JPH10211473A - エアナイフ、エアナイフの支持装置およびエアナイフを用いた処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 基板の水切れ性が良好であり、かつ圧縮空気
の流量を削減可能であるとともに、エアナイフの角度調
整を容易に行うことが可能なエアナイフ、エアナイフの
支持装置、およびエアナイフを用いた処理装置を提供す
ること。 【解決手段】 基板１１表面に圧縮空気を噴射してこの
基板１１に付着した処理液を除去するエアナイフ１８
ａ，１８ｂにおいて、パッキン２１を介して接合された
一対の板状体１９ａ，１９ｂからなるナイフ本体２０
と、上記一対の板状体１９ａ，１９ｂの接合面間に形成
された圧縮空気が供給される導入路２３およびこの導入
路２３を上記ナイフ本体２０の先端面２０ａに開口連通
させたノズル孔２４と、上記一対の板状体を所定の締め
付け力で結合することで上記ノズル孔２４の間隔を設定
する結合手段２５ａ，２５ｂと、を具備したことを特徴
としている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は搬送手段により搬送
される基板に対して圧縮空気を吹き付けて処理液を除去
するエアナイフ、エアナイフの支持装置およびエアナイ
フを用いた処理装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般にＬＣＤなどの基板製造工程では、
搬送手段によって基板を洗浄処理槽内で洗浄した後、濡
れた基板を乾燥させる工程が必要とされている。特に近
年は、生産性向上のためスピーディかつ強力な乾燥力が
求められている。そこで、従来より基板に付着した水滴
等を取り除くエアナイフ機構が提案されている。以下こ
のエアナイフ機構の構造の従来例を図６に基づいて説明
する。

【０００３】基板１は複数の回動自在な搬送ローラ５を
有する搬送機構により下方から支持されて図中矢印で示
す方向に搬送され、この搬送される基板１に対して上側
エアナイフ２および下側エアナイフ３によりエアＡが噴
射されるようになっている。このエアナイフ２，３は、
両端部を支持体７に支持されて、角度調整および上下方
向にスライド自在な構成となっている。

【０００４】つまり上記支持体７はコ字状の板状部材に
形成されており、この支持体７の中央部に支持軸７ａが
設けられている。この支持軸７ａには、一対のガイド部
材６の一端が回動自在に取り付けられている。そして、
このガイド部材６の他端が、この支持体７の上下両辺の
長孔８に所望の傾斜角度でねじ９ａによって係止される
ようになっている。

【０００５】上記ガイド部材６には、エアナイフ２，３
がスライド自在に設けられる。このガイド部材６の他端
は、上記エアナイフ２，３の他端側と調整ねじ９ｂを介
して取り付けられ、この調整ねじ９ｂを回転させること
により、上記エアナイフ２，３の基板１に対する距離を
調整することが可能となっている。

【０００６】そしてこのエアナイフ２，３が基板１の上
面１ａおよび下面１ｂにそれぞれ近接して、上側エアナ
イフ２と下側エアナイフ３がガイド部材６を介して摺動
自在に配設されている。これによりガイド部材６は位置
規制され、所望の位置で固定されるようになっている。

【０００７】また、上下のエアナイフ２，３は例えばsu
s304を材質として形成され、この先端は窄まってノズル
孔４が形成され、このノズル孔４からエアＡが噴射され
るようになっている。具体的には、このノズル孔４先端
部の間隔が200 μｍとなるように形成されている。更
に、基板１の搬送方向に対して、エアナイフ２，３は所
定の角度で、かつノズル孔４を互いに対向させて配設さ
れている。

【０００８】また上記エアナイフ２，３は、上記搬送ロ
ーラ５により搬送される基板１に対して、このエアナイ
フ２，３が直交する角度で取り付けられている。このエ
アナイフ２，３は、上述のようにねじ９ａおよび調整ね
じ９ｂを使用して保持固定されており、この調整時には
工具を用いて角度及び上下調整を行う構造としている。

