KR101248534B1 - 기판용 반송 제진 장치의 사용 방법 및 기판용 반송 제진장치 - Google Patents

Abstract

기판의 선단이 제진 유닛에 도입될 때의 휨이나 진동이 생기지 않도록 하는 동시에, 벤츄리 효과(Venturi effect)의 밸런스를 조정하여 하측으로의 흡인력을 증가하도록 하여, 얇고 유연성을 가지는 기판도 안정적으로 반송되고, 먼지 등을 흡인하는 흡인력의 증가를 실현시킨 기판용 반송 제진(除塵) 장치의 사용 방법, 및 기판용 반송 제진 장치를 제공한다.

하측 제진 유닛(210)의 에어 흡인실(211, 213)의 흡인 슬릿의 길이 방향이 기판 반송 방향(a)에 대해서 대략 직각이 되도록 배치함과 동시에, 기판 G의 한 변 방향이 기판 반송 방향 a의 대략 수직 방향에 대하여 소정의 교차각 α로 경사진 상태이며, 기판 G의 돌출 선단이 선두가 되도록 하측 제진 유닛(210)에 반송되면서 제진되는 기판용 반송 제진 장치 및 그 사용 방법을 실현한다.

제진 장치, 기판, 반송, 벤츄리 효과, 경사진 교차각, 롤러, 공전, 진동 억제, 휨

Description

기판용 반송 제진 장치의 사용 방법 및 기판용 반송 제진 장치{USE METHOD OF CONVEYING AND DUST COLLECTING DEVICE FOR SUBSTRATE AND CONVEYING AND DUST COLLECTING DEVICE FOR SUBSTRATE}

본 발명은, 유리판, 합성 수지판, 또는 금속판 등의 기판을 반송하고, 그 기판 표면에 부착되는 티끌이나 먼지 등(이하, 이들을 총칭하여 진애(塵埃)라 한다)을 단지 청정 에어나 초음파 주파수로 진동하는 초음파 에어(이하, 이들을 총칭하여 세정 에어라 한다)에 의해 먼지를 비산시켜서 흡인 제거하기 위한 기판용 반송 제진 장치의 사용 방법, 및 이와 같은 기판용 반송 제진 장치에 관한 것이다.

기판을 대상으로 하는 기판용 반송 제진 장치에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다. 도 18 및 도 19는, 종래 기술의 기판용 반송 제진 장치를 설명하는 도면이다. 도 20은 기판의 굴곡을 설명하는 도면으로서, 도 20의 (a)는 기판의 선단의 굴곡을 설명하는 도면이며, 도 20의 (b)는 기판의 중간 부분의 굴곡을 설명하는 도면이다.

도 18 및 도 19에서 나타낸 바와 같이, 기판 G는 반송 롤러(100) 상에서 기판 반송 방향(화살표 a 방향)으로 반송되고, 제진 유닛(200)에 의해 제진(除塵)된다. 제진 유닛(200)은 하측 제진 유닛(210) 및 상측 제진 유닛(220)을 포함하고, 하측 제진 유닛(210) 및 상측 제진 유닛(220)에 의해 기판 G의 표면과 배면에서 제진된다.

하측 제진 유닛(210)은, 기판 반송 방향(화살표 a 방향)을 따라, 에어 흡인실(211), 에어 분출실(212) 및 에어 흡인실(213)이 배열되어 구성되어 있으며, 반송 롤러(100) 측(하측)에 배치되어 있다. 에어 흡인실(211, 213)은, 도시하지 않은 흡기 펌프에, 또한, 에어 분출실(212)은 도시하지 않은 송풍 펌프에, 각각 접속되는 것으로 한다. 에어 흡인실(211), 에어 분출실(212) 및 에어 흡인실(213)은 각각 흡인 슬릿(214), 분출 슬릿(215') 및 흡인 슬릿(216)을 포함한다.

마찬가지로, 상측 제진 유닛(220)은, 기판 반송 방향(화살표 a 방향)을 향하여, 에어 흡인실(221), 에어 분출실(222) 및 에어 흡인실(223)의 순서가 되도록 배열되어 구성되어 있고, 반송 롤러(100)가 없는 측(상측)에 배치되어 있다. 에어 흡인실(221, 223)은 도시하지 않은 흡기 펌프에, 또한, 에어 분출실(222)은 도시하지 않은 송풍 펌프에, 각각 접속되는 것으로 한다. 에어 흡인실(221), 에어 분출실(222) 및 에어 흡인실(223)은 각각 흡인 슬릿(224), 분출 슬릿(225') 및 흡인 슬릿(226)을 포함한다.

하측 제진 유닛(210)과 상측 제진 유닛(220)은, 도 18에서도 명백하게 알 수 있는 바와 같이, 상하로 서로 대향하여 배치되어 있고, 하측 제진 유닛(210)과 상측 제진 유닛(220) 사이로 기판 G가 반송된다. 기판 G가 하측 제진 유닛(210)과 상측 제진 유닛(220) 사이에서 끼워질 때, 기판 G의 배면으로부터 하측 제진 유닛(210)까지의 간격과, 기판 G의 표면으로부터 상측 제진 유닛(220)까지의 간격은 대략 같아지도록 배치된다.

이와 같은 기판 G의 선단의 한 변은, 도 18 및 도 19에서 나타낸 바와 같이, 하측 제진 유닛(210), 상측 제진 유닛(220)의 흡인 슬릿(214, 216, 224, 226) 및 분출 슬릿(215', 225')의 길이 방향에 대하여 대략 평행, 즉 기판 반송 방향 a에 대해서 대략 수직인 상태로 반송된다.

하측 제진 유닛(210)에서는, 에어 분출실(212)로부터 세정 에어가 분출되고, 세정 에어에 의해 비산시킨 먼지를 에어 흡인실(211, 213)로 흡인 제거한다. 하측 제진 유닛(210)에 의한 기판 G의 제진 대상면은, 하측 제진 유닛(210)과 대향하고 있는 기판면(도 18에서는 배면)이 된다.

마찬가지로 상측 제진 유닛(220)에서는, 에어 분출실(222)로부터 세정 에어가 분출되고, 세정 에어에 의해 비산시킨 먼지를 에어 흡인실(221, 223)에서 흡인 제거한다. 상측 제진 유닛(220)에 의한 기판 G의 제진 대상면은, 상측 제진 유닛(220)과 대향하고 있는 기판면(도 18에서는 표면)이 된다.

상기 기판용 반송 제진 장치(1000)에서는, 기판 G의 상면(상측 제진 유닛(220) 측)을 흐르는 에어에 의해 벤츄리 효과(Venturi effect)에 의한 상측으로의 흡인력이 발생하고, 또한 기판 G의 하면(하측 제진 유닛(210) 측)을 흐르는 에어에 의해 벤츄리 효과에 의한 하측으로의 흡인력이 발생하지만, 하측으로의 흡인력을 크게 하는 벤츄리 효과의 밸런스가 유지되도록 조정함으로써 기판 G가 안정적으로 반송된다.

그리고, 이와 같은 기판용 반송 제진 장치의 선행 기술로서는, 본 출원인에 의하여 선출원이 출원 공개되어 있고, 예를 들면, 일본국 특개 2003-332401호 공보(단락 번호 0027 ∼ 0036, 도 3)에 개시되어 있다.

기판 G로서 최근에는, TFT(박막 트랜지스터) 액정 패널, PDP(플라즈마 디스플레이 패널), 또는 LCD(액정 디스플레이) 등에 사용되는 유리 기판의 수요가 늘어나고 있다.

이와 같은 유리 기판에서는 파손을 방지하기 위하여, 유리 기판에 유연성을 갖게 하여 대처하고 있다. 이러한 유연성을 확보하기 위하여, 유리 기판의 두께가 얇아지는 경향에 있다. 유리 기판이 얇아짐에 따라 유리 기판의 중량도 감소하고 있다. 이와 같이 유리 기판이 얇아짐에 따라, 새로운 문제가 생기고 있다. 이하, 이 점에 대하여 설명한다.

(1) 공전(空轉)의 문제

도 18에서 나타낸 기판용 반송 제진 장치(1000)에서는, 기판 G의 중량의 감소에 따라, 반송 롤러(100)와 기판 G 사이의 마찰력이 감소하고, 기판 G를 반송하는 반송 롤러(100)는 쉽게 공전하는 현상이 복수 개소에서 발견되었다. 그래서, 안정된 반송을 실현하기 위하여, 벤츄리 효과의 밸런스를 조정하여 하측으로의 흡인력을 증가시키고자 하는 요구가 있다.

(2) 제진 능력의 증대

제진 능력의 증대도 요구되고 있다. 제진 능력을 증대시키기 위해서는, 에어 분출실(212, 222)로부터의 분출량을 많게 하고, 그에 따라 기판 G에 걸리는 에어 흡인실(211, 221)이나 에어 흡인실(213, 223)의 흡인력도 증대시킬 필요가 있 다. 이와 같이 하면, 벤츄리 효과의 밸런스를 유지한 채, 분출 압력의 증대에 의해 먼지를 확실하게 제거할 수 있게 된다. 상기 (1)의 사정도 고려하면, 분출 압력·흡인 압력을 크게 하면서 벤츄리 효과의 밸런스를 조정하여 하측으로의 흡인력을 증대하는 것을 생각할 수 있다.

(3) 진동의 문제

특히, 도 20의 (a)과 같은 휨의 발생에 의하여, 기판 G에 진동이 생기는 문제가 있었다. 이 진동에 대하여 설명한다. 그리고, 여기서는 설명을 간단하게 하기 위해, 흡인 슬릿(214, 224)을 V1슬릿으로, 분출 슬릿(215', 225')을 P슬릿으로, 흡인 슬릿(216, 226)을 V2슬릿으로 하여 설명한다.

