CN1778478A - 基板处理装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种可以不会发生轴心错位地沿处理槽的宽度方向来设置可旋转支撑刷子的两端的一对主轴的处理装置，其是通过设置在处理槽内的清洗装置(11)来处理在处理槽内搬送的基板的处理装置，其中，清洗装置包括：具有在同一垂直面上在水平方向上以规定间隔隔开的第一安装部(17)和第二安装部(18)的机架(12)、使轴线平行而在上下方向上配置的第一上部刷子(32)及第一下部刷子(33)、可旋转地支撑安装在第一安装部和第二安装部上的第一上部刷子的轴向两端部的一对第一主轴(27)、以及可旋转地支撑安装在第一安装部和第二安装部上的第二下部刷子的轴向两端部的一对第二主轴(28)。

Description

基板处理装置

技术领域

本发明涉及通过设置在处理槽内的清洗装置来处理基板的基板处理装置。

背景技术

在用于液晶显示装置的玻璃制的基板上形成回路图案。为了在基板上形成回路图案而采用平版印刷处理。众所周知，平版印刷处理是在上述基板上涂敷保护膜，经由形成有回路图案的掩模来对该保护膜照射光。

然后，除去保护膜的未照射光的部分或者照射光的部分，蚀刻除去保护膜的部分。接着，在蚀刻后通过多次重复从基板除去保护膜这样的一系列工序，而在上述基板上形成回路图案。

在这种平版印刷处理中，在上述基板上需要这样的工序，即，通过显影液、蚀刻液或者蚀刻后除去保护膜的剥离液等的处理液来处理基板的工序，以及在经由处理液进行处理后，通过洗净液进行清洗的工序。

在清洗基板的清洗工序中，例如当在清洗除去附着在基板上的处理液这样的情况下，通过喷淋喷嘴对在处理槽内搬送的基板喷射洗净液，通过这样而能够从基板上清洗除去处理液。

可是，当在基板上牢固地附着有微粒等脏污这样的情况下，仅通过对基板单单喷射洗净液是不能可靠地清洗除去脏污。因此，在这种情况下，进行通过清洗装置来清洗在处理槽内搬送的基板这样的工序。

上述清洗装置具有刷洗被搬送基板的上面的上部刷子和刷洗下面的下部刷子。各刷子的轴向的两端部分别被主轴可旋转地支撑着。并且，设置在各刷子的轴向一端部的主轴和设置在另一端部的主轴分别安装固定在左右一对托架上。左右一对托架配置在相对于基板的搬送方向垂直的宽度方向上，下端固定在构成处理装置的架台上竖立设置。

发明内容

然而，在与基板的搬送方向垂直的宽度方向上竖立设置左右一对托架，在这些托架上安装固定有设置在上下一对刷子的轴向一端部和另一端部上的主轴，根据这样的构造，难以精密地调整位置而将左右一对托架固定在与基板的搬送方向垂直的方向上的同一直线上，即，难以使轴心不发生错位地调整位置而将左右一对托架固定在与基板的搬送方向垂直的方向上。

在左右一对托架上如果发生轴心错位，则安装在各托架上来可旋转地支撑刷子的轴向一端部和另一端部的左右一对主轴的轴线也会发生错位。在主轴的轴线上发生错位的状态下，如果驱动旋转刷子，则由于导致在主轴或刷子的轴上产生应力，因此，存在导致主轴的损伤或刷子轴的损伤这样的问题。

而且，在处理槽内的狭小空间内，由于必须进行这样的作业，即，将左右一对托架安装固定在架台上，在这些托架上安装固定设置在刷子的两端部的主轴等，因此，还存在作业性差这样的问题。

本发明的目的在于提供一种基板处理装置，能够轴心不发生错位地精密调整位置，将可旋转支撑上下刷子的轴向两端的左右一对主轴设置在与基板的搬送方向垂直的方向上。

本发明是这样的基板处理装置，即，通过设置在处理槽内的清洗装置来处理在处理槽内搬送的基板的处理装置，其中，

清洗装置包括：

具有在同一垂直面上在水平方向上以规定间隔隔开的第一安装部和第二安装部的机架；

使轴线平行而在上下方向上配置的第一上部刷子及第一下部刷子；

可旋转地支撑安装在上述第一安装部和第二安装部上的上述第一上部刷子的轴向两端部的一对第一主轴；和

可旋转地支撑安装在上述第一安装部和第二安装部上的上述第二下部刷子的轴向两端部的一对第二主轴。

根据本发明，在机架上形成位于同一垂直面上且在水平方向上以规定间隔隔开的一对安装部，在这些安装部上，在上下方向对应地设置分别可旋转地支撑上部刷子的轴向两端部和下部刷子的轴向两端部的各一对主轴。