【０００９】以上のような構成を有する従来例によれ
ば、図６に示すように、基板１が搬送ローラ５により前
方（図中矢印方向）に搬送されつつ、上下のエアナイフ
２，３のノズル孔４から圧縮空気Ａを噴射して、基板１
表面に付着した処理液を後方に吹き飛ばすことで、基板
１を乾燥させるようにしている。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述のエア
ナイフ機構は以下に述べるような欠点を有している。す
なわち上記エアナイフでは、ノズル孔４の性能低下を招
くことなく、空気の使用量の低減を図ることが要求され
ている。そのため、ノズル孔４の隙間を従来の１０分の
１程度にすることが考えられているが、そのような微少
隙間のノズル孔４を加工形成することは、加工精度上非
常に難しい。

【００１１】さらに上記エアナイフ２，３は、その長手
方向を搬送装置による基板１の搬送方向に対して直交さ
せて配置されている。そのため、上記基板１の表面に付
着した処理液等を取り除く場合、圧縮空気Ａの吹き出し
により基板１の後端部に処理液が集められ、基板１の後
端部の側縁全長に亘って付着するため、この側縁での水
切れ性が良好なものとはなっていない。

【００１２】さらに上記エアナイフ２，３はねじ９ａ、
調整ねじ９ｂにより固定されているため、上記基板１に
対する上下方向の高さおよび傾斜角度をわざわざ工具に
より調整しなければならず、そのため手間が掛かるもの
となっている。

【００１３】本発明は上記の事情にもとづきなされたも
ので、その目的とするところは、基板からの処理液の水
切れ性が良好であり、かつ圧縮空気の流量を削減するこ
とが可能であるとともに、エアナイフの角度調整を容易
に行うことが可能なエアナイフ、エアナイフの支持装
置、およびエアナイフを用いた処理装置を提供しようと
するものである。

【００１４】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
基板表面に圧縮空気を噴射してこの基板に付着した処理
液を除去するエアナイフにおいて、パッキンを介して接
合された一対の板状体からなるナイフ本体と、上記一対
の板状体の接合面間に形成された圧縮空気が供給される
導入路およびこの導入路を上記ナイフ本体の先端面に開
口連通させたノズル孔と、上記一対の板状体を所定の締
め付け力で結合することで上記ノズル孔の間隔を設定す
る結合手段と、を具備したことを特徴とするエアナイフ
である。

【００１５】請求項２記載の発明は、上記導入路には所
定間隔ごとに導入路の間隔を保つためのスペーサが設け
られていることを特徴とする請求項１記載のエアナイフ
である。

【００１６】請求項３記載の発明は、搬送される基板に
エアナイフにより圧縮空気を噴射してこの基板に付着し
た処理液を除去するエアナイフを用いた処理装置におい
て、上記エアナイフは、この長手方向が上記基板の搬送
方向に対して所定角度傾斜して設けられていることを特
徴とするエアナイフを用いた処理装置である。

【００１７】請求項４記載の発明は、上記エアナイフ
は、この長手方向が上記基板の搬送方向に対して略４５
度傾斜して設けられていることを特徴とする請求項３記
載のエアナイフを用いた処理装置である。

【００１８】請求項５記載の発明は、基板の上面側にエ
アを噴射する第１のエアナイフ、および基板の下面側に
エアを噴射する第２のエアナイフを具備し、基板両面に
付着した処理液を除去するエアナイフの支持装置におい
て、ガイド体と、上記第１、第２のエアナイフの端部に
設けられた支持部分と、上記ガイド体により上下方向に
スライド自在にガイドされ、上記第１のエアナイフの端
部を回動自在に支持する第１のブロックと、上記ガイド
体により上下方向にスライド自在にガイドされ、上記第
２のエアナイフの端部を回動自在に支持する第２のブロ
ックと、上記ガイド体に回転自在に設けられるととも
に、上記第１のブロックに螺合され、この第１のブロッ
クの上下方向へのスライドを回転により調整する第１の
ナイフ上下調整機構と、上記ガイド体に回転自在に設け
られるとともに、上記第２のブロックに螺合され、この
第２のブロックの上下方向へのスライドを回転により調
整する第２のナイフ上下調整機構と、上記ガイド体に回
転自在に設けられ、その回転により第１のエアナイフの
角度を調整する第１の角度調整機構と、上記ガイド体に
回転自在に設けられ、その回転により第２のエアナイフ
の角度を調整する第２の角度調整機構と、を具備するこ
とを特徴とするエアナイフの支持装置である。