하측 제진 유닛(210)과 상측 제진 유닛(220) 사이에 기판 G가 없는 경우, 도 18에서 나타낸 바와 같이 분출 슬릿(215', 225')은 상하 방향으로 연장되므로, 상하의 P슬릿으로부터 나온 세정 에어는 서로 부딪치고, 에어가 불규칙하게 흘러서 난류(turbulent flow) 상태가 되어 있다. 이와 같은 상황 하에서, 기판 G가 진행하여, 도 18 및 도 19에서 나타낸 바와 같이 에어 흡인실(211, 221)의 바로 아래까지 오면, 도 19의 기판 G의 선단의 사선부가 상하의 V1슬릿 사이에 개재되어 상하의 V1슬릿으로 에어가 쉽게 유입하지 못하고, 반대 측의 상하의 P슬릿-V2슬릿 사이의 에어 유량이 증가하며, P슬릿-V2슬릿과 P슬릿-V1슬릿 사이에 압력차가 생긴다(P슬릿-V2슬릿 사이의 압력이 P슬릿-V1슬릿 사이의 압력에 비해 낮아진다). 그러므로, 벤츄리 효과의 밸런스가 깨어지게 된다.

원래는 기판 G의 상면과 하면을 흐르는 세정 에어에 의해 양면에서 벤츄리 효과에 의한 흡인력이 발생하고, 또한 벤츄리 효과의 밸런스에 의해 기판 G가 안정적으로 반송되어야 하지만, 도 18 및 도 19의 상황에서는 하측 제진 유닛(210)과 상측 제진 유닛(220) 모두 P슬릿-V1슬릿 사이의 유량이 적기 때문에 벤츄리 효과의 밸런스가 깨어져 있다. 이와 같은 상황 하에서 반송이 더욱 진행되어 도 20의 (a)의 P슬릿까지 선단이 도달하면, 기판 G가 상하의 P슬릿으로부터 나온 에어를 표면 및 배면에서 받고, 기판 G의 선단(도 19의 기판 G의 선단의 사선부를 참조)에서 선형의 분사력이 상하로부터 가해져서, 상기 기판 G의 선단이 상하 방향으로 진동한다. 그리고, 기판 G는 유연성이 우수하므로 진동량은 커진다.

기판 G의 선단이 하측 방향으로 움직이는 경우, 반송 롤러(100)에 의해 항력이 발생하지만, 기판 G의 선단이 상측 방향으로 움직이는 경우, 구속하는 것이 없기 때문에 기판 G에는 상측 방향으로 들어 올려지는 힘이 가해진다. 여기서도, 기판 G의 중량의 감소에 따라, 실제로 쉽게 들어 올려질 우려가 있었다. 그래서, 이와 같은 진동에 영향을 받지 않고자 하는 요구가 있다.

(4) 휨의 문제

얇아진 기판 G는, 유연성을 가지게 되므로, 쉽게 휘어진다. 예를 들면, 도 20의 (a)에서 나타낸 바와 같이, 기판 G의 선단이 흡인되어 휘어지면, 하측 제진 유닛(210)의 바로 옆의 반송 롤러(10O)에 가해지는 힘이 커지고, 제동력이 되는 차륜 저항이 커지며, 또한 외측의 반송 롤러(100)에서는 반대로 기판 G가 뜨게 되어 회전력이 잘 전달되지 않고, 이들 작용의 상승 효과에 의하여 공전에 결부되는 문제가 있었다.

그리고, 도 20의 (b)에서 나타낸 바와 같이, 휨은 반송 도중에도 항상 일어날 수 있는 문제이지만, 이 경우는 양쪽의 반송 롤러(100)로 기판 G를 지지하고 있으므로, 휘어지는 양은 적어지므로, 도 20의 (a)와 같이 선단의 휨만 고려하면 된다. 먼저 상기 (1) 내지 (3)의 과제를 해결하기 위해, 벤츄리 효과의 밸런스를 조정하여 하측으로의 흡인력을 증가시키는 것을 검토하였지만, 하측으로의 흡인력을 증가시키는 경우에는, 반대로 휨이 증대하는 문제도 있었다. 그래서, 휨의 억제도 실현하고자 하는 요구가 있다.

따라서, 본 발명은, 전술한 바와 같은 과제를 해결하기 위해 이루어진 것이며, 그 목적은, 기판의 선단이 제진 유닛에 도입될 때의 휨이나 진동이 생기지 않도록하는 동시에, 벤츄리 효과의 밸런스를 조정하여 하측으로의 흡인력을 증가시키도록 하여, 얇고 유연성을 가지는 기판이라 하더라도 안정적으로 반송되도록 하고, 먼지 등을 흡인하는 흡인력의 증가를 실현한 기판용 반송 제진 장치의 사용 방법, 및 기판용 반송 제진 장치를 제공하는 것에 있다.

전술한 바와 같은 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 청구항 1에 따른 기판용 반송 제진 장치의 사용 방법은, 기판의 하측으로부터 지지력을 부여하고, 소정의 기판 반송 방향으로 기판을 반송하는 반송 수단과, 적어도 각각 하나의 에어 흡인실 및 에어 분출실을 포함하는 상측 제진 유닛 및 하측 제진 유닛을 기판의 표면 및 배면의 양 측에 2개 1조로 대향시키면서 배치함과 동시에, 에어 분출실의 선형의 분출 슬릿을 통하여 기판 표면을 향하여 세정 에어를 분출하여, 비산되는 먼지를 에어 흡인실의 선형의 흡인 슬릿을 통하여 흡인하도록 한 제진 유닛을 포함하는 기판용 반송 제진 장치의 사용 방법으로서, 제진 유닛의 에어 흡인실의 선형의 흡인 슬릿의 길이 방향 및 에어 분출실의 선형의 분출 슬릿의 길이 방향에 대하여, 한 변 방향이 소정의 교차각으로 경사지도록, 대략 사각형인 기판을 배치하고, 상기 기판의 돌출 선단이 선두가 되도록, 제진 유닛에 반송되면서 제진되는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 청구항 2에 따른 기판용 반송 제진 장치의 사용 방법은, 청구항 1에 기재된 기판용 반송 제진 장치의 사용 방법에 있어서, 흡인 슬릿 및 분출 슬릿의 길이 방향이 기판 반송 방향에 대하여 대략 수직이며, 또한 대략 사각형인 기판의 한 변 방향이 기판 반송 방향에 대략 수직인 방향에 대하여 소정의 교차각으로 경사지는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 청구항 3에 따른 기판용 반송 제진 장치의 사용 방법은, 청구항 1에 기재된 기판용 반송 제진 장치의 사용 방법에 있어서, 대략 사각형인 기판의 한 변 방향이 기판 반송 방향에 대하여 대략 수직이며, 또한 흡인 슬릿 및 분출 슬릿의 길이 방향이 기판 반송 방향에 대략 수직인 방향에 대하여 소정의 교차각으로 경사지는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 청구항 4에 따른 기판용 반송 제진 장치는, 기판의 하측으로부터 지지력을 부여하고, 소정의 기판 반송 방향으로 기판을 반송하는 반송 수단과, 적어도 각각 하나의 에어 흡인실 및 에어 분출실을 포함하는 상측 제진 유닛 및 하측 제진 유닛을 기판의 표면 및 배면의 양 측에 2개 1조로 대향시키면서 배치함과 동시에, 또한 에어 분출실의 선형의 분출 슬릿을 통하여 기판 표면을 향하여 세정 에어를 분출하여, 비산되는 먼지를 에어 흡인실의 선형의 흡인 슬릿을 통하여 흡인하도록 한 제진 유닛을 구비하는 기판용 반송 제진 장치로서, 제진 유닛의 에어 흡인실의 선형의 흡인 슬릿의 길이 방향과 에어 분출실의 선형의 분출 슬릿의 길이 방향이 대략 평행이며, 또한 에어 흡인실의 선형의 흡인 슬릿의 길이 방향과 에어 분출실의 선형의 분출 슬릿의 길이 방향이 각각 기판 반송 방향에 대하여 대략 수직이 되도록 배치됨과 동시에,