因此，由于可以轴心不发生错位地设置各一对主轴，因此，可以防止在这些主轴或由主轴支撑的上下一对刷子轴上产生应力而导致损伤。

附图说明

图1是表示本发明一个实施方式的处理装置的纵截面图。

图2是清洗装置的分解立体图。

图3是在处理槽内向规定方向搬送基板的搬送机构和清洗装置之间的配置关系的说明图。

图4是表示放大清洗装置的长度方向一端部的正面图。

图5是去除清洗装置的上下驱动机构的平面图。

图6是表示清洗装置的各刷子和喷射供给洗净液的喷嘴之间的配置关系的说明图。

符号说明：

1……处理槽

3……搬送辊

11……清洗装置

12……机架

17～20……第一至第四安装部

21……基准面

27～30……第一～第四主轴

32……第一上部刷

33……第一下部刷

34……第二上部刷

35……第二下部刷

40……驱动源

41……第一上下驱动机构

42……第二上下驱动机构

具体实施方式

下面，参照附图说明本发明的一个实施方式。

图1是本发明的处理装置的纵截面图，该处理装置包括处理槽1。如图3所示，在该处理槽1内设置有由多个搬送辊2所构成的搬送机构3。这些搬送辊2在规定方向上被驱动旋转。在上述处理槽1的一端设置有搬入口4，从该搬入口4搬入处理槽1内的、例如用于液晶显示板等的玻璃制的基板W，通过上述搬送辊2而被搬送，从设置在上述处理槽1的另一端的搬出口5被搬出。

如图1所示，上述处理槽1形成这样的构造，即，形成在上面的开口部7通过盖体6而能够开闭。在上述处理槽1内，如后所述，设置有刷洗由上述搬送辊2搬送到该处理槽1内的玻璃制基板W(如图3所示)的清洗装置11。而且，处理槽1的底部经由排液管8连接着废液槽9。

如图2、图4及图5所示，上述清洗装置11具有机架12。该机架12通过连结部13以及在该连结部13的两端一体形成的一对脚部14，而使其侧面形状形成为门型。连结部13及脚部14的截面形状形成为上方以及侧面开放的U字状。

在一对脚部14的下端安装固定有连结板15，如图1所示，在上述连结部13的长度方向中途部设置有在由搬送装置将机架12吊在链动滑轮(chain block)等时而利用的吊挂配件16。

如图5所示，一方的上述脚部14的一侧面在第一安装部17上形成，另一方的上述脚部14的一侧面在第二安装部18上形成。如后所述，第一安装部17和第二安装部18位于同一垂直面上，在水平方向上以规定间隔、即比上述基板W的宽度尺寸还大的间隔隔开而设置。

而且，一方的上述脚部14的另一侧面与上述第一安装部17平行而形成第三安装部19，另一方的上述脚部14的另一侧面与第二安装部18平行而形成第四安装部20。因此，与第一、第二安装部17、18同样地，第三安装部19和第四安装部20位于同一垂直面上，在水平方向上以规定间隔隔开。

如图4和图5所示，在位于形成第一～第四安装部17～20的一对脚部14的两侧的同一垂直面上的基准面21上，分别平行且沿着上下方向而设置有一对线性导轨22。

在各一对线性导轨22上，分别设置有上部可动板23和下部可动板24，使在它们的内面上固定的两个成对的一对滑子25可滑动地结合。即，上部可动板23和下部可动板24沿着上述线性导轨22可上下移动。

这样，设置在第一安装部17和第二安装部18上的分别各一对上部可动板23和下部可动板24的板面，以上述基准面21为标准而位于同一垂直面上。而且，设置在第三安装部19和第四安装部20上的分别各一对上部可动板23和下部可动板24的板面，同样也以上述基准面21为标准而位于同一垂直面上。

在设置于一对脚部14的第一、第二安装部17、18上的两片上部可动板23上，分别固定一侧面而设置有第一主轴27，同样地，在两片下部可动板24上，分别固定一侧面而设置有第二主轴28。

