド軸を介して上記第１のブロック４５Ａをスライドさせることができるようになっている。

左右一対の第１のブロック４５Ａは連動軸５１Ａによって連結されている。各第１のブロックに設けられた傾斜溝（図示せず）にはローラを介して駆動軸（ともに図示せず）が上下動可能に設けられている。一対の駆動軸はフレーム４の一対の脚部１４の一側面と他側面とにそれぞれ上下方向に移動可能に設けられた上記下部可動板２４に連結されている。

それによって、上記第２の操作軸５４Ａを回転させれば、その回転に連動して上下動する駆動軸及び下部可動板２４に取り付けられた各一対の第２、第４のスピンドル２８，３０を介して第１の下部ブラシ３３と第２の下部ブラシ３５を上下動させることができるようになっている。

つまり、第１の上下駆動機構４１と第２の駆動機構４２とによって第１、第２の上部ブラシ３２，３４及び第１、第２の下部ブラシ３３，３５の上下方向の位置、つまりブラシ間隔を調整することができる。それによって、上下一対のブラシ間に送り込まれる基板Ｗの上下面に対するブラシ毛３７の接触強さを調整することができる。

そして、このように構成されたブラシユニット１１は、図１に示すようにフレーム１２の一対の脚部１４の下端に設けられた連結板１５を、上記処理槽１の幅方向両側に設けられた架台５７の上面に取り付け固定して設置される。

つまり、ブラシユニット１１は、フレーム１２を処理槽１の幅方向である基板Ｗの搬送方向に対して直交する方向に設置されていて、図３に示すようにこのフレーム１２の第１、第２の取り付け部１７，１８に設けられた第１の上部ブラシ３２と第１の下部ブラシ３３を同図に矢印で示す基板Ｗの搬送方向上流側に位置させ、第３、第４の取り付け部１９，２０に設けられた第２の上部ブラシ３４と第２の下部ブラシ３５を基板Ｗの搬送方向下流側に位置させて設けられている。

図６は処理槽１内に設けられたブラシユニット１１の部分における洗浄液を供給するノズルの配置状態を示している。すなわち、第１のノズル６１によって第１の上部ブラシ３２に向けて洗浄液が噴射供給され、第２のノズル６２によって第２の上部ブラシ３４に向けて洗浄液が噴射供給されるようになっている。さらに、基板Ｗの各一対の上下ブラシ間に位置する部分の上面には２組の第３のノズル６３によって洗浄液が噴射供給されるようになっている。なお、第１乃至第３のノズル６１〜６３はブラシの軸方向に沿って所定間隔で複数配置されている。

図１に示すように、上記第１、第２の上下駆動機構４１，４２の第１、第２の操作軸５４，５４Ａ及び操作レバー５６は処理槽１の外部に突出している。それによって、上部ブラシ３２，３４と下部ブラシ３３，３５の上下位置の調整を外部から行えるようになっている。

このように構成された処理装置によれば、一対の上部ブラシ３２，３４及び一対の下部ブラシ３３，３５はフレーム１２によって一体化されている。そのため、処理槽１に組み込む前に一体化しておけば、処理槽１内ではフレーム１２の脚部１４の下端に設けられた連結板１５を架台５７に取り付け固定するだけの作業ですむ。したがって、処理槽１内にブラシユニット１１を組み込む作業を容易に、しかも迅速に行うことができる。

上記フレーム１２の一対の脚部１４の一側面には第１の取り付け部１７と第２の取り付け部１８とを同一垂直面上に設け、他側面には第３の取り付け部１９と第４の取り付け部２０とを同じく同一垂直面上に設けるようにした。具体的には、第１、第２の取り付け部１７，１８と、第３、第４の取り付け部１９，２０を構成する、フレーム１２の脚部１４の側面に形成された基準面２１を基準にしてそれぞれ一対の上部可動板２３と下部可動板２４との板面を同一垂直面上に位置させるようにした。

そのため、上部可動板２３と下部可動板２４との板面を基準にしてそれぞれ一対の第１のスピンドル２７と第２のスピンドル２８及び第３のスピンドル２９と第４のスピンドル３０を取り付け固定すれば、それぞれ一対のスピンドル２７〜３０を軸芯がずれることなく上記フレーム１２に取り付けことができる。

それぞれ一対のスピンドル２７〜３０を軸芯がずれることなく上記フレーム１２に取り付けことができれば、これらのスピンドル２７〜３０に両端が回転可能に支持されたブラシ３２〜３５を駆動源４０によって回転駆動しても、各スピンドル２７〜３０やブラシ３２〜３５に応力が生じて損傷するのを防止することができる。