대략 사각형인 기판의 한 변 방향이 기판 반송 방향에 대략 수직인 방향에 대하여 소정의 교차각으로 경사진 상태이며, 기판의 돌출 선단이 선두가 되도록 제진 유닛에 반송되면서 제진되는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 청구항 5에 따른 기판용 반송 제진 장치는, 기판의 하측으로부터 지지력을 부여하고, 소정의 기판 반송 방향으로 기판을 반송하는 반송 수단과, 적어도 각각 하나의 에어 흡인실 및 에어 분출실을 포함하는 상측 제진 유닛 및 하측 제진 유닛을 기판의 표면 및 배면 양 측에 2개 1조로 대향시키면서 배치함과 동시에, 에어 분출실의 선형의 분출 슬릿을 통하여 기판 표면을 향해 세정 에어를 분출하여, 비산되는 먼지를 에어 흡인실의 선형의 흡인 슬릿을 통하여 흡인하도록 한 제진 유닛을 포함하는 기판용 반송 제진 장치로서, 제진 유닛의 에어 흡인실의 선형의 흡인 슬릿의 길이 방향 및 에어 분출실의 선형의 분출 슬릿의 길이 방향이 대략 평행이며, 기판 반송 방향에 대략 수직인 방향에 대하여 소정의 교차각으로 경사지도록 배치함과 동시에, 또한 대략 사각형인 기판의 반송 선단의 한 변이 기판 반송 방향에 대하여 대략 수직이며, 또한 기판의 돌출 선단이 선두가 되도록 제진 유닛에 반송되면서 제진되는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 청구항 6에 따른 기판용 반송 제진 장치는, 청구항 4에 기재된 기판용 반송 제진 장치에 있어서, 상기 반송 수단은, 봉형의 반송 롤러를 포함하고, 봉형의 반송 롤러의 축 방향은, 제진 유닛의 에어 흡인실의 선형의 흡인 슬릿의 길이 방향 및 에어 분출실의 선형의 분출 슬릿의 길이 방향과 대략 평행하며, 또한 각각 반송 방향에 대하여 대략 수직이 되도록 배치된 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 청구항 7에 따른 기판용 반송 제진 장치는, 청구항 5에 기재된 기판용 반송 제진 장치에 있어서, 상기 반송 수단은, 경사진 배열 방향으로 배열되어 배치된 복수개의 원판형의 반송 롤러를 포함하고, 원판형의 반송 롤러의 배열 방향은, 제진 유닛의 에어 흡인실의 선형의 흡인 슬릿의 길이 방향 및 에어 분출실의 선형의 분출 슬릿의 길이 방향과 대략 평행이며, 기판 반송 방향에 대략 수직인 방향에 대하여 소정의 교차각으로 경사지도록 배치된 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 청구항 8에 따른 기판용 반송 제진 장치는, 청구항 4 내지 청구항 7 중 어느 한 항에 기재된 기판용 반송 제진 장치에 있어서, 하측 제진 유닛의 벤츄리 효과에 의한 흡인력이, 상측 제진 유닛의 벤츄리 효과에 의한 흡인력보다 커지게 하여, 기판을 반송 수단 쪽으로 가압하는 힘을 부여하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 청구항 9에 따른 기판용 반송 제진 장치는, 청구항 8에 기재된 기판용 반송 제진 장치에 있어서, 하측 제진 유닛으로의 흡인 압력과 상측 제진 유닛으로의 흡인 압력이 같아지도록 함과 동시에, 하측 제진 유닛으로부터의 분출 압력이 상측 제진 유닛으로부터의 분출 압력보다 커지게 함으로써, 하측 제진 유닛의 벤츄리 효과에 의한 흡인력이, 상측 제진 유닛의 벤츄리 효과에 의한 흡인력보다 커지게 하여, 기판을 반송 수단 쪽으로 가압하는 힘을 부여하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 청구항 10에 따른 기판용 반송 제진 장치는, 청구항 8에 기재된 기판용 반송 제진 장치에 있어서, 하측 제진 유닛으로부터의 분출 압력과 상측 제진 유닛으로부터의 분출 압력이 같아지게 함과 동시에, 하측 제진 유닛으로의 흡인 압력이 상측 제진 유닛으로의 흡인 압력보다 커지게 함으로써, 하측 제진 유닛의 벤츄리 효과에 의한 흡인력이, 상측 제진 유닛의 벤츄리 효과에 의한 흡인력보다 커지게 하여, 기판을 반송 수단 쪽으로 가압하는 힘을 부여하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 청구항 11에 따른 기판용 반송 제진 장치는, 청구항 8에 기재된 기판용 반송 제진 장치에 있어서, 하측 제진 유닛으로부터 기판면까지의 간격이, 상측 제진 유닛으로부터 기판면까지의 간격보다 짧게 조정함으로써, 하측 제진 유닛의 벤츄리 효과에 의한 흡인력이, 상측 제진 유닛의 벤츄리 효과에 의한 흡인력보다 커지게 하여, 기판을 반송 수단 쪽으로 가압하는 힘을 부여하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 청구항 12에 따른 기판용 반송 제진 장치는, 청구항 9에 기재된 기판용 반송 제진 장치에 있어서, 하측 제진 유닛 및 상측 제진 유닛으로부터의 분출 압력을 계측하여, 상측 제진 유닛으로부터의 분출 압력이 하측 제진 유닛으로부터의 분출 압력보다 큰 경우에 제진 유닛으로의 기판의 반송을 정지하도록 제어하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 청구항 13에 따른 기판용 반송 제진 장치는, 청구항 4 내지 청구항 12 중 어느 한 항에 기재된 기판용 반송 제진 장치에 있어서, 하측 제진 유닛은, 반송되는 기판에 맞닿아 회동하는 보조 롤러를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 청구항 14에 따른 기판용 반송 제진 장치는, 청구항 13에 기재된 기판용 반송 제진 장치에 있어서, 상기 보조 롤러는 하측 제진 유닛의 반입 측의 외측부에 배치되는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 청구항 15에 따른 기판용 반송 제진 장치는,

청구항 13 또는 청구항 14에 기재된 기판용 반송 제진 장치에 있어서, 상기 보조 롤러는 하측 제진 유닛의 에어 흡인실의 흡인 슬릿 내에 배치되는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 청구항 16에 따른 기판용 반송 제진 장치는, 청구항 4 내지 청구항 15 중 어느 한 항에 기재된 기판용 반송 제진 장치에 있어서, 상기 하측 제진 유닛 및 상기 상측 제진 유닛은, 에어 분출실과, 상기 에어 분출실을 그 사이에 둔 2개의 에어 흡인실이 기판 반송 방향을 따라 배열되어 배치되는 것을 특징으로 한다.

이상과 같은 본 발명에 따르면, 기판의 선단이 제진 유닛에 도입될 때의 휨이나 진동이 생기지 않도록 하는 동시에, 벤츄리 효과의 밸런스를 조정하여 하측으로의 흡인력을 증가시켜서, 얇고 유연성을 가지는 기판이라 하더라도 안정적으로 반송되도록 하고, 먼지 등을 흡인할 수 있는 흡인력의 증가를 실현할 수 있는 기판용 반송 제진 장치의 사용 방법, 및 기판용 반송 제진 장치를 제공할 수 있다.

도 1은 기판용 반송 제진 장치 및 그 사용 방법에 대하여 설명하는 도면이다.

도 2는 기판용 반송 제진 장치의 구조도이다.

도 3은 기판 반송 방향으로부터 보았을 때, 반송 롤러의 구조도이며, 도 3의 (a)는 제1 구조도, 도 3의 (b)는 제2 구조도이다.

도 4는 제진 유닛의 단면도이다.

도 5는 기판 반송을 설명하는 도면이며, 도 5의 (a)는 돌출 선단이 바로 앞의 흡인 슬릿에 도달한 상태를 나타내는 도면이며, 도 5의 (b)는 돌출 선단이 분출 슬릿에 도달한 상태를 나타내는 도면이며, 도 5의 (c)는 돌출 선단이 안쪽의 흡인 슬릿에 도달한 상태를 나타내는 도면이다.

도 6은 제2 실시예의 기판용 반송 제진 장치의 구성도이다.

도 7은 제3 실시예의 기판용 반송 제진 장치의 구성도이다.

도 8은 보조 롤러의 구성도이며, 도 8의 (a)는 제1 구조도, 도 8의 (b)는 제2 구조도이다.

도 9는 개량 형태의 기판용 반송 제진 장치의 구성도이다.

도 10은 제4 형태의 기판용 반송 제진 장치의 구성도이다.

도 11은 보조 롤러 구조를 설명하는 도면이다.

도 12는 개량 형태의 기판용 반송 제진 장치의 구성도이다.

도 13은 제5 형태의 기판용 반송 제진 장치의 구성도이다.

도 14는 제5 형태의 기용 반송 제진 장치에 의한 기판 반송을 설명하는 도면이다.

도 15는 제5 형태의 기판용 반송 제진 장치에 의한 기판 반송을 설명하는 도면으로서, 도 15의 돌출 선단이 바로 앞의 슬릿에 도달한 상태를 나타내는 도면이며, 도 15의 (b)는 돌출 선단이 분출 슬릿에 도달한 상태를 나타내는 도면이며, 도 15의 (c)는 돌출 선단이 안쪽의 흡인 슬릿에 도달한 상태를 나타내는 도면이다.

도 16은 반송 롤러의 지축을 설명하는 도면이다.

도 17은 보조 롤러를 설명하는 도면이다.

도 18은 종래 기술의 기판용 반송 제진 장치를 설명하는 도면이다.

도 19는 종래 기술의 기판용 반송 제진 장치를 설명하는 도면이다.

도 20은 기판의 굴곡을 설명하는 도면으로서, 도 20의 (a)는 기판의 선단의 굴곡을 설명하는 도면이며, 도 20의 (b)는 기판의 중간 부분의 굴곡을 설명하는 도면이다.

도 21은 교차각에 대한 분출 압력의 상한을 나타낸 도면이다.

이어서, 본 발명을 실시예(제1 실시예)에 따른 기판용 반송 제진 장치 및 그 사용 방법에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다. 도 1은 기판용 반송 제진 장치 및 그 사용 방법에 대하여 설명하는 도면이다. 도 2는 기판용 반송 제진 장치의 구조도이다. 도 3은 기판 반송 방향으로부터 보았을 때의 반송 롤러의 구조도로서, 도 3의 (a)는 제1 구조도이며, 도 3의 (b)는 제2 구조도이다. 도 4는 제진 유닛의 단면도이다. 도 5는 기판 반송을 설명하는 도면으로서, 도 5의 (a)는 돌출 선단이 앞쪽의 흡인 슬릿에 도달한 상태를 나타내는 도면이며, 도 5의 (b)는 돌출 선단이 분출 슬릿에 도달한 상태를 나타내는 도면이며, 도 5의 (c)는 돌출 선단이 안쪽의 흡인 슬릿에 도달한 상태를 나타내는 도면이다.

본 실시예의 기판용 반송 제진 장치는, 도 1 및 도 2에서 나타낸 바와 같이, 반송 롤러(100) 및 제진 유닛(200)을 포함한다. 상기 제진 유닛(200)은 또한 하측 제진 유닛(210) 및 상측 제진 유닛(220)을 포함하고, 하측 제진 유닛(210) 및 상측 제진 유닛(220)에 의해 기판 G의 표면 및 배면이 제진된다.