【００１９】請求項１の発明によると、パッキンを介し
て一対の板状体からなるナイフ本体が接合され、上記接
合面間に圧縮空気が供給される導入路、およびこの導入
路を上記ナイフ本体の先端面に開口連通させたノズル孔
が形成され、上記一対の板状体を所定の締め付け力で結
合することで上記ノズル孔の間隔を設定する結合手段が
設けられたため、上記ノズル孔の間隔を締め付けにより
簡易に調整可能となり、そのため圧縮空気の噴射圧力を
所望の圧力に調整可能となっている。

【００２０】請求項２の発明によると、上記導入路には
所定間隔ごとに導入路の間隔を保つためのスペーサが設
けられているため、上記導入路を一定間隔に維持するこ
とが可能となり、そのため上記導入路が撓むことがなく
なる。

【００２１】請求項３の発明によると、上記エアナイフ
は、この長手方向が上記基板の搬送方向に対して所定角
度傾斜して設けられているため、上記基板に付着した処
理液を良好に除去することが可能となり、上記基板での
水切れ性を向上させることが可能となる。

【００２２】請求項４の発明によると、上記エアナイフ
は、この長手方向が上記基板の搬送方向に対して略４５
度傾斜して設けられているため、処理液を基板の隅角部
に集め、水切れ性良く除去することが可能となる。

【００２３】請求項５の発明によると、上記ガイド体に
回転自在に設けられるとともに、上記第１、第２のブロ
ックに螺合され、この第１、第２のブロックの上下方向
へのスライドを回転により調整する第１、第２のナイフ
上下調整機構が設けられ、さらに回転によりエアナイフ
の角度を調整する第１、第２の角度調整機構が設けられ
ているため、上記第１、第２のエアナイフの上下方向の
高さ、および傾斜角度をこれらの調整機構を、手動操作
するだけで簡単に調整することができる。

【００２４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態につ
いて、図１ないし図４に基づいて説明する。図１に示す
エアナイフを用いた処理装置１０は筐体１０ａを有し、
この筐体１０ａの内部には、矩形状の基板１１を所定方
向に搬送する搬送機構１２が設けられている。この搬送
機構１２には、基板１１の搬送路を形成する複数の搬送
ローラ１３が配設されて、またこの搬送ローラ１３の両
端部には、この搬送ローラ１３を回動自在に支持する支
持部１４が設けられている。これら搬送ローラ１３には
それぞれ第１のプーリ１３ａが取り付けられており、こ
の第１のプーリ１３ａに所定の張力を有して第１のベル
ト１５が掛け渡されている。そしてこれら搬送ローラ１
３の一つには、外方側に第２のプーリ１３ｂが設けられ
ている。

【００２５】一方、上記搬送機構１２の外縁側には、駆
動源としてモータ１６が設けられ、またこのモータ１６
には、駆動プーリ１６ａが設けられている。そして、こ
の駆動プーリ１６ａと上記第２のプーリ１３ｂとの間に
は、第２のベルト１７が掛け渡され、これら第１のベル
ト１５、第２のベルト１７を介してそれぞれの搬送ロー
ラ１３に駆動力が伝達されるようになっている。

【００２６】上記搬送機構１２は、搬送される基板１１
両面に圧縮空気を噴射する第１、第２のエアナイフ１８
ａ，１８ｂを上記搬送ローラ１３の上下両方に有してい
る。この搬送機構１２は、搬送される基板１１に対して
圧縮空気を噴射し、前工程での処理の際等に付着した処
理液をこの基板１１から飛散させる乾燥処理を行うため
に設けられている。

【００２７】このエアナイフ１８ａ，１８ｂは、図２に
示すように、長尺状の二つの板状部材１９ａ，１９ｂか
ら構成され、またアルミニウムを材質としてこの表面に
無電解ニッケルメッキを施して耐腐食性を有するように
構成されている。ここで、本実施の形態では、上記エア
ナイフ１８ａ，１８ｂの長さは、基板１１が最大600ｍ
ｍの幅を有している場合でも処理可能な長さに形成され
ている。

【００２８】なお、上記板状部材１９ａ，１９ｂは、ア
ルミニウムの表面が無電解ニッケルメッキ処理されるも
のに限られず、例えばこの表面がタフラム処理されるも
のであっても構わない。

