JP4537826B2 - 基板の処理装置 - Google Patents
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Description
上記ブラシユニットは、
連結部及びこの連結部の両端に設けられた一対の脚部とによって門型形状に形成され同一垂直面上に水平方向に所定間隔で離間する上記一対の脚部の一側面に第1の取り付け部と第2の取り付け部が形成されたフレームと、
軸線を平行にして上下方向に配置される第1の上部ブラシ及び第1の下部ブラシと、
上記第1の取り付け部と第2の取り付け部とに取り付けられ上記第1の上部ブラシの軸方向両端部を回転可能に支持する一対の第1のスピンドルと、
上記第1の取り付け部と第2の取り付け部とに取り付けられ上記第1の下部ブラシの軸方向両端部を回転可能に支持する一対の第2のスピンドルを具備し、
上記処理槽の幅方向両側には架台が設けられ、
上記ブラシユニットの上記フレームは一対の脚部が上記架台に着脱可能に取付け固定されて設置されることを特徴とする基板の処理装置にある。
上記第3の取り付け部と第4の取り付け部とには第3のスピンドルと第4のスピンドルとがそれぞれ上下方向に対応して設けられ、
上記第3の取り付け部と第4の取り付け部とに設けられた一対の第3のスピンドルには第2の上部ブラシの軸方向両端部が回転可能に支持され、一対の第4のスピンドルには第2の下部ブラシの軸方向両端部が回転可能に支持されていることが好ましい。
図1はこの発明の処理装置の縦断面図であって、この処理装置は処理槽1を備えている。この処理槽1内には図3に示すように複数の搬送ローラ2からなる搬送機構3が設けられている。これらの搬送ローラ2は所定方向に回転駆動される。上記処理槽1の一端には搬入口4が形成され、この搬入口4から処理槽1内に搬入された、たとえば液晶表示パネルなどに用いられるガラス製の基板Wは上記搬送ローラ2によって搬送され、上記処理槽1の他端に形成された搬出口5から搬出されるようになっている。
Claims (5)
- 処理槽内を搬送される基板を、この処理槽内に設けられたブラシユニットによって処理する処理装置であって、
上記ブラシユニットは、
連結部及びこの連結部の両端に設けられた一対の脚部とによって門型形状に形成され同一垂直面上に水平方向に所定間隔で離間する上記一対の脚部の一側面に第1の取り付け部と第2の取り付け部が形成されたフレームと、
軸線を平行にして上下方向に配置される第1の上部ブラシ及び第1の下部ブラシと、
上記第1の取り付け部と第2の取り付け部とに取り付けられ上記第1の上部ブラシの軸方向両端部を回転可能に支持する一対の第1のスピンドルと、
上記第1の取り付け部と第2の取り付け部とに取り付けられ上記第1の下部ブラシの軸方向両端部を回転可能に支持する一対の第2のスピンドルを具備し、
上記処理槽の幅方向両側には架台が設けられ、
上記ブラシユニットの上記フレームは一対の脚部が上記架台に着脱可能に取付け固定されて設置されることを特徴とする基板の処理装置。 - 上記第1のスピンドルと第2のスピンドルは、上記第1の取り付け部と第2の取り付け部とにそれぞれ上下動可能に設けられ、第1、第2のスピンドルは第1の上下駆動機構によってそれぞれ上記各取り付け部に上下方向の位置決め調整可能に設けられていることを特徴とする請求項1記載の基板の処理装置。
- 上記フレームの一対の脚部の他側面には、上記第1の取り付け部と平行な第3の取り付け部と、上記第2の取り付け部と平行で上記第3の取り付け部に対して所定間隔で離間した第4の取り付け部とが形成され、
上記第3の取り付け部と第4の取り付け部とには第3のスピンドルと第4のスピンドルとがそれぞれ上下方向に対応して設けられ、
上記第3の取り付け部と第4の取り付け部とに設けられた一対の第3のスピンドルには第2の上部ブラシの軸方向両端部が回転可能に支持され、一対の第4のスピンドルには第2の下部ブラシの軸方向両端部が回転可能に支持されていることを特徴とする請求項1記載の基板の処理装置。 - 上記第3のスピンドルと第4のスピンドルは、上記第3の取り付け部と第4の取り付け部とにそれぞれ上下動可能に設けられ、第3、第4のスピンドルは第2の上下駆動機構によってそれぞれ上記各取り付け部に上下方向の位置決め調整可能に設けられていることを特徴とする請求項3記載の基板の処理装置。
- 上記第1の取り付け部と第2の取り付け部とは上記一対の脚部の一側面に形成され、上記第3の取り付け部と第4の取り付け部は上記一対の脚部の上記一側面と平行な他側面に形成されていることを特徴とする請求項3記載の基板の処理装置。
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