반송 롤러(100)는, 반송 수단의 하나의 구체예이며, 기판 G를 지지·반송하는 롤러이다. 반송 롤러(100)는, 기판 G를 반송하는 구동력을 부여하도록 구성되거나, 또는 다른 구동원에 의해 반송되는 기판 G에 따라서 회동 가능하게 구성되어 있다.

반송 롤러(100)는, 도 3의 (a)에서 나타낸 바와 같이, 기판 G의 양쪽에 걸쳐진 긴 로드형의 반송 롤러(100)로 하는 경우와, 도 3의 (b)에서 나타낸 바와 같이 기판 G의 일부만 맞닿는 복수개(도 3의 (b)에서는 4개)의 짧은 봉형의 반송 롤 러(100)로 하는 경우의 2개의 양태가 있다. 이와 같은 양태는 적절하게 선택된다. 본 실시예의 반송 롤러(100)는, 도 3의 (a)에서 나타낸 바와 같은 장척의 반송 롤러(100)인 것으로 하여 이하에서 설명한다.

하측 제진 유닛(210)은, 도 4에서 나타낸 바와 같이, 기판 반송 방향(화살표 a 방향)을 따라, 에어 흡인실(211), 에어 분출실(212) 및 에어 흡인실(213)이 배열되어 구성되어 있고, 반송 롤러(100) 측(하측)에 배치되어 있다. 에어 흡인실(211, 213)은, 도시하지 않은 흡기 펌프에, 또한, 에어 분출실(212)은 도시하지 않은 송풍 펌프에, 각각 접속되는 것으로 한다. 에어 흡인실(211), 에어 분출실(212) 및 에어 흡인실(213)은 각각 흡인 슬릿(214), 분출 슬릿(215) 및 흡인 슬릿(216)을 포함한다.

마찬가지로, 상측 제진 유닛(220)은, 기판 반송 방향(화살표 a 방향)을 향하여, 에어 흡인실(221), 에어 분출실(222) 및 에어 흡인실(223)의 순서로 배열되어 구성되어 있고, 반송 롤러(100)가 없는 쪽(상측)에 배치되어 있다. 에어 흡인실(221, 223)은 도시하지 않은 흡기 펌프에, 또한, 에어 분출실(222)은 도시하지 않은 송풍 펌프에, 각각 접속되는 것으로 한다. 에어 흡인실(221), 에어 분출실(222) 및 에어 흡인실(223)은 각각 흡인 슬릿(224), 분출 슬릿(225) 및 흡인 슬릿(226)을 포함한다.

하측 제진 유닛(210) 및 상측 제진 유닛(220)은, 도 2에서도 명백하게 알 수 있는 바와 같이, 상하로 서로 대향하여 배치되어 있고, 또한, 흡인 슬릿(214), 분출 슬릿(215), 흡인 슬릿(216), 흡인 슬릿(224), 분출 슬릿(225), 및 흡인 슬 릿(226)의 길이 방향은 대략 평행이다. 특히 흡인 슬릿(214, 224), 분출 슬릿(215, 225), 및 흡인 슬릿(216, 226)은 바로 위로부터 보았을 때, 하나의 선으로 보이도록 형성된다. 이들 하측 제진 유닛(210)과 상측 제진 유닛(220) 사이로 기판 G가 반송된다. 기판 G가 하측 제진 유닛(210)과 상측 제진 유닛(220) 사이에서 끼워질 때, 기판 G의 배면으로부터 하측 제진 유닛(210)까지의 간격과, 기판 G의 표면으로부터 상측 제진 유닛(220)까지의 간격은 대략 같아지도록 배치된다. 또한 본 실시예에서는 하측 제진 유닛(210)의 에어 분출실(212)로부터의 분출 압력은, 상측 제진 유닛(220)의 에어 분출실(222)로부터의 분출 압력보다 커지도록 하여, 벤츄리 효과에 의한 밸런스를 조정하여 하측으로 흡인되도록 하고 있다.

상기 벤츄리 효과에 의한 밸런스에 대하여 설명한다. 먼저, 벤츄리 효과에 의한 흡인 현상에 대하여 설명한다. 먼저, 상측 제진 유닛(220) 만 생각한다. 에어 분출실(222)로부터 분출된 세정 에어는, 예를 들면, 광처럼 반사하여 에어 흡인실(221, 223)로 향하는 것이 아니고, 기판 G의 표면을 따라 흐르는 특성이 있다. 또한, 상측 제진 유닛(220)의 바로 아래에서는 유로가 좁고, 상측 제진 유닛(220)의 양쪽 외측에서는 유로가 넓은 구조로 되어 있다.

이와 같은 상황 하에서는, 벤츄리 효과에 의해, 유로가 좁은 상측 제진 유닛(220)의 바로 아래에서는 압력이 낮은 상태가 되려고 하는 성질이 있으므로, 상측 제진 유닛(220)과 기판 G가 흡인되는 흡인 현상이 발생한다.

이 경우, 상측 제진 유닛(220)은 기계적으로 고정되어 있지만, 기판 G는 반송 롤러(100) 상에 탑재되어 있을 뿐이므로, 기판 G가 반송 롤러(100)로부터 멀어 지며 상승한다.

이와 같이 벤츄리 효과에 의해, 기판 G가 상측 제진 유닛(220)으로 흡인된다.

그래서, 하측 제진 유닛(210)에서도 마찬가지로 분출 압력을 가하여, 하측으로 흡인하는 벤츄리 효과를 얻을 수 있도록 한다. 이 때, 전술한 바와 같이, 하측 제진 유닛(210)의 에어 흡인실(211) 및 에어 흡인실(213)으로의 흡인 압력과, 상측 제진 유닛(220)의 에어 흡인실(221) 및 에어 흡인실(223)으로의 흡인 압력이 같아지도록 함과 동시에, 하측 제진 유닛(210)의 에어 분출실(212)로부터의 분출 압력은, 상측 제진 유닛(220)의 에어 분출실(222)로부터의 분출 압력보다 커지도록 하여, 벤츄리 효과에 의한 밸런스를 조정하여 하측으로 흡인되도록 하고 있다.

이에 따라, 하측 제진 유닛(210)의 벤츄리 효과에 의한 흡인력이, 상측 제진 유닛(220)의 벤츄리 효과에 의한 흡인력보다 커지도록 하여, 기판 G를 반송 롤러(100)에 맞닿게 한다.

기판 G는, 예를 들면, TFT(박막 트랜지스터)액정 패널, PDP(플라즈마 디스플레이 패널) 또는 LCD(액정 디스플레이) 등에 사용되는 유리 기판이다. 도 1 내지 도 5에서 나타낸 기판 G는 장척의 기판 G의 일부만 도시되어 있다. 본 명세서에서, 기판 G의 상면을 표면으로서, 하면을 배면으로서 각각 정의한다.

특히, 본 실시예에서는 얇아서 유연성을 가지게 된, TFT 액정 패넬용의 유리 기판을 대상으로 하고 있다.

이어서, 본 실시예에 의한 제진에 대하여 설명한다.

복수개의 기판 G가, 소정의 간격을 두고 설치된 반송 롤러(100) 상으로 차례로 반송되는 것으로 한다.

이 때, 기판 G는, 도 1 및 도 2에서 나타낸 바와 같이, 반송 롤러(100)에 의해 지지되어 반송 평면 상을 이동하며, 또한 대략 사각형인 기판 G의 한 변 방향과, 하측 제진 유닛(210) 및 상측 제진 유닛(220)의 에어 흡인실(211, 213, 221, 223)의 흡인 슬릿(214, 216, 224, 226) 및 에어 분출실(212, 222)의 분출 슬릿(215, 225)의 길이 방향이 소정의 교차각으로 경사져서 교차하면서 반송된다. 기판 반송 방향 a를 기준으로 하면, 흡인 슬릿(214, 216, 224, 226) 및 분출 슬릿(215, 225)의 길이 방향이 기판 반송 방향 a에 대해서 대략 수직이고, 또한 대략 사각형인 기판의 한 변 방향이 기판 반송 방향 a의 대략 수직 방향에 대하여 소정의 교차각 α로 경사진다. 상기 교차각은 도 1에서 나타낸 바와 같이, 각도 α를 이루도록 배치된다. 상기 교차각 α에 대해서는 후술한다.

이와 같은 경사진 상태의 기판 G가 하측 제진 유닛(210)과 상측 제진 유닛(220) 사이로 반송되어 제진되도록 한다. 이 경우, 제진 유닛(200)은, 에어 분출실(212, 222)에 의한 세정 에어의 분출, 및 에어 흡인실(211, 213, 221, 223)에 의한 먼지의 흡인을 항상 행하고 있는 것으로 한다. 즉, 기판 G에서, 표면과 배면의 양 면이 제진 대상면이 된다.

먼저, 제진되는 기판 G가, 하측 제진 유닛(210)의 바로 위에서, 화살표 a 방향으로 반송된다.

기판 G의 돌출 선단 G1은 선단의 일부이며, 도 5의 (a)에서 나타낸 바와 같 이 돌출 선단 G1이 에어 흡인실(211, 221)의 흡인 슬릿(214, 216) 사이로 진입한다. 이 경우, 기판 G의 돌출 선단 G1의 사선부에만 흡인 압력이 가해져 있으므로 흡인 압력은 작고, 종래 기술과 같이 선단 전체에 흡인 압력이 가해지지 않기 때문에(도 19 참조), 휨이 발생할 우려를 현저하게 저감시키고 있다.