【００２９】これら二つの板状部材１９ａ，１９ｂを接
合させることにより、ナイフ本体２０が構成されるが、
これら板状部材１９ａ，１９ｂの外周側は接合面となっ
ている。この接合面は、長手方向の一面側が開放するよ
うに設けられ、後述するノズル孔２４が形成されるよう
になっている。そしてこの接合面に、例えば材質がＰＦ
Ａなどの合成樹脂からなるパッキン２１を設け、このパ
ッキン２１を介して板状部材１９ａ，１９ｂが接合され
て、板状部材１９ａ，１９ｂの隙間が封止されるように
なっている。

【００３０】この二つの板状部材１９ａ，１９ｂは、締
付けボルト２２により接合固定される。この締付けボル
ト２２は、上記弾性部材から形成されるパッキン２１を
所定だけ弾性変形させて挟持するようになっている。こ
のような締付けボルト２２が上記板状部材１９ａ，１９
ｂの長手方向に沿い、所定間隔ごとに設けられている。

【００３１】上記パッキン２１を介して接合された板状
部材１９ａ，１９ｂの接合面間には、内部に上記圧縮空
気を導入するための導入路２３が形成されている。この
導入路２３は、上記板状部材１９ａの高さ方向に形成さ
れた凹部が、他方の板状部材１９ｂと接合されることに
よって形成されており、その結果ナイフ本体２０内部に
長尺状スペースが設けられている。

【００３２】この導入路２３の先端部分には、上記ナイ
フ本体２０の先端面２０ａに開口したノズル孔２４が設
けられている。本実施の形態では、上記導入路２３の先
端側は例えば50度ほど屈曲して設けられており、上記搬
送機構１２により搬送される基板１１に対し、ノズル孔
２４からこの角度で圧縮空気を噴射するように窄まって
形成されている。

【００３３】ここで、上記ノズル孔２４の間隔を調整す
るために、上記板状部材１９ａおよび板状部材１９ｂに
は、一対の孔止めネジ２５ａ，２５ｂが螺合されてお
り、この孔止めネジ１９ａ，１９ｂのそれぞれの先端が
上記導入路２３で当接して押し引き構造を形成してい
る。すなわち、例えば一方の孔止めネジ１９ａを固定
し、他方の孔止めネジ１９ｂをねじ込むことにより、上
記ノズル孔２４の間隔は広がるようになっており、また
これとは逆の動作をすれば、上記ノズル孔２４の間隔が
狭まるようになっている。

【００３４】このノズル孔２４は、上記孔止めネジ２５
ａ，２５ｂで調整した場合、例えばこの間隔が20μｍと
なるように形成されている。そのためこのノズル孔２４
からは、上記導入路２３に導入された空気が所定の圧力
を有する圧縮空気となって噴射されるようになってい
る。

【００３５】上記導入路２３には、外部に設けられた図
示しない清浄空気の供給手段に連結された導入管２３ａ
が、この板状部材１９ａの側面側から連通して設けられ
ている。この導入管２３ａは、上記導入路２３の長手方
向に沿って、所定間隔ごと複数個配置されて設けられて
いる。

【００３６】上記導入路２３内部の上記締付けボルト２
２と孔止めネジ２５ａ，２５ｂの間には、上記板状部材
１９ａと一体的に形成されている複数のスペーサ２６が
所定間隔ごとに配置されている。このスペーサ２６は上
記締付けボルト２２で板状部材１９ａ，１９ｂを締付け
ても、板状部材１９ａ，１９ｂを撓ませず、上記導入路
２３の間隔を一定に維持させるために設けるものであ
る。

【００３７】なお、上記スペーサ２６は、板状部材１９
ａと一体的でなく、別体的に形成されていても構わな
い。上記搬送機構１２の下方の筐体１０ａには、このナ
イフ本体２０を支持する支持機構２７が取り付けられて
いる。この支持機構２７は、上記ナイフ本体２０の長手
方向が、上記基板１１の搬送方向に対して所定角度、例
えば45度程傾斜して取り付けられるようになっている。

【００３８】なおこの場合、上記エアナイフ１８ｂによ
り上記基板１１の下面への圧縮空気の噴射が遮断されな
いよう、それぞれ搬送ローラ１３は、エアナイフ１８ｂ
より噴射される圧縮空気の流路部分、すなわち上記ナイ
フ本体２０の45度程の傾斜角度に対応した位置で搬送ロ
ーラ１３が位置しないよう、ローラの長さが設定されて
いる。そのため上記搬送ローラ１３は、二つに分割され
たり、あるいはローラ部分の長さが制限されて、上記圧
縮空気を遮らずに流通可能としている。