在设置于一对脚部14的第三、第四安装部19、20上的两片上部可动板23上，分别固定一侧面而设置有第三主轴29，同样地，在两片下部可动板24上分别固定一侧面而设置有第四主轴30。

在一对第一主轴27上可旋转地支撑着第一上部刷子32的轴向两端部，在一对第二主轴28上可旋转地支撑着第一下部刷子33的轴向两端部。

而且，在一对第三主轴29上可旋转地支撑着第二上部刷子34的轴向两端部，在一对第四主轴30上可旋转地支撑着第二下部刷子35的轴向两端部。

如图5所示，上部各刷子32～35在中空轴36的外周面上设置有刷毛37，同时，在上述中空轴36的两端连结着支轴39，上述支轴39可旋转地支撑在各主轴27～30上。

在可旋转地支撑各刷子32～35的轴向两端部的各一对第一～第四主轴27～30的一方的轴向的一端面上，分别设置有驱动源40。各驱动源40连结在各刷子32～35的支轴39上，在规定方向上驱动旋转这些刷子32～35。

即，各一对上部刷子32、34和下部刷子33、35在相反方向上驱动旋转。各一对刷子的旋转方向通常相对于基板W的搬送方向在相反方向上驱动旋转，但是，如果刷子的周速度和基板W的搬送速度不同，则各刷子的旋转方向也可以和基板W的搬送方向为相同方向。此外，也可以使一方的一对上下刷子32、33和另一方的一对上下刷子34、35的其中一方与基板W的搬送方向为相同方向，而使另一方为相反方向。

上述第一上部刷子32和第一下部刷子33通过第一上下驱动机构41而分别在上下方向驱动来进行定位调整，上述第二上部刷子34和第二下部刷子35通过与上述第一上下驱动机构41同样构造的第二上下驱动机构42，而分别在上下方向上驱动来进行定位调整。

上述第一、第二定位调整机构41、42具有在上述机架12的一对脚部14的上端上、使轴线水平而安装的一对第一支持体44。如图4所示，在一对第一支持体44(图示一部分)上，可滑动地支撑着可动块体45。在该可动块体45上，可滑动地支撑着驱动轴46的上端部。

各驱动轴46的下端连结固定在设置有一对第一主轴27以及第三主轴29的上述上部可动板23的上端。在驱动轴46的上端部设置有辊47，该辊47结合于沿着上下方向倾斜地形成在上述可动块体45上的倾斜沟48中。因此，如果上述可动块体45在轴向上滑动，则沿着上述倾斜沟48，辊47上下移动，由于驱动轴46与该上下移动连动，因此，连结在该驱动轴46上的上部可动板23沿着线性导轨22而上下驱动。

左右一对上部可动板23通过一对第一主轴27而经由第一上部刷子32以及一对第三主轴29而可旋转地支撑着第二上部刷子34。因此，如果上下驱动上部可动板23，则可以使上述第一、第二上部刷子32、34上下移动，来进行定位调整。

左右一对可动块体45的一端通过连动轴51而连结着。一方的可动块体45的另一端上连结着滑轴52(图4所示)的一端。该滑轴52可滑动地支撑在通过托架50而安装在一方的脚部14上的第二支持体53上。

第二支持体53可旋转地支撑在第一操作轴54的上端部。在该第一操作轴54的上端部设置有啮合在设置在上述滑轴52上的从动齿轮上的驱动齿轮(均未图示)。并且，通过设置在第一操作轴54的下端的操作捏手55而使该第一操作轴54旋转，通过该旋转而能够在轴向上驱动上述滑轴52。

当在轴向上驱动上述滑轴52时，由于第一块体45与其连动进行滑动，因此，如上所述，就可以调整第一上部刷子32和第二上部刷子34的上下方向的位置。

如图4所示，在上述第二支撑体53上，通过销钉56a可旋转地连结中途部地而设置有上升用控制杆56。该上升用控制杆56的上端，通过销钉56b可旋转且可相对地在上下方向上滑动地而连结着支撑在上述滑动轴52的上述第二支持体53上的部分。

因此，如果使上述操作杆56在图4箭头所示的作为逆时针方向的上端后退方向上旋转，则通过该操作杆56，可以强制地在后退方向上驱动滑轴52。这样，能够以比上述第一操作轴54的旋转操作大的尺寸迅速地使第一、第二上部刷子32、34上升。