또한, 진동도 억제된다. 이 점에 대하여 설명한다. 그리고, 여기서도 설명을 간단하게 하기 위해, 흡인 슬릿(214, 224)을 V1슬릿으로, 분출 슬릿(215, 225)을 P슬릿으로, 흡인 슬릿(216, 226)을 V2슬릿으로서 설명한다. 도 4에서 나타낸 바와 같이, 상하의 P슬릿은, 기판 반송 방향 a와 반대 측으로 경사져 있고, 기판 G는 이들 P슬릿을 향하여 진행한다.

이와 같은 상황 하에서 도 5의 (a)에서 나타낸 바와 같은 상태가 되면, 기판 G의 진행에 의해 V1슬릿으로의 에어의 유입은 방지할 수 있지만, 그 차폐 영역은 좁으며, 즉시 상하의 V1스릿으로 세정 에어가 유입하기 곤란한 사태는 회피되고, 세정 에어가 불규칙하게 흐르는 난류 상태로 되지는 않는다. 여기에 더하여, P슬릿이 경사지게 형성되어 세정 에어는 강제적으로 P-V1 사이의 방향으로 보내지므로, 에어의 대부분은 변함없이 P-V1 사이를 흐른다.

그러므로, P슬릿-V1슬릿 사이의 에어 유량과, 반대 측의 P슬릿-V2슬릿 사이의 에어 유량은 균형이 맞으며, P슬릿-V1슬릿과 P슬릿-V2슬릿 사이에 압력 차가 대략 0(P슬릿-V1슬릿 사이의 압력이 P슬릿-V2슬릿 사이의 압력과 대략 동일)인 상태를 유지하고, 이 점에서도 세정 에어가 불규칙하게 흐르는 난류 상태로 되지는 않는다. 따라서 이들 작용에 의하여 벤츄리 효과의 밸런스가 유지된다.

이어서, 도 5의 (b) 및 도 5의 (c)에서 나타낸 바와 같이, 기판 G가 기판 반송 방향 a을 따라 반송된다.

이 때에도 흡인 압력·분출 압력 등이 가해진다. 그러나, 반송 롤러(100)로부터 기판 G가 돌출하는 양(이하 오버행(overhang)량이라 한다)은 기판 G의 전체 길이보다 충분히 작으며 거기에 더하여, 먼저 설명한 원리에 의해, 분사·흡인에 의해 가해지는 압력을 사선 영역에서 나타낸 바와 같이 종래보다 적게 하고, 또한 벤츄리 효과의 밸런스도 유지되므로 휨·진동 등을 억제하면서 그대로 반입이 계속되어, 하측 제진 유닛(210)의 양 쪽의 반송 롤러(100)에 의해 지지된다. 그 후에는, 기판 G는, 흡인력과 자기 중량이 서로 작용하여 반송 롤러(100)에 확실하게 맞닿으므로, 기판 G가 반송 롤러(100)로부터 이탈되는 사태는 발생하지 않는다.

이어서 상기 교차각 α에 대하여 설명한다. 상기 교차각 α는, 0˚에서 45˚까지의 예각이며, 1˚ 내지 30˚정도가 바람직하다. 이와 같은 교차각 α의 구체적인 값은, 기판 G에 따라서 적절하게 결정되지만, 예를 들면, 유리 400mm × 500mm × 두께 0.7mm인 기판 G를 사용하여 교차각 α을 변경시킨 경우의 분출 압력의 상한(더 이상의 분출 압력으로는 진동·휨이 발생)을 도 21에 나타낸다.

이와 같이 교차각 α를 증가시킴에 따라 분출 압력의 상한이 증가하는 경향을 알 수 있다. 이것은, 교차각 α을 증가시킴에 따라, 분출 압력에 의한 면적(도 5의 사선부)이 저하되어 가해지는 힘이 감소하기 때문으로 추측된다.

이상, 설명한 기판용 반송 제진 장치 및 그 사용 방법에 의하면, 기판 G의 안정된 반송은 기판 G의 상면과 하면을 흐르는 에어에 의해 발생하는 벤츄리 효과 의 밸런스에 의해 얻어지지만, 하측 제진 유닛(210)과 상측 제진 유닛(220) 사이를 기판 G가 진입 통과중이라도 벤츄리 효과의 밸런스를 얻을 수 있도록 했기 때문에, 안정적으로 반송될 수 있다. 특히 경사진 V1슬릿, P슬릿 및 V2슬릿을 채용함으로써 에어 분출실(201P, 301P)로부터의 분출 압력을 지금까지 정도로 할 수 있고, 제진 능력을 확보하면서 기판 G의 휨을 적게 하고, 안정된 반송(기판 G가 분출 슬릿의 근처에서 떠오르지 않거나, 또한, 하측으로 끌어당기는 힘이 약하기 때문에 기판 G의 휨에 의한 반송상의 문제도 잘 일어나지 않는, 반송)이 가능하게 된다. 또한 교차각 α를 최대한으로 크게 하면 분출 압력도 증가할 수 있고, 벤츄리 효과의 밸런스를 유지하면서 흡인력이나 제진 능력의 개선도 바랄 수 있다.

이어서, 본 발명의 기판용 반송 제진 장치 및 그 사용 방법의 제2 실시예에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다. 그리고, 전술한 종래 기술이나 제1 실시예와 동일한 구성 요소에 대해서는, 동일한 부호를 부여하고 중복되는 설명을 생략한다. 도 6은 제2 실시예의 기판용 반송 제진 장치의 구성도이다.

본 실시예의 기판용 반송 제진 장치는, 도 6에서 나타낸 바와 같이, 반송 롤러(100), 제진 유닛(200) 및 반송 제어부(300)를 포함하고 있다. 도 2에 나타낸 제1 실시예의 구성에 반송 제어부(300)를 추가하여 구성되어 있다. 기판용 반송 제진 장치에서는 화살표 a 방향으로 기판 G가 반송된다.

반송 롤러(100) 및 제진 유닛(200)은, 제1 실시예와 동일하며, 중복되는 설명을 생략한다.

반송 제어부(300)는, 도 6에서 나타낸 2개의 압력 도입부(301), 차이 압력 센서(302) 및 구동 제어부(303)로 이루어진다.

압력 도입부(301)는, 에어 분출실(212, 222)의 내부에 설치되고, 에어 분출실(212, 222)로부터 분출시킬 에어를 도입하도록 되어 있다.

차이 압력 센서(302)는, 2개의 압력 도입부(301)로부터의 에어를 입력하고, 이들 에어의 차이 압력을 계측하여 차이 압력 신호를 출력한다.

구동 제어부(303)는, 차이 압력 센서(302)로부터 출력되는 차이 압력 신호에 따라, 반송 롤러(100)의 구동 제어를 행한다.

그리고, 반송 제어부(300)는, 전술한 구성으로 한정되는 것은 아니고, 예를 들면, 도시하지 않지만, 에어 분출실(212, 222)의 내부에 각각 압력 검출 센서(트랜스듀서)가 설치되고, 에어 분출실(212, 222)에서의 분출 압력을 계측하여 각각이 압력 신호를 출력하고, 이들 2개소로부터 송신되는 압력 신호에 기초하여 차이 압력 신호를 연산하고, 상기 차이 압력 신호에 따라, 구동 제어부(303)가 반송 롤러(100)의 구동 제어를 행하도록 해도 된다.

이들 구성은 적절하게 선택되지만, 예를 들면, 소규모의 장치에서는, 도 4에서 나타낸 바와 같은 차이 압력 센서(302)를 사용하는 형태가 비용 등의 관점에서 볼 때 바람직하다.

이어서, 본 실시예에 의한 제진에 대하여 설명한다.

복수개의 기판 G가, 소정의 간격을 두고 차례로 반송되고, 제진이 행하여지는 것으로 한다. 이 경우 하측 제진 유닛(210) 및 상측 제진 유닛(220)은, 에어 분출실(212, 222)에 의한 세정 에어의 분출, 및 에어 흡인실(211, 213, 221, 223) 에 의한 먼지의 흡인이 항상 행해지고 있는 것으로 한다.

먼저, 제진 대상 기판 G가, 하측 제진 유닛(210)과 상측 제진 유닛(220) 사이를, 화살표 a 방향으로 반송된다. 상기 기판 G는 표면과 배면의 양 면이 제진 대상면이 된다.

이 경우, 하측 제진 유닛(210)의 에어 분출실(212)(하측)로부터 분출되는 세정 에어의 분출 압력은, 상측 제진 유닛(220)의 에어 분출실(201P)(상측)로부터 분출되는 세정 에어의 분출 압력보다 커져서, 전술한 바와 같이 하측에 흡인되도록 조정되어 있다.

또한, 기판 G가 하측 제진 유닛(210)과 상측 제진 유닛(220) 사이에서 끼워져 있는 경우, 기판 G의 배면으로부터 하측 제진 유닛(210)까지의 간격과 기판 G의 표면으로부터 상측 제진 유닛(220)까지의 간격은 대략 같아지도록 되도록 배치된다.

그리고, 세정 에어의 분출중에는, 2개의 압력 도입부(301)를 통하여 에어가 차이 압력 센서(302)에 도입되고, 차이 압력 센서(302)로부터 차이 압력 신호를 구동 제어부(303)에 출력하고 있다.

구동 제어부(303)는, 상측으로부터 분출되는 세정 에어의 분출 압력이, 하측으로부터 분출되는 세정 에어의 분출 압력보다 크면 비정상 상태이며, 그 이외는 정상 상태로 판정한다.

구동 제어부(303)는, 분출 압력이 정상 상태인 것으로 판단하였다면, 반송 롤러(100)를 회전하도록 제어하여, 기판 G를 하측 제진 유닛(210)과 상측 제진 유 닛(220) 사이에 진입시킨다. 한편, 비정상 상태에서는 반송 롤러(100)를 정지하도록 제어한다.