【００３９】上記支持機構２７は、筐体１０ａの下面に
取付固定されるガイド体２７ａを有している。このガイ
ド体２７ａは、図３乃至図５に示すように、側壁２８お
よび上板２８ａ、下板２８ｂより構成されている。この
側壁２８は、水平断面が搬送ローラ１３側が開放したコ
字状に形成されており、この上端に上板２８ａ、下端に
下板２８ｂがそれぞれボルトにより固定されている。

【００４０】上記コ字状に形成された側壁２８の内壁に
は、上下方向に沿うガイド溝２９が設けられ、このガイ
ド溝２９には第１、第２のブロック３０ａ，３０ｂが上
下動自在に設けられている。これらブロック３０ａ，３
０ｂの側面には図５に示すように支持孔３１が形成され
ており、上記エアナイフ１８ａ，１８ｂの両端に設けら
れた支持軸３２が、この支持孔３１で回動自在に支持さ
れている。そのため、上記エアナイフ１８ａ，１８ｂの
圧縮空気の噴射角度を調整できるようになっている。

【００４１】上記上板２８ａには、後述する上下調整つ
まみ３５ａ，３５ｂおよび角度調整つまみ４２ａ，４２
ｂを挿通させる挿通孔３３が形成されている。そしてこ
の挿通孔３３を挿通して、上記ブロック３０ａ，３０ｂ
の高さ方向に形成されたねじ孔３４ａ，３４ｂに上下調
整つまみ３５ａ，３５ｂが螺合される。この上下調整つ
まみ３５ａ，３５ｂは、上端部につまみ部３６を有し、
また下端側にねじ溝３７が形成されている。

【００４２】さらに、上下調整つまみ３５ａ，３５ｂに
は、つまみ部３６の下方にストッパ３８が取り付けら
れ、これら上下調整つまみ３５ａ，３５ｂが上板２８ａ
に係止され、相対位置が変わらないように設けられてい
る。そのため、上下調整つまみ３５ａ，３５ｂの回転に
より、ブロック３０ａ，３０ｂが上下方向に沿ってスラ
イドされ、よってこのブロック３０ａ，３０ｂに支持さ
れているエアナイフ１８ａ，１８ｂが上下方向に移動可
能な構成となっている。

【００４３】また上記ブロック３０ａには、上記下方側
の上下調整つまみ３５ｂを貫通させ、ブロック３０ｂの
ねじ孔３４ｂへと螺合させる貫通孔３９が形成されてい
る。上記ブロック３０ａ，３０ｂには、空洞部４０が形
成されている。この空洞部４０には、上記支持軸３２に
取り付けられたギヤ４１が内設される。そしてこのギヤ
４１には、上端につまみ部４３を有する角度調整つまみ
４２ａ，４２ｂの下端側に設けられたウォームギヤ４４
が噛合される。そのため、この角度調整つまみ４２ａ，
４２ｂを回転させると、上記エアナイフ１８ａ，１８ｂ
の傾斜角度を調整可能となっている。

【００４４】ここで、上記上下調整つまみ３５ａ，３５
ｂ、および角度調整つまみ４２ａ，４２ｂは、ともにつ
まみ部３６，４３の上面に、回転角度を設定するための
図示しない目盛りが付されている。

【００４５】以上のような構成を有するエアナイフを用
いた処理装置１０の作用について、以下に説明する。圧
縮空気による基板１１へ付着した処理液の除去を行う前
に、エアナイフ１８ａ，１８ｂの傾斜角度および上記基
板１１に対する間隔を調整する。この調整では、上下調
整つまみ３５ａを回転させると、上記ブロック３０ａが
螺合回転により上下動し、このため上記エアナイフ１８
ａが上下動されるようになっている。同様に、上記上下
調整つまみ３５ｂを回転させると、エアナイフ１８ｂも
上下動されるようになっている。

【００４６】そしてこの上下方向の調整と前後して、上
記角度調整つまみ４２ａ，４２ｂを回転させ、上記エア
ナイフ１８ａ，１８ｂの傾斜角度を調整する。この後
に、上記搬送ローラ１３により搬送される基板１１に対
して圧縮空気を噴射して、上記基板１１に付着した処理
液の除去を行う。