通过上述第一、第二上下驱动机构41、42进行的上述第一、第二下部刷子33、34的上下驱动，通过几乎与第一、第二下部刷子33、34相同构造的机构而进行。即，如图2所示(详细情况没有图示)，具有安装在机架12的一对脚部14的上端的一对第一支持体44A，在一方的支持体44A上可滑动地设置有第一块体(未图示)。

上述第一块体连结在可滑动地设置于第二支持体53A上的滑轴(未图示)上。在第二支持体53A上，可旋转地支撑着第二操作轴54A的上端，通过由操作捏手55A使该第二操作轴54A旋转，而可以通过上述滑轴使上述第一块体45A滑动。

左右一对第一块体45A由连动轴51A连结着。在设置在各第一块体上的倾斜沟(未图示)中，通过辊可上下移动地设置有驱动轴(均未图示)。一对驱动轴连结在分别在上下方向上可移动地设置在机架4的一对脚部14的一侧面和另一侧面的上述下部可动板24上。

这样，如果使上述第二操作轴54A旋转，则通过安装在与该旋转连动而上下移动的驱动轴以及下部可动板24上的各一对第二、第四主轴28、30，而能够使第一下部刷子33和第二下部刷子35上下移动。

即，通过第一上下驱动机构41和第二驱动机构42，而能够调整第一、第二上部刷子32、34以及第一、第二下部刷子33、35的上下方向的位置，即刷子的间隔。因此，可以调整对于送入上下一对刷子间的基板W的上下面的刷毛37的接触强度。

并且，如图1所示，在这样构造的清洗装置11中，可以将设置在机架12的一对脚部14的下端的连结板15自由装卸地安装固定设置在设置于上述处理槽1的宽度方向两侧的架台57的上面上。

即，清洗装置11这样设置，将机架12设置在相对于处理槽1的宽度方向即基板W的搬送方向垂直的方向，如图3所示，使设置在该机架12的第一、第二安装部17、18上的第一上部刷子32和第一下部刷子33处于该图箭头所示基板W的搬送方向上游一侧，使设置在第三、第四安装部19、20上的第二上部刷子34和第二下部刷子35处于基板W的搬送方向下游一侧。

图6表示供给设置在处理槽1内的清洗装置11的部分中的洗净液的喷嘴的配置状态。即，通过第一喷嘴61向第一上部刷子32喷射供给洗净液，通过第二喷嘴62向第二上部刷子34喷射供给洗净液。另外，通过两组第三喷嘴63向基板W的位于各一对上下刷子间的部分的上面喷射供给洗净液。另外，第一～第三喷嘴61～63沿刷子的轴向以规定间隔而配置有多个。

如图1所示，上述第一、第二上下驱动机构41、42的第一、第二操作轴54、54A以及操作杆56向处理槽1的外部突出着。这样，从外部能够进行上部刷子32、34和下部刷子33、35的上下位置的调整。

如图1所示，在上述处理槽1的一侧外部竖立设置有起重装置71的支柱72。在该支柱72的上端固定着横部件73的一端部。该横部件73在上述处理槽1的上方沿着该处理槽1的宽度方向水平地设置着。

在上述支柱72的高度方向中途部设置有通过操作部74a操作的绞车74。上述横部件73的一端和另一端上分别可旋转地设置着滑轮75。在一对滑轮75上，由上述绞车74缠绕并结合有陆续送出的绳线76。在绳线76的末端设置有钩77。

上述钩77能够结合在形成于上述清洗装置11的吊挂配件16上的结合孔16a上。使钩77结合在吊挂配件16上。然后，解除对于上述架台57的清洗装置11的固定状态，在从处理槽1取下盖体6的状态下，如果通过绞车74缠绕住上述绳线76，则如从图1实线所示的安装位置到虚线所示那样，可以将上述清洗装置11在处理槽1的上方吊起。因此，可以容易地进行上述清洗装置11的修理维护等。

根据这样构造的处理装置，一对上部刷子32、34以及一对下部刷子33、35通过机架12而被一体化。这样，如果在组装在处理槽1内之前预先一体化，则在处理槽1内，仅进行将设置在机架12的脚部14下端的连结板15安装固定在架台57上的作业即可完成。因此，可以容易且迅速地进行将清洗装置11组装在处理槽1内的作业。