이에 따라, 분출 압력이 변동되어 상측 제진 유닛(220)의 흡인력이 하측 제진 유닛(210)의 흡인력보다 큰 비정상 상태에서는 기판 G를 정지시키는 한편, 정상 상태에서는 기판 G는 반송 롤러(100)에 반송되도록 구성하였으므로, 기판 G가 반송 롤러(100)로부터 부상하여 이탈될 우려를 더욱 저감시키고, 기판 G는 반송 롤러(100)에 확실하게 맞닿은 상태에서 제진된다.

그러므로, 기판 G가 손상될 우려를 저감시키는 동시에, 반송 기구로서는 최소한의 반송 롤러(100)만 포함하면 되므로, 광대한 설비 공간이나, 복잡하면서 고가의 장치 구성이 불필요하게 된다. 특히, 기판 양면의 세정이 필요한 경우에는 매우 적합하다.

이어서, 본 발명의 기판용 반송 제진 장치 및 그 사용 방법의 제3 실시예에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다. 그리고, 종래 기술, 제1 실시예 및 제2 실시예와 동일한 구성에 대하여는, 동일한 부호를 부여하고 중복되는 설명을 생략한다. 도 7은 본 실시예의 기판용 반송 제진 장치의 구성도이다. 도 8은 보조 롤러의 구성도로서, 도 8의 (a)는 제1 구조도이며, 도 8의 (b)은 제2 구조도이다. 도 9는 개량 실시예의 기판용 반송 제진 장치의 구성도이다.

본 실시예의 기판용 반송 제진 장치는, 도 2에서 나타낸 제1 실시예에 보조 롤러(102)를 더 설치한 것이다.

반송 롤러(100) 및 제진 장치(200)는 제1 실시예와 동일하므로, 그 중복되는 설명을 생략하고, 상이한 점만 설명한다.

도 7에서 나타낸 바와 같이, 하측 제진 유닛(210)의 반입측과 반출측의 양 외측부에 보조 롤러(102)가 배치된다. 보조 롤러(102)는, 예를 들면, 도 8의 (a)에서 나타낸 바와 같이 측면으로부터 보았을 때 1륜으로 구성하거나, 도 8의 (b)에서 나타낸 바와 같이 2륜(또는 3개 이상의 복수 륜)으로 구성해도 된다. 본 실시예에서는 도 8의 (b)의 복수 륜인 것으로 하여 설명한다.

이어서, 본 실시예에 의한 제진에 대하여, 제1 실시예와 상이한 점을 중점적으로 설명한다.

복수개의 기판 G가, 소정의 간격을 두고 차례로 반송되고, 제진이 행하여지는 것으로 한다. 이 경우 제진 유닛(200)에서, 에어 분출실(212, 222)에 의한 세정 에어의 분출, 및 에어 흡인실(211, 213, 221, 223)에 의한 먼지의 흡인이 항상 행해지고 있는 것으로 한다.

먼저, 제진 대상 기판 G가, 제진 유닛(200)을 향하여, 화살표 a 방향으로 반송된다.

기판 G는, 벤츄리 효과에 의해 하측 제진 유닛(210)이 있는 하측으로 흡인 된다. 그러나, 반송 롤러(100)에 더하여 보조 롤러(102)가 기판 G를 지지하고 있으므로, 종래보다 오버행량을 감소시키고 있고, 기판 G는 보조 롤러(102)·반송 롤러(100)에 맞닿은 채 반입되며, 하측 제진 유닛(210)의 양측에 있는 보조 롤러(102)·반송 롤러(100)에 지지된다. 그 후에는, 흡인력과 상호 작용하여 기판 G가 보조 롤러(102)·반송 롤러(100)에 확실하게 맞닿게 되므로, 기판 G가 반송 롤 러(100)로부터 이탈되는 사태는 발생하지 않는다.

이상 설명한 바와 같이, 본 실시예에서는, 기판 G가 반송 롤러(100) 상으로부터 떨어지지 않고 반송되는 효과에 더하여, 하측 제진 유닛(210)과 상측 제진 유닛(220) 사이로 진입 시에 보조 롤러(102)에 의해 오버행량을 감소시킴으로써, 기판 G의 선단이 흡인될 우려를 더욱 작게 하고 있다.

그러므로, 기판 G가 손상될 우려가 없고, 또한 반송 기구로서는 최소한의 반송 롤러(100)·보조 롤러(102) 만 포함하면 되므로, 광대한 설비 공간이나, 복잡하면서 고가의 장치 구성이 불필요하게 된다.

그리고, 도 9에서 나타낸 바와 같이 제2 실시예에 보조 롤러(102)를 추가한 개량 형태를 채용해도, 상기 제3 실시예와 마찬가지의 효과도 얻을 수 있게 된다.

이어서, 본 발명의 기판용 반송 제진 장치 및 그 사용 방법의 제4 실시예에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다. 그리고, 종래 기술, 제1 실시예, 제2 실시예 및 제3 실시예와 동일한 구성에 대하여는, 동일한 부호를 부여하고 중복되는 설명은 생략한다. 도 10은 본 실시예의 기판용 반송 제진 장치의 구성도이며, 도 11은 보조 롤러 구조를 설명하는 도면이다. 도 12는 개량 형태의 기판용 반송 제진 장치의 구성도이다. 본 실시예의 기판용 반송 제진 장치는, 제1 실시예에 대해, 보조 롤러를 더 설치한 형태이지만, 제3 실시예와는 상이한 위치에 보조 롤러를 배치한 점이 상이하다.

본 실시예에서는, 도 10에서 나타낸 바와 같이, 하측 제진 유닛(210)의 에어 흡인실(211, 213)의 상측에 보조 롤러(103)가 배치된다. 보조 롤러(103)는, 예를 들면, 도 11에서 나타낸 바와 같이, 에어 흡인실(211, 213)의 흡인 슬릿(214, 216) 내에 배치되어 있다. 그리고, 상기 보조 롤러(103)는, 예를 들면, 도 8의 (a)에서 나타낸 바와 같은 기판 반송 방향으로부터 보았을 때, 1륜이거나 도 8의 (b)에서 나타낸 바와 같은 측면으로부터 보았을 때 복수 륜(도 8의 (b)에서 나타낸 바와 같이 적어도 2륜)으로 구성된다. 이와 같은 보조 롤러(103)의 존재에 관계없이, 먼지의 흡인에는 영향이 없는 충분히 큰 흡인 슬릿(214, 216)을 확보하면, 제진 능력에 문제는 생기지 않는다.

이상 설명한 바와 같이, 본 실시예에서는, 기판 G가 반송 롤러(100) 상으로부터 떨어지지 않고 반송되는 효과에 더하여, 하측 제진 유닛(210)과 상측 제진 유닛(220) 사이로 진입 시에 보조 롤러(103)에 의해 오버행량을 감소시킴으로써 기판 G의 선단이 흡인될 우려도 작게 하고 있다.

그러므로, 기판 G가 손상될 우려가 없어지고, 또한 반송 기구로서는 최소한의 반송 롤러(100)·보조 롤러(103) 만 포함하면 되므로, 광대한 설비 공간이나, 복잡하고도 고가의 장치 구성이 불필요하게 된다.

그리고, 도 12에서 나타낸 바와 같이 제2 실시예에 보조 롤러(103)를 추가한 개량 형태를 채용해도, 제4 실시예와 마찬가지의 효과도 얻을 수 있게 된다.

이어서, 본 발명의 기판용 반송 제진 장치 및 그 사용 방법의 제5 실시예에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다. 그리고, 종래 기술, 제1 실시예, 제2 실시예, 제3 실시예 및 제4 실시예와 동일한 구성 요소에는, 동일한 부호를 부여하고 중복되는 설명을 생략한다. 도 13은 본 실시예의 기판용 반송 제진 장치의 구성도 이다. 도 14는 본 실시예의 기판용 반송 제진 장치에 의한 기판 반송을 설명하는 도면이다. 도 15는 본 실시예의 기판용 반송 제진 장치에 의한 기판 반송을 설명하는 도면으로서, 도 15의 (a)는 돌출 선단이 바로 앞의 흡인 슬릿에 도달한 상태를 나타내는 도면이며, 도 15의 (b)는 돌출 선단이 분출 슬릿에 도달한 상태를 나타내는 도면이며, 도 15의 (c)는 돌출 선단이 안쪽의 흡인 슬릿에 도달한 상태를 나타내는 도면이다. 도 16은 반송 롤러의 지축을 설명하는 도면이다. 도 17은 보조 롤러를 설명하는 도면이다.

본 실시예의 기판용 반송 제진 장치는, 상기 제1 실시예, 제2 실시예, 제3 실시예, 및 제4 실시예 중 어느 하나와 동일한 구성 요소를 포함하지만, 상이한 점은, 기판 G를 경사지게 하는 대신 하측 제진 유닛(210) 및 상측 제진 유닛(220)을 경사지게 하도록 하였다. 이 경우, 하측 제진 유닛(210)의 전단·후단에 배열 방향이 경사진 반송 롤러(104)를 배치하고 있다. 상기 반송 롤러(104)는, 도 13에서 나타낸 바와 같이, 원판형이며 복수개가 경사 방향으로 나란히 배치되어 있다. 이에 따라, 하측 제진 유닛(210)을 경사지게 배치할 수 있다.

또한, 제진 유닛(200)이 경사지게 되어도, 흡인 슬릿(214, 224), 분출 슬릿(215, 225) 및 흡인 슬릿(216, 226)은 바로 위로부터 보면 하나의 선으로 보이도록 형성된다.