【００４７】このような構成のエアナイフを用いた処理
装置１０によると、上記エアナイフ１８ａ，１８ｂに
は、パッキン２１を介して二つの板状部材１９ａ，１９
ｂに螺合された孔止めネジ２５ａ，２５ｂが設けられて
いるため、この孔止めネジ２５ａ，２５ｂをねじ込んだ
り、あるいは緩めたりして押し引き具合を調整すれば、
上記ノズル孔２４の間隔を適宜に調整可能となってい
る。

【００４８】また上記エアナイフ１８ａ，１８ｂは、上
記搬送機構１２上を搬送される基板１１に対して、45度
傾斜して取り付けられているため、圧縮空気を上記矩形
状の基板１１に吹き付けても、付着した処理液が上記基
板１１の側辺部に達しても、この流出速度をそれぞれの
側辺部でほぼ同一にして流出させることが可能となる。
そのため処理液を隅角部の一点に集中させることが可能
となり、よって上記基板１１に付着した処理液を良好に
排出することが可能となり、基板１１での水切れ性を向
上させている。

【００４９】さらに上記導入路２３には、一体形成され
た複数のスペーサ２６が所定間隔ごとに配置されている
ため、この導入路２３の間隔を撓ませずに一定に保つこ
とが可能となるとともに、上記ノズル孔２４の間隔をも
一定に保つことが可能となる。

【００５０】また上記ナイフ本体２０は、アルミニウム
を材質としてこの表面が電解ニッケルメッキ処理された
ものであるため、ナイフ本体２０が軽量化されるととも
に耐蝕性に優れた構造となる。

【００５１】そして上記エアナイフ１８ａ，１８ｂは基
板１１に対する上下方向の高さ、および傾斜角度を、上
下調整つまみ３５ａ，３５ｂ、および角度調整つまみ４
２ａ，４２ｂを回転させるだけで調整可能であるため、
この調整が容易に行えるようになる。

【００５２】ここで調整の際には、上記つまみ部３６，
４３の上面に付された目盛りにより調整可能であり、そ
のため上下方向の高さおよび調整角度の調整をより正確
に、かつ容易に行うことが可能となる。

【００５３】以上、本発明の一実施の形態について説明
したが、本発明はこれ以外にも種々変形可能となってい
る。以下それについて述べる。上記実施の形態では、エ
アナイフ１８ａ，１８ｂの傾斜角度を略45度となるよう
に設けているが、この傾斜角度はこれに限らずに種々変
化させることが可能である。その他、本発明の要旨を変
更しない範囲において、種々変形可能となっている。

【００５４】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１記載の発
明によると、パッキンを介して一対の板状体からなるナ
イフ本体が接合され、上記接合面間に圧縮空気が供給さ
れる導入路、およびこの導入路を上記ナイフ本体の先端
面に開口連通させたノズル孔が形成され、上記一対の板
状体を所定の締め付け力で結合することで上記ノズル孔
の間隔を設定する結合手段が設けられたため、上記ノズ
ル孔の間隔を締め付けにより簡易に調整可能となり、そ
のため圧縮空気が噴射圧力を所望の圧力に調整すること
ができる。

【００５５】また、締め付けにより上記ノズル孔の隙間
を微小に設定して使用空気量を低減することができる。
請求項２記載の発明によると、上記導入路には所定間隔
ごとに導入路の間隔を保つためのスペーサが設けられて
いるため、上記導入路を一定間隔に維持でき、そのため
上記導入路が撓むことがなくなる。

【００５６】請求項３記載の発明によると、上記エアナ
イフは、この長手方向が上記基板の搬送方向に対して所
定角度傾斜して設けられているため、上記基板に付着し
た処理液を良好に除去することが可能となり、上記基板
での水切れ性を向上させることができる。

【００５７】請求項４記載の発明によると、上記エアナ
イフは、この長手方向が上記基板の搬送方向に対して略
４５度傾斜して設けられているため、上記矩形状の基板
の隅角部への圧縮空気による処理液の流出速度を、この
隅角部を構成するそれぞれの側辺部でほぼ同一にして流
出させることができる。そのため、処理液を隅角部に集
中させることが可能となり、基板に付着した処理液を良
好に排出することができる。