在上述机架12的一对脚部14的一侧面上，将第一安装部17和第二安装部18设置在同一垂直面上，在另一侧面上，将第三安装部19和第四安装部20同样地设置在同一垂直面上。具体地说，以在构成第一、第二安装部17、18和第三、第四安装部19、20的机架12的脚部14的侧面上形成的基准面21为基准，分别使一对上部可动板23和下部可动板24的板面处于同一垂直面上。

因此，以上部可动板23和下部可动板24的板面为基准，如果分别安装固定一对第一主轴27和第二主轴28以及第三主轴29和第四主轴30，则能够使轴心不会错位而分别地将一对主轴27～30安装在上述机架12上。

如果使轴心不会错位而分别地将一对主轴27～30安装在上述机架12上，则即使通过驱动源40旋转驱动两端可旋转地支撑在这些主轴27～30上的刷子32～35，也能够防止在各主轴27～30或刷子32～35上产生应力，发生损伤。

而且，设置在机架12的一对脚部14的一侧面的各一对第一、第二主轴27、28可以被第一驱动机构41通过连动轴51而一体地上下驱动。

此外，设置在机架12的一对脚部14的另一侧面的各一对第三、第四主轴29、30可以被第二驱动机构42通过连动轴51A而一体地上下驱动。

这样，设置在一对脚部14的一侧面和另一侧面的各一对第一～第四主轴27～30不仅不会发生轴心错位，而且也不会在上下方向上发生错位，因此，能够通过使刷子32～35旋转而在该刷子的轴或者各主轴27～30上产生应力。

在上述一个实施方式中，关于在机架的一侧面和另一侧面分别设置上下一对刷子的清洗装置进行了说明，但该发明即使是仅在机架的一侧面上设置上下一对刷子的构造的清洗装置也支持。

Claims (7)

1.一种基板的处理装置，其特征在于：

是通过设置在处理槽内的清洗装置来处理在该处理槽内搬送的基板的处理装置，其中，

所述清洗装置包括：

具有在同一垂直面上在水平方向上以规定间隔隔开的第一安装部和第二安装部的机架；

使轴线平行而在上下方向上配置的第一上部刷子及第一下部刷子；

安装在所述第一安装部和第二安装部上且可旋转地支撑所述第一上部刷子的轴向两端部的一对第一主轴；和

安装在所述第一安装部和第二安装部上且可旋转地支撑所述第二下部刷子的轴向两端部的一对第二主轴。

2.如权利要求1所述的基板的处理装置，其特征在于：

所述第一主轴和第二主轴可分别上下移动地设置在所述第一安装部和第二安装部上，第一、第二主轴通过第一上下驱动机构，分别地可调整上下方向的位置地而设置在所述各安装部上。

3.如权利要求1所述的基板的处理装置，其特征在于：

在所述机架上设置有与所述第一安装部平行的第三安装部、以及与所述第二安装部平行且相对于所述第三安装部以规定间隔隔开的第四安装部；

在所述第三安装部和第四安装部上分别对应上下方向而设置有第三主轴和第四主轴；

在设置在所述第三安装部和第四安装部上的一对第三主轴上，可旋转地支撑着第二上部刷子的轴向两端部，在一对第四主轴上，可旋转地支撑着第二下部刷子的轴向两端部。

4.如权利要求1所述的基板的处理装置，其特征在于：

所述第三主轴和第四主轴分别可上下移动地设置在所述第三安装部和第四安装部上，第三、第四主轴通过第二上下驱动机构，分别地可调整上下方向的位置地而设置在所述各安装部上。

5.如权利要求3所述的基板的处理装置，其特征在于：

所述机架通过连结部及设置在该连结部的两端的一对脚部而形成门型形状，所述第一安装部和第二安装部在所述一对脚部的一侧面上形成，所述第三安装部和第四安装部在与所述一对脚部的所述一侧部平行的另一侧面上形成。

6.如权利要求1所述的基板的处理装置，其特征在于：

在所述处理槽的宽度方向两侧设置有架台，所述清洗装置可装卸地设置在所述架台上。

7.如权利要求1所述的基板的处理装置，其特征在于：

在所述处理槽的上面形成由盖体开闭的开口部，所述清洗装置的被所述上部刷子和下部刷子的所述主轴所支撑的两端部处于所述处理槽的外部，两部端以外的部分从所述开口部被装入所述处理槽内。

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