그리고, 대략 사각형인 기판 G의 한 변 방향에 대하여, 하측 제진 유닛(210) 및 상측 제진 유닛(220)의 에어 흡인실(212, 222)의 선형의 흡인 슬릿(215, 225)의 길이 방향, 및 에어 분출실(211, 213, 221, 223)의 선형의 분출 슬릿(214, 216, 224, 226)의 길이 방향은 소정의 교차각으로 경사지도록 구성되어 있다. 그리고, 기판 반송 방향 a를 기준으로 하면, 대략 사각형인 기판 G의 한 변 방향이 기판 반송 방향 a에 대해서 대략 수직이며, 또한 흡인 슬릿(215, 225) 및 분출 슬릿(214, 216, 224, 226)의 길이 방향이 기판 반송 방향 a의 대략 수직 방향에 대하여 소정의 교차각 α로 경사진다. 이와 같은 기판 G의 돌출 선단 G1이 선두가 되도록 제진 유닛(200)에 반송되면서 제진된다. 상기 교차각은 도 14에서 나타낸 바와 같이, 각도 α를 이루도록 구성된다.

이어서, 본 실시예에 의한 제진에 대하여 설명한다.

복수개의 기판 G가, 소정의 간격을 두고 설치된 반송 롤러(100, 104) 상을 차례로 반송되는 것으로 한다.

이와 같은 경사진 상태의 기판 G가 하측 제진 유닛(210)과 상측 제진 유닛(220) 사이로 들어가서, 제진되는 것으로 한다. 이 경우, 하측 제진 유닛(210) 및 상측 제진 유닛(220)은, 에어 분출실(212, 222)에 의한 세정 에어의 분출, 및 에어 흡인실(211, 213, 221, 223)에 의한 먼지의 흡인을 항상 행하고 있는 것으로 한다. 즉, 기판 G에서, 표면과 배면의 양 면이 제진 대상면이 된다.

먼저, 제진되는 기판 G가, 하측 제진 유닛(210)의 바로 상측에서, 화살표 a 방향으로 반송된다.

기판 G의 돌출 선단 G1의 일부는, 도 15의 (a)에서 나타낸 바와 같이 에어 흡인실(211, 221)의 사이로 진입한다. 이 경우, 기판 G의 사선부에만 흡인 압력이 가해지고 있으므로, 흡인 압력은 작고, 종래 기술과 같이 선단 전체에 흡인 압력이 가해지지 않기 때문에(도 19 참조), 휨이 발생할 우려를 현저하게 저감시키고 있다.

또한, 진동에 대하여도 도 4를 사용하여 설명한 바와 같이, P슬릿-V1슬릿 사이의 에어 유량과, 반대 측의 P슬릿-V2슬릿 사이의 에어 유량은 균형을 이루고 있으므로, P슬릿-V1슬릿과 P슬릿-V2슬릿 사이에 압력차가 거의 0(P슬릿-V1슬릿 사이의 압력이 P슬릿-V2슬릿 사이의 압력과 거의 동일)인 상태를 유지한다. 따라서 벤츄리 효과의 밸런스가 유지된다.

계속하여, 도 15의 (b) 및 도 15의 (c)에서 나타낸 바와 같이, 기판 G가 기판 반송 방향으로 반송된다. 이 때, 사선부와 같은 흡인 압력·분출 압력이 가해지지만, 반송 롤러(104)(또는 보조 롤러(102)나 보조 롤러(103))로부터 기판 G가 돌출하는 양(이하 오버행량이라 한다)은 기판 G의 전체 길이보다 충분히 작은 일부일 뿐이며, 거기에 더하여, 전술한 원리에 의해 벤츄리 효과의 밸런스가 유지되므로, 휨·진동 등을 억제하면서 그대로 반입이 계속되어, 하측 제진 유닛(210)의 양쪽의 반송 롤러(104)(또는 보조 롤러(102)나 보조 롤러(103))에 의해 지지된다. 그 후, 기판 G는, 흡인력과 자기 중량이 상호 작용하여 반송 롤러(100, 104)에 확실하게 맞닿게 되므로, 기판 G가 반송 롤러(100, 104)로부터 이탈되는 사태는 발생하지 않는다.

그리고, 반송 롤러(104)는 복수개이지만, 다른 것과 비교해서 높이가 높은 반송 롤러(104)가 하나 있을 경우, 상기 반송 롤러(104)에만 기판 G가 올려지므로, 그 부분에 힘이 집중하고, 기판 G에 불균일 등 악영향을 끼칠 우려가 있다. 그래 서, 도 16은, 반송 롤러(104)의 지축(105)에 판스프링(106)을 개재시켜서 높이를 조정할 수 있도록 하고 있다. 이와 같이 하면, 기판 G의 1개소에 힘이 집중되는 사태를 회피시킬 수 있다. 또한, 위치 결정의 관계에 의하여 반송 롤러의 배열 방향의 최외측에서는, 판스프링(106)을 떼어내고 지축(105)만 설치하면 위치 결정을 확보할 수 있다.

또한, 도 17에서 나타낸 바와 같이, 하측 제진 유닛(210)의 에어 흡인실(211, 213)의 흡인 슬릿(215, 225)의 상측에 보조 롤러(103)가 배치되도록 해도 된다(도 10 및 도 11에서 나타낸 바와 같은 구조가 된다). 원판형의 보조 롤러의 배열 방향은, 하측 제진 유닛의 에어 흡인실(211, 213)의 흡인 슬릿(215, 225)의 길이 방향과 일치한다. 이와 같은 보조 롤러(103)의 존재에 관계없이, 먼지의 흡인에는 영향을 받지 않는 충분히 큰 흡인구를 확보하면, 제진 능력에 문제는 생기지 않는다.

이와 같이, 본 실시예에서는, 상기 제1 내지 제4 실시예와 마찬가지의 효과를 얻을 수 있고, 거기에 더하여 기판 G를 경사 방향으로 하여 반송 롤러(100)에 탑재하는 작업이 없어지고, 기판 반송 방향 a에 대해서 기판 G의 한 변 방향이 수직이 되도록 한 통상적인 배치를 행하면, 교차각 α도 자동적으로 설정할 수 있게 되어, 사전에 설계된 흡인력을 부여할 수 있다. 또한, 작업원에게 교차각 α만큼 경사지게 하는 작업을 불필요하게 하여, 작업성도 높일 수 있다.

이상 제1 실시예 내지 제5 실시예에 대하여 설명하였으나, 각종 변형예도 실현할 수 있다. 제1 실시예 내지 제5 실시예에서, 하측 제진 유닛(210) 및 상측 제진 유닛(220)은 2개의 에어 흡인실 사이에 하나의 에어 분출실을 배치한 예(V-P-V 구조)에 대하여 설명하였으나, 그 외에 2개의 에어 분출실 사이에 하나의 에어 흡인실을 배치한 예(P-V-P구조), 하나의 에어 흡인실과 하나의 에어 분출실을 배열하여 배치한 예(P-V 구조나 V-P 구조)로 구성될 수도 된다. 이들 구성 중에서 적절한 구성이 선택된다.

또한, 제1 실시예 내지 제5 실시예에서는 벤츄리 효과의 조정에 의하여 상하의 분출 압력을 변경시켰지만, 다르게 조정될 수도 있다.

예를 들면, 하측 제진 유닛(210)으로부터의 분출 압력과 상측 제진 유닛(220)으로부터의 분출 압력을 같아지게 함과 동시에, 하측 제진 유닛(210)으로의 흡인 압력이 상측 제진 유닛(220)으로의 흡인 압력보다 커지게 함으로써, 하측 제진 유닛(210)의 벤츄리 효과에 의한 흡인력이, 상측 제진 유닛(220)의 벤츄리 효과에 의한 흡인력보다 커지게 하여, 기판 G가 반송 롤러(100, 104)나 보조 롤러(102, 103)에 가압하는 힘을 부여하도록 해도 된다. 그리고, 이 경우, 도 6, 도 9 및 도 12에 나타내 바와 같은 형태의 반송 제어부는 채용할 수 없다.

또한, 하측 제진 유닛(210)으로부터 기판 G의 배면까지의 간격이, 상측 제진 유닛(220)으로부터 기판 G의 표면까지의 간격보다 짧아지도록 조정함으로써, 하측 제진 유닛(210)의 벤츄리 효과에 의한 흡인력이, 상측 제진 유닛(220)의 벤츄리 효과에 의한 흡인력보다 커지게 하여, 기판 G가 반송 롤러(100, 104)나 보조 롤러(102, 103) 수단에 가압하는 힘을 부여하도록 해도 된다. 그리고, 이 경우, 도 6, 도 9 및 도 12의 형태의 반송 제어부는 채용할 수 없다.

또한, 반송 수단으로서 반송 롤러(100, 104)나 보조 롤러(102, 103)를 고려한 구성에 대하여 설명하였으나, 반송 수단의 다른 예로서, 예를 들면, 높이 방향의 위치 결정 수단을 확보하는 동시에, 에어가 분출되는 무수한 분출공을 형성한 반송면으로 하고, 상기 반송면 상에 기판 G를 배치하여 에어에 의해 반송하도록 구성될 수도 있다. 이 경우에도 기판 반송 방향과 각각의 슬릿의 길이 방향으로 소정의 교차각 α을 확보해 두면 상기와 같은 효과를 얻을 수 있다.

또한, 도 7의 보조 롤러(102)와 도 10의 보조 롤러(103)를 함께 포함하는 반송 수단일 수도 있다.