【００５８】請求項５記載の発明によると、上記ガイド
体に回転自在に設けられるとともに、上記第１、第２の
ブロックに螺合され、この第１、第２のブロックの上下
方向へのスライドを回転により調整する第１、第２のナ
イフ上下調整機構が設けられ、さらに回転によりエアナ
イフの角度を調整する第１、第２の角度調整機構が設け
られているため、上記第１、第２のエアナイフの上下方
向の高さ、および傾斜角度をこれらの調整機構を、例え
ば手により回転させるだけで簡単に調整することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態に係わるエアナイフを用
いた処理装置の構成を示す図。

【図２】同実施の形態に係わるエアナイフの構成を示す
断面図。

【図３】同実施の形態に係わるエアナイフの支持機構を
示す平面図。

【図４】同実施の形態に係わるエアナイフの支持機構を
示す平面断面図。

【図５】同実施の形態に係わるエアナイフの支持機構の
側面を示す部分断面図。

【図６】従来のエアナイフおよび支持体の構成を示す側
面図。

【符号の説明】

１１…基板 １２…搬送機構 １３…搬送ローラ １８ａ，１８ｂ…エアナイフ １９ａ，１９ｂ…板状部材 ２０…ナイフ本体 ２１…パッキン ２２…締付けボルト ２３…導入路 ２４…ノズル孔 ２５ａ，２５ｂ…孔止めネジ ２６…スペーサ ２７…支持機構 ２７ａ…ガイド体 ３０ａ，３０ｂ…ブロック ３５ａ，３５ｂ…上下調整つまみ ４２ａ，４２ｂ…角度調整つまみ

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板表面に圧縮空気を噴射してこの基板
   に付着した処理液を除去するエアナイフにおいて、 パッキンを介して接合された一対の板状体からなるナイ
   フ本体と、 上記一対の板状体の接合面間に形成された圧縮空気が供
   給される導入路およびこの導入路を上記ナイフ本体の先
   端面に開口連通させたノズル孔と、 上記一対の板状体を所定の締め付け力で結合することで
   上記ノズル孔の間隔を設定する結合手段と、 を具備したことを特徴とするエアナイフ。
2. 【請求項２】 上記導入路には所定間隔ごとに導入路の
   間隔を保つためのスペーサが設けられていることを特徴
   とする請求項１記載のエアナイフ。
3. 【請求項３】 搬送される矩形状の基板にエアナイフに
   より圧縮空気を噴射してこの基板に付着した処理液を除
   去するエアナイフを用いた処理装置において、 上記エアナイフは、この長手方向が上記基板の搬送方向
   に対して所定角度傾斜して設けられていることを特徴と
   するエアナイフを用いた処理装置。
4. 【請求項４】 上記エアナイフは、この長手方向が上記
   基板の搬送方向に対して略４５度傾斜して設けられてい
   ることを特徴とする請求項３記載のエアナイフを用いた
   処理装置。
5. 【請求項５】 基板の上面側にエアを噴射して処理液を
   除去する第１のエアナイフ、および基板の下面側にエア
   を噴射して処理液を除去する第２のエアナイフを支持す
   るためのエアナイフの支持装置において、 ガイド体と、 上記第１、第２のエアナイフの端部に設けられた支持部
   と、 上記ガイド体により上下方向にスライド自在にガイドさ
   れ、上記第１のエアナイフの端部を回動自在に支持する
   第１のブロックと、 上記ガイド体により上下方向にスライド自在にガイドさ
   れ、上記第２のエアナイフの端部を回動自在に支持する
   第２のブロックと、 上記ガイド体に回転自在に設けられるとともに、上記第
   １のブロックに螺合され、この第１のブロックの上下方
   向へのスライドを回転により調整する第１のナイフ上下
   調整機構と、 上記ガイド体に回転自在に設けられるとともに、上記第
   ２のブロックに螺合され、この第２のブロックの上下方
   向へのスライドを回転により調整する第２のナイフ上下
   調整機構と、 上記ガイド体に回転自在に設けられ、その回転により第
   １のエアナイフの角度を調整する第１の角度調整機構
   と、 上記ガイド体に回転自在に設けられ、その回転により第
   ２のエアナイフの角度を調整する第２の角度調整機構
   と、 を具備することを特徴とするエアナイフの支持装置。