さらに、フレーム１２の一対の脚部１４の一側面に設けられた各一対の第１、第２のスピンドル２７，２８は第１の上下駆動機構４１によって連動軸５１を介して一体的に上下駆動させることができる。

また、フレーム１２の一対の脚部１４の他側面に設けられた各一対の第３、第４のスピンドル２９，３０は第２の駆動機構４２によって連動軸５１Ａを介して一体的に上下駆動させることができる。

そのため、一対の脚部１４の一側面と他側面とに設けられた各一対の第１乃至第４のスピンドル２７〜３０は芯ずれが生じないばかりか、上下方向に位置ずれが生じることもないから、そのことによっても、ブラシ３２〜３５を回転させることによってこのブラシの軸や各スピンドル２７〜３０に応力が生じるのを防ぐことができる。

上記一実施の形態では、フレームの一側面と他側面とにそれぞれ上下一対のブラシを設けるブラシユニットについて説明したが、この発明はフレームの一側面だけに上下一対のブラシを設ける構成のブラシユニットであっても差し支えない。

この発明の一実施の形態の処理装置を示す縦断面図。ブラシユニットの分解斜視図。処理槽内で基板を所定方向に搬送する搬送機構とブラシユニットとの配置関係の説明図。ブラシユニットの長手方向一端部を拡大して示す正面図。ブラシユニットの上下駆動機構を取り除いた平面図。ブラシユニットの各ブラシと洗浄液を噴射供給するノズルとの配置関係を示す説明図。

符号の説明

１…処理槽、３…搬送ローラ、１１…ブラシユニット、１２…フレーム、１７〜２０…第１乃至第４の取り付け部、２１…基準面、２７〜３０…第１乃至第４のスピンドル、３２…第１の上部ブラシ、３３…第１の下部ブラシ、３４…第２の上部ブラシ、３５…第２の下部ブラシ、４０…駆動源、４１…第１の上下駆動機構、４２…第２の上下駆動機構。

Claims

処理槽内を搬送される基板を、この処理槽内に設けられたブラシユニットによって処理する処理装置であって、
上記ブラシユニットは、
同一垂直面上に水平方向に所定間隔で離間する第１の取り付け部と第２の取り付け部とを有するフレームと、
軸線を平行にして上下方向に配置される第１の上部ブラシ及び第１の下部ブラシと、
上記第１の取り付け部と第２の取り付け部とに取り付けられ上記第１の上部ブラシの軸方向両端部を回転可能に支持する一対の第１のスピンドルと、
上記第１の取り付け部と第２の取り付け部とに取り付けられ上記第２の下部ブラシの軸方向両端部を回転可能に支持する一対の第２のスピンドルと
を具備したことを特徴とする基板の処理装置。
上記第１のスピンドルと第２のスピンドルは、上記第１の取り付け部と第２の取り付け部とにそれぞれ上下動可能に設けられ、第１、第２のスピンドルは第１の上下駆動機構によってそれぞれ上記各取り付け部に上下方向の位置決め調整可能に設けられていることを特徴とする請求項１記載の基板の処理装置。
上記フレームには、上記第１の取り付け部と平行な第３の取り付け部と、上記第２の取り付け部と平行で上記第３の取り付け部に対して所定間隔で離間した第４の取り付け部とが設けられ、
上記第３の取り付け部と第４の取り付け部とには第３のスピンドルと第４のスピンドルとがそれぞれ上下方向に対応して設けられ、
上記第３の取り付け部と第４の取り付け部とに設けられた一対の第３のスピンドルには第２の上部ブラシの軸方向両端部が回転可能に支持され、一対の第４のスピンドルには第２の下部ブラシの軸方向両端部が回転可能に支持されていることを特徴とする請求項１記載の基板の処理装置。
上記第３のスピンドルと第４のスピンドルは、上記第３の取り付け部と第４の取り付け部とにそれぞれ上下動可能に設けられ、第３、第４のスピンドルは第２の上下駆動機構によってそれぞれ上記各取り付け部に上下方向の位置決め調整可能に設けられていることを特徴とする請求項１記載の基板の処理装置。
上記フレームは、連結部及びこの連結部の両端に設けられた一対の脚部とによって門型形状に形成されていて、上記第１の取り付け部と第２の取り付け部とは上記一対の脚部の一側面に形成され、上記第３の取り付け部と第４の取り付け部は上記一対の脚部の上記一側部と平行な他側面に形成されていることを特徴とする請求項３記載の基板の処理装置。