이상 본 발명의 실시예에 따른 기판용 반송 제진 장치 및 그 사용 방법에 대하여 설명하였다. 이와 같은 기판용 반송 제진 장치 및 그 사용 방법에 따르면, 상기 (1) 공전의 문제, (2) 제진 능력의 증대, (3) 진동의 문제 및 (4) 휨의 문제가 해결된다.

먼저, 도 4에서 나타낸 경사 슬릿에 의해 에어가 불규칙하게 흐르지 않도록 하여, 벤츄리 효과의 밸런스가 깨어지지 않도록 할 수 있으므로, (3) 진동의 문제 및 (4) 휨의 문제가 해소되었다.

또한, 도 1 및 도 14에서 나타낸 바와 같은 대략 사각형 기판의 한 변 방향과, 제진 유닛의 에어 흡인실의 흡인 슬릿 및 에어 분출실의 분출 슬릿의 길이 방향이 소정의 교차각으로 교차하면서 반송·제진되도록 했기 때문에, 오버행되는 기판 G로의 압력을 감소시켜서, 이 점에 의해서도 (3) 진동의 문제 및 (4) 휨의 문제가 해소되었다.

그리고, 진동이나 휨이 쉽게 발생하지 못하므로, 분출 압력이나 흡인 압력을 증대시키는 동시에, 벤츄리 효과의 밸런스를 조정하여 하측으로의 흡인력을 증대시킬 수도 있으므로, (1) 공전의 문제, (2) 제진 능력의 증대가 각각 해소되었다.

이들 요소의 상승 작용에 의해, 신뢰성을 높인 기판용 반송 제진 장치 및 그 사용 방법을 실현할 수 있게 된다.

본 발명의 기판용 반송 제진 장치 및 그 사용 방법에 따르면, 제진 능력이 증대하고, 공전의 문제, 진동의 문제 및 기판이 휘어지는 문제가 해결된다.

Claims (16)

1. 기판의 하측으로부터 지지력을 부여하고, 소정의 기판 반송 방향으로 기판을 반송하는 반송 수단과,

   적어도 각각 하나의 에어 흡인실 및 에어 분출실을 포함하는 상측 제진 유닛 및 하측 제진 유닛을 상기 기판의 표면 및 배면의 양 측에 2개 1조로 대향시키면서 배치함과 동시에, 상기 에어 분출실의 선형의 분출 슬릿을 통하여 기판 표면을 향하여 세정 에어를 분출하여, 비산되는 먼지를 상기 에어 흡인실의 선형의 흡인 슬릿을 통하여 흡인하도록 한 제진 유닛

   을 포함하는 기판용 반송 제진 장치로서,

   상기 제진 유닛의 상기 에어 흡인실의 상기 선형의 흡인 슬릿의 길이 방향 및 상기 에어 분출실의 상기 선형의 분출 슬릿의 길이 방향이 평행이며, 또한 상기 에어 흡인실의 상기 선형의 흡인 슬릿의 길이 방향 및 상기 에어 분출실의 상기 선형의 분출 슬릿의 길이 방향이 각각 기판 반송 방향에 대하여 수직이 되도록 배치됨과 동시에,

   사각형인 기판의 한 변 방향이 상기 기판 반송 방향에 수직인 방향에 대하여 소정의 교차각으로 경사진 상태이며, 상기 기판의 돌출 선단이 선두가 되도록 상기 제진 유닛에 반송되면서 제진되며,

   상기 하측 제진 유닛의 벤츄리 효과(Venturi effect)에 의한 흡인력이, 상기 상측 제진 유닛의 벤츄리 효과에 의한 흡인력보다 커지게 하여, 상기 기판을 상기 반송 수단 쪽으로 가압하는 힘을 부여하는 것을 특징으로 하는 기판용 반송 제진 장치.
2. 기판의 하측으로부터 지지력을 부여하고, 소정의 기판 반송 방향으로 기판을 반송하는 반송 수단과,

   적어도 각각 하나의 에어 흡인실 및 에어 분출실을 포함하는 상측 제진 유닛 및 하측 제진 유닛을 기판의 표면 및 배면의 양 측에 2개 1조로 대향시키면서 배치함과 동시에, 상기 에어 분출실의 선형의 분출 슬릿을 통하여 기판 표면을 향하여 세정 에어를 분출하여, 비산되는 먼지를 상기 에어 흡인실의 선형의 흡인 슬릿을 통하여 흡인하도록 한 제진 유닛

   을 포함하는 기판용 반송 제진 장치로서,

   상기 제진 유닛의 상기 에어 흡인실의 상기 선형의 흡인 슬릿의 길이 방향 및 상기 에어 분출실의 선형의 분출 슬릿의 길이 방향이 평행이며, 기판 반송 방향에 수직인 방향에 대하여 소정의 교차각으로 경사지도록 배치함과 동시에,

   사각형인 상기 기판의 반송 선단의 한 변이 기판 반송 방향에 대하여 수직이며, 또한 상기 기판의 돌출 선단이 선두가 되도록 제진 유닛에 반송되면서 제진되며,

   상기 하측 제진 유닛의 벤츄리 효과(Venturi effect)에 의한 흡인력이, 상기 상측 제진 유닛의 벤츄리 효과에 의한 흡인력보다 커지게 하여, 상기 기판을 상기 반송 수단 쪽으로 가압하는 힘을 부여하는 것을 특징으로 하는 기판용 반송 제진 장치.
3. 제1 항에 있어서,

   상기 반송 수단은 봉형의 반송 롤러를 포함하고,

   상기 봉형의 반송 롤러의 축 방향은, 상기 제진 유닛의 상기 에어 흡인실의 상기 선형의 흡인 슬릿의 길이 방향 및 상기 에어 분출실의 상기 선형의 분출 슬릿의 길이 방향과 평행이며, 또한 각각 반송 방향에 대하여 수직이 되도록 배치된 것을 특징으로 하는 기판용 반송 제진 장치.
4. 제2 항에 있어서,

   상기 반송 수단은 경사진 배열 방향으로 배열되어 배치된 복수 개의 원판형의 반송 롤러를 포함하고,

   상기 원판형의 반송 롤러의 배열 방향은, 상기 제진 유닛의 상기 에어 흡인실의 상기 선형의 흡인 슬릿의 길이 방향 및 상기 에어 분출실의 상기 선형의 분출 슬릿의 길이 방향과 평행이며, 기판 반송 방향에 수직인 방향에 대하여 소정의 교차각으로 경사지도록 배치된 것을 특징으로 하는 기판용 반송 제진 장치.
5. 제1 항 내지 제4 항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 하측 제진 유닛으로의 흡인 압력과 상기 상측 제진 유닛으로의 흡인 압력이 같아지도록 함과 동시에, 상기 하측 제진 유닛으로부터의 분출 압력이 상기 상측 제진 유닛으로부터의 분출 압력보다 커지게 함으로써, 상기 하측 제진 유닛의 상기 벤츄리 효과에 의한 흡인력이, 상기 상측 제진 유닛의 상기 벤츄리 효과에 의한 흡인력보다 커지게 하여, 상기 기판을 상기 반송 수단 쪽으로 가압하는 힘을 부여하는 것을 특징으로 하는 기판용 반송 제진 장치.
6. 제1 항 내지 제4 항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 하측 제진 유닛으로부터의 분출 압력과 상기 상측 제진 유닛으로부터의 분출 압력을 같아지게 함과 동시에, 상기 하측 제진 유닛으로의 흡인 압력이 상기 상측 제진 유닛으로의 흡인 압력보다 커지게 함으로써, 상기 하측 제진 유닛의 상기 벤츄리 효과에 의한 흡인력이, 상기 상측 제진 유닛의 상기 벤츄리 효과에 의한 흡인력보다 커지게 하여, 상기 기판을 상기 반송 수단 쪽으로 가압하는 힘을 부여하는 것을 특징으로 하는 기판용 반송 제진 장치.
7. 제1 항 또는 제2 항에 있어서,

   상기 하측 제진 유닛으로부터 기판 면까지의 간격이, 상기 상측 제진 유닛으로부터 기판 면까지의 간격보다 짧아지도록 조정함으로써, 상기 하측 제진 유닛의 상기 벤츄리 효과에 의한 흡인력이, 상기 상측 제진 유닛의 상기 벤츄리 효과에 의한 흡인력보다 커지게 하여, 상기 기판을 상기 반송 수단 쪽으로 가압하는 힘을 부여하는 것을 특징으로 하는 기판용 반송 제진 장치.
8. 제5 항에 있어서,

   상기 하측 제진 유닛 및 상기 상측 제진 유닛으로부터의 분출 압력을 계측하여, 상기 상측 제진 유닛으로부터의 분출 압력이 상기 하측 제진 유닛으로부터의 분출 압력보다 큰 경우에 상기 제진 유닛으로의 상기 기판의 반송을 정지하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 기판용 반송 제진 장치.
9. 제1 항 또는 제2 항에 있어서,

   상기 하측 제진 유닛은, 반송되는 상기 기판에 맞닿아 회동하는 보조 롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판용 반송 제진 장치.
10. 제9 항에 있어서,

    상기 보조 롤러는 상기 하측 제진 유닛의 반입 측의 외측부에 배치되는 것을 특징으로 하는 기판용 반송 제진 장치.
11. 제9 항에 있어서,

    상기 보조 롤러는 상기 하측 제진 유닛의 에어 흡인실의 흡인 슬릿 내에 배치되는 것을 특징으로 하는 기판용 반송 제진 장치.
12. 제1 항 또는 제2 항에 있어서,

    상기 하측 제진 유닛 및 상기 상측 제진 유닛은, 상기 에어 분출실과, 상기 에어 분출실을 그 사이에 둔 2개의 에어 흡인실이 기판 반송 방향을 따라 배열되어 배치되는 것을 특징으로 하는 기판용 반송 제진 장